JPH0228847U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例装置の右半部を示す
斜視図、第２図は同じく左半部を示す斜視図、第
３図は基板保持部の平面図、第４図は同じく側面
図、第５図は本搬送経路とバイパス経路とを示す
略図、第６図は基板保持具の実施例を示す斜視図
である。 １……基台、８……ガイドレール、９……摺動
台、１１……水平駆動用モーター、１８……昇降
駆動軸、１９……昇降梁、２０……エアシリンダ
、２４……昇降ガイド軸、２７……軸受板、２８
……スプライン管軸、２９……スプライン軸、３
０……クランク、３１……カムローラ、３２……
開閉駆動用バー、３３……腕、３６……エアシリ
ンダ、３８，３９……リンク腕、４１，４２……
基板支持バー、４５，４６……基板保持用爪、４
７……保持板。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 被処理基板の搬送方向に沿つて架設したガイド
   レールと、 該ガイドレールに摺動可能に装着した摺動台と
   、 該摺動台を前記ガイドレールに沿つて往復駆動
   する駆動手段と、 前記ガイドレールに平行に、かつ、昇降可能に
   架設した昇降梁と、 該昇降梁を昇降駆動する昇降駆動手段と、 前記摺動台に垂直方向に嵌着され、前記昇降梁
   に当接して、昇降梁に従動して昇降する昇降ガイ
   ド軸と、 該昇降ガイド軸の上端に水平に固着された軸受
   板と、 該軸受板に垂直方向に枢着され、その上端が軸
   受板の上面に突出し、かつ、下方の垂下部にスプ
   ラインを形成したスプライン軸と、 前記摺動台に垂直方向に枢着され、上端部が前
   記スプライン軸に係合するスプライン管軸と、 該スプライン管軸の下端に固着され、その先端
   部の下面にカムローラを軸支したクランクと、 前記軸受板の上面に配置され、前記スプライン
   軸により駆動される平行リンクにより、互いに逆
   方向に移動するように支持され、先端部に基板保
   持具を装着した長短一対の基板支持バーと、 前記ガイドレールに平行な位置を保持して前後
   方向に移動するように設定され、その上面に前記
   クランクのカムローラが係合する係合部を長さ方
   向に形成した開閉駆動用バーと、 該開閉駆動用バーを前後方向へ移動させる開閉
   駆動手段とを、備えてなる基板搬送装置。