JPH02293380A - 窒化ケイ素焼結セラミック物 - Google Patents

窒化ケイ素焼結セラミック物

Info

Publication number
JPH02293380A
JPH02293380A JP2096169A JP9616990A JPH02293380A JP H02293380 A JPH02293380 A JP H02293380A JP 2096169 A JP2096169 A JP 2096169A JP 9616990 A JP9616990 A JP 9616990A JP H02293380 A JPH02293380 A JP H02293380A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
weight
silicon nitride
oxide
nitride
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2096169A
Other languages
English (en)
Inventor
Roger L K Matsumoto
ロジャー・エル・ケイ・マツモト
Allan B Rosenthal
アラン・ビー・ローゼンタール
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hercules LLC
Original Assignee
Hercules LLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hercules LLC filed Critical Hercules LLC
Publication of JPH02293380A publication Critical patent/JPH02293380A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/587—Fine ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering
    • C04B35/5935—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering obtained by gas pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/645—Pressure sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64—Burning or sintering processes
    • C04B35/65—Reaction sintering of free metal- or free silicon-containing compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3206—Magnesium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3208—Calcium oxide or oxide-forming salts thereof, e.g. lime
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3205—Alkaline earth oxides or oxide forming salts thereof, e.g. beryllium oxide
    • C04B2235/3213—Strontium oxides or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3217—Aluminum oxide or oxide forming salts thereof, e.g. bauxite, alpha-alumina
    • C04B2235/3218—Aluminium (oxy)hydroxides, e.g. boehmite, gibbsite, alumina sol
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3224—Rare earth oxide or oxide forming salts thereof, e.g. scandium oxide
    • C04B2235/3225—Yttrium oxide or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/3231—Refractory metal oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3244—Zirconium oxides, zirconates, hafnium oxides, hafnates, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3246—Stabilised zirconias, e.g. YSZ or cerium stabilised zirconia
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3275—Cobalt oxides, cobaltates or cobaltites or oxide forming salts thereof, e.g. bismuth cobaltate, zinc cobaltite
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/32—Metal oxides, mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof, e.g. carbonates, nitrates, (oxy)hydroxides, chlorides
    • C04B2235/327—Iron group oxides, their mixed metal oxides, or oxide-forming salts thereof
    • C04B2235/3279—Nickel oxides, nickalates, or oxide-forming salts thereof
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/38—Non-oxide ceramic constituents or additives
    • C04B2235/3891—Silicides, e.g. molybdenum disilicide, iron silicide
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
    • C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
    • C04B2235/40—Metallic constituents or additives not added as binding phase
    • C04B2235/405—Iron group metals
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/74—Physical characteristics
    • C04B2235/77—Density
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
    • C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は窒化ケイ素焼結セラミックに関する．窒化ケイ
素は．高温強度．耐熱衝撃性，耐摩耗性，そして化学的
安定性に？？れているので．構造材料用及び電子機器材
料用として極めて重要である．従来．窒化ケイ素材料は
．次の３つの方法のいずれかによって製造されている．
すなわち，（１）高温にてケイ素粉末を直接窒化処理す
る方法；　（２）焼結助剤として知られている金属酸化
物粉末を加えることによって．市販の窒化ケイ素粉末を
高温で緻密化する方法（焼結助剤は．焼結工程時に液相
を供給することによって窒化ケイ素の緻密化を促進する
）；及び（３）市販の窒化ケイ素扮末を高温・高圧で緻
密化する方法；である。
これらの窒化ケイ素材料は．切削工具やガスタービンの
ような構造物に使用されている．しかしながら，これら
の材料は脆性破壊を起こし易いために，商業的用途にお
ける有用性が限られている．セラミックの脆性は．セラ
ミックウイスカー繊維．又は粒状物等の二次相を導入す
ることによって改良することができる．これらの添加物
は亀裂生長時にエネルギーを吸収することによって強化
剤として作用する．さらに．セラミックの機械的特性は
，相容性のある金属相を導入することによって改良する
こともできる．このようなセラミック／金属複合材料す
なわち“サーメッＩ−　（ｃｅｒ−■ｅｔｓ）”では．
金属のもつ強度と延性が，セラミックのもつ硬さ及び化
学的安定性とうまく組合わさっている．例えば米国特許
第４．３３２，９０９号明細書は．窒化ケイ素；イット
リウム．スカンジウム．セリウム，ランタン．及びラン
タニドの少なくとも１種の酸化物；並びに鉄，ニッケル
．及びコバルトの少なくとも１種の金属又は金属酸化物
；からなる組成物を開示している。多めの金属又は金属
酸化物を使用すると．これらの金属又は金属酸化物が窒
化ケイ素中において網状の連続構造を形成する．米国特
許第３．４０９，４１７号明細書は，窒化ケイ素と焼結
助剤を．鉄．コバルト，ニッケル．クロム．レニウム，
タングステン，モリブデン，又はこれらの合金で結合し
てなる，緻密な耐熱性組成物について開示している．該
組成物は．切削工具を作製するのに使用することができ
る．特開昭５８−６４　．　２７０は，少なくとも１種
の金属酸化物，少なくとも１種の金属ケイ化物，及び残
部の窒化ケイ素，．からなる混合粉末から作製される窒
化ケイ素焼結物について開示している．焼結工程時に該
金属ケイ化物が分解して．該焼結物の表面上に金ｉｎを
生成する．ロシア特許第４８５，９９９号明細書は．１
６〜２０重量％のＦ　ｅ　，　１２　〜１８　ｆｆｉ　
Ｉｔ％のＳｉ３Ｎ４フィラメント状結晶．及び残部の７
．ｒＯｔを含んだサーメット組成物（粉末混合物を熱圧
することによって作製）について開示している．上記文
献に記載されているようなサーメットは．周囲温度及び
適度な高温においては単一成分のセラミックを明らかに
凌ぐｎ械的特性上の利点を有するけれども５１０００’
ｃを越える温度においては靭性，耐摩耗耗性５及び強度
が大きく低下して，種々の構造物用として使用置きなく
なることがよくある． 本発明によれば．焼結助剤を含有した窒化ケイ素焼結セ
ラミック物が， （１）　　前記焼結セラミック物のトータル重量を基準
として． （ａ）　　窒化ケイ素を２０〜９８重量％：（ｂ）　　
Ｆｅ，　Ｎｉ，及びＣｏからなる群から選ばれる少なく
ともＩＭの金属，又はこれらの金属の酸化物もしくは合
金を１〜８０重量％；及び （　ｃ　）　　ＩＬＩＰＡＣの第２．　３，　４．　１
３各グループ．又はランタニドから選ばれる元素の少な
くとも１種の酸化物，窒化物．又はケイ酸塩を０．０２
〜２０重量％； 含む粉末混合物を作製すること，及び （２）　成分（１）（ｂ）が対応するケイ化物に転化す
るまで．非酸化性雰囲気中にて前記粉末混合物を１３０
０〜ｌ７００゜Ｃの温廣に加熱することによって前記粉
末混合物の各成分を反応させること． を特徴とする製造法によって作製される．さらに本発明
によれば，木製造法によって作製される焼結助剤を含有
した窒化ケイ素焼結セラミック物は．該セラミック物の
トータル重量を基準として．　（ａ）窒化ケイ素を２０
〜９８重量％；　（ｂ）鉄．ニッケル，及びコバルトか
らなる群から選ばれる少なくとも１種の金属のケイ化物
を！〜８０￥Ｘ量％；及び（ｃ）　　＋ｕｐａｃの第２
．　３，　４．　１３各グループ．又はランタニドから
選ばれる元素の．少なくとも１種の酸化物．窒化物，又
はケイ酸塩を０．０２〜約２０１ｉ１％：含むことを特
徴とする．本発明の製造法によって作製された焼結セラ
ミック物は，高温において高い強度，高い靭性．そして
高い硬度を有する． 本発明の製造法において使用される窒化ケイ素は，市販
のいかなる窒化ケイ素粉末でもよい．窒化ケイ素は，＆
ｌ１成物のトータル重量を基準として．２０〜９８重量
％の量にて使用される．最高５０重量％までの窒化ケイ
素を他の耐熱性化合物（化学的に安定であっても不安定
であってもよい）で置き換えることもできる．例えば，
窒化アルミニウム．窒化チタン，及び窒化ホウ素等の窒
化物；炭化ケイ素．炭化チタン，及び炭化ホウ素等の炭
化物：並びにニホウ化チタン，ニホウ化モリブデン．及
びニホウ化ジルコニウム等のニホウ化物；を使用して窒
化ケイ素を置き換えることができる．得られる複合材料
のある特定の性質が向上するように．耐熱性化合物を選
定することができる．例えば．＆ｌ１成物中に炭化チタ
ン又は炭化ケイ素を組み込むと，より硬い生成物が得ら
れる．窒化ケイ素粉末は，，ｉｎ成物のトータル重量を
基準として１〜８０重量％（好ましくは５〜２５重量％
）のＦｅ．　Ｎｉ，又はＣｏ金属と混合される．これら
の金属の酸化物もしくは合金，又はこれら金属と他の金
属との合金も使用することができる．本粉末混合物はさ
らに，Ｍｉ成物のトータル重量を基準として０．０２〜
２０１１景％（好ましくは１−１０重量％）の焼結助剤
を含む．焼結助剤の量が２０％を越えると，焼結生成物
の機械的特性が低下する．本焼結助剤は，　ＩＵＰＡＣ
の第２．　３，　４．　１３各グループの元素，又はラ
ンタニドの酸化物，窒化物，又はケイ酸塩である．アル
ミニウム，マグネシウムハフニウム，カルシウム．スト
ロンチウム．ジルコニウム．及びイットリウムの酸化物
が好ましい．この中では酸化アルミニウムが最も好まし
い．ケイ酸塩焼結助剤は，ケイ酸塩として加えることも
できるし，あるいは窒化ケイ素粉末の表面に常に存在し
ているシリカと酸化物もしくは窒化物焼結助剤との反応
によって必要に応じてその場で形成させることもできる
．窒化物焼結助剤を使用する場合，窒化ケイ素の表面に
本質的に存在しているシリカの他にさらにシリカを加え
るのが望ましいことがある．酸化物焼結助剤．窒化物焼
結助剤，又はケイ酸塩焼結助剤の最高５０ｆｆｉｌ％ま
でをｒｔｌＰＡｃ第１グループ元素の酸化物で置き換え
てるよい． 材料の成形工程時における加工助剤として．バインダー
を粉末混合物に加えることができる．適切なバインダー
としては．パラフィンや他のワックス類があるが，これ
らに限定されない．バインダーの使用量は．組成物のト
ータル重量を基準として好ましくは５重量％以下である
． 焼結生成物に最適の特性を付与するためには，初期混合
物を作製するのに使用される成分が微粉砕されていなけ
ればならない（好ましくは５ミクロン以下１も好ましく
は１ミクロン以下の粒径を有する）． 適切な品質の焼結生成物を得るためには．初期混合物中
の微細成分を完全に混合することが重要である．各成分
を充分な量の水性液体又は非水液体と共に微粉砕機中に
入れて高粘度スラリーを形成させ，そして所望の粒径に
応じて１〜４８時間微粉砕処理を施す．非水系での微粉
砕に有用な代表的液体としては．エタノール，　　１，
１．１−トリクロ口エタン，及び塩化メチレン等がある
が．これらに限定されない．必要に応じて，ハイパーマ
ー（ＨＹＰＥｌ？ＭＩｌｉｌ？）　ＫＯ−２アミン分散
剤（ＩｃＩ　アメリカズ（ＩＣＩ　Ａｍｅｒｉｃａｓ）
　）のような市販の分散剤を加えてもよい．適切な微粉
砕機としては，ボールミル．振動ミル．及びアトリッシ
ッンミル等があるが．これらに限定されない．好ましい
のはボールミルと振動ミルである． 微粉砕処理後．得られたスラリーを噴霧乾燥してさらさ
らした粉末を形成させる．粉末を２００メッシュの篩に
より篩分けすることによって凝集塊を取り除く． 本発明の粉末混合物は．加熱と圧縮を同時に行うことに
よって緻密化するのが好ましい．従って好ましい加工法
は．熱間圧縮法，熱間等圧圧縮法．及びガス圧力焼結法
である．しかしながら．冷間圧縮を行い．次いで圧力を
かけないで焼結を行った場合でも．本発明の生成物が得
られる．これら全ての方法に対して好ましい焼結温度は
１３００〜１７００゜Ｃである．焼結温度が低すぎると
．緻密化が不充分となる．焼結温度が高すぎると，窒化
ケイ素が分解する．焼結は，少なくとも１０００ｐｓ　
ｉ（７０．３ｋｇ／ｃｓ２）の圧力，最も好ましくは２
０００　〜６０００ｐｓｉ　（１４１〜４２２ｋｇ／ｃ
−りの圧力にて行うのが好ましい．金属と窒化ケイ素の
酸化を防止するために，窒素．水素．又はヘリウム等の
非酸化性雰囲気が使用される．好ましいのは窒素雰囲気
である．焼結セラミック物は．窒化ケイ素マトリックス
：窒化ケイ素マトリックス中に相互分散された金属ケイ
化物の顕＠鏡的な゜゛島（ｉｓｌａｎｄｓ）’：及び窒
化ケイ素粒子間の境界における金属酸化物相，金属窒化
物相．及び／又は金属ケイ酸塩相；から構成されている
．従来技術において開示されている材料とは異なり．本
発明の焼結物には．連続的な三次元金属相又は金属酸化
物相が存在しない．正確なメカニズムは明らかとなって
いないが．このモルホロジーは，焼結助剤によって促進
される高温不均化反応を経て起こるものと考えられる．
焼結助剤は，加熱工程時において液相を形成し，これが
窒化物及び金属（又は金属酸化物もしくは合金）に対す
る高温゛溶媒（ｓｏｌｖｅｎｔ）”として作用し，そし
て窒化ケイ素と金属との反応を促進して金属ケイ化物を
形成する．冷却すると，液状焼結助剤は，窒化ケイ素粒
界においてガラスを形成する．焼結物のＸ線回折パター
ンから，本焼結物は．窒化ケイ素と種々の化学量論の金
属ケイ化物（例えば．ＣｏＳｉｔ，　ＣｏＳｉ，及びＣ
ｏｔＳｉ等の組合わせ）を含んだ複合物であることがわ
かる． 本発明の焼結セラミック材料は．構造材料としてのセラ
ミック分野において多Ｊ．Ｉｌ多様な用途を有する．木
材料の理論密度は５以下であるので．本材料は．強度／
重量比が高いことが重要であるような用途に対して適し
ている．本発明の焼結物のユニークな機械的特性により
．本焼結物は切削工具の製造用として特に適したものと
なっている．さらに本材料は，タービンエンジン．バル
ブシール，及びかなりの耐摩耗性を必要とする他の部品
の製造にも使用することができる． 実１劃（Ｌ二則 サウスウエスト・エンジニアリング・カンパニー（Ｓｏ
ｕｔｈｗｅｓｔ　ＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇＣｏｍｐａｎ
ｙ；　ＳＷＥＣＯ）　！！！の振動ミルを使用して，下
記の紐成物サンプル（５００ｇ）を１同じ容１ｉｌｆｆ
ｉ度の１．１．１−トリクロロエタン中で２４時間微粉
砕した．こうして得られたスラリーを噴霧乾燥して．さ
らさらした粉末を得た．窒素雰囲気下にて．本粉末を，
　４０００ｐｓｉ（２９２ｋｇ／ｃｍ２）の圧力及びｌ
５００゜Ｃの温度にて熱間圧縮して．　４５ｃｓＸ　４
５ｃｍ　Ｘ　６ａｍのビレットを得た（実施例１−１４
）　，実施例１５と１６においては．本粉末を，　５０
００　ｐｓｉ（３５２ｋｇ／ｃｍ２）の圧力で冷間圧縮
し５そして窒素雰囲気の大気圧下にて１６００℃の温度
で焼結した．ディスプレースメント法（ｄｉｓｐｌａｃ
ｅｍｅｎＬ　ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ）（ＡＳＴＭ　Ｃ　３
７３−５６）を使用して各ビレフトの密度を求め．ロッ
クウェルＡ硬度を測定した，　ＭＩＬ−ＳＴＤｌ９４２
試験法を使用して，実施例ｌ４の生成物の曲げ強さを測
定したところ，その値は６１９ＭＰａであった．

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １．焼結助剤を含有した窒化ケイ素焼結セラミック物で
    あって，前記焼結セラミック物のトータル重量を基準と
    して， （ａ）窒化ケイ素を２０〜９８重量％； （ｂ）鉄，ニッケル，及びコバルトからな る群から選ばれる少なくとも１種の金属のケイ化物を１
    〜８０重量％；及び （ｃ）ＩＵＰＡＣの第２，３，４，１３各グループ，又
    はランタニドから選ばれる元素の少なくとも１種の酸化
    物，窒化物，又はケイ酸塩を０．０２〜２０重量％； 含むことを特徴とする前記焼結セラミック物。 ２．前記窒化ケイ素の最高５０重量％までが，少なくと
    も１種の耐熱性の，炭化物，窒化ケイ素以外の窒化物，
    又はホウ化物で置き換えられていることをさらに特徴と
    する，請求項１記載の焼結セラミック物。 ３．請求項１に記載の窒化ケイ素焼結セラミック物を製
    造する方法であって， （１）前記焼結セラミック物のトータル重 量を基準として， （ａ）窒化ケイ素を２０〜９８重量％； （ｂ）鉄，ニッケル，及びコバルトから なる群から選ばれる少なくとも１種の金属，又はこれら
    の金属の酸化物もしくは合金を１〜８０重量％；及び （ｃ）ＩＵＰＡＣの第２，３，４，１３各グループ，又
    はランタニドから選ばれる元素の少なくとも１種の酸化
    物，窒化物，又はケイ酸塩を０．０２〜約２０重量％； 含む粉末混合物を作製すること，及び （２）成分（１）（ｂ）が対応するケイ化物に転化する
    まで，非酸化性雰囲気中にて前記粉末混合物を１３００
    〜１７００℃の温度に加熱することによって前記粉末混
    合物の各成分を反応させること， を特徴とする前記製造法。 ４．少なくとも１０００ｐｓｉ（７０．３ｋｇ／ｃｍ＾
    ２）の圧力にて前記粉末混合物を加熱することをさらに
    特徴とする，請求項３記載の製造法。 ５．前記圧力が２０００〜６０００ｐｓｉ（１４１〜４
    ２２ｋｇ／ｃｍ＾２）である，請求項４記載の製造法。 ６．前記の非酸化性雰囲気が窒素雰囲気である，請求項
    ３記載の製造法。 ７．前記窒化ケイ素の最高５０重量％までが，少なくと
    も１種の耐熱性の，炭化物，窒化ケイ素以外の窒化物，
    又はホウ化物で置き換えられていることをさらに特徴と
    する，請求項３記載の製造法。 ８．前記粉末混合物が， （ａ）窒化ケイ素を５０〜９３重量％； （ｂ）鉄，ニッケル，及びコバルトからな る群から選ばれる少なくとも１種の金属を５〜２５重量
    ％； （ｃ）ＩＵＰＡＣの第３グループ元素又はランタニドの
    少なくとも１種の酸化物を１〜５重量％；及び （ｄ）酸化アルミニウムを１〜５重量％； 含むことをさらに特徴とする，請求項３記載の製造法。 ９．ＩＵＰＡＣの第３グループ元素又はランタニドの前
    記酸化物の全て又は一部が，充分に安定化された酸化ジ
    ルコニウム，ある程度安定化された酸化ジルコニウム，
    又は酸化ハフニウムで置き換えられていることをさらに
    特徴とする，請求項８記載の製造法。 １０．前記粉末混合物が， （ａ）窒化ケイ素を５０〜９３％重量％； （ｂ）鉄，ニッケル，及びコバルトからな る群から選ばれる少なくとも１種の金属を５〜２５重量
    ％； （ｃ）ＩＵＰＡＣの第２グループ元素の少なくとも１種
    の酸化物を１〜５重量％；及び （ｄ）酸化アルミニウムを１〜５重量％； 含むことをさらに特徴とする，請求項３記載の製造法。 １１．ＩＵＰＡＣの第２グループ元素の前記酸化物の全
    て又は一部が，充分に安定化された酸化ジルコニウム，
    ある程度安定化された酸化ジルコニウム，又は酸化ハフ
    ニウムで置き換えられていることをさらに特徴とする，
    請求項１０記載の製造法。 １２．請求項１又は２に記載の組成物を使用して切削工
    具を作製すること。
JP2096169A 1989-04-11 1990-04-11 窒化ケイ素焼結セラミック物 Pending JPH02293380A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US07/336,397 US5023214A (en) 1989-04-11 1989-04-11 Silicon nitride ceramics containing a metal silicide phase
US336397 1999-06-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02293380A true JPH02293380A (ja) 1990-12-04

Family

ID=23315905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2096169A Pending JPH02293380A (ja) 1989-04-11 1990-04-11 窒化ケイ素焼結セラミック物

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5023214A (ja)
EP (1) EP0392381B1 (ja)
JP (1) JPH02293380A (ja)
CA (1) CA2013907A1 (ja)
DE (1) DE69018868T2 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5250477A (en) * 1986-08-04 1993-10-05 Gte Valenite Corporation Silicon nitride based composite with improved fracture toughness
US5271871A (en) * 1988-03-07 1993-12-21 Hitachi, Ltd. Conductive material and process for preparing the same
US5094986A (en) * 1989-04-11 1992-03-10 Hercules Incorporated Wear resistant ceramic with a high alpha-content silicon nitride phase
US5240658A (en) * 1991-03-26 1993-08-31 Lukacs Iii Alexander Reaction injection molding of silicon nitride ceramics having crystallized grain boundary phases
US5192475A (en) * 1991-03-01 1993-03-09 United Technologies Corporation Method of making discontinuous carbon fiber reinforced glass matrix composites with secondary matrix reinforcement
US5118560A (en) * 1991-03-01 1992-06-02 United Technologies Corporation Discontinuous carbon fiber reinforced glass matrix composites with secondary matrix reinforcement
CA2068979A1 (en) * 1991-06-24 1992-12-25 Allan B. Rosenthal Silicon nitride ceramics containing a dispersed pentamolybdenum trisilicide base
US5552215A (en) * 1991-10-09 1996-09-03 United Technologies Corporation Fiber reinforced glass matrix composites with secondary matrix reinforcement
US5204294A (en) * 1991-10-21 1993-04-20 Hercules Incorporated Silicon carbide ceramics containing a dispersed high metal content silicide phase
US5445887A (en) * 1991-12-27 1995-08-29 Casti; Thomas E. Diamond coated microcomposite sintered body
US5234643A (en) * 1992-01-27 1993-08-10 Matsumoto Roger L K Silicon nitride ceramics containing crystallized grain boundary phases
JP3164917B2 (ja) * 1992-10-14 2001-05-14 株式会社いすゞセラミックス研究所 低摩擦セラミックス
DE102005034128B4 (de) * 2005-07-14 2013-09-19 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Herstellung eines Werkzeuges für die Handhabung von Bauteilen mit Eisen im Hochtemperaturbereich
CN119775010B (zh) * 2024-12-18 2026-02-10 广东工业大学 一种CoSi2合金增韧高熵碳化物的复合陶瓷及其制备方法和应用
CN121494579A (zh) * 2026-01-13 2026-02-10 中国第一汽车股份有限公司 一种高强韧氮化硅陶瓷基板及其制备方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1039365A (en) * 1964-06-01 1966-08-17 Du Pont Improvements relating to refractory compositions
JPS5824496B2 (ja) * 1979-11-22 1983-05-21 株式会社東芝 窒化珪素を含む潤滑性焼結体
JPS57200266A (en) * 1981-06-04 1982-12-08 Tokyo Shibaura Electric Co Ceramic sintered body and manufacture
JPS5826077A (ja) * 1981-08-10 1983-02-16 株式会社東芝 セラミツクス焼結体及びその製造方法
JPS5864269A (ja) * 1981-10-12 1983-04-16 住友電気工業株式会社 窒化けい素焼結体およびその製造方法
DE3361076D1 (en) * 1982-10-04 1985-11-28 Hoechst Ag Process for obtaining crystalline 1,3-cyclohexane dione
EP0262654B2 (en) * 1986-09-30 1997-03-26 Sumitomo Electric Industries Limited Silicon nitride sintered material for cutting tools and process for making the same

Also Published As

Publication number Publication date
EP0392381A1 (en) 1990-10-17
DE69018868D1 (de) 1995-06-01
CA2013907A1 (en) 1990-10-11
US5023214A (en) 1991-06-11
EP0392381B1 (en) 1995-04-26
DE69018868T2 (de) 1995-08-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5094986A (en) Wear resistant ceramic with a high alpha-content silicon nitride phase
JPH02293380A (ja) 窒化ケイ素焼結セラミック物
CN101164963A (zh) 一种微纳米复合陶瓷模具材料及其制备方法
JPS5860677A (ja) 高靭性窒化珪素焼結体の製造法
CN101410347A (zh) 烧结耐磨硼化物材料、制备所述材料的可烧结粉末混合物、所述材料的制备方法及其用途
EP0199178B2 (en) Process for preparation of sintered silicon nitride
US5439855A (en) Silicon nitride ceramics containing a dispersed pentamolybdenum trisilicide phase
US4801564A (en) High-toughness ceramic tool materials
US4425141A (en) Composite ceramic cutting tool
CN101787476B (zh) 一种(TiCxNy-TiB2)/Ni陶瓷-金属复合材料及其制备方法
US4650498A (en) Abrasion resistant silicon nitride based articles
JP2825701B2 (ja) 立方晶窒化硼素質焼結体
US5250477A (en) Silicon nitride based composite with improved fracture toughness
EP0255709A2 (en) Ceramic based composites with improved fracture toughness
JP2735152B2 (ja) アルミニウムを助剤とした窒化チタン焼結体及びその製造法
EP0095129B1 (en) Composite ceramic cutting tool and process for making same
JP3051603B2 (ja) チタン化合物焼結体
JPH01239068A (ja) 硼化チタン系焼結体及びその製造方法
JPH0122233B2 (ja)
JP2794122B2 (ja) 繊維強化セラミックス
JPS60264368A (ja) 超硬質セラミツクスとその製造方法
JPS635350B2 (ja)
JPH0545551B2 (ja)
JP2840696B2 (ja) アルミナ質繊維強化セラミックスの製造方法
JPS6126566A (ja) ＳｉＣ質複合体の焼結方法