JPH02289468A - セラミックス焼結方法 - Google Patents
セラミックス焼結方法Info
- Publication number
- JPH02289468A JPH02289468A JP1107997A JP10799789A JPH02289468A JP H02289468 A JPH02289468 A JP H02289468A JP 1107997 A JP1107997 A JP 1107997A JP 10799789 A JP10799789 A JP 10799789A JP H02289468 A JPH02289468 A JP H02289468A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintering
- cylindrical
- ceramics
- molded
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 238000005245 sintering Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 239000010439 graphite Substances 0.000 abstract description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract description 2
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 abstract description 2
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 abstract description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000002671 adjuvant Substances 0.000 abstract 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021431 alpha silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Tubular Articles Or Embedded Moulded Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、円筒状セラミックス成形体の焼結時に使用し
、形状の良好な高密度円筒状セラミックス焼結体を安定
し、容易に得るための焼結用治具に関する。
、形状の良好な高密度円筒状セラミックス焼結体を安定
し、容易に得るための焼結用治具に関する。
[従来の技術1
近年セラミックスの優れた特性に着目され、各口分野に
セラミックス部品が使用されている。
セラミックス部品が使用されている。
例えば、炭化ケイ素焼結体を利用した軸受けやメカニカ
ルシール等の実用化が盛んに行なわれており、これらに
ついては寸法精度、特に真円度が良好であることが要求
されている。
ルシール等の実用化が盛んに行なわれており、これらに
ついては寸法精度、特に真円度が良好であることが要求
されている。
従来は、焼結により直ちに真円度の良好なセラミックス
を得ることが困難であったため1通常、焼結後研削加工
等の機械的な手段を用いて真円度の良好なセラミックス
製品、例えば、セラミックス製の軸受けやメカニカルシ
ール等を製造していた。
を得ることが困難であったため1通常、焼結後研削加工
等の機械的な手段を用いて真円度の良好なセラミックス
製品、例えば、セラミックス製の軸受けやメカニカルシ
ール等を製造していた。
[発明が解決しようとする課題]
研削加工等では加工費が高(、量産性に欠け。
また、特に炭化ケイ素焼結体の場合は硬度が高く、ダイ
ヤモンド砥石を用いても容易に研削することができず、
製造に長時間を要した。
ヤモンド砥石を用いても容易に研削することができず、
製造に長時間を要した。
[課題を解決するための手段J
本発明者は安定層(、安価に真円度の良好な円筒状セラ
ミックス焼結体を得るべく検討した結果、円筒状セラミ
ックス成形体の内部に、該成形体の焼結収縮後の内径と
ほぼ同寸法の外径を有し、かつ軸方向にわずかにテーパ
ーが設けられている柱状又は円筒状の治具を挿入し、焼
結することを特徴とするセラミックス焼結方法を見出し
た。
ミックス焼結体を得るべく検討した結果、円筒状セラミ
ックス成形体の内部に、該成形体の焼結収縮後の内径と
ほぼ同寸法の外径を有し、かつ軸方向にわずかにテーパ
ーが設けられている柱状又は円筒状の治具を挿入し、焼
結することを特徴とするセラミックス焼結方法を見出し
た。
本発明についてセラミックス焼結体として、炭化ケイ素
を例として説明する。
を例として説明する。
まず、本発明が使用される成形体について述べる。
炭化ケイ素微粉末に、メチルセルローズ、ポリビニルア
ルコール等の結合剤、BおよびC等の焼結助剤を所定量
加え、更に水を加えた後、ボールミル等で十分に混合し
てスラリーを造る。
ルコール等の結合剤、BおよびC等の焼結助剤を所定量
加え、更に水を加えた後、ボールミル等で十分に混合し
てスラリーを造る。
次に、このスラリーをスプレードライヤー等により処理
して11粒化した後、顆粒をラバープレス型等にて加圧
して円筒状の成形体を製作する。
して11粒化した後、顆粒をラバープレス型等にて加圧
して円筒状の成形体を製作する。
更に、この成形体を機械加工して真円度の高い円筒状の
セラミックス成形体を得る。
セラミックス成形体を得る。
この様にして得られた円筒状セラミックス成形体に本発
明が適用される。
明が適用される。
本発明を第1図を用いて説明する。第1図は円筒状セラ
ミックス成形体を2段に積重ねて焼結する場合の配置図
である。lは前述の真円度の高い円筒状セラミックス成
形体で、黒鉛板等のセッター4上に配設し、更に、円筒
状セラミックス成形体の中空部2の中心に本発明である
焼結用治具3をセッター4上に配設し、焼結する。
ミックス成形体を2段に積重ねて焼結する場合の配置図
である。lは前述の真円度の高い円筒状セラミックス成
形体で、黒鉛板等のセッター4上に配設し、更に、円筒
状セラミックス成形体の中空部2の中心に本発明である
焼結用治具3をセッター4上に配設し、焼結する。
第1図の様に成形体を段重ねする際は、成形体どうしが
焼結時接着しない様に黒鉛粉末6を成Jf5体間に配置
するのが好ましい。
焼結時接着しない様に黒鉛粉末6を成Jf5体間に配置
するのが好ましい。
この様にして4設された円筒状セラミックス成形体を例
えば、炭化ケイ素の場合には1900〜2100℃で2
〜3時間焼結することにより、真円度の良好な高密度円
筒状セラミックスを得ることが出来ると共に焼結用治具
にテーパーを付けであるため容易に焼結用治具より円筒
状セラミックスとを離脱することができる。
えば、炭化ケイ素の場合には1900〜2100℃で2
〜3時間焼結することにより、真円度の良好な高密度円
筒状セラミックスを得ることが出来ると共に焼結用治具
にテーパーを付けであるため容易に焼結用治具より円筒
状セラミックスとを離脱することができる。
焼結用治具の軸方向に望けるテーパーは、0.5/1,
000〜I/1,000程度のわずかなテーパーで十分
に焼結体と離脱ができる。
000〜I/1,000程度のわずかなテーパーで十分
に焼結体と離脱ができる。
また、円筒状セラミックス成形体の内部に配置される焼
結用治具の外径は、当該成形体の焼結後に於ける内径と
ほぼ同寸法である必要があり、通常、その差は±0.5
%程度である。
結用治具の外径は、当該成形体の焼結後に於ける内径と
ほぼ同寸法である必要があり、通常、その差は±0.5
%程度である。
本発明の適用できるセラミックスとしては炭化ケイ素、
アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミ等、通常用いられて
いる範囲のセラミックスが全て適用できる。
アルミナ、窒化ケイ素、窒化アルミ等、通常用いられて
いる範囲のセラミックスが全て適用できる。
[実施例]
以下、本発明を実施例にて説明する。
実施例1
平均粒子径が(1,45LLa*のα−炭化ケイ素粉末
100重量部に対し、炭化ホウ素粉末0.2重量部、カ
ーボンブラック粉末25重量部、ポリビニールアルコー
ル2.5重量部添加し、更に水を加え、ボールミル中2
0時間部合し、35%濃度のスラリーを造りスプレード
ライヤーにて顆粒を製造した。
100重量部に対し、炭化ホウ素粉末0.2重量部、カ
ーボンブラック粉末25重量部、ポリビニールアルコー
ル2.5重量部添加し、更に水を加え、ボールミル中2
0時間部合し、35%濃度のスラリーを造りスプレード
ライヤーにて顆粒を製造した。
この顆粒を湿式ラバープレスにより1000kg/cr
n”の圧力で円筒状の成形体を作り、次に旋盤で加工し
て、外径120mm、内径90mm、高さ60IIII
I+の円筒体とした。
n”の圧力で円筒状の成形体を作り、次に旋盤で加工し
て、外径120mm、内径90mm、高さ60IIII
I+の円筒体とした。
この円筒体2個および黒鉛製焼結用治具、黒鉛製セッタ
ーを第1図に示すように焼結炉に配設した。
ーを第1図に示すように焼結炉に配設した。
この様にした後に炉内を加熱し、アルゴン雰囲気中20
80℃、3時間の焼結を行なった。
80℃、3時間の焼結を行なった。
この焼結体即ち円筒状炭化ケイ素焼結体の内径の最大径
と最小径の差は0.08n++wであった。
と最小径の差は0.08n++wであった。
比較例1
実施例1において、黒鉛製セッター上に円筒状炭化ケイ
素成形体を載せただけで実施例1と同様に処理して円筒
状炭化ケイ素焼結体を得た。
素成形体を載せただけで実施例1と同様に処理して円筒
状炭化ケイ素焼結体を得た。
この焼結体の内径の最大径と最小径の差は06mmであ
り、本発明の焼結用治具を使用した場合に比べて数段大
きかった。
り、本発明の焼結用治具を使用した場合に比べて数段大
きかった。
〔発明の効果1
円筒状セラミックス成形体の本発明の治具を用いた焼結
によって得られた円筒状セラミックスは真円度がきわめ
て高く、所定寸法どうりであり、面粗度等の指示の無い
場合、通常何らの機械加工を必要としない。しかも手段
が簡単であるため簡便に迅速にしかも大川に1円筒状セ
ラミックスを製造することが出来る。
によって得られた円筒状セラミックスは真円度がきわめ
て高く、所定寸法どうりであり、面粗度等の指示の無い
場合、通常何らの機械加工を必要としない。しかも手段
が簡単であるため簡便に迅速にしかも大川に1円筒状セ
ラミックスを製造することが出来る。
第1図は本発明の焼結用治具3を用いて円筒状セラミッ
クス成形体lを2段に積重ねて焼結する場合の配置図で
ある。 1・・・・・−円筒状セラミックス成形体2・・・・・
・成形体lの中空部 3・・・・−焼結用治具 4・・−・・・セッター 5・・・・・−焼結用治具3に設けられたテーパー6・
・−・・・黒鉛粉末等の敷粉
クス成形体lを2段に積重ねて焼結する場合の配置図で
ある。 1・・・・・−円筒状セラミックス成形体2・・・・・
・成形体lの中空部 3・・・・−焼結用治具 4・・−・・・セッター 5・・・・・−焼結用治具3に設けられたテーパー6・
・−・・・黒鉛粉末等の敷粉
Claims (1)
- 円筒状セラミックス成形体の内部に、該成形体の焼結
収縮後の内径とほぼ同寸法の外径を有し、かつ軸方向に
わずかにテーパーが設けられている柱状又は円筒状の治
具を挿入し、焼結することを特徴とするセラミックス焼
結方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107997A JPH02289468A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | セラミックス焼結方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1107997A JPH02289468A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | セラミックス焼結方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02289468A true JPH02289468A (ja) | 1990-11-29 |
Family
ID=14473367
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1107997A Pending JPH02289468A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | セラミックス焼結方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02289468A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5036509A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-05 | ||
| JPS50123706A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-29 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1107997A patent/JPH02289468A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5036509A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-05 | ||
| JPS50123706A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2722182B2 (ja) | 三様式の細孔構成を有する多孔性SiCのベアリング材料及びその製造方法 | |
| JPH02145484A (ja) | 窒化珪素焼結体 | |
| JP3987719B2 (ja) | 多孔性ビトリファイド砥石の製造方法及び気孔形成剤 | |
| JPH02289468A (ja) | セラミックス焼結方法 | |
| JPH1072249A (ja) | アルミナ系セラミック焼結体及びアルミナ系セラミック部品 | |
| JP3853197B2 (ja) | セラミックボール素球及びその製造方法 | |
| JPH03137063A (ja) | セラミックスの焼結方法 | |
| JP3970394B2 (ja) | 炭化珪素質焼結体の製造方法 | |
| JPH06229422A (ja) | セラミック製ころがり軸受部材の製造方法 | |
| JP3406415B2 (ja) | セラミック素材及びこれを利用したセラミック製品の製造方法 | |
| JPH0571533B2 (ja) | ||
| JP2736900B2 (ja) | セラミックス多孔体とその製造方法 | |
| EP0391547B1 (en) | Method of manufacturing ceramic products | |
| JPH02129056A (ja) | セラミック球体の製造方法 | |
| JP3380703B2 (ja) | セラミックボールの製造方法 | |
| JPS6011261A (ja) | セラミツクス焼結体の製造方法 | |
| KR100318503B1 (ko) | 강구 가공용 레지노이드 연삭숫돌의 제조방법 | |
| Ji et al. | Process parameters in grinding of Si3N4 ceramics with virtrified bond diamond grinding wheel | |
| JPS62119169A (ja) | 円筒状セラミツクス原料成形体の焼結方法 | |
| JPS61136762A (ja) | 粗球体製造方法 | |
| JP2005123556A (ja) | ウエーハ研磨用吸着プレート | |
| JPH02255571A (ja) | 易加工性セラミックス | |
| JPS58132447A (ja) | セラミツク成形体の機械加工法 | |
| JPH03103363A (ja) | セラミックス成形体の焼結方法および焼結用治具 | |
| JPS6357204A (ja) | 球体の製造方法 |