JPH02288384A - 気体ガスレーザ発振装置 - Google Patents
気体ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH02288384A JPH02288384A JP1109333A JP10933389A JPH02288384A JP H02288384 A JPH02288384 A JP H02288384A JP 1109333 A JP1109333 A JP 1109333A JP 10933389 A JP10933389 A JP 10933389A JP H02288384 A JPH02288384 A JP H02288384A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser
- magnet
- dust
- laser oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は気体レーザ、特に希ガスハライドエキシマレー
ザ装置の集塵器に関するものである。
ザ装置の集塵器に関するものである。
従来の技術
最近、希ガスハライドエキシマレーザは、柴外線領域に
おける高効率高出力レーザとして半導体産業、光化学分
野に於て大きな注目を集めている。
おける高効率高出力レーザとして半導体産業、光化学分
野に於て大きな注目を集めている。
中でも高出力が期待できるＸｅｃｌ （３０８ｎｍ ）
。
。
ＫｒＦ （２４８ｎｍ ）エキシマレーザは最も有力視
されている。
されている。
エキシマレーザは希ガスとハロゲンガスを封入し、放電
により励起し必要な光を放出する。
により励起し必要な光を放出する。
上記封入されるガスはハロゲンガスがＦ２゜Ｈｃｌ等が
％オーダを含有するためレーザ装置内の主電極及び予備
電離電極及びその他の構造物と反応し化学的に分解され
不純物ガスが発生する。
％オーダを含有するためレーザ装置内の主電極及び予備
電離電極及びその他の構造物と反応し化学的に分解され
不純物ガスが発生する。
また電気的回路の不整合や不純物ガスの発生量の度合に
より、放電電極間にてアーキングが発生し大電流放電を
行う。
より、放電電極間にてアーキングが発生し大電流放電を
行う。
そのため電極等からのスパッタリングに起因する固体状
の一不純物（粉塵）が発生する。
の一不純物（粉塵）が発生する。
以上の様な不純物を除去する方法として、従来ガス精製
装置を組込むことが提案されている。例えば特開昭５８
−１８６９８５号公報が示されている。
装置を組込むことが提案されている。例えば特開昭５８
−１８６９８５号公報が示されている。
この方法は電気的集塵器を設は放電により発生する固体
状の不純物（粉塵）を除去し、循環用ポンプ、及びその
連通ずるガス管路を設けて清浄なガスを発振器にもどす
提案がなされている。
状の不純物（粉塵）を除去し、循環用ポンプ、及びその
連通ずるガス管路を設けて清浄なガスを発振器にもどす
提案がなされている。
発明が解決しようとする課題
しかし、以上のような構成では不純なガスの発生や固体
状の不純物（粉塵）が発生し、レーザ発振に必要なハロ
ゲンガスの減少を意味するばかりでなく、レーザ光の吸
収及び散乱等の悪影響を及ぼし、更に各部に導電物が付
着し、絶縁特性を悪くし、時として絶縁破壊を招く、ま
た−殻内にレーザ発振器は２枚の光学窓を設はガスは封
止られるが、これらの窓に付着し窓の透過率を著しく低
下させる。その結果、レーザの出力を低下させ、最悪の
場合レーザは停止する。
状の不純物（粉塵）が発生し、レーザ発振に必要なハロ
ゲンガスの減少を意味するばかりでなく、レーザ光の吸
収及び散乱等の悪影響を及ぼし、更に各部に導電物が付
着し、絶縁特性を悪くし、時として絶縁破壊を招く、ま
た−殻内にレーザ発振器は２枚の光学窓を設はガスは封
止られるが、これらの窓に付着し窓の透過率を著しく低
下させる。その結果、レーザの出力を低下させ、最悪の
場合レーザは停止する。
また、前記した電気的な集塵方式は、最も効果的に粉塵
を集塵するためには複雑な電極形成及び配置を必要とし
、更には、レーザ主電極とは別に高圧電源−式を必要と
するため装置は複雑化し、更に高価であるという問題が
あった。
を集塵するためには複雑な電極形成及び配置を必要とし
、更には、レーザ主電極とは別に高圧電源−式を必要と
するため装置は複雑化し、更に高価であるという問題が
あった。
本発明は従来技術の以上のような問題を解決するもので
、極めて簡単な構造でしかも効率良く固体状の不純物を
除去し、レーザ出力の低下を防止し装置全体の寿命を大
きく延ばすことのできる希ガスハライドエキシマレーザ
装置を提供する。
、極めて簡単な構造でしかも効率良く固体状の不純物を
除去し、レーザ出力の低下を防止し装置全体の寿命を大
きく延ばすことのできる希ガスハライドエキシマレーザ
装置を提供する。
課題を解決するための手段
本発明は、レーザ発振器内に設けられたガス循環ファン
から主放電電極を介して、循環ファンに戻る循環流通路
内もしくは、その流通路中に強力な保持力を有する一本
ないし複数本の磁石をユニットとし配置することにより
、最も簡単な方法でしかも効率良く固体状の不純物（粉
塵）を除去することができる磁気式集塵器を設けること
により、上記目的を達成するものである。
から主放電電極を介して、循環ファンに戻る循環流通路
内もしくは、その流通路中に強力な保持力を有する一本
ないし複数本の磁石をユニットとし配置することにより
、最も簡単な方法でしかも効率良く固体状の不純物（粉
塵）を除去することができる磁気式集塵器を設けること
により、上記目的を達成するものである。
作用
本発明は上記構成により、放電により主に電極部より発
生した固体状の不純物は発振器内部循環ファンにより多
量のレーザガスに含まれて循環し循環流通路内を循環す
る際に設けられた強力な磁石に引き付けられて粉塵は付
着される。磁石部を通過したレーザガスは固体状の不純
物（粉塵）のない清浄なレーザガスとして放電部へ戻さ
れるこ玖 とになる。これにより発生した粉塵は再び吻電部へ流れ
込むことがないようにしたものである。
生した固体状の不純物は発振器内部循環ファンにより多
量のレーザガスに含まれて循環し循環流通路内を循環す
る際に設けられた強力な磁石に引き付けられて粉塵は付
着される。磁石部を通過したレーザガスは固体状の不純
物（粉塵）のない清浄なレーザガスとして放電部へ戻さ
れるこ玖 とになる。これにより発生した粉塵は再び吻電部へ流れ
込むことがないようにしたものである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。第１図は、本発明の一実施例のレーザ装置の概
略構成図である。レーザ発振器はレーザガスを封入する
ために設けられたチャンバー１内にレーザガスを循環す
る循環ファン２を設け、レーザガス３は相対向する二つ
の主放電電極４及び主電極長手方向へ複数本配置された
予備電離電極６を通過し、磁気集塵器８により不純物が
除去され、熱交換器ｅを介して再び循環ファン２に戻る
ガス循環路が形成される。固体状の不純物が形成される
過程は次のレーザ動作による。放電励起は直流高圧電源
７より０１ストレージキヤパシターに充電される、スイ
ッチＳ（通常サイラトロン素子が用いられる）を閉じる
ことによりＣ２ピーキングキャパシターに電荷は移行さ
れる。移行の際予備電離電極６を電荷は流れ数ミリのギ
ャップで放電が行なわれレーザガスは予備電離される。
明する。第１図は、本発明の一実施例のレーザ装置の概
略構成図である。レーザ発振器はレーザガスを封入する
ために設けられたチャンバー１内にレーザガスを循環す
る循環ファン２を設け、レーザガス３は相対向する二つ
の主放電電極４及び主電極長手方向へ複数本配置された
予備電離電極６を通過し、磁気集塵器８により不純物が
除去され、熱交換器ｅを介して再び循環ファン２に戻る
ガス循環路が形成される。固体状の不純物が形成される
過程は次のレーザ動作による。放電励起は直流高圧電源
７より０１ストレージキヤパシターに充電される、スイ
ッチＳ（通常サイラトロン素子が用いられる）を閉じる
ことによりＣ２ピーキングキャパシターに電荷は移行さ
れる。移行の際予備電離電極６を電荷は流れ数ミリのギ
ャップで放電が行なわれレーザガスは予備電離される。
Ｃ２の高電圧が主放電電極４間の自爆電圧に達すると主
放電を開始する。レーザ発振は図示されていないが、対
向する２つの主放電電極の中間位置に紙面と垂直方向に
全反射鏡及び出力結合境（半透過鏡）を配置することに
よりレーザ発振を行なうことができる。
放電を開始する。レーザ発振は図示されていないが、対
向する２つの主放電電極の中間位置に紙面と垂直方向に
全反射鏡及び出力結合境（半透過鏡）を配置することに
よりレーザ発振を行なうことができる。
ここで前記、予備電離電極６及び主放電電極４の表面は
放電によりスパッタリングされ破壊する。
放電によりスパッタリングされ破壊する。
この過程で固体状の不純物（粉塵）が発生し、レーザガ
スとともに発振器内（チャンバー）を循環する。したが
って下記に示す本発明の不純物除去用の磁気集塵器８は
循環ファン２の吸入側でかつ、静流側へ配置することに
より効率良く集塵を行なうことができる。実施例の様に
かならずしも静流側へ集塵器を設ける必要はなく早流側
へ配置しても同様の集塵効果を発揮する。
スとともに発振器内（チャンバー）を循環する。したが
って下記に示す本発明の不純物除去用の磁気集塵器８は
循環ファン２の吸入側でかつ、静流側へ配置することに
より効率良く集塵を行なうことができる。実施例の様に
かならずしも静流側へ集塵器を設ける必要はなく早流側
へ配置しても同様の集塵効果を発揮する。
第２図は本実施例である磁気式集塵器８の概略図を示丈
第２図ａは磁石を複数本配置した構成を示す図であり、
円筒状のステンレスパイプの中に磁石を組入れたマグネ
ットパー８１を格子状に複数本構成し、互いに空間的に
距離を持ちガスの出入口を有する密閉された外装ユニッ
ト８０に収納される。
第２図ａは磁石を複数本配置した構成を示す図であり、
円筒状のステンレスパイプの中に磁石を組入れたマグネ
ットパー８１を格子状に複数本構成し、互いに空間的に
距離を持ちガスの出入口を有する密閉された外装ユニッ
ト８０に収納される。
磁石は強力な保持力を有するため本実施例では、希土類
磁石（３，５００ガウス）を用いた。
磁石（３，５００ガウス）を用いた。
次に第２図すはマグネットパー８１を収納した外装ユニ
ッ）８０の外観図を示し、アルミ、もしくはステンレス
の外装ユニット８ｏ内にマグネットパー８１が取付けら
れて構成され、レーザガスは吸入口８２より流入し、吐
出口８３より排出する流通路をなす。したがって固体状
の不純物（粉塵）は、強力なマグネットパー８１に付着
し、清浄なレーザガスとして取出すことができる。
ッ）８０の外観図を示し、アルミ、もしくはステンレス
の外装ユニット８ｏ内にマグネットパー８１が取付けら
れて構成され、レーザガスは吸入口８２より流入し、吐
出口８３より排出する流通路をなす。したがって固体状
の不純物（粉塵）は、強力なマグネットパー８１に付着
し、清浄なレーザガスとして取出すことができる。
発明の効果
以上のように本発明は、エキシマレーザ装置において放
電域から発生する有害な粉塵を、レーザガス流通路中に
磁石を設けることにより、簡単な構成で効率良く除去す
ることができ、レーザ出力の低下の防止はもちろんのこ
とレーザ装置全体の寿命を延ばすことができ、その効果
は大きい。
電域から発生する有害な粉塵を、レーザガス流通路中に
磁石を設けることにより、簡単な構成で効率良く除去す
ることができ、レーザ出力の低下の防止はもちろんのこ
とレーザ装置全体の寿命を延ばすことができ、その効果
は大きい。
第１図は本発明一実施例のレーザ装置の構成図、第２図
（ａ）は本発明実施例である磁気式集塵器構成図、第２
図（ｂ）は磁気式集塵器外観図である。 １・・・レーザチャンバー、２・・・循環ファン、３・
・・レーザガス、４・・・主放電電極、６・・・予備電
離電極、６・・・熱交換器、７・・・直流高圧電源、８
・・・磁気式集塵器、ｅ・・・電気絶縁板、１０・・・
チャンバーカバー８０・・・外装ユニット、８１・・・
マグネットパー、８２８６．吸入口、８３・・・吐出口
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名１図 第２図
（ａ）は本発明実施例である磁気式集塵器構成図、第２
図（ｂ）は磁気式集塵器外観図である。 １・・・レーザチャンバー、２・・・循環ファン、３・
・・レーザガス、４・・・主放電電極、６・・・予備電
離電極、６・・・熱交換器、７・・・直流高圧電源、８
・・・磁気式集塵器、ｅ・・・電気絶縁板、１０・・・
チャンバーカバー８０・・・外装ユニット、８１・・・
マグネットパー、８２８６．吸入口、８３・・・吐出口
。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名１図 第２図
Claims (4)
- （１）レーザ媒質ガスを封入し、上記レーザ媒質ガスを
循環ファンを用いて循環させ、レーザ発振を生じるよう
にし、前記循環ファン、各放電電極及び熱交換器を結ぶ
レーザガス循環路閉ループ中に少なくとも１個の磁石を
配設したことを特徴とする気体ガスレーザ発振装置。 - （２）磁石は円筒状のパイプに封じられたマグネットパ
ーであることを特徴とする請求項１記載の気体ガスレー
ザ発振装置。 - （３）磁石は、前記レーザガス循環閉ループ内に流量を
損失せず、空間的な距離を持つて配設されることを特徴
とする請求項１記載の気体ガスレーザ発振装置。 - （４）磁石は、気体ガスの流出入口を有する密閉された
容器内に配設されていることを特 徴とする請求項１記載の気体ガスレーザ発 振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10933389A JPH0714092B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 気体ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10933389A JPH0714092B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 気体ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02288384A true JPH02288384A (ja) | 1990-11-28 |
| JPH0714092B2 JPH0714092B2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=14507567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10933389A Expired - Fee Related JPH0714092B2 (ja) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | 気体ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0714092B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07111349A (ja) * | 1993-10-14 | 1995-04-25 | Hamamatsu Photonics Kk | ガスレーザ装置 |
| CN106972342A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-07-21 | 福州紫凤光电科技有限公司 | 一种倍频晶体防尘结构及紫外激光器 |
-
1989
- 1989-04-28 JP JP10933389A patent/JPH0714092B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07111349A (ja) * | 1993-10-14 | 1995-04-25 | Hamamatsu Photonics Kk | ガスレーザ装置 |
| CN106972342A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-07-21 | 福州紫凤光电科技有限公司 | 一种倍频晶体防尘结构及紫外激光器 |
| CN106972342B (zh) * | 2017-02-27 | 2023-06-02 | 福州紫凤光电科技有限公司 | 一种倍频晶体防尘结构及紫外激光器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0714092B2 (ja) | 1995-02-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |