JPH02289438A - 光ファイバ母材の製造用チャンバ - Google Patents
光ファイバ母材の製造用チャンバInfo
- Publication number
- JPH02289438A JPH02289438A JP10603289A JP10603289A JPH02289438A JP H02289438 A JPH02289438 A JP H02289438A JP 10603289 A JP10603289 A JP 10603289A JP 10603289 A JP10603289 A JP 10603289A JP H02289438 A JPH02289438 A JP H02289438A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall
- chamber
- optical fiber
- gap
- exhaust duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、外付は法による光ファイバ母材製造用チャ
ンバに関するもので、火炎加水分解反応、もしくは熱酸
化反応により生成され、デポジション時の熱による上昇
気流に乗ってチャンバ内上部に舞い上がったガラス微粒
子を首尾よく外部に排気しつる構造を提供するものであ
る。
ンバに関するもので、火炎加水分解反応、もしくは熱酸
化反応により生成され、デポジション時の熱による上昇
気流に乗ってチャンバ内上部に舞い上がったガラス微粒
子を首尾よく外部に排気しつる構造を提供するものであ
る。
（従来の技術）
従来のこの種のチャンバにおいては、そのバーナ取付は
側と対向する側に排気口を設け、出発部材に付着堆積し
なかったガラス微粒子を排気口から排気ダクトへ導き、
スクラバで引くことにより処理していた。
側と対向する側に排気口を設け、出発部材に付着堆積し
なかったガラス微粒子を排気口から排気ダクトへ導き、
スクラバで引くことにより処理していた。
（発明が解決しようとする課題）
上記のような装置により、大部分のガラス微粒子はデポ
ジション時の熱による上昇気流に乗り上方へと舞い上が
りチャンバ土壁に付着堆積する。
ジション時の熱による上昇気流に乗り上方へと舞い上が
りチャンバ土壁に付着堆積する。
ダクトの引き圧が何らかの原因で低下したときにはこの
ような現象は著しくなり、チャンバ上壁に付着堆積した
ガラス微粒子のかたまりが堆積中の母材上に落下して母
材を破損させたり、直接落下しなくても一旦チャンバ底
部に落ちて汚染し、再度舞い上がり母材に付着して不純
物を混入させるという問題があった。また、デポジショ
ン終了毎にチャンバ内の掃除をしなければならず不便で
あった。
ような現象は著しくなり、チャンバ上壁に付着堆積した
ガラス微粒子のかたまりが堆積中の母材上に落下して母
材を破損させたり、直接落下しなくても一旦チャンバ底
部に落ちて汚染し、再度舞い上がり母材に付着して不純
物を混入させるという問題があった。また、デポジショ
ン終了毎にチャンバ内の掃除をしなければならず不便で
あった。
（課題を解決するための手段）
この発明は１以上の観点からチャンバ上部に舞い上がっ
たガラス微粒子を首尾よ（処理するようにしたもので、
その特徴とするところは外付は法による光ファイバ母材
製造用チャンバであって、その上壁が相互間に間隙を有
する内外２重壁で構成され、その内壁に多数のガラス微
粒子挿通孔が形成されるとともに、その内外両壁でつく
る間隙を排気ダクトと連通させてなるチャンバにある。
たガラス微粒子を首尾よ（処理するようにしたもので、
その特徴とするところは外付は法による光ファイバ母材
製造用チャンバであって、その上壁が相互間に間隙を有
する内外２重壁で構成され、その内壁に多数のガラス微
粒子挿通孔が形成されるとともに、その内外両壁でつく
る間隙を排気ダクトと連通させてなるチャンバにある。
（作用）
デポジション時の熱による上昇気流に乗ってチャンバ内
上部に舞い上がったガラス微粒子は、チャンバ上壁の内
壁に形成された多数の孔を通って内外両壁でつくる間隙
を経て排気ダクトに導かれるので、舞い上がったガラス
微粒子が落下して母材に付着することがない。
上部に舞い上がったガラス微粒子は、チャンバ上壁の内
壁に形成された多数の孔を通って内外両壁でつくる間隙
を経て排気ダクトに導かれるので、舞い上がったガラス
微粒子が落下して母材に付着することがない。
（実施例）
第１図は、この発明による光ファイバ母材製造用チャン
バの概略説明図を示したもので、ｌは全体として箱型で
、両端ならびに後述するバーナ対向側が開放されたチャ
ンバで、底壁１０、上壁１２そ備えており、上壁１２は
内壁１４と外壁１６とからなる２重構造になされていて
、この内外両壁１４．１６により間隙１８を形成してい
る。２０は内壁１４に形成された多数の孔で、後述する
舞い上がったガラス微粒子をトラップするためのもので
ある。２はチャンバ１と連通ずる排気ダクト、３は上記
間隙１８と連通ずる排気ダクトである。４はチャンバｌ
内に挿通されその軸の回りに回転自在に支承されるとと
もにその軸方向のトラバースされる出発部材、５はその
周りに堆積された光ファイバ用多孔質ガラス母材、６は
バーナで、火炎加水分解もしくは熱酸化反応によりガラ
ス微粒子７を生成させるためのものである。
バの概略説明図を示したもので、ｌは全体として箱型で
、両端ならびに後述するバーナ対向側が開放されたチャ
ンバで、底壁１０、上壁１２そ備えており、上壁１２は
内壁１４と外壁１６とからなる２重構造になされていて
、この内外両壁１４．１６により間隙１８を形成してい
る。２０は内壁１４に形成された多数の孔で、後述する
舞い上がったガラス微粒子をトラップするためのもので
ある。２はチャンバ１と連通ずる排気ダクト、３は上記
間隙１８と連通ずる排気ダクトである。４はチャンバｌ
内に挿通されその軸の回りに回転自在に支承されるとと
もにその軸方向のトラバースされる出発部材、５はその
周りに堆積された光ファイバ用多孔質ガラス母材、６は
バーナで、火炎加水分解もしくは熱酸化反応によりガラ
ス微粒子７を生成させるためのものである。
以上の構成において、バーナ６により生成されたガラス
微粒子７は、出発部材令の周りに付着堆積されて光ファ
イバ用多孔質ガラス母材５を形成する。この時付着堆積
しなかったガラス微粒子の一部は排気ダクト２に導かれ
るが、また一部は上昇気流に乗って上壁１２に向かう。
微粒子７は、出発部材令の周りに付着堆積されて光ファ
イバ用多孔質ガラス母材５を形成する。この時付着堆積
しなかったガラス微粒子の一部は排気ダクト２に導かれ
るが、また一部は上昇気流に乗って上壁１２に向かう。
そして上壁１２の内壁１４に設けられた多数の孔２０に
トラップされ間隙１８を通って排気ダクト３に導かれる
。
トラップされ間隙１８を通って排気ダクト３に導かれる
。
なお、上記実施例において、出発部材４を「ト・、パー
スしたが、出発部材十をトラバースせずにバーナ６とチ
ャンバｌとをトラバースするようにしてもよい。
スしたが、出発部材十をトラバースせずにバーナ６とチ
ャンバｌとをトラバースするようにしてもよい。
（発明の効果）
この発明は、以上のようにチャンバ内において上方に舞
い上がったガラス微粒子を２重構造の土壁の内壁に設け
た多数の孔から内壁と外壁との間の間隙に導き排気する
ようにしたので、製造中の母材上に落下することがなく
母材の破損、ならびに再付着による不純物の混入を阻止
することができる。
い上がったガラス微粒子を２重構造の土壁の内壁に設け
た多数の孔から内壁と外壁との間の間隙に導き排気する
ようにしたので、製造中の母材上に落下することがなく
母材の破損、ならびに再付着による不純物の混入を阻止
することができる。
第１図は、この発明の光ファイバ製造用チャンバの断面
図０図においてｌ：チャンバ、１２：土壁、１４：内壁
、２０：孔。 第１図 特許出願人 藤倉電線株式会社 代理人 弁理士 竹 内 守
図０図においてｌ：チャンバ、１２：土壁、１４：内壁
、２０：孔。 第１図 特許出願人 藤倉電線株式会社 代理人 弁理士 竹 内 守
Claims (1)
- 外付け法による光ファイバ母材製造用チャンバであって
、その上壁が相互間に間隙を有する内外２重壁で構成さ
れ、その内壁に多数のガラス微粒子挿通孔が形成される
とともに、その内外両壁でつくる間隙を排気ダクトと連
通させてなることを特徴とする光ファイバ母材の製造用
チャンバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10603289A JPH02289438A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 光ファイバ母材の製造用チャンバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10603289A JPH02289438A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 光ファイバ母材の製造用チャンバ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02289438A true JPH02289438A (ja) | 1990-11-29 |
Family
ID=14423298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10603289A Pending JPH02289438A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 光ファイバ母材の製造用チャンバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02289438A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10111733A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung eines SiO¶2¶-Rohlings |
| US20120024012A1 (en) * | 2010-08-02 | 2012-02-02 | Fujikura Ltd. | Optical fiber preform manufacturing apparatus and optical fiber preform manufacturing method |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP10603289A patent/JPH02289438A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10111733A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Heraeus Quarzglas | Verfahren zur Herstellung eines SiO¶2¶-Rohlings |
| DE10111733B4 (de) * | 2001-03-09 | 2007-02-08 | Heraeus Tenevo Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines SiO2-Rohlings |
| US20120024012A1 (en) * | 2010-08-02 | 2012-02-02 | Fujikura Ltd. | Optical fiber preform manufacturing apparatus and optical fiber preform manufacturing method |
| CN102408192A (zh) * | 2010-08-02 | 2012-04-11 | 株式会社藤仓 | 光纤母材制造装置以及光纤母材制造方法 |
| US8881554B2 (en) * | 2010-08-02 | 2014-11-11 | Fujikura Ltd. | Optical fiber preform manufacturing apparatus and optical fiber preform manufacturing method |
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