JPH02290202A - 液体からの溶存ガスの脱気方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体中に溶存しているガス（気体）の脱気方
法に関し、詳しくは種々の液体中に熔存しているガスを
特定の物性値を有する透過膜を用いて効率よく脱気する
方法に関する。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕液体の
使用上、脱気を必要とする分野は非常に多い。　例えば
分析機器関連としては液体クロマトグラフィー、自動臨
床化学分析、医用分光光度計等の脱気がある。　また工
業用用途としては、イオン交換水プロセス、超純水シス
テム、ボイラー用水、原発用水、タービン用水等の脱気
がある。

例えば、液体クロマトグラフィーでは、溶媒に空気が溶
存していると、ボンブ内、弁周辺、検知器内に気泡が生
じトラブルの原因となる。　また溶存酸素は溶質と化学
反応を起こす可能性もある。

自動臨床化学分析では、検体量の少量化に伴い、わずか
の溶存酸素も分析精度に悪影響を及ぼず。

また分光光度計では紫外短波長領域における溶存酸素等
による吸収の影響が大きい。　一方、イオン交換水プロ
セスでは液体中の溶存酸素や炭酸ガスがイオン交換樹脂
の寿命を短くする。　さらにボイラー用水、原発用水で
は溶存酸素が容器、配管等の腐食を促進する。

従来より液体中の溶存ガスを脱気ずるために、例えば加
熱沸騰法、減圧法、超音波法、ヘリウム法等の方法が知
られている。　　しかしながら加熱沸騰法は高温操作の
ため危険性が高《、減圧法および超音波法は脱気能力が
低く、ヘリウム法は運転費が高いなど決して効果的、経
済的な方法ではなかった。

さらに詳しく述べると、例えばボイラー用水中に溶存し
ているガス、主に溶存酸素は、ボイラープレボイラー系
の特に孔食の主原因になるので、それを除去する処理が
必要になる。　かかる脱酸素には、脱気器を用いて加熱
沸騰法や真空法等により機械的に脱酸素する方法と、溶
存酸素を化学的に還元する例えばヒドラジンや亜硫酸ナ
１・リウム等の脱酸素剤を注入する方法があり、これら
の方法を併用しなければ脱酸素効率を大きくすることが
できず、特に中高圧ボイラーには不可欠の処理である。

また飲料水やビル給水中に溶存しているガス、主に溶存
酸素は、給水管の腐蝕の主原因であり、この腐蝕が赤水
の発生へとつながる。　赤水は味などの感覚的問題や洗
濯物の着色などの障害をＬｊえるため、その発生が認め
られた場合は何らかの対策を検討する必要が生じる。　
現在、かかる赤水対策として給水管の敷設替え、ライニ
ングによる管更迭、給水用防錆剤の連続注入等が行われ
ている。　これら赤水発生防止対策は、いずれも経済性
、確実性、安全性などの面で必ずしも十分とは言えず、
各種の制約を伴う。　従って、安価で簡便かつ確実な防
止方法が望まれている。

また従来、超純水システムにおける脱気の目的は大きく
分けて２種類ある。　その一つはイオン交換プロセス中
の陰イオン交換樹脂の寿命を延ばずための脱溶存炭酸ガ
スであり、もう一つは超純水中での生閑の発生を抑制す
るための脱溶存酸素である。　半導体の製造において、
メモリー容鼠が２５６Ｋビットレベルまでは、上記の目
的のための溶存酸素濃度（以下、ＤＯ値という）として
は、０．５ｐｐｍレベルで十分であった。　その結果、
脱気方法として真空脱気方法が用いられてきた。

しかし近年、メモリー容量が更に大きい４Ｍビット、１
６Ｍビットの半導体が開発されつつある。

これら大容量の半導体の製造においては、脱気の目的と
して上記の２点以外に、溶存酸素によるシリコンウエハ
ー上の酸化被膜形成を防止する点が加わっている。　こ
の溶存酸素によるシリコンウエハーの酸化を防止するた
めには、ＤＯ値として０．０１〜０．０５ｐｐｎ＋が要
求される。　さらにユースボインＩ・付近での脱気を行
なう必要があるため、脱気装置としても比較的小型の装
置が要求される。

しかしながら従来の真空脱気装置では脱溶存酸素能ノＪ
が不十分であり、また装置サイズもかなり大きくなると
いう欠点があった。

マタ、一般にビール、ジュース、コーヒー等の飲料製造
に使用する原料水やそれらの製造工程で使用する水であ
る飲料製造用水は、製品の劣化、酸化を防止ずるために
溶存酸素を除去しかつ無菌のものが望ましい。

従来、このような目的に使用する水を造るため、加熱沸
騰法、減圧法、二酸化炭素ガス又は二酸化炭素ガスと不
活性ガスの混合ガスを被処理水に接触させる方法等で被
処理水を脱気する方法が知られている。

しかしながら、加熱沸騰法では、水中の溶存酸素を０．
ｈρｍ程度にするには被処理水を１０４℃以Ｌに加熱ず
るごとが必要であり、この加熱によりエネルギーコスト
が高くなり、さらに長時間の運転により装置の各部にス
ケールが沈着し、その洗浄に多大な労力を必要とする。

　減圧法は、水中の熔存酸素を０．２ｐｐｍ程度までし
か減少させることができず脱気能力が低いという欠点が
あった。　また二酸化炭素ガスを被処理水に接触させる
方法は、水中の溶存酸素を０，ｌｐｐｍ程度にするには
装置内にラノシヒリニグ等の充填材をつめ、かつ温度を
７０℃程度の高温にすることが必要であり、この充填材
を洗浄するのに大変な労力を必要とする。　またコーヒ
ー等の抽出用水に使用した場合、水中に酸化炭素が溶解
しているため、美味で風味豊かなコーヒーが得られない
。　また二酸化炭素ガスと不活性ガスの混合ガスを被処
理水に接触させる方法では、水中の溶存酸素を０．０５
ｐｐｍ程度にするには、被処理水を１０１℃以上に加熱
することが必要であり、この場合も加熱によるエネルギ
ーコストが高くなるうえ、上記と同様に美味で風味豊か
なコーヒーが得られないという問題があった。

以上に述べた如く、脱気を必要とする分野は非常に多く
、いずれの分野においても満足できる脱気方法はなかっ
た。

近年、シリコーン、ポリテトラフルオ口エチレン等の合
成樹脂からなるチューブ（中空）状の膜を用いた脱気方
法が提案されている（特開昭６０２５５１４号、実開昭
６３−　４３６０９号等）。

しかしながら、かかる合成樹脂からなる薄膜は機械的強
度上及び成形上限界があり、実用的に脱気用膜として使
用するには、経済効率を決定する脱気速度が小さくなる
ほど膜厚を大きくしなければならないという問題があっ
た。

〔課題を解決するだめの手段〕

本発明者らは、種々の液体中に溶存しているガス（気体
）の脱気における前記問題点を解決するために鋭意研究
した結果、溶存ガスを含む液体を、特定の膜物性を有す
る透過膜で処理するごとによって、効率よく溶存ガスを
脱気することができることを見い出して、本発明に至っ
たものである。

即ち本発明は、膜の物性値とし゛ζ、３０″Ｃにおける
窒素ガス透過速度が７Ｘ１０−４〜２×１０２Ｎｍ２／
ｍ２ＸｌＯ”Ｎｒｒｆ／イ・ｈ・ａｔｍであり、かつ膜
の透過側圧力を４０皿ｈｇとし大気圧下２０℃の水を膜
に供給した場合に膜を透過してくる水蒸気最が１００ｇ
／ｎ？・ｈ以下である透過膜に、溶存ガスを含む液体を
接触させ、上記溶存ガスを選択的に透過させてこれを分
離することを特徴とする液体からの溶存ガスの脱気方法
を提供する。

本発明が適用される液体は特に限定されず、例えば、液
体クロマトグラフィー、自動臨床化学分析、医用分光光
度計等の分析機器関連、イオン交換水プロセス、半導体
製造用の超純水システム、発電用、一般産業用、船舶用
ボイラー等に用いられるホイラー用水、原発用水、ター
ビン用水等の工業用途関連に用いられる液体等が挙げら
れる。

これらの液体は通常、河川水、井水、水道水、工業用水
、局方常永等を含み、一ａにＣａ，Ｍｇ、Ｎａ，Ｋ等の
陽イオン、塩素イオン、硫酸イオン、炭酸水素イオン等
の陰イオン、生物が腐敗分解した有機物を含有している
液体である。　また、コロイド粒子、懸濁粒子等の水に
対して溶解性を示さない物質を含有している液体も含ま
れる。

また本発明は一般家庭用水道配管、ビル給水管、クーリ
ングタワー、循環水配管等の内部を流れる飲料水やビル
給水にも適用できる。

また本発明は霞油等の製造用水、ビール、酒、ジュース
、コーヒー等の飲料の製造に使用する原料水や製造工程
で使用する水にも適用できる。

本発明において溶存ガスとは、酸素、炭酸ガス、窒素、
塩素、アンモニア等である。

本発明において用いる透過膜は、特にその構造に限定さ
れないが、例えば非多孔質活性薄膜からなる均質膜や、
緻密層または活性緻密層とこれを一体に支持する多孔質
層とからなる非対称膜や、かかる非対称膜上に非多孔質
活性薄膜が形成されてなる複合）模、好ましくは非対称
膜の緻密層中に非多孔質・活性薄膜が一部しみこんで形
成されてなる複合膜等である。　ここで活性とは、溶存
ガスと液体とを分離する性質を有するという意味である
。

上記透過膜の３０℃における窒素ガス透過速度は、７　
ＸＩＯ−４〜２×１０２Ｎｍ２／ｍ２　ＸＩＯ”　Ｎ　
％／　ｒｒ（−　ｈ　・ａｔｍ　、好ましくは、３×１
０″３〜５Ｘ１０°Ｎｒｒｔ／ｒｒｔ−　ｈ　−　ａｔ
ｍである。　窒素ガス透過速度が７　ＸＩＯ−’Ｎポ／
ホ．ｈ　−　ａｔｒｓより小さい場合、溶存ガスの透過
速度、即ち脱気速度が小さ《なる恐れがあり、一方　２
ｘｌＯ”　Ｎｒｒｆ／ｍ２・ｈ・ａｔｍより大きい場合
は、液体分子の膜透過速度が増加して脱気効率が低下す
る恐れがある。

さらに前記透過膜は、その透過側圧力を４　０　ｍｍ　
Ｉｔ　ｇとし大気圧下２０℃の水を膜に供給した場合、
水蒸気の膜透過量が、１００ｇ／ｍ２・ｈ以下、好まし
くは３０ｇ／　ｒｄ・ｈ以下である。　水蒸気の膜透過
量が、１００ｇ／ｍ２−　ｈより大きい場合、その水蒸
気圧により透過側圧力が上昇し、その結果脱気速度が低
下することや、透過側に大規模な水蒸気の濃縮装置を装
備しなければならないことがあるため好ましくない。

本発明において用いる均質膜や非多孔質活性薄膜は特に
限定されないが、その３０’Ｃにおける窒素ガス透過係
数が、Ｉ　ＸＩＯ−”　Ｎｒｄ−　ｍ／ｎｆ−　ｈ　−
ａｔｍ以上、特にＩ　ＸＩＯ−’Ｎｒｒｆ−　ｍ／ｒｄ
−　ｈ　−　ａｔｍ以上が好ましい。　窒素ガス透過係
数が、１×１０−”　Ｎｒｄ−　ｍ／ｒｄ−　ｈ　−　
ａｔｍより小さい場合、薄膜化技術に限界があるため脱
気速度が小さくなる恐れがある。　上記均質膜や非多孔
質活性薄膜の具体例としては、シリコーン、ポリ（４−
メチルペンテン−１）、天然ゴム、ポリ　（２．６−ジ
メチルフエニレンオキシド、テフロン、ネオプレン、ポ
リエチレン、ボリスチレン、ポリプロピレン等が挙げら
れる。

また本発明において用いる非対称膜は特に限定されない
が、例えば芳香族ボリスルホン系、芳香族ボリアミド系
、芳香族ポリイミド系等が挙げられるが、特に耐塩素性
、耐ｐＨ性、耐熱性等の水系での耐久性を有するという
理由により、芳香族ボリスルホン系が好まし《用いられ
る。

前記透過膜の形状は特に限定されないが、中空糸状また
は平膜状が好ましく、不職布のような；ｉｂ強村上に形
成されていてもよい。

本発明において用いる均質膜は、特にその製法に限定さ
れないが、押出し成形法や圧縮成形法や射出成形法によ
って加工することで得ることができる。

また本発明において用いる複合膜もその製法に特に限定
されないが、例えば前記非対称膜の表面に合成樹脂の有
機溶剤溶液を接触させ、溶剤を蒸発揮敗させた後、常温
または必要に応じて加熱下に乾燥することにより、非対
称膜の表面に合成樹脂からなる非多孔質活性薄膜を形成
させて得るこ七ができる。

合成樹脂の有機溶液を調製するための有機溶剤は、特に
限定されず樹脂に応じて適宜に選ばれ、例えばヘキサン
、ヘブタン、オクタン、イソブタン、イソベンクン、イ
ソオクタン等の脂肪族炭化水素溶剤、メタノール、エタ
ノール、プロビルアルコール、イソブロビルアルコール
等のアルコール系溶剤等が用いられる。

また本発明においては、前記非多孔質活性薄膜にさらに
放射線を照射して３次元的に架橋するごともできる。　
かかる放射線は電離性放射線であれば特に限定されない
が、例えば電子線、α線、β線、Ｔ線、紫外線等を用い
ることができる。

このような放射線照射によって架橋密度を増大すること
ができ、かくして機械的強度等を向上させることができ
る。　かかる架橋は、例えばイソプロビルベンゾインエ
ーテル、イソブチルベンヅインエーテル等のベンゾイン
エーテル類、ペンヅフエノン、オルトベンゾイルメチル
ベンゾエート等のベンゾフエノン類、キサントン、チオ
キサントン、２−クロロチオキサントン、２−アルキル
チオキサントン等のキサントン類、アセトフェノン、ベ
ンジルジメチルケタール等のアセトフエノン誘導体頚、
ベンジル、２−エチルアントラキノン等のラジカル重合
開始剤等の存在下においても行なうことができる。

透過膜及びその膜を内蔵してなるモジュールの形状は何
ら限定されないが、通常中空糸状の膜を束ねて内蔵させ
た所謂中空糸膜モジュールが好ましく用いられる。　ま
たそれ以外にシート状の膜を巻回してなる所謂スパイラ
ル型モジュールやその他の構造のモジュールも用いるこ
とができる。

本発明の脱気方法は、前記透過膜に溶存ガスを含存する
液体を接触させて、溶存ガスを選択的に膜を透過させる
ことによって、膜の供給側に溶存ガス濃度が低減された
液体を得ることができる。

この際、透過側の圧力を減圧にすることが好ましく、そ
の圧力が小さいほど供給側により低い溶存ガス濃度の液
体を得ることができ、その圧力は通常０　〜５００　ｍ
ｍｌｇ、好ましくは２０〜１５０　ｍｍｌｌｇとする。

〔発明の効果〕

本発明の方法によれば、従来の合成樹脂のチューブを用
いた場合に比べて、種々液体の蒸気や水蒸気の膜透過を
抑えたまま脱気速度を大きくでき、かつ設備費、運転費
、メンテナンス費等が低減できるという利点がある。

液体が飲料水やビル排水の場合、さらに薬剤等の注入が
ないため安全であるという利点がある。

また液体が飲料製造用水の場合、従来の方法と比べて、
さらに加熱操作、二酸化炭素ガスや不活性ガスとの接触
操作等を省くことができるという利点がある。

また本発明によれば、例えば５〜１４ｐｐｍ程度の溶存
ガスを含有する液体、例えばボイラー用水、飲料水、ビ
ル給水、超純水、飲料製造用水等を処理した場合、供給
側に０．０１〜３　ｐｐｍ程度の溶存ガスを含有する各
種液体を、超純水の場合は０．０１〜０．０５ｐｐｍ程
度の溶存ガスを含有する超純水を効率良く経済的に得る
ことができる。

（実施例］ 以下に実施例により本発明を説明するが、本発明はこれ
ら実施例に何ら限定されるものではない。

以下において部は重量部を意味する。

実施例１ 芳香族ボリスルホン（ユニオン・カーバイド社製「ポリ
サルホンＰ　−１７００Ｊ　）１５部と平均分子量６０
０のポリエチレングリコール５部を、Ｎ−メチル−２−
ビロリドン８０部に溶解した。　　この溶液を環状ノズ
ルから中空状に押出し、水を凝固液として内側及び外側
表面から凝固させ、内径０．５５ｍｍ、外径１．００ｍ
ｍの中空糸状多孔質膜を得た。

この中空糸状多孔質膜は、その断面を走査型電子顕微鏡
で観察した結果、表面に緻密層を有し、内部へ向かうに
従って粗な多孔質構造を有し、部分的に所謂指状構造と
称される重合体の欠落部分を有する非対称膜であった。

　この中空糸状多孔質膜を１００℃で乾燥させて乾燥膜
を得、これを支持膜とした。　かかる支持膜の２５℃に
おける窒素ガス透過速度は１５Ｎ　ｒｄ／　ｎ｛．ｈ　
．ａｔｍであった。

一方、イソオクタン９０部、反応性基としてビニル基を
有する架橋性ポリジメチルシロキサンのプレポリマー１
０部及び架橋剤１部からなる溶液を７０℃で７時間加熱
して、シリコーン樹脂溶液を調製した後、これをイソオ
クタンで希釈して、樹脂濃度２．Ｑ％の溶液とした。　
前記支持膜の内側（内径側）の緻密層上に、上記架橋性
シリコーン樹脂をエアードクター法にて均一に塗布した
。　この塗膜を８０″Ｃの温度に加熱して塗膜からイソ
オクタンを蒸発除去させた後、室温で２４時間放置して
支持■タの緻密層上に架橋性シリコーン樹脂からなる活
性薄膜を有する複合膜を得た。　かかる複合膜の２５℃
における窒素ガス透過速度は、０．０３３　Ｎｒｒｆ／
ｒｄ−　ｈ　−　ａｔｍであった。

このようにして得られた膜を束ねて中空糸膜モジュール
とした。　ここで中空糸状膜の内径は０；５５ｍｍ、長
さは１００ｃｍ、本数は３６００本とした。

かかるモジュールの供給側（中空糸状膜の内径側）に、
大気圧の空気で飽和した蒸留水（２０℃で溶存酸素ガス
濃度が８．８４ｐｐｍ＞を流量ｈ！．／ｗｉｎで流し、
透過側（外径側）を４０ｍｍｔｌｇの圧力に保持した。

その脱気結果、即ち非透過液中の溶存酸素濃度と、膜を
透過する水蒸気量を第１表に示す。

実施例２ 実施例１における中空糸状多孔質膜の乾燥膜を束ねて中
空糸膜モジュールとした以外は、実施例１と同様にして
得た説気結果を第１表に示す。

実施例３ 内径１　ｍｙａ、外径２　ｍｖａ、厚さ５００ｕｍ、２
５℃における窒素ガス透過速度０．００１５Ｎｎイ／ｒ
ｄ−　ｈ　−　ａｔｍのシリコーンチューブ（信越シリ
コーン社製）の均質膜を用いて、長さ８０ｃｍ、本数２
００本のモジュールを作成した。

このモジュールに、大気圧の空気で飽和したＩ留水（２
０℃で溶存酸素ガス濃度が８．８４ｐｐｍ）を流遣５０
ｍｆ／ｍｉｎで流し、透過側（外径側）を４０ｎｕｎＨ
ｇの圧力に保持した。

その脱気結果を第１表に示す。

比較例１ 実施例ｌにおいて、芳香族ボリスルホンを１０部、Ｎ−
メチル−２−ビロリドンの重量部を８５部とした以外は
同様な方法で内径０．５５ｍｍ、外径１．ＯＯｍｍであ
り、２５℃における窒素ガス透過速度が３００Ｎｎ’！
／ボ・ｈ・ａｔｎ＋である中空糸状多孔質膜を得た。

かかる中空糸状多孔質膜を用いた以外は実施例１と同様
にして得た脱気結果を第１表に併せて示す。

実施例４ 実施例１で得たモジュールの供給側（中空糸状膜の内径
側）に、大気圧で飽和した２０℃のボイラー用水（溶存
酸素ガス濃度が８．８４ｐｐｍ）を流量ＩＱ／ｍｉｎで
流し、透過側（外径側）を４０ｍｍｌｌｇの圧力に保持
した。　その脱気結果を第１表に示す。

実施例５ 実施例４におけるボイラー用水の温度が６０℃（溶存酸
素ガス濃度が４．　２６ｐｐｍ）である以外は実施例４
と同様にして得た脱気結果を第１表に示す。

実施例６ 実施例ｌで得たモジュールの供給側（中空糸状膜の内径
側）に、大気圧で飽和した２０℃の水道水（草津市水、
溶存酸素ガス濃度が８．８４ｐｐｍ）を流量１ｊ２／ｍ
ｉｎで流し、透過側（外径側）を４０ｍｍｌｌｇの圧力
に保持した。　その脱気結果を第１表に示す。

実施例７ 実施例６における通水量が３ρ／ｍｔｎである以外は実
施例６と同様にして得た脱気結果を第１表に示す。

実施例日 実施例１で得た中空糸状多孔質膜を、１６０℃で乾燥し
た以外は実施例１と同様にして支持膜を得た。　かかる
支持膜の２５℃における窒素ガス透過速度は１０Ｎｒｒ
ｆ／ｍ２．　ｈ・ａｔｍであった。

ついで実施例１と同様にして得た複合膜の２５℃におけ
る窒素ガス透過速度は０．００７　Ｎ　ｒｄ　／　ｒｄ
　−　ｈ・ａｔｍであった。

このようにして得られた膜を束ねて中空糸膜モジュール
とした。　ここで中空糸状膜の内径は０．５５ｍｍ、長
さは１００　ｃｍ，本数は３６００本とした。

かかるモジュールを２本連結し、供給側（中空糸状膜の
内径側）に、大気圧で飽和した２０℃の超純水（？＄存
酸素ガス濃度が８．８４ｐｐｍ）を流ｆｆｉ　１．１／
　ｍ　ｉ　ｎで流し、透過側（外径側）を４０ｍｍｌｌ
（Ｈの圧ノノに保持した。　その脱気結果を第１表に示
す。

実施例９ 実施例１と同様にして、内径０．３ｍｍ、外径Ｏ。４５
胴の中空系状多孔質ｈタを得、これを１７０℃で乾燥さ
せて得られた乾燥膜を支持ｈｉとした。　かかる支持膜
の２５℃における窒素ガス透過速度は、５Ｎｒｄ／ｎ｛
−　ｈ　−　ａｔｍであった。

さらに実施例１と同様にして得た複合膜の２５℃におけ
る窒素ガス透過速度は、０．０１３　Ｎ　ｒｒ（　／　
ｒｄ・ｈ　−　ａｔｍであった。

このようにして得られた膜を束ねて中空糸膜モジュール
とした。　ここで中空系状膜の内径は０．３ｍｍ、長さ
は１００ｃｍ、本数は１６．０００本とした。

かかるモジュールの供給側（中空糸状膜の内径側）に、
大気圧で飽和した２０℃の超純水（溶存酸素ガス濃度が
８．　８４ｐｐｍ）を流量２．６ｊ２／ｍｉｎで流し、
透過側（外径側）を４０ｍｍｔｌｇの圧力に保持した。

その脱気結果を第１表に示す。

実施例１０ 実施例９において、芳香族ポリスルホンを１２部、平均
分子量６００のポリエチレングリコールを５部、そして
Ｎ−メチル−２−　ビロリレンを８３部とし、中空系状
多孔質膜の乾燥をｌ００℃で行なった以外は、実施例９
と同様の方法で、内径０、３胴、外径０，４５ｎ＋＋ｎ
であり、２５℃における窒素ガス透過速度が６０Ｎイ／
ボ・ｈ・ａｔｍである中空糸状多孔質膜を得た。　かか
る中空糸状多孔質膜を用いた以外は実施例９と同様にし
て得た脱気結果を第１表に示す。

実施例ｈ 実施例１と同様にして、内径０．３１ＴＩＩＩ１、外径
０．４５ｍの中空糸状多孔質膜を得、これを１６０℃で
乾燥させて得られた乾燥膜を支持膜とした。　かかる支
持膜の２５℃における窒素ガス透過速度は、１０Ｎｒｄ
／ｒｄ−　ｈ　−　ａｔｍであった。

さらに実施例１と同様にして得た複合膜の２５゛Ｃにお
ける窒素ガス透過速度は、０．００７　Ｎ　ｒｄ　／　
ｒイ・ｈ　−　ａｔｍであった。

このようにして得られた膜を束ねて中空系膜モジュール
とした。　ここで中空糸状膜の内径は０．３　ｍｍ、長
さは１００ｃｍ、本数は２０，　０００本とした。

かかるモジュールを２本連結し、供給側（中空糸状膜の
内径側）に、大気圧で飽和した飲料製造用水（２０℃で
溶存酸素ガス濃度が８．　８４ｐｐｍ）を流量５．２４
！／ｍｉｎで流し、透過側（外径側）を４０ｍｍｌｌｇ
の圧力に保持した。　その脱気結果、即ち非透過液中の
溶存酸素濃度、膜を透過する水蒸気量、及びスケールの
有無を第２表に示す。

実施例１２ 実施例ｈにおいて、芳香族ボリスルホンを１２部、Ｎ−
メチル−２−ピロリドンを８３部とし、中空糸状多孔質
膜の乾燥を１００″Ｃで行なった以外は、実施例１０と
同様な方法で、内径０．３ｍｍ、外径０　．　４　５　
ｍｎ＋であり、２５゛Ｃにおける窒素ガス透過速度がｌ
ｏＯＮｒｒｒ／ｒｄ−　ｈ　−　ａｔｍである中空糸状
多孔質膜を得た。

かかる中空糸状多孔質膜を用いた以外は実施例ｈと同様
にして得た脱気結果を第２表に示す。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）膜の物性値として、３０℃における窒素ガス透過
   速度が７×１０＾−＾４〜２×１０＾２Ｎｍ＾２／ｍ＾
   ２・ｈ・ａｔｍであり、かつ膜の透過側圧力を４０ｍｍ
   Ｈｇとし大気圧下２０℃の水を膜に供給した場合に膜を
   透過してくる水蒸気量が１００ｇ／ｍ＾２・ｈ以下であ
   る透過膜に、溶存ガスを含む液体を接触させ、上記溶存
   ガスを選択的に透過させてこれを分離することを特徴と
   する液体からの溶存ガスの脱気方法。
2. （２）透過膜が中空糸状または平膜状であることを特徴
   とする請求項（１）記載の溶存ガスの脱気方法。
3. （３）溶存ガスを含む液体が、ボイラー用水である請求
   項（１）記載の溶存ガスの脱気方法。
4. （４）溶存ガスを含む液体が、飲料水又はビル給水であ
   る請求項（１）記載の溶存ガスの脱気方法。
5. （５）溶存ガスを含む液体が、超純水である請求項（１
   ）記載の溶存ガスの脱気方法。
6. （６）溶存ガスを含む液体が、飲料製造用水である請求
   項（１）記載の溶存ガスの脱気方法。