JPH0229446Y2 - - Google Patents
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- JPH0229446Y2 JPH0229446Y2 JP7577279U JP7577279U JPH0229446Y2 JP H0229446 Y2 JPH0229446 Y2 JP H0229446Y2 JP 7577279 U JP7577279 U JP 7577279U JP 7577279 U JP7577279 U JP 7577279U JP H0229446 Y2 JPH0229446 Y2 JP H0229446Y2
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- Japan
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- voltage
- circuit
- current
- load
- current flowing
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 9
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Control Of Voltage And Current In General (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は高電圧発生装置、特に電子顕微鏡や各
種粒子線加速器と共に用いられるのに適した高電
圧発生装置に関する。
種粒子線加速器と共に用いられるのに適した高電
圧発生装置に関する。
電子顕微鏡等と共に用いられる高電圧発生装置
としては装置の小形化のために高周波(たとえば
20KHz)インバータ方式のものが有用とされ、利
用されている。その一例を第2図に示す。
としては装置の小形化のために高周波(たとえば
20KHz)インバータ方式のものが有用とされ、利
用されている。その一例を第2図に示す。
第2図において、制御トランジスタ1の直流出
力電圧(エミツタ側)はトランスの1次巻線2,
3に印加される。トランジスタ4,5は発振器6
により交互にオン−オフされる。巻線2,3に発
生した磁束によりコアT1上の2次巻線7には交
流電圧が発生する。この交流電圧は昇圧回路8に
より整流および昇圧され、出力端子9には負の直
流高電圧EHが発生され、負荷である加速器電極
10に印加される。
力電圧(エミツタ側)はトランスの1次巻線2,
3に印加される。トランジスタ4,5は発振器6
により交互にオン−オフされる。巻線2,3に発
生した磁束によりコアT1上の2次巻線7には交
流電圧が発生する。この交流電圧は昇圧回路8に
より整流および昇圧され、出力端子9には負の直
流高電圧EHが発生され、負荷である加速器電極
10に印加される。
負の直流高電圧EHは、抵抗R1,R2により分圧
され、その分圧された電圧は差動増幅器11の負
の入力端子に印加される。差動増幅器11の正の
入力端子には基準電圧Erが印加され、したがつ
て差動増幅器11は両入力電圧の差分を増巾し、
その差分が制御トランジスタ1のベースに印加さ
れる。第1図の高電圧発生回路は負帰還回路を形
成しており、EH=〔(R1+R2)/R2〕Erが成立
するように制御が行われる。すなわち、制御トラ
ンジスタ1は上記差分が零になるように直流高電
圧を制御する。
され、その分圧された電圧は差動増幅器11の負
の入力端子に印加される。差動増幅器11の正の
入力端子には基準電圧Erが印加され、したがつ
て差動増幅器11は両入力電圧の差分を増巾し、
その差分が制御トランジスタ1のベースに印加さ
れる。第1図の高電圧発生回路は負帰還回路を形
成しており、EH=〔(R1+R2)/R2〕Erが成立
するように制御が行われる。すなわち、制御トラ
ンジスタ1は上記差分が零になるように直流高電
圧を制御する。
このような高電圧発生回路においては、直流負
荷電流I0を測定するために変流器方式のものが考
えられないでもないが、しかし、高周波インバー
タ方式の高電圧発生装置においてはインバータ1
次巻線電流は高周波パルス状電流であり、高電圧
直流負荷電流I0と1次巻線電流との精度のよい対
応を得ることは困難である。
荷電流I0を測定するために変流器方式のものが考
えられないでもないが、しかし、高周波インバー
タ方式の高電圧発生装置においてはインバータ1
次巻線電流は高周波パルス状電流であり、高電圧
直流負荷電流I0と1次巻線電流との精度のよい対
応を得ることは困難である。
このため、次のようにして負荷電流I0の測定を
行うのが一般的である。すなわち、昇圧回路8の
接地側に電流計12および電流源13が並列に接
続される。電流計12を流れる電流I0′は分圧用
の抵抗R1を流れる電流I1と負荷電流I0との和であ
る昇圧回路8の接地側電流I2から電流源13に流
れ込む電流I1′を差引いた値となる。ここで、電
流源13に流れ込む電流I1′はI1と等しくなるよう
に設定される。すなわち、I1′はI1′=Fr/R2を満
たすように設定される。
行うのが一般的である。すなわち、昇圧回路8の
接地側に電流計12および電流源13が並列に接
続される。電流計12を流れる電流I0′は分圧用
の抵抗R1を流れる電流I1と負荷電流I0との和であ
る昇圧回路8の接地側電流I2から電流源13に流
れ込む電流I1′を差引いた値となる。ここで、電
流源13に流れ込む電流I1′はI1と等しくなるよう
に設定される。すなわち、I1′はI1′=Fr/R2を満
たすように設定される。
このようにすると、I0′=I2−I1′,I1′=I1,I2=
I0+I1からI0′=I0となり、電流計12でI0′を測定
することにより負荷電流I0を直接的に知ることが
できる。
I0+I1からI0′=I0となり、電流計12でI0′を測定
することにより負荷電流I0を直接的に知ることが
できる。
しかし、そのような従来例にあつては、電流源
13のインピーダンスを電流計12のインピーダ
ンスより十分高くしてやる必要があり、また高電
圧を広い範囲にわたつて変化させた場合はI1も同
様に変化するが、この場合I1′の値をI1と一致させ
ることは困難である等のために実際にはI0′=I0を
満足させることは難しい。
13のインピーダンスを電流計12のインピーダ
ンスより十分高くしてやる必要があり、また高電
圧を広い範囲にわたつて変化させた場合はI1も同
様に変化するが、この場合I1′の値をI1と一致させ
ることは困難である等のために実際にはI0′=I0を
満足させることは難しい。
本考案はかかる点に鑑みてなされたもので、そ
の目的は負荷電流を高精度で測定することができ
る高電圧発生装置を提供することにある。
の目的は負荷電流を高精度で測定することができ
る高電圧発生装置を提供することにある。
本考案の特徴は、交流を整流、昇圧して、負荷
に印加される直流高電圧を得る昇圧回路と、その
直流高電圧を分圧する回路と、その分圧された電
圧と基準電圧が等しくなるように上記直流電圧を
制御する回路と、上記負荷を流れる電流と上記分
圧回路を流れる電流の和を表わす、上記昇圧回路
の接地側電流をもとにして上記負荷を流れる電流
を測定する回路とを備え、この電流測定回路は上
記昇圧回路の接地側電流を電圧に変換する回路
と、その変換された電圧と上記基準電圧とを減算
する回路とを含み、上記変換回路の変換比を、上
記分圧回路を流れる電流に対応する信号が実質的
に零になるように設定したことを特徴とする高電
圧発生装置にある。
に印加される直流高電圧を得る昇圧回路と、その
直流高電圧を分圧する回路と、その分圧された電
圧と基準電圧が等しくなるように上記直流電圧を
制御する回路と、上記負荷を流れる電流と上記分
圧回路を流れる電流の和を表わす、上記昇圧回路
の接地側電流をもとにして上記負荷を流れる電流
を測定する回路とを備え、この電流測定回路は上
記昇圧回路の接地側電流を電圧に変換する回路
と、その変換された電圧と上記基準電圧とを減算
する回路とを含み、上記変換回路の変換比を、上
記分圧回路を流れる電流に対応する信号が実質的
に零になるように設定したことを特徴とする高電
圧発生装置にある。
そのような手段を採用するならば、減算回路の
出力電圧は−RI0(Rは変換回路の変換抵抗、I0は
負荷を流れる電流)で与えられ、常に負荷電流に
比例することになる。したがつて、高電圧を広い
範囲にわたつて変化させても、負荷電流を高精度
をもつて測定することができるようになる。
出力電圧は−RI0(Rは変換回路の変換抵抗、I0は
負荷を流れる電流)で与えられ、常に負荷電流に
比例することになる。したがつて、高電圧を広い
範囲にわたつて変化させても、負荷電流を高精度
をもつて測定することができるようになる。
第1図は本考案の一実施例を示す。同図におい
て第2と同じものには同じ符号および記号が付せ
られている。第2図と相違する点のみの説明をす
るに、昇圧回路8の接地側電流すなわちI0とI1と
の和の電流I2は電流電圧変換器14により電圧信
号E2に変換され、減算器15の正の入端子に印
加される。減算器15の負の入力端子には基準電
圧Erが印加され、減算器15では減算、すなわ
ち次の計算が行われる。
て第2と同じものには同じ符号および記号が付せ
られている。第2図と相違する点のみの説明をす
るに、昇圧回路8の接地側電流すなわちI0とI1と
の和の電流I2は電流電圧変換器14により電圧信
号E2に変換され、減算器15の正の入端子に印
加される。減算器15の負の入力端子には基準電
圧Erが印加され、減算器15では減算、すなわ
ち次の計算が行われる。
E0=E2+Er
=−RI2+Er
=−RI2+R2I1
=−R(I1+I0)+R2I1
=−RI0−(R−R2)I1
Rは電流電圧変換器14の変換抵抗である。し
たがつて、I0=[−(R−R2)I1/R−E0/R]と
なる。そこで、電流電圧変換器14の変換比を、
I1に対応する信号が実質的に零になるように設定
すると、すなわち、具体的にはR=R2とすると、
減算器15の出力E0はE0=−RI0となり、常に負
荷電流I0に比例した電圧E0を得ることができる。
したがつて、高電圧を広い範囲にわたつて変化さ
せても、負荷電流I0を高精度に測定することがで
きる。
たがつて、I0=[−(R−R2)I1/R−E0/R]と
なる。そこで、電流電圧変換器14の変換比を、
I1に対応する信号が実質的に零になるように設定
すると、すなわち、具体的にはR=R2とすると、
減算器15の出力E0はE0=−RI0となり、常に負
荷電流I0に比例した電圧E0を得ることができる。
したがつて、高電圧を広い範囲にわたつて変化さ
せても、負荷電流I0を高精度に測定することがで
きる。
以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、負荷電流を高精度をもつて測定することがで
きる高電圧発生装置が提供される。
ば、負荷電流を高精度をもつて測定することがで
きる高電圧発生装置が提供される。
第1図は本考案にもとづく一実施例を示す高電
圧発生装置の回路図、第2図は通常用いられてい
る高電圧発生装置の回路図である。 1……制御トランジスタ、2,3……1次巻
線、4,5……トランジスタ、6……発振器、7
……2次巻線、8……昇圧回路、9……出力端
子、10……加速器電極(負荷)、11……差動
増巾器、12……電流計、13……電流源、14
……電流電圧変換器、15……減算器。
圧発生装置の回路図、第2図は通常用いられてい
る高電圧発生装置の回路図である。 1……制御トランジスタ、2,3……1次巻
線、4,5……トランジスタ、6……発振器、7
……2次巻線、8……昇圧回路、9……出力端
子、10……加速器電極(負荷)、11……差動
増巾器、12……電流計、13……電流源、14
……電流電圧変換器、15……減算器。
Claims (1)
- 交流を整流、昇圧して、負荷に印加される直流
高電圧を得る昇圧回路と、その直流高電圧を分圧
する回路と、その分圧された電圧と基準電圧が等
しくなるように上記直流電圧を制御する回路と、
上記負荷を流れる電流と上記分圧回路を流れる電
流の和を表わす、上記昇圧回路の接地側電流をも
とにして上記負荷を流れる電流を測定する回路と
を備え、この電流測定回路は上記昇圧回路の接地
側電流を電圧に変換する回路と、その変換された
電圧と上記基準電圧とを減算する回路とを含み、
上記電流電圧変換回路の変換比を、上記分圧回路
を流れる電流に対応する信号が実質的に零になる
ように設定したことを特徴とする高電圧発生装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7577279U JPH0229446Y2 (ja) | 1979-06-06 | 1979-06-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7577279U JPH0229446Y2 (ja) | 1979-06-06 | 1979-06-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55178714U JPS55178714U (ja) | 1980-12-22 |
| JPH0229446Y2 true JPH0229446Y2 (ja) | 1990-08-08 |
Family
ID=29309294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7577279U Expired JPH0229446Y2 (ja) | 1979-06-06 | 1979-06-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229446Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-06-06 JP JP7577279U patent/JPH0229446Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS55178714U (ja) | 1980-12-22 |
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