JPH02287164A - Probing mechanism - Google Patents
Probing mechanismInfo
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- JPH02287164A JPH02287164A JP1107173A JP10717389A JPH02287164A JP H02287164 A JPH02287164 A JP H02287164A JP 1107173 A JP1107173 A JP 1107173A JP 10717389 A JP10717389 A JP 10717389A JP H02287164 A JPH02287164 A JP H02287164A
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- JP
- Japan
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- probing
- probe
- holder
- camera
- moved
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- Image Analysis (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（概要〕
基準位置ン−りの検出出力に基づいてプロービングの基
準となる位置を定めた後、目的の測定点をプロービング
するプロービング機構に関し、正確なプロービングを行
なうことを目的とし、プロービング対象物上の基準位置
マークを検出装置で検出して得た検出信号を読み取り部
で読み取り、計輝機によりプロービングの基準位置を定
めた後プローバ制御部を介してプロービングアームを移
動させ、該プロービング対染物上の測定点にプローブを
プロービングするプロービング機構において、前記プロ
ーブを着脱自在に保持する第１のホルダと、前記検出８
置を着脱自在に保持する第２のホルダと、前記プロービ
ングアームの所定位置に設けられ、該第１及び第２のホ
ルダに保持されている該プローブ及び検出装置のうち所
望の一方をそのホルダの保持から解放させて保持するプ
０−バハンド部と、よりなり、該プローバハンド部によ
り前記プローブと前記検出装置とを交換保持するよう構
成する。[Detailed Description of the Invention] (Summary) A probing mechanism for probing a target measurement point after determining a reference position for probing based on a detection output from a reference position is used to perform accurate probing. The detection signal obtained by detecting the reference position mark on the object to be probed with the detection device is read by the reading unit, and the reference position for probing is determined by the meter, and then the probing arm is moved via the prober control unit. , a probing mechanism for probing a measurement point on the probing counterstain with a probe, a first holder for removably holding the probe; and a detection 8.
a second holder that removably holds the probe; The prober hand section is configured to hold the probe and the detection device in exchange by the prober hand section, which is released from the holding state and held.
本発明はプロ、−ピング機構に係り、特に基準位置マー
クの検出出力に基づいてプロービングの基準となる位置
を定めた後、目的の測定点をプロービングするプロービ
ング機構に関する。The present invention relates to a probing mechanism, and more particularly to a probing mechanism that probes a target measurement point after determining a reference position for probing based on the detection output of a reference position mark.
大規模集積回路（ＬＳＩ）やプリント配線板等を電気的
に試験する場合、搭載された部品端子等をプロービング
する必要がある。When electrically testing large-scale integrated circuits (LSI), printed wiring boards, etc., it is necessary to probe the terminals of mounted components.
しかし、ＬＳＩやプリント配線板は製造上、品質により
寸法誤差が生じ、また近年の高密度化によりランドのサ
イズ、ピッチが細かくなってきたため、よりプロービン
グ位置決め精度が厳しくなってぎた。また、上記のＬＳ
Ｉやプリント配線板上のプロービングポイントは数千ポ
イントと多い。However, dimensional errors occur in LSIs and printed wiring boards due to their manufacturing and quality, and the size and pitch of lands have become finer due to higher densities in recent years, making probing positioning accuracy more difficult. Also, the above LS
There are many probing points on I and printed wiring boards, numbering in the thousands.
以上の点からＬＳＩ又はプリント配線板上に基準位置マ
ークを設け、それを検出してプロービングの基準となる
位置を定めて誤差補正することが、プロービング機構に
とって正確なプロービングを行なう上で不可欠である。From the above points, it is essential for the probing mechanism to perform accurate probing by providing a reference position mark on the LSI or printed wiring board, detecting it, determining the reference position for probing, and correcting the error. .
第４図は従来のプロービング機構の一例の構成図を示す
。同図中、１１はブローバで、そのプロービングアーム
１２の先端にプローブ１３とテレビカメラ１４とが夫々
並列に取付は固定されている。また、プローバ１１は固
定であるが、ブＤ −ピングアーム１２はパルスモータ
等で構成されたプロービングアーム移動機構により移動
自在の構成とされている。FIG. 4 shows a configuration diagram of an example of a conventional probing mechanism. In the figure, reference numeral 11 denotes a blow bar, and a probe 13 and a television camera 14 are mounted and fixed in parallel to the tip of a probing arm 12, respectively. Further, although the prober 11 is fixed, the probe D-ping arm 12 is configured to be movable by a probing arm moving mechanism composed of a pulse motor or the like.
１５は計算機で、このプロービング機構全体の制御をつ
かさどる。また１６はブローバ制御部で、計算機１５か
らの制御信号を入力として受け、プローバ１１内の前記
プロービングアーム移動機構を１ＩＪ１１Ｉシ、プロー
ビングアーム１２を任意の方向及び距離分移動させる。15 is a computer which controls the entire probing mechanism. Reference numeral 16 denotes a blobber control unit which receives a control signal from the computer 15 as input, and moves the probing arm moving mechanism in the prober 11 by an arbitrary direction and distance.
１７は基準位置マーク読み取り部で、テレビカメラ１４
からの映像信号が入力される。１８は試験部で、ブロー
バ１３からの信号が入力されると共に、計算機１５から
の試験信号も入力される。Reference numeral 17 denotes a reference position mark reading section, and a television camera 14
A video signal is input from. Reference numeral 18 denotes a test section to which signals from the blower 13 are input, and test signals from the computer 15 are also input.
また、１９はプリント配線板で、試験すべきＩＣや論理
回路が搭載されており、またその配線領域外の四隅に基
準位置マーク２０が予め設けられている。Reference numeral 19 denotes a printed wiring board on which ICs and logic circuits to be tested are mounted, and reference position marks 20 are provided in advance at the four corners outside the wiring area.
かかる構成のプロービング機構は、プロービングに先立
ち、まず基準位置マーク２０をテレビカメラ１４でＩＩ
像し、それにより得られた映像信号を基準位置マーク読
み取り部１７′に供給して、ここで基準位置マークを読
み取らゼ、その読み取りデータを計算機１５に通知する
。これにより、計算機１５はプロービングアーム１２の
プリント配線板１９に対するプロービングの基準位置を
補正する。In the probing mechanism having such a configuration, before probing, the reference position mark 20 is first set with the television camera 14.
The image signal obtained thereby is supplied to the reference position mark reading section 17', which reads the reference position mark and notifies the computer 15 of the read data. Thereby, the computer 15 corrects the probing reference position of the probing arm 12 with respect to the printed wiring board 19.
次に、計算機１５はプローバ制御部１６を介してプロー
ビングアーム１２を位置側部し、プリント配線板上に搭
載された回路の出力パッドにプローバ１３を接触させた
後、その状態のまま当該回路の信号入力端子に所定の試
験信号を入力する。Next, the computer 15 moves the probing arm 12 to the side via the prober control unit 16, brings the prober 13 into contact with the output pad of the circuit mounted on the printed wiring board, and then maintains the position of the output pad of the circuit mounted on the printed wiring board. Input the specified test signal to the signal input terminal.
これにより、プローバ１３を介して上記入力試験信号に
対応した信号が取り出され、試験部１８に入力される。As a result, a signal corresponding to the input test signal is extracted via the prober 13 and input to the test section 18.
試験部１８は計算ｆｉ１５からの信号に基づき、プロー
バ１３からどのような信号パターンが取り出されるべき
かが予めわかっており、プ０−バ１３からの信号パター
ンがこの所定信号パターンと一致するか否かを試験し、
その試験結果を計算機１５へ通知する。The test unit 18 knows in advance what kind of signal pattern should be extracted from the prober 13 based on the signal from the calculation fi 15, and determines whether the signal pattern from the prober 13 matches this predetermined signal pattern. test whether
The test result is notified to the computer 15.
計算１１１５はブＯ−バ１３からの信号パターンが所定
信号パターンと一致するときは正常と判定するが、不一
致のときは故障と判断し、プローバ１３の接触位置を出
力パッドから不一致の部分に応じた出力段の回路部に移
動させ、再び試験を行なう。In calculation 1115, when the signal pattern from the probe O-bar 13 matches a predetermined signal pattern, it is determined to be normal, but when it does not match, it is determined to be a failure, and the contact position of the prober 13 is changed from the output pad according to the mismatched part. Move it to the output stage circuit section and test again.
以下、上記と同様にしてプローブ１３の接触位置を出力
側より入力側り向へ順次移動して不良個所の追跡を行な
い、最終的な不良個所を検索する。Thereafter, in the same manner as described above, the contact position of the probe 13 is sequentially moved from the output side to the input side to trace the defective location and finally search for the defective location.
従って、プリント配線板１９上のプローブ接触可能ポイ
ントは予め定まっているが、不良個所によってどのポイ
ントに接触するかが決まるから、プローブ１３の接触ポ
イントは個々のプリント配線板１９によって異なる。Therefore, although the points on the printed wiring board 19 that can be contacted by the probe are determined in advance, the contact points of the probe 13 differ depending on the individual printed wiring board 19 because which point to contact is determined depending on the defective location.
しかるに、第４図に示した従来のプロービング機構はプ
ローブ１３とテレビカメラ１４とを並列にプロービング
アーム１２の先端に取付は固定する構造であるため、第
５図に示す如くプローブ１３とテレビカメラ１４とを平
行に取付けた場合は、実際のプロービング点Ｐとテレビ
カメラ１４による測定中心点Ｃとがずれることとなり、
プロービング時に誤差が生じ易かった。However, since the conventional probing mechanism shown in FIG. 4 has a structure in which the probe 13 and the television camera 14 are attached and fixed to the tip of the probing arm 12 in parallel, the probe 13 and the television camera 14 are connected in parallel as shown in FIG. If they are installed parallel to each other, the actual probing point P and the center point C of measurement by the television camera 14 will be shifted.
Errors were likely to occur during probing.
また、従来、第６図に示す如くプローブ１３によるプロ
ービング点Ｐとテレビカメラ１４による測定中心点Ｃと
が同一になるように取付は固定したものもあったが、こ
の場合はテレビカメラ１４が傾斜して取付けられるため
、基準位置マーク２０を斜めから撮像することになり、
得られる画像が歪んだり、ぼけたりするため測定誤差を
生じ易いという問題があった。Furthermore, conventionally, as shown in FIG. 6, the installation was fixed so that the probing point P by the probe 13 and the measurement center point C by the television camera 14 were the same, but in this case, the television camera 14 was tilted. Since the reference position mark 20 is mounted with a
There is a problem in that the resulting image is distorted or blurred, which tends to cause measurement errors.
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、正確なプロ
ービングを行なうことができるプロービング機構を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a probing mechanism that can perform accurate probing.
〔課題を解決するための手段）
第１図は本発明の原理構成図を示す。同図中、第４図と
同一構成部分には同一符号を付し、その説明を省略する
。第１図において、２７はブロールハンド部で、プロー
ビングアーム２６の所定位置に設けられている。また、
２８及び２９は夫々第１及び第２のホルダで、第１のホ
ルダ２８はプ０−１１３を着脱自在に保持し、第２のホ
ルダ２９は検出装置としてのテレビカメラ１４を＠脱自
在に保持している。[Means for Solving the Problems] FIG. 1 shows a diagram of the basic configuration of the present invention. In the figure, the same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and the explanation thereof will be omitted. In FIG. 1, reference numeral 27 denotes a browl hand section, which is provided at a predetermined position on the probing arm 26. Also,
28 and 29 are first and second holders, respectively, the first holder 28 removably holds the camera 0-113, and the second holder 29 removably holds the television camera 14 as a detection device. are doing.
本発明はブロールハンド部２７によりプローブ１３と検
出装置（テレビカメラ１４）を交換保持できる構成とし
た点に特徴がある。The present invention is characterized in that the probe 13 and the detection device (television camera 14) can be exchanged and held using the browl hand section 27.
ブロール２５はプロービングアーム２６とブロールハン
ド部２７とを有し、計算機１５の制御によりプロービン
グアーム２６をホルダ２８．２９の位置まで自在に移動
させることができる。The browl 25 has a probing arm 26 and a browl hand section 27, and the probing arm 26 can be freely moved to the position of the holders 28 and 29 under the control of the computer 15.
プロービング対象物としてのプリント配線板１９上の基
準位置マーク２０を検出する場合は、ブロールハンド部
２７がホルダ２８の位置にまで移動され、その後ブロー
ルハンド部２７がホルダ２９によるテレビカメラ１４の
保持を解放させてテレビカメラ１４を把持する。その後
、ブロールハンド部２７はテレビカメラ１４を第２図（
Ｂ）に示す如く把持した状態でプリント配線板１９上の
基準位置マーク２０上に移動し、基準位置マーク２０を
テレビカメラ１４にｌ１ｔａさせる。When detecting the reference position mark 20 on the printed wiring board 19 as a probing target, the browl hand section 27 is moved to the position of the holder 28, and then the browl hand section 27 is moved to the position of the television camera 14 by the holder 29. Release the hold and grasp the television camera 14. After that, the brawl hand unit 27 moves the television camera 14 to the screen shown in FIG.
While holding it as shown in B), move it over the reference position mark 20 on the printed wiring board 19 and point the reference position mark 20 at the television camera 14.
また、基準位置マーク２０を読み取った信号でプロービ
ングの基準位置を定めた後、計算機１５はプロービング
アーム２６をホルダ２９の前に移動させてブロールハン
ド部２７に把持されているテレビカメラ１４を再びホル
ダ２９に保持させる。Further, after determining the reference position for probing using the signal read from the reference position mark 20, the computer 15 moves the probing arm 26 in front of the holder 29 and moves the television camera 14 held by the roll hand section 27 again. It is held in the holder 29.
その後に空になったブロールハンド部２７はホルダ２８
の前にまで移動されてホルダ２８からブ〇−ブ１３の保
持を解放させると共にプローブ１３を保持する。After that, the empty brawl hand section 27 is placed in the holder 28.
The probe 13 is moved to the front of the holder 28 to release the probe 13 from the holder 28 and to hold the probe 13.
その後、ブロールハンド部２７は第２図（Ａ）に示す如
くプローブ１３を保持した状態でプリント配線板１９上
に移動された後、所望の測定点にプローブ１３をプロー
ビングさせる。Thereafter, the blow hand section 27 is moved onto the printed wiring board 19 while holding the probe 13 as shown in FIG. 2(A), and then probes the probe 13 at a desired measurement point.
このように本発明によれば、第２図（Ａ）。Thus, according to the present invention, FIG. 2(A).
（Ｂ）に示す如く、同じブロールハンド部２７でブロー
ル１３及びテレビカメラ１４を順次保持しているので、
実際のプロービング点とテレビカメラ１４の測定中心点
とを同・−にでき、しかもテレピカメラ１４もプリント
配線板１９に正対させることができるので、画像の歪み
やぼけは発生しない。As shown in (B), since the same brawl hand section 27 holds the brawl 13 and the television camera 14 in sequence,
Since the actual probing point and the measurement center point of the television camera 14 can be made the same, and the television camera 14 can also be directly opposed to the printed wiring board 19, distortion and blurring of the image will not occur.
（実施例）
第３図は本発明の要部の一実施例の機構図を示す。同図
中、第１図と同一構成部分には同一符号を付しである。(Embodiment) FIG. 3 shows a mechanical diagram of an embodiment of the main part of the present invention. In the figure, the same components as in FIG. 1 are given the same reference numerals.
第３図において、ブローバハンド部２７は吸着用バキュ
ーム３１ａ及び３１ｂと案内部３２ａ、３２ｂとグラン
ド端子に一端が接続されたピン３３とよりなり、これら
がプＯ−ピング７−ム２６に固定されている。吸着用バ
キューム３１ａ及び３１ｂは空気によりプ０−７１３又
はテレビカメラ１４を吸着する。In FIG. 3, the blower hand part 27 consists of suction vacuums 31a and 31b, guide parts 32a and 32b, and a pin 33 whose one end is connected to the ground terminal, and these are fixed to the pump 7-m 26. ing. The suction vacuums 31a and 31b suction the printer 0-713 or the television camera 14 with air.
また、ホルダ２８及び２９は同一構成であり、ホルダ２
８は第３図に示す如く、チャック３４とこのチャック３
４のＷ８閉１１１＠を行なうチャック開閉用アクチュエ
ータ３５と、ガイド３６ａ。Further, holders 28 and 29 have the same configuration, and holder 2
8 is a chuck 34 and this chuck 3 as shown in FIG.
A chuck opening/closing actuator 35 that performs W8 closing 111@ of No. 4, and a guide 36a.
３６ｂとホルダ支持アングル３７などよりなり、プロー
ブ１３をガイド３６ａ及び３６ｂに沿って図中、左右方
向に移動自在な構成とされており、チャック３４により
プローブ１３の両側面を挟着して保持し、またチャック
３４を開くことにより保持を解放する。36b and a holder support angle 37, etc., the probe 13 is configured to be movable in the horizontal direction in the figure along the guides 36a and 36b, and the chuck 34 clamps and holds both sides of the probe 13. , and the holding is released by opening the chuck 34.
なお、ホルダ２９もホルダ２８と同一構成で、保持する
対象がテレビカメラ１４である点がホルダ２８と異なる
だけである。Note that the holder 29 also has the same configuration as the holder 28, and is different from the holder 28 in that the object to be held is the television camera 14.
また、プＯ−プ１３はプローブ本体１３ａと針１３ｂと
からなり、プローブ本体１３ａの一側面には、突起部３
８ａ及び３８ｂが前記案内部３２ａ及び３２ｂに嵌合す
る位置に設けられている。前記した吸着用バキューム３
１ａ及び３１ｂはこの７０一プ本体１３ａの側面を吸着
する。また、この吸着によりビン３３がプローブ本体１
３ａの側面に形成されている端子３９に当接するように
構成されている。The probe 13 consists of a probe body 13a and a needle 13b, and a protrusion 3 is provided on one side of the probe body 13a.
8a and 38b are provided at positions that fit into the guide portions 32a and 32b. The above-mentioned suction vacuum 3
1a and 31b adsorb the sides of this 70-piece main body 13a. Also, due to this adsorption, the bottle 33 is attached to the probe body 1.
It is configured to come into contact with a terminal 39 formed on the side surface of 3a.
かかる構成により、第３図に二点鎖線で示す位置にホル
ダ２８により保持されていたプローブ１３は、図示の如
くブローバハンド部２７が正対した位置に来た時にチャ
ック３４が開かれることによりプローバ１３のホルダ２
８による保持が開放され、かつ、これと同時に吸着用バ
キューム３１ａ及び３１ｂにより同図に実線で示す如く
吸着される。With this configuration, the probe 13 held by the holder 28 at the position indicated by the two-dot chain line in FIG. 13 holder 2
8 is released, and at the same time, the suction vacuums 31a and 31b suction as shown by solid lines in the figure.
また、逆にホルダ２８にプ０−バ１３を保持させるとき
は開いているチャック３４内にプローバ１３を移動した
後、チャック３４を閉じると共に吸着用バキューム３１
ａ及び３１ｂへの吸入空気を絶つことにより、ブローバ
ハンド部２７からホルダ２８ヘプローバ１３を移すこと
ができる。Conversely, when holding the prober 13 in the holder 28, the prober 13 is moved into the open chuck 34, and then the chuck 34 is closed and the suction vacuum 31
By cutting off the intake air to a and 31b, the prober 13 can be transferred from the blower hand section 27 to the holder 28.
テレビカメラ１４も上記と同様にしてプ０−バハンド部
２７とホルダ２９との間で移動させることができる。The television camera 14 can also be moved between the printer hand section 27 and the holder 29 in the same manner as described above.
なお、本発明は上記の実施例に限定されるものではなく
、例えば基準位置マーク２０を検出する手段は他の光学
的手段でもよい。Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and for example, the means for detecting the reference position mark 20 may be other optical means.
上述の如く、本発明によれば、実際のプロービング点と
基準位置マーク検出装置の測定中心点とが夫々一致し、
しかも検出装置はプロービング対象物に正対するように
取付けることができるため、従来に比べ精度の高いプロ
ービングを行なうことができる等の特長を有するもので
ある。As described above, according to the present invention, the actual probing point and the measurement center point of the reference position mark detection device respectively coincide with each other,
Moreover, since the detection device can be mounted directly facing the object to be probed, it has the advantage of being able to perform probing with higher accuracy than in the past.
第１図は本発明の原理構成図、
第２図は本発明の作用説明図、
第３図は本発明の要部の一実施例の機構図、第４図は従
来の一例の構成図、
第５図及び第６図は夫々従来の要部の各側の機構図であ
る。
図において、
１４はテレビカメラ、
１５は計算機、
１６はプ０−バ制御部、
１７は基準位置マーク読み取り部、
１８は試験部、
１９はプリント配線板
２０は基準位置マーク、
２５はプ０−バ、
２６はプロービングアーム、
２７はプ０−バハンド部、
２８はプローブ用ホルダ、
２９はテレビカメラ用ホルダ
を示す。FIG. 1 is a diagram showing the principle configuration of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the operation of the present invention, FIG. 3 is a mechanism diagram of an embodiment of the main part of the present invention, and FIG. 4 is a diagram showing the configuration of a conventional example. FIGS. 5 and 6 are mechanical diagrams of each side of the conventional main parts, respectively. In the figure, 14 is a television camera, 15 is a calculator, 16 is a printer control unit, 17 is a reference position mark reading unit, 18 is a test unit, 19 is a printed wiring board 20 is a reference position mark, and 25 is a printer controller. 26 is a probing arm, 27 is a probe hand portion, 28 is a probe holder, and 29 is a television camera holder.
Claims (1)
）を検出装置（１４）で検出して得た検出信号を読み取
り部（１７）で読み取り、計算機（１５）によりプロー
ビングの基準位置を定めた後プローバ制御部（１６）を
介してプロービングアーム（２６）を移動させ、該プロ
ービング対象物（１９）上の測定点にプローブ（１３）
をプロービングするプロービング機構において、 前記プローブ（１３）を着脱自在に保持する第１のホル
ダ（２８）と、 前記検出装置（１４）を着脱自在に保持する第２のホル
ダ（２９）と、 前記プロービングアーム（２６）の所定位置に設けられ
、該第１及び第２のホルダ（２８、２９）に保持されて
いる該プローブ（１３）及び検出装置（１４）のうち所
望の一方をそのホルダ （２８ａ、２９）の保持から解放させて保持するプロー
バハンド部（２７）と、 よりなり、該プローバハンド部（２７）により前記プロ
ーブ（１３）と前記検出装置（１４）とを交換保持する
よう構成したことを特徴とするプロービング機構。[Claims] Reference position mark (20) on probing target (19)
) is detected by the detection device (14), the detection signal obtained is read by the reading unit (17), the reference position for probing is determined by the computer (15), and then the probing arm (26 ) and place the probe (13) at the measurement point on the probing object (19).
A probing mechanism for probing the probe, comprising: a first holder (28) that removably holds the probe (13); a second holder (29) that removably holds the detection device (14); A desired one of the probe (13) and the detection device (14) provided at a predetermined position of the arm (26) and held by the first and second holders (28, 29) is moved to the holder (28a). , 29), the probe (13) and the detection device (14) are exchangeably held by the prober hand (27). A probing mechanism characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107173A JP2706512B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Probing mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107173A JP2706512B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Probing mechanism |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287164A true JPH02287164A (en) | 1990-11-27 |
| JP2706512B2 JP2706512B2 (en) | 1998-01-28 |
Family
ID=14452331
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1107173A Expired - Lifetime JP2706512B2 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | Probing mechanism |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2706512B2 (en) |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2706512B2 (en) | 1998-01-28 |
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