JPH022953A - Ｉｃ試験装置 - Google Patents
Ｉｃ試験装置Info
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- JPH022953A JPH022953A JP63146407A JP14640788A JPH022953A JP H022953 A JPH022953 A JP H022953A JP 63146407 A JP63146407 A JP 63146407A JP 14640788 A JP14640788 A JP 14640788A JP H022953 A JPH022953 A JP H022953A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明はＣＭＯ５のように定常時に流れる電流が応動
時に流れる電流と比較して極めて小さいＩＣを試験する
ＩＣ試験装置に関する。
時に流れる電流と比較して極めて小さいＩＣを試験する
ＩＣ試験装置に関する。
「従来の技術」
第２図に従来の１ｃ試験装置の回路構造を示す。
このＩＣ試験装置は被試験ＩＣ１００の直流特性を試験
する試験装置であって、電圧源２００から既知の直流電
圧ｖｉを被試験ＩＣ１００の電源端子に印加すると共に
電流測定回路３００で被試験ＩＣ１００に流れる電流Ｉ
Ｌに相当する電流■８を測定する回路構造となっている
。
する試験装置であって、電圧源２００から既知の直流電
圧ｖｉを被試験ＩＣ１００の電源端子に印加すると共に
電流測定回路３００で被試験ＩＣ１００に流れる電流Ｉ
Ｌに相当する電流■８を測定する回路構造となっている
。
尚、電流測定装置３００は電圧源２００と被試験ＩＣ１
００の間に直列接続した電流検出用抵抗器ＲＭと、この
抵抗器ＲＭに発生する電圧を取出す差動増幅器３０１と
、ＡＤ変換器３０２とによって構成することができる。
００の間に直列接続した電流検出用抵抗器ＲＭと、この
抵抗器ＲＭに発生する電圧を取出す差動増幅器３０１と
、ＡＤ変換器３０２とによって構成することができる。
また４００は被試験ＩＣ１００に印加される電圧ｖｓを
電圧源２００を構成する演算増幅器２０１に帰還し、基
準電圧源２０２から与えた入力電圧Ｖｔが被試験ＩＣ１
００に正しく印加されるように演算増幅器２０１を動作
させるための帰還回路、５００はガードアンプを示す。
電圧源２００を構成する演算増幅器２０１に帰還し、基
準電圧源２０２から与えた入力電圧Ｖｔが被試験ＩＣ１
００に正しく印加されるように演算増幅器２０１を動作
させるための帰還回路、５００はガードアンプを示す。
このガードアンプ５００は帰還回路４００で取出した被
試験ＩＣ１００の印加電圧ｖ５をガードアンプ５００に
与え、ガードアンプ５００の出力によって帰還回路４０
０の入力線４０１として用いたケーブルの外部導体５０
１の電位を人力線４０１の電位と等しくなるように駆動
し、これによってケーブルの浮遊容量、絶縁抵抗等の影
響を除去して正しい印加電圧ｖ１を電圧源２００に帰還
させるために設けられている。
試験ＩＣ１００の印加電圧ｖ５をガードアンプ５００に
与え、ガードアンプ５００の出力によって帰還回路４０
０の入力線４０１として用いたケーブルの外部導体５０
１の電位を人力線４０１の電位と等しくなるように駆動
し、これによってケーブルの浮遊容量、絶縁抵抗等の影
響を除去して正しい印加電圧ｖ１を電圧源２００に帰還
させるために設けられている。
また被試験ＩＣ１００には並列に平滑コンデンサ６００
が接続され、被試験ＩＣ１００が動作することによって
発生する印加電圧の変動を平滑化している。
が接続され、被試験ＩＣ１００が動作することによって
発生する印加電圧の変動を平滑化している。
つまり被試験１ｃ１００がｃｎｏｓ型のＩＣである場合
には、静止時の電流は微少であるにもかかわらず駆動時
の電流は静止時の数１０００倍程度流れる。
には、静止時の電流は微少であるにもかかわらず駆動時
の電流は静止時の数１０００倍程度流れる。
例えばクロックの周期で書込、続出を行なうＣＭＯ５型
Ｏ５リの場合にはクロックの周期で過渡的に電流を消費
することになる。
Ｏ５リの場合にはクロックの周期で過渡的に電流を消費
することになる。
このようにパルス波状に電流を消費する被試験ＩＣ１０
０の動作中の直流特性（電源の印加電圧対消費電流の変
化特性）を測定するために、被試験ＩＣ１００を接続す
る部分（一般にテストヘッドと呼ぶ）に平滑コンデンサ
６００を接続し、被試験ＩＣ１００がパルス波状に電流
を消費するとき、平滑コンデンサ６００に蓄えた電荷を
放出し、過渡的に電圧が低下することを阻止し、平滑化
するようにしている。
０の動作中の直流特性（電源の印加電圧対消費電流の変
化特性）を測定するために、被試験ＩＣ１００を接続す
る部分（一般にテストヘッドと呼ぶ）に平滑コンデンサ
６００を接続し、被試験ＩＣ１００がパルス波状に電流
を消費するとき、平滑コンデンサ６００に蓄えた電荷を
放出し、過渡的に電圧が低下することを阻止し、平滑化
するようにしている。
「発明が解決しようとする課題」
ところで平滑コンデンサ６００は被試験ＩＣ１００を動
作させながら電圧印加電流測定を行なう。いわゆるファ
ンクション試験を行なう場合に有効であるが、被試験Ｉ
Ｃ１００を静止させた状態で電源電圧を印加し、このと
き流れる電流を測定し、この電流が許容範囲に入ってい
るか否かを見るスタテック試験を行なう場合には邪魔な
存在となる。
作させながら電圧印加電流測定を行なう。いわゆるファ
ンクション試験を行なう場合に有効であるが、被試験Ｉ
Ｃ１００を静止させた状態で電源電圧を印加し、このと
き流れる電流を測定し、この電流が許容範囲に入ってい
るか否かを見るスタテック試験を行なう場合には邪魔な
存在となる。
つまり被試験ＩＣ１００を動作させずに電源端子に規定
の電源電圧を与え、このとき流れる電流が規定の範囲に
入っているか否かを見るスタテック試験がある。このス
タテック試験を行なう場合、電圧源２００から第３図Ａ
に示すように電圧Ｖ！を与えたとき、電流測定装置３０
０を流れる電流１１は被試験ＩＣ１００に流れる電流Ｉ
Ｌに平滑コンデンサ６００に流れる充電電流ｔｃｔが重
畳して流れる。スタテック試験では被試験ＩＣ１００に
流れる電流■、を測定することが目的であるため平滑コ
ンデンサ６００の充放電電流ＩＣＬがゼロに戻るのを待
って電流！、の値を良否判定装置（特に図示しない）は
ＡＤ変換器３０２から読み取ることになる。
の電源電圧を与え、このとき流れる電流が規定の範囲に
入っているか否かを見るスタテック試験がある。このス
タテック試験を行なう場合、電圧源２００から第３図Ａ
に示すように電圧Ｖ！を与えたとき、電流測定装置３０
０を流れる電流１１は被試験ＩＣ１００に流れる電流Ｉ
Ｌに平滑コンデンサ６００に流れる充電電流ｔｃｔが重
畳して流れる。スタテック試験では被試験ＩＣ１００に
流れる電流■、を測定することが目的であるため平滑コ
ンデンサ６００の充放電電流ＩＣＬがゼロに戻るのを待
って電流！、の値を良否判定装置（特に図示しない）は
ＡＤ変換器３０２から読み取ることになる。
ここで、［コンデンサに直流電圧を印加したとき流れる
電流は、次式で表され、時間の経過と共に凍少し、十分
な時間が経過した後は一定値に達する。
電流は、次式で表され、時間の経過と共に凍少し、十分
な時間が経過した後は一定値に達する。
Ｉ：全電流、■：印加電圧、Ｒ：等価直列抵抗。
Ｃ：静電容量、Ｑ、二分極電荷、Ｔ：絶縁抵抗第２項は
吸収電流と呼ばれ、誘電体の種類と印加した電解強度に
依存する０通常は緩和時間が非常に長（、絶縁抵抗によ
る第３項を正確に測定することがむずかしいため実用的
な見地から１〜２分後の全電流値と印加電圧の比を絶縁
抵抗と定義している。Ｊ （オーム社発行、電子端＠￥
Ｒ通信ハンドブック、第１分冊、５１６頁より）。
吸収電流と呼ばれ、誘電体の種類と印加した電解強度に
依存する０通常は緩和時間が非常に長（、絶縁抵抗によ
る第３項を正確に測定することがむずかしいため実用的
な見地から１〜２分後の全電流値と印加電圧の比を絶縁
抵抗と定義している。Ｊ （オーム社発行、電子端＠￥
Ｒ通信ハンドブック、第１分冊、５１６頁より）。
このようにコンデンサに流れる充放電電流が安定するま
での時間は長いため被試験＋ｃｔｏｏに流れる電流ＩＬ
を正確に測定しようとすると、待ち時間が長くなり、試
験に要する時間が長くなって多くのＩＣを試験する場合
にこれが障害となっている。
での時間は長いため被試験＋ｃｔｏｏに流れる電流ＩＬ
を正確に測定しようとすると、待ち時間が長くなり、試
験に要する時間が長くなって多くのＩＣを試験する場合
にこれが障害となっている。
「課題を解決するための手段」
この発明では被試験ＩＣに流れる電流を測定する第１電
流測定装置を具備し、被試験ＩＣの電圧印加電流特性を
試験するＩＣ試験装置において、被試験ＩＣの電源端子
に電圧を印加したとき平滑コンデンサに流れる充放電電
流と等価な充放電電流を発生させる擬似回路と、 この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２電流
測定装置と、 第１＄ｉ流測定装置を第２電流測定装置の測定結果を減
算し被試験ＩＣに流れる電流値を求める演算手段と、 を付加した構造としたものである。
流測定装置を具備し、被試験ＩＣの電圧印加電流特性を
試験するＩＣ試験装置において、被試験ＩＣの電源端子
に電圧を印加したとき平滑コンデンサに流れる充放電電
流と等価な充放電電流を発生させる擬似回路と、 この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２電流
測定装置と、 第１＄ｉ流測定装置を第２電流測定装置の測定結果を減
算し被試験ＩＣに流れる電流値を求める演算手段と、 を付加した構造としたものである。
「作 用」
この発明の構成によれば平滑コンデンサに流れる充放電
電流と等価７Ｊ、流を発生する擬似回路を設け、この擬
似回路で発生する充放電電流を第２電流測定装置で測定
し、この測定値を第１電流測定装置の測定値から減算す
ることにより第１電流測定装置で測定した電流値から平
滑コンデンサに流れる充放電電流の値を、除去すること
ができ、よって平滑コンデンサの充放電電流が流れてい
る期間でも被試練ＩＣを流れる電流値を正確に求めるこ
とができる。
電流と等価７Ｊ、流を発生する擬似回路を設け、この擬
似回路で発生する充放電電流を第２電流測定装置で測定
し、この測定値を第１電流測定装置の測定値から減算す
ることにより第１電流測定装置で測定した電流値から平
滑コンデンサに流れる充放電電流の値を、除去すること
ができ、よって平滑コンデンサの充放電電流が流れてい
る期間でも被試練ＩＣを流れる電流値を正確に求めるこ
とができる。
「実施例」
第１図にこの発明の一実施例を示す。
第１図において、第２図と対応する部分には同一符号を
付して示す。
付して示す。
つまり電圧源２００から第１電流測定装置３００を通じ
て被試ＭＩＣ１００に所望の電圧を印加する点、 被試験ＩＣ１００に並列に平滑コンデンサ６００を接続
している点、 被試験ＩＣ１００に印加される電圧■８を帰還回路４０
０を通じて電圧源２００に帰還し、印加電圧■、が入力
電圧Ｖ、と等しくなるように制御する点、 帰還回路４００で取出した印加電圧ｖｓをガードアンプ
５００に人力し、ガードアンプ５００によって帰還回路
４００の入力線４０１を構成する同軸ケーブルの外部導
体の電位を入力線４０１と同一電位に保ち、同軸ケーブ
ルの浮遊容量、ｋＩＡ縁抵抗抵抗響を除去する点は第２
図で説明した従来のものと同じである。
て被試ＭＩＣ１００に所望の電圧を印加する点、 被試験ＩＣ１００に並列に平滑コンデンサ６００を接続
している点、 被試験ＩＣ１００に印加される電圧■８を帰還回路４０
０を通じて電圧源２００に帰還し、印加電圧■、が入力
電圧Ｖ、と等しくなるように制御する点、 帰還回路４００で取出した印加電圧ｖｓをガードアンプ
５００に人力し、ガードアンプ５００によって帰還回路
４００の入力線４０１を構成する同軸ケーブルの外部導
体の電位を入力線４０１と同一電位に保ち、同軸ケーブ
ルの浮遊容量、ｋＩＡ縁抵抗抵抗響を除去する点は第２
図で説明した従来のものと同じである。
この発明の特徴とする点は、電圧ｍ２ｏｏから被試験Ｉ
Ｃ１００に所定の電源電圧を与えたとき、平滑コンデン
サ６００に流れる充放電電流［ＣＬと等価な充放電電流
１’ ＣＬを発生する擬似回路７００を設けた点と、こ
のＩＭ偵回路７００に発生する充放電Ｔｊ、’１Ｍ ｌ
’。を測定する第２電流測定装置８００を設けた点であ
る。
Ｃ１００に所定の電源電圧を与えたとき、平滑コンデン
サ６００に流れる充放電電流［ＣＬと等価な充放電電流
１’ ＣＬを発生する擬似回路７００を設けた点と、こ
のＩＭ偵回路７００に発生する充放電Ｔｊ、’１Ｍ ｌ
’。を測定する第２電流測定装置８００を設けた点であ
る。
擬似回路７００は例えば同軸ケーブルの外部導体５０ｉ
に平滑コンデンサ６００と同じコンデンサ７０１を接続
して構成することができる。
に平滑コンデンサ６００と同じコンデンサ７０１を接続
して構成することができる。
第２電流測定装置８００は第１電流測定装置３００と同
様にガートアンプ５００の出力側に直列接続した電流検
出用抵抗器ＲＮと、この電流検出用抵抗器Ｒ１１′に発
生する電圧を取出す差動増幅器８０１とによって構成す
ることができる。
様にガートアンプ５００の出力側に直列接続した電流検
出用抵抗器ＲＮと、この電流検出用抵抗器Ｒ１１′に発
生する電圧を取出す差動増幅器８０１とによって構成す
ることができる。
第１電流測定装置３００と第２電流測定装置８００の測
定出力信号は減算手段９００を構成する差動増幅器に与
え被測定ＩＣ１００に流れる電流■、と平滑コンデンサ
６００の充電電流ｔｃｔの和の電流ＩＬ＋ＩＣＬから擬
似回路７００に流れる電流Ｉ′６．を減算する。
定出力信号は減算手段９００を構成する差動増幅器に与
え被測定ＩＣ１００に流れる電流■、と平滑コンデンサ
６００の充電電流ｔｃｔの和の電流ＩＬ＋ＩＣＬから擬
似回路７００に流れる電流Ｉ′６．を減算する。
擬似回路７００に用いたコンデンサ７０１を平滑コンデ
ンサ６００と同じ容量で然も同一素材で作られたコンデ
ンサを用いることにより擬似回路７００で発生する充放
電電流は平滑コンデンサ６００の充放電電流と同等とす
ることができる。
ンサ６００と同じ容量で然も同一素材で作られたコンデ
ンサを用いることにより擬似回路７００で発生する充放
電電流は平滑コンデンサ６００の充放電電流と同等とす
ることができる。
この結果減算手段９００から出力される信号は被試験Ｉ
Ｃ１００に流れる電流■１と等価となる。
Ｃ１００に流れる電流■１と等価となる。
減算手段９００の出力はＡＤ変換器３０２でへ〇変換し
て送り出すことにより、例えばコンピュータから成る判
定装置に取込まれ、比較判定されて良否の判定が行なわ
れる。
て送り出すことにより、例えばコンピュータから成る判
定装置に取込まれ、比較判定されて良否の判定が行なわ
れる。
「発明の効果」
以上説明したように、この発明によれば擬似回路７００
で平滑コンデンサ６００に流れる充放電電流と等価な電
流を発生させ、この充放電電流の値を第１″ｉ１を流測
定装置の測定結果から減算することにより、平滑コンデ
ンサ６００の充放電電流値を除去することができる。
で平滑コンデンサ６００に流れる充放電電流と等価な電
流を発生させ、この充放電電流の値を第１″ｉ１を流測
定装置の測定結果から減算することにより、平滑コンデ
ンサ６００の充放電電流値を除去することができる。
よって平滑コンデンサ６００に充放電電流が流れている
期間でも被試験ＩＣ１００に流れる電流■、を正確に求
めることができ、この結果被試験ＩＣ１００に電源電圧
を印加した直後に被試験ＩＣ１００に流れる電流ＩＬを
測定することができ、試験に要する時間を短かくするこ
とができる。
期間でも被試験ＩＣ１００に流れる電流■、を正確に求
めることができ、この結果被試験ＩＣ１００に電源電圧
を印加した直後に被試験ＩＣ１００に流れる電流ＩＬを
測定することができ、試験に要する時間を短かくするこ
とができる。
「変形実施例」
上述では擬似回路７００をガードアンプ５００で駆動す
る構造を説明したが、必ずしもガードアンプ５００を用
いる必要はなく、ガードアンプ５００とは別に擬似回路
７００を駆動する専用のバッファアンプを設けてもよい
。
る構造を説明したが、必ずしもガードアンプ５００を用
いる必要はなく、ガードアンプ５００とは別に擬似回路
７００を駆動する専用のバッファアンプを設けてもよい
。
また上述では擬似回路７００を構成するコンデンサ７０
１を平滑コンデンサ６００の容量と同一に選定した場合
を説明したが、第２電流測定回路８００の出力側に利得
調整回路を挿入すればコンデンサ７０１の容量と平滑コ
ンデンサ６００の容量は必ずしも一致させる必要はない
。
１を平滑コンデンサ６００の容量と同一に選定した場合
を説明したが、第２電流測定回路８００の出力側に利得
調整回路を挿入すればコンデンサ７０１の容量と平滑コ
ンデンサ６００の容量は必ずしも一致させる必要はない
。
第１図は′この発明の一実施例を説明するための接続図
、第２図は従来の技術を説明するための接続図、第３図
は従来の技術の動作を説明するための波形図である。 １００・・・被試験ＩＣ，２００・・・電圧源、３００
・・・第１電流測定装置、４００・・・帰還回路、５０
０・・・ガードアンプ、６００・・・平滑コンデンサ、
７００・・・擬似回路、８００・・・第２電流測定装置
、９００・・・演算手段。
、第２図は従来の技術を説明するための接続図、第３図
は従来の技術の動作を説明するための波形図である。 １００・・・被試験ＩＣ，２００・・・電圧源、３００
・・・第１電流測定装置、４００・・・帰還回路、５０
０・・・ガードアンプ、６００・・・平滑コンデンサ、
７００・・・擬似回路、８００・・・第２電流測定装置
、９００・・・演算手段。
Claims (1)
- （１）Ａ、被試験ＩＣに所定の電源電圧を印加する電圧
源と、 Ｂ、この電圧源から上記被試験ＩＣに流れる電流を測定
する第１電流測定装置と、 Ｃ、上記被試験ＩＣが動作することによって発生する上
記被試験ＩＣに印加される電圧の脈動を平滑化する平滑
コンデンサと、 Ｄ、被試験ＩＣの動作を停止させた状態で被試験ＩＣの
電源端子に電圧を印加したとき上記平滑コンデンサに流
れる充放電電流と等価な電流を発生させる擬似回路と、 Ｅ、この擬似回路で発生する充放電電流を測定する第２
電流測定装置と、 Ｆ、上記第１電流測定装置とこの第２電流測定装置の測
定結果を減算し上記被試験ＩＣに流れる電流値を求める
演算手段と、 から成るＩＣ試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146407A JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63146407A JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022953A true JPH022953A (ja) | 1990-01-08 |
| JP2654808B2 JP2654808B2 (ja) | 1997-09-17 |
Family
ID=15407002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63146407A Expired - Lifetime JP2654808B2 (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | Ｉｃ試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2654808B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007029463A1 (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Advantest Corporation | 試験装置および試験方法 |
| JP2012150011A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の特性測定方法及び特性測定装置 |
| JP2012198113A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Ulvac Japan Ltd | 漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP63146407A patent/JP2654808B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007029463A1 (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-15 | Advantest Corporation | 試験装置および試験方法 |
| JP2007071622A (ja) * | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Advantest Corp | 試験装置および試験方法 |
| US7696771B2 (en) | 2005-09-06 | 2010-04-13 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
| JP2012150011A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の特性測定方法及び特性測定装置 |
| JP2012198113A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Ulvac Japan Ltd | 漏洩電流測定方法および漏洩電流測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2654808B2 (ja) | 1997-09-17 |
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