JPH0229710A - 実体顕微鏡 - Google Patents
実体顕微鏡Info
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- JPH0229710A JPH0229710A JP18137688A JP18137688A JPH0229710A JP H0229710 A JPH0229710 A JP H0229710A JP 18137688 A JP18137688 A JP 18137688A JP 18137688 A JP18137688 A JP 18137688A JP H0229710 A JPH0229710 A JP H0229710A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 26
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 9
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、実体１ｌＪｉ微鏡特に普及型のズーム式実体
顕微鏡に関する。
顕微鏡に関する。
実体顕微鏡は試料操作や検査作業用として適しているた
め、例えば半導体装置のプローバやボンダ等に組み込ん
で使われることが多い、このような装置は半導体ウェハ
、チップを操作対象とするため、長い作動距離を有する
ことは勿論のこと、対物レンズ先端部の形状がシンプル
且つコンパクトであることが望まれている。又、半導体
ウェハ。
め、例えば半導体装置のプローバやボンダ等に組み込ん
で使われることが多い、このような装置は半導体ウェハ
、チップを操作対象とするため、長い作動距離を有する
ことは勿論のこと、対物レンズ先端部の形状がシンプル
且つコンパクトであることが望まれている。又、半導体
ウェハ。
チップはほぼ平面で鏡面に近い性状を有しているので、
適性な照明としては同軸若しくは同軸にできるだけ近い
照明が望まれている。
適性な照明としては同軸若しくは同軸にできるだけ近い
照明が望まれている。
こうした要求を満たす従来の実体ｍｌ Ｗ鏡としては、
例えば第１３図に示した如き投光器１０１を用いたもの
、投光器の代りにファイバー照明器を用いたもの、第１
４図に示した如くリング状蛍光灯を用いたものが主流で
あった。又、照明性能の最も良いものとして、特開昭６
１−１１６３１０号公報に見られるような同軸落射照明
ユニットを備えたものがある。この方式のものは高級実
体顕微鏡であって、これは鏡筒部と対物レンズとの間を
アフォーカル系に構成し、この部分に落射照明ユニット
を挿入するようになっている。又、特開昭５８−３０７
２０号公報に示されるようなものもあり、これは第１５
図に示した如く、対物レンズの前にハーフミラ−１０３
を配設し、ここに側方に設けられたランプハウス１０４
からの光を導いて簡単な構成で同軸落射照明を行うもの
であった。又、照明の同軸度を上げたものとしては、手
術用顕微鏡のように照明装置内蔵型のものもある。
例えば第１３図に示した如き投光器１０１を用いたもの
、投光器の代りにファイバー照明器を用いたもの、第１
４図に示した如くリング状蛍光灯を用いたものが主流で
あった。又、照明性能の最も良いものとして、特開昭６
１−１１６３１０号公報に見られるような同軸落射照明
ユニットを備えたものがある。この方式のものは高級実
体顕微鏡であって、これは鏡筒部と対物レンズとの間を
アフォーカル系に構成し、この部分に落射照明ユニット
を挿入するようになっている。又、特開昭５８−３０７
２０号公報に示されるようなものもあり、これは第１５
図に示した如く、対物レンズの前にハーフミラ−１０３
を配設し、ここに側方に設けられたランプハウス１０４
からの光を導いて簡単な構成で同軸落射照明を行うもの
であった。又、照明の同軸度を上げたものとしては、手
術用顕微鏡のように照明装置内蔵型のものもある。
ところが、第１３図に示した投光器方式のものは、投光
器１０１と対物レンズのカバーとの干渉により照明光軸
を観察光軸に近づけるのに限界があるため、照明の同軸
度はある程度までしか上がらないという欠点があった。
器１０１と対物レンズのカバーとの干渉により照明光軸
を観察光軸に近づけるのに限界があるため、照明の同軸
度はある程度までしか上がらないという欠点があった。
而も、投光器から出る光線を遮ってはならないため、試
ｉ４台上の空間のうちある方向には装置を配置できない
という欠点があった。これらのことは、ファイバー照明
器を用いた場合も同様であった。又、第１４図に示した
リング状蛍光灯方式のものも、上記と同様に、照明の同
軸度がある程度までしか上がらないという欠点があった
。
ｉ４台上の空間のうちある方向には装置を配置できない
という欠点があった。これらのことは、ファイバー照明
器を用いた場合も同様であった。又、第１４図に示した
リング状蛍光灯方式のものも、上記と同様に、照明の同
軸度がある程度までしか上がらないという欠点があった
。
又、同軸落射照明ユニットを備えたものは、照明ユニッ
ト自体が高価であり、！１ｍｆｆ１本体も高価になって
しまうという欠点があった。又、第１５図に示したよう
なものは、ランプハウス１０４の出張りが第１３図に示
したものと同様に組合わされる装置の利用可能な空間を
狭めてしまうという欠点があった。又、手術用顕微鏡の
ように照明装置内蔵型のものは構造が？！雑になるため
、顕微鏡本体が高価になってしまうという欠点があった
。
ト自体が高価であり、！１ｍｆｆ１本体も高価になって
しまうという欠点があった。又、第１５図に示したよう
なものは、ランプハウス１０４の出張りが第１３図に示
したものと同様に組合わされる装置の利用可能な空間を
狭めてしまうという欠点があった。又、手術用顕微鏡の
ように照明装置内蔵型のものは構造が？！雑になるため
、顕微鏡本体が高価になってしまうという欠点があった
。
本発明は、上記問題点に鑑み、同軸度の高い照明若しく
は同軸照明を実現し得、而も対物レンズ先端部の形状が
シンプル且つコンパクトであって組合わされる装置の利
用可能な空間が広く、顕微鏡本体も安価である実体顕微
鏡を堤供することを目的としている。
は同軸照明を実現し得、而も対物レンズ先端部の形状が
シンプル且つコンパクトであって組合わされる装置の利
用可能な空間が広く、顕微鏡本体も安価である実体顕微
鏡を堤供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段及び作用〕本発明による実
体ＷＪ 微鏡は、ズーム系をガイド柱にｔｉｖＪ可能に
装架して成る実体顕微鏡において、上記ガイド柱の少な
くとも一本を顕微鏡本体を貫通する中空円筒にし、該中
空円筒内にＭ明光を通すようにしたことにより、対物レ
ンズに非常に近接した点から照明光が出射されるように
して極めて同軸度の高い照明を行い得るようにすると共
に、照明系のために特別なスペースや？１９！な構造を
必要としないようにしている。
体ＷＪ 微鏡は、ズーム系をガイド柱にｔｉｖＪ可能に
装架して成る実体顕微鏡において、上記ガイド柱の少な
くとも一本を顕微鏡本体を貫通する中空円筒にし、該中
空円筒内にＭ明光を通すようにしたことにより、対物レ
ンズに非常に近接した点から照明光が出射されるように
して極めて同軸度の高い照明を行い得るようにすると共
に、照明系のために特別なスペースや？１９！な構造を
必要としないようにしている。
又、本発明による実体顕微鏡は、上記構成において、顕
微鏡本体下面に、照明光軸を曲げて観察光軸と一致させ
る光学系を配設したことにより、簡易同軸落射照明も行
い得るようにしている。
微鏡本体下面に、照明光軸を曲げて観察光軸と一致させ
る光学系を配設したことにより、簡易同軸落射照明も行
い得るようにしている。
以下、図示した一実施例に基づき本発明の詳細な説明す
る。
る。
第１図は本発明実体顕微鏡の一実施例の鏡体部の概略縦
断面図、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々第１図Ａ−Ａ線
及びＢ−Ｂ線に沿う断面図、第３図は上記鏡体部の底面
図、第４図は上記鏡体部に取付けられる照明光学系の概
略縦断面図、第５図は上記実施例全体の側面図である。
断面図、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々第１図Ａ−Ａ線
及びＢ−Ｂ線に沿う断面図、第３図は上記鏡体部の底面
図、第４図は上記鏡体部に取付けられる照明光学系の概
略縦断面図、第５図は上記実施例全体の側面図である。
第１図及び第２図において、１は本体枠、２は本体枠ｌ
を覆うカバー ３は本体枠ｌ及びカバー２に着脱自在に
取付けられた補助カバーであって、カバー２には接眼鏡
筒４が装着されている。５は本体枠１に上下方向に装着
された４本のガイド柱、６は一端部が図面左方のガイド
柱５に摺動可能に嵌装され且つ他端部が図面右方のガイ
ド柱５に摺動可能に当接せしめられていると共に両者間
がバネ７で引かれて該当接状態が維持されている一対の
第１群レンズ枠、８は画筆１群しンズ伜６．６に支持さ
れた一対の第１群レンズ（第２図（Ａ）） ９は一端部
が図面右方のガイド柱５に摺動可能に嵌装され且つ他端
部が図面左方のガイド柱５にｔｇ動可能に当接せしめら
れていると共に両者間がバネ１０で引かれて該当接状態
が維持されている一対の第２群レンズ枠、１１は画筆２
群レンズ枠９に支持された一対の第２群レンズ（第２図
（Ｂ））であって、第１群レンズ８．８と第２群レンズ
１１，１１とで一対のズーム弐対物レンズを構成してい
る。１２は図面左方のガイド柱５゜５間においてガイド
柱５と平行に本体枠ｌに枢着されていて周面の下側及び
上側位置に夫々カム溝１２ａ及び１２ｂが形成された円
柱カム、１３は図面右方のガイド柱５．５間において本
体枠ｌに貫１ｊｌ＝着された中空円筒状の他のガイド柱
、１４は、図面左方のリング部が円柱カム１２に上下摺
動可能に嵌装されていてそれに螺着されたカムビン１５
がカム溝１２ａに滑合し且つそれから図面上下方向に延
びた一対の腕１４ａ、１４ａが夫々各ｍ１群レンズ枠６
．６に固定されたビン＄ａ。
を覆うカバー ３は本体枠ｌ及びカバー２に着脱自在に
取付けられた補助カバーであって、カバー２には接眼鏡
筒４が装着されている。５は本体枠１に上下方向に装着
された４本のガイド柱、６は一端部が図面左方のガイド
柱５に摺動可能に嵌装され且つ他端部が図面右方のガイ
ド柱５に摺動可能に当接せしめられていると共に両者間
がバネ７で引かれて該当接状態が維持されている一対の
第１群レンズ枠、８は画筆１群しンズ伜６．６に支持さ
れた一対の第１群レンズ（第２図（Ａ）） ９は一端部
が図面右方のガイド柱５に摺動可能に嵌装され且つ他端
部が図面左方のガイド柱５にｔｇ動可能に当接せしめら
れていると共に両者間がバネ１０で引かれて該当接状態
が維持されている一対の第２群レンズ枠、１１は画筆２
群レンズ枠９に支持された一対の第２群レンズ（第２図
（Ｂ））であって、第１群レンズ８．８と第２群レンズ
１１，１１とで一対のズーム弐対物レンズを構成してい
る。１２は図面左方のガイド柱５゜５間においてガイド
柱５と平行に本体枠ｌに枢着されていて周面の下側及び
上側位置に夫々カム溝１２ａ及び１２ｂが形成された円
柱カム、１３は図面右方のガイド柱５．５間において本
体枠ｌに貫１ｊｌ＝着された中空円筒状の他のガイド柱
、１４は、図面左方のリング部が円柱カム１２に上下摺
動可能に嵌装されていてそれに螺着されたカムビン１５
がカム溝１２ａに滑合し且つそれから図面上下方向に延
びた一対の腕１４ａ、１４ａが夫々各ｍ１群レンズ枠６
．６に固定されたビン＄ａ。
６ａと係合していると共に、図面右方のフォーク部がガ
イド柱５を摺動可能に挟んでいる第１群用従動子（第２
図（人））、１６は、図面左方のリング部が円柱カム１
２に上下！ＭＯ可能に嵌装されていてそれに螺着された
カムビン１７がカム溝１２ｂに滑合していると共に、図
面右方のフォーク部がガイド柱５を摺動可能に挟み且つ
それから図面上下方向に延びた一対の＠１６ａ、１６ａ
が夫々各第２群レンズ枠９．９に固定されたビン９ａ。
イド柱５を摺動可能に挟んでいる第１群用従動子（第２
図（人））、１６は、図面左方のリング部が円柱カム１
２に上下！ＭＯ可能に嵌装されていてそれに螺着された
カムビン１７がカム溝１２ｂに滑合していると共に、図
面右方のフォーク部がガイド柱５を摺動可能に挟み且つ
それから図面上下方向に延びた一対の＠１６ａ、１６ａ
が夫々各第２群レンズ枠９．９に固定されたビン９ａ。
９ａと係合している第２群用従動子（第２図（Ｂ））で
あって、円柱カム１２はベベルギヤ１８を介して後述の
ズームつまみ！９（第５図）と接続されており、これら
がズームレンズ駆動機構を構成している。
あって、円柱カム１２はベベルギヤ１８を介して後述の
ズームつまみ！９（第５図）と接続されており、これら
がズームレンズ駆動機構を構成している。
第３図において、２０は本体枠ｌの底壁１ａに一対゛の
観察光軸と同軸的に設けられた一対の観察用開口、２２
は該底壁１ａに円柱カム１２と同軸的に形成されていて
後述のアタッチメントの位置決めに用いられる位置決め
ビン、２３は上記底壁ｌａにガイド柱１３と同軸的に設
けられた照明用開口である。
観察光軸と同軸的に設けられた一対の観察用開口、２２
は該底壁１ａに円柱カム１２と同軸的に形成されていて
後述のアタッチメントの位置決めに用いられる位置決め
ビン、２３は上記底壁ｌａにガイド柱１３と同軸的に設
けられた照明用開口である。
第４図において、２４は電源２５（第５図）に接続され
たランプ、２６はコンタクトレンズ、２７はプリズムで
あワて、これらが照明用鏡筒２Ｂ（第５図）に固定され
、照明用鏡筒２Ｂは猜助カバー３を外した状態で本体枠
１に固定されるようになっている。２９はその前後群間
が円筒状のスペーサ３０により決められると共に全体が
ガイド柱１３内に着脱可能に嵌挿され且つリングネジ３
１により固定された照明レンズであって、これがランプ
２４．コンタクトレンズ２６．プリズム２７と一緒に照
明光学系を構成している。
たランプ、２６はコンタクトレンズ、２７はプリズムで
あワて、これらが照明用鏡筒２Ｂ（第５図）に固定され
、照明用鏡筒２Ｂは猜助カバー３を外した状態で本体枠
１に固定されるようになっている。２９はその前後群間
が円筒状のスペーサ３０により決められると共に全体が
ガイド柱１３内に着脱可能に嵌挿され且つリングネジ３
１により固定された照明レンズであって、これがランプ
２４．コンタクトレンズ２６．プリズム２７と一緒に照
明光学系を構成している。
そして、以上の部材は第５図に示した如く顕微鏡架台３
２に支持されている。
２に支持されている。
本実施例は上述の如く構成されているから、ズームつま
み１９を回転させると、円柱カム１２が回転して第１群
従劫′ｌ−１４及び第２群従勤゛子１６を上下動せしめ
ることにより第１群レンズ８及び第２群レンズ１１が上
下動せしめられて、ズーミングが行われる。
み１９を回転させると、円柱カム１２が回転して第１群
従劫′ｌ−１４及び第２群従勤゛子１６を上下動せしめ
ることにより第１群レンズ８及び第２群レンズ１１が上
下動せしめられて、ズーミングが行われる。
又、ランプ２４を発した光束はコンタクトレンズ２６で
集光された後プリズム２７で反射されてガイド柱１３の
上端に導かれ、続いて照明レンズ２９を通って照明用開
口２３から照明光３３として出射される。この場合、照
明用間口２３が観察用開口２０．２０に非常に接近して
いるので、同軸度の高い照明が得られる。又、顕微鏡本
体は、本来必要であったガイド柱の一本を中空円筒状に
するだけで済むので、製造コストの上昇をさほど引き起
こさず安価のままである。又、対物レンズ先端部では照
明系のための特別のスペースを必要としないので、１亥
先端部の形状がシンプル且つコンパクトであって組合わ
される装置の利用可能な空間が広い、又、光線を有効に
使えるため明るい照明が可能である。
集光された後プリズム２７で反射されてガイド柱１３の
上端に導かれ、続いて照明レンズ２９を通って照明用開
口２３から照明光３３として出射される。この場合、照
明用間口２３が観察用開口２０．２０に非常に接近して
いるので、同軸度の高い照明が得られる。又、顕微鏡本
体は、本来必要であったガイド柱の一本を中空円筒状に
するだけで済むので、製造コストの上昇をさほど引き起
こさず安価のままである。又、対物レンズ先端部では照
明系のための特別のスペースを必要としないので、１亥
先端部の形状がシンプル且つコンパクトであって組合わ
される装置の利用可能な空間が広い、又、光線を有効に
使えるため明るい照明が可能である。
第６図は照明光学系の第１変形例を示しており、これは
第４図のプリズム２７と照明レンズ３０の代りにライト
ガイドファイバ、−３４を使用し、該ファイバー３４の
人！ｔ（（１）の口金３４ａをコンタクトレンズ２６と
一体的に固定し且つ出射側の口金３４ｂをガイド柱１３
に嵌合せしめたものである。
第４図のプリズム２７と照明レンズ３０の代りにライト
ガイドファイバ、−３４を使用し、該ファイバー３４の
人！ｔ（（１）の口金３４ａをコンタクトレンズ２６と
一体的に固定し且つ出射側の口金３４ｂをガイド柱１３
に嵌合せしめたものである。
これはレンズを用いたものに比べて構造が単純で安価で
あるという利点がある。又、他のガイド柱５も中空円筒
状にしてそれに分岐したファイバーを挿通することは容
易であり、そうすれば複数箇所から照明光が出射される
ことになってムラのない照明が得られる。
あるという利点がある。又、他のガイド柱５も中空円筒
状にしてそれに分岐したファイバーを挿通することは容
易であり、そうすれば複数箇所から照明光が出射される
ことになってムラのない照明が得られる。
第７図は照明光学系の第２変形例を示しており、これは
第４図の照明レンズ３０の代りに単ファイバー３５を用
いたものである。これは開口全体を有効に使用できるの
で、明るい照明が得られる。
第４図の照明レンズ３０の代りに単ファイバー３５を用
いたものである。これは開口全体を有効に使用できるの
で、明るい照明が得られる。
尚、単ファイバー３５の代りに屈折率分布型レンズを用
いても良い。
いても良い。
第８図は照明光学系の第３変形例を示しており、これは
第４図の照明レンズ３００代りにガイド柱１３の内面１
３ａを鏡面にしてその反射作用を利用して光を伝達する
ようにしたものであって、硝材を用いないため安価にな
る。
第４図の照明レンズ３００代りにガイド柱１３の内面１
３ａを鏡面にしてその反射作用を利用して光を伝達する
ようにしたものであって、硝材を用いないため安価にな
る。
第９図は照明光学系の第４変形例を示しており、これは
第７図の単ファイバー３５の出射端面３５ａを斜めに切
断して第１Ｏ図に示した如く照明光３３の出射光軸が観
察光軸と交差するようにしたものであって、照明光の一
番明るい中心光が観察の中心と一致するという利点があ
る。
第７図の単ファイバー３５の出射端面３５ａを斜めに切
断して第１Ｏ図に示した如く照明光３３の出射光軸が観
察光軸と交差するようにしたものであって、照明光の一
番明るい中心光が観察の中心と一致するという利点があ
る。
第１１図（Ａ）及びＣＢ）は夫々第４図、第６図９第７
図２第８Ｕ！Ｊの照明光学系に適用される斜照明用アタ
ッチメントの要部縦断面図及びＢ方向矢視図であって、
３６は位置決めピン２２と嵌合する方向決め孔３７と、
観察用開口２０．２０と一致する一対の開口３８．３８
と照明用間口２３と一致する楔形プリズム３９とを存す
る支持板、４０は本体枠１の下端内周部に螺合して支持
板３６を本体枠１に固定する締込みリングである。そし
て、照明光の出射光軸は楔形プリズム３９により曲げら
れて第１０１に示した如く観察光軸と交差するようにな
り、第９図の例と同じ効果が得られる。
図２第８Ｕ！Ｊの照明光学系に適用される斜照明用アタ
ッチメントの要部縦断面図及びＢ方向矢視図であって、
３６は位置決めピン２２と嵌合する方向決め孔３７と、
観察用開口２０．２０と一致する一対の開口３８．３８
と照明用間口２３と一致する楔形プリズム３９とを存す
る支持板、４０は本体枠１の下端内周部に螺合して支持
板３６を本体枠１に固定する締込みリングである。そし
て、照明光の出射光軸は楔形プリズム３９により曲げら
れて第１０１に示した如く観察光軸と交差するようにな
り、第９図の例と同じ効果が得られる。
第１２図は第４図、第６図、第７図、第８図の照明光学
系に通用される同軸落射照明用アタッチメントの要部縦
断面図であって、４１は位置決めピン２２と嵌合する方
向決め孔４２と、照明用開口２３と一致する間口４３＆
びミラー４４と、観察用開口２０．２０と一致する一対
の開口４５゜４５及び一対のハーフミラ−４６，４６と
を存する支持板、４７は本体枠ｌの下端内周部に螺合し
て支持板４１を本体枠ｌに固定する締込みリングである
。そして、照明光の出射光軸はミラー４４に水平方向に
曲げられた後ハーフミラ−４６，４６により垂直方向に
曲げられて観察光軸と一致せしめられるようになり、同
軸落射照明が行われる。
系に通用される同軸落射照明用アタッチメントの要部縦
断面図であって、４１は位置決めピン２２と嵌合する方
向決め孔４２と、照明用開口２３と一致する間口４３＆
びミラー４４と、観察用開口２０．２０と一致する一対
の開口４５゜４５及び一対のハーフミラ−４６，４６と
を存する支持板、４７は本体枠ｌの下端内周部に螺合し
て支持板４１を本体枠ｌに固定する締込みリングである
。そして、照明光の出射光軸はミラー４４に水平方向に
曲げられた後ハーフミラ−４６，４６により垂直方向に
曲げられて観察光軸と一致せしめられるようになり、同
軸落射照明が行われる。
これは、内蔵型の同軸落射照明系に比べて構造が簡単な
ので安価であり、対物レンズ先端部で照明系のための特
別なスペースを必要としないので組合わされる装置の利
用可能空間が広い。
ので安価であり、対物レンズ先端部で照明系のための特
別なスペースを必要としないので組合わされる装置の利
用可能空間が広い。
上述の如く、本発明による実体顕微鏡は、同軸度の高い
照明若しくは同軸照明を実現し得、・而もＵ’ｔＭレン
ズ先端部の形状がシンプル且つコンパクトであって組合
わされる装置の利用可能な空間が広く、顕微鏡本体も安
価であるという実用上！！要な利点を有している。
照明若しくは同軸照明を実現し得、・而もＵ’ｔＭレン
ズ先端部の形状がシンプル且つコンパクトであって組合
わされる装置の利用可能な空間が広く、顕微鏡本体も安
価であるという実用上！！要な利点を有している。
第１図は本発明による実体顕微鏡の一実施例の鏡体部の
概略縦断面図、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々第１図Ａ
−Ａ線及びＢ −Ｂ ）Ｊに沿う断面図、第３図は上記
鏡体部の底面図、第４図は上記鏡体部に取付けられる照
明光学系の概略縦断面図、第５図は上記実施例全体の側
面図、第６図乃至第９図は夫々上記照明光学系の第１乃
至第４変形例を示す概略縦断面図、第１０図は斜照明状
態を示す要部側面図、第１１図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々
第４図、第６図、第７図、第８図の照明光学系に適用さ
れる斜照明用アタッチメントの要部縦断面図及びＢ方向
矢視図、第１２図は第６図９第７図。 第７図、第８図の照明光学系に通用される同軸落射照明
用アタッチメントの要部縦断面図、第１３図乃至第１５
図は夫々従来例の要部側面図である。 １・・・・本体枠、２・・・・カバー ３・・・・補助
カバ４・・・・接眼＠筒、５．１３・・・・ガイド柱、
６・・・・第１群レンズ枠、７．１０・・・・バネ、８
・・・・第１群レンズ、９・・・・第２群レンズ枠、１
１・・・・第２ｎレンズ、１２・・・・円筒カム、１３
・・・・第１群用従動子、１５．１７・・・・カムピン
、１６・・・・第２群用従動子、１８・・・・ベベルギ
ヤ、１９・・ズームつまみ、２０・・・・観察用開口、
２２・・・・位置決めピン、２３・・・・照明用開口、
２４・・・・ランプ、２５・・・・電源、２６・・・・
コンタクトレンズ、２７・・・・プリズム、２８・・・
・照明用鏡筒、２９・・・・照明レンズ、３０・・・・
スペーサ、３１・・・・リングネジ、３２・・・・ｉ！
ｌ微鏡架台、３３・・・・照明光、３４・・・・ライト
ガイドファイバー ３５・・・・承ファイバー ３６．
４１・・・・支持板、３７．４２・・・・方向決め孔、
３８．４３．４５・・・・開口、３９・・・・楔形プリ
ズム、４０．４７・・・・締込みリング、４・・・・ミ
ラー ４６・・・・ハーフミラ− １−２図 第１ 図 ｚＵ ｂ ８ １α 第１２図 第１３図 第１１図
概略縦断面図、第２図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々第１図Ａ
−Ａ線及びＢ −Ｂ ）Ｊに沿う断面図、第３図は上記
鏡体部の底面図、第４図は上記鏡体部に取付けられる照
明光学系の概略縦断面図、第５図は上記実施例全体の側
面図、第６図乃至第９図は夫々上記照明光学系の第１乃
至第４変形例を示す概略縦断面図、第１０図は斜照明状
態を示す要部側面図、第１１図（Ａ）及び（Ｂ）は夫々
第４図、第６図、第７図、第８図の照明光学系に適用さ
れる斜照明用アタッチメントの要部縦断面図及びＢ方向
矢視図、第１２図は第６図９第７図。 第７図、第８図の照明光学系に通用される同軸落射照明
用アタッチメントの要部縦断面図、第１３図乃至第１５
図は夫々従来例の要部側面図である。 １・・・・本体枠、２・・・・カバー ３・・・・補助
カバ４・・・・接眼＠筒、５．１３・・・・ガイド柱、
６・・・・第１群レンズ枠、７．１０・・・・バネ、８
・・・・第１群レンズ、９・・・・第２群レンズ枠、１
１・・・・第２ｎレンズ、１２・・・・円筒カム、１３
・・・・第１群用従動子、１５．１７・・・・カムピン
、１６・・・・第２群用従動子、１８・・・・ベベルギ
ヤ、１９・・ズームつまみ、２０・・・・観察用開口、
２２・・・・位置決めピン、２３・・・・照明用開口、
２４・・・・ランプ、２５・・・・電源、２６・・・・
コンタクトレンズ、２７・・・・プリズム、２８・・・
・照明用鏡筒、２９・・・・照明レンズ、３０・・・・
スペーサ、３１・・・・リングネジ、３２・・・・ｉ！
ｌ微鏡架台、３３・・・・照明光、３４・・・・ライト
ガイドファイバー ３５・・・・承ファイバー ３６．
４１・・・・支持板、３７．４２・・・・方向決め孔、
３８．４３．４５・・・・開口、３９・・・・楔形プリ
ズム、４０．４７・・・・締込みリング、４・・・・ミ
ラー ４６・・・・ハーフミラ− １−２図 第１ 図 ｚＵ ｂ ８ １α 第１２図 第１３図 第１１図
Claims (2)
- （１）ズーム系をガイド柱に摺動可能に装架して成る実
体顕微鏡において、上記ガイド柱の少なくとも一本を顕
微鏡本体を貫通する中空円筒にし、該中空円筒内に照明
光を通すようにしたことを特徴とする実体顕微鏡。 - （２）顕微鏡本体下面に、照明光軸を曲げて観察光軸と
一致させる光学系を配設したことを特徴とする請求項（
１）に記載の実体顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63181376A JP2768470B2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 実体顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63181376A JP2768470B2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 実体顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229710A true JPH0229710A (ja) | 1990-01-31 |
| JP2768470B2 JP2768470B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=16099649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63181376A Expired - Fee Related JP2768470B2 (ja) | 1988-07-20 | 1988-07-20 | 実体顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2768470B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10500528A (ja) * | 1994-05-13 | 1998-01-13 | アライドシグナル・インコーポレーテッド | マイクロプリズムのアレイを用いる照明系 |
| US5835338A (en) * | 1995-10-03 | 1998-11-10 | Tdk Corporation | Multilayer ceramic capacitor |
| JP2006154229A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
| JP2011501223A (ja) * | 2007-10-24 | 2011-01-06 | スイス メディカル テヒノロギー ゲーエムベーハー | 光学立体装置のズームシステム |
| JP2017167222A (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | マイクロネット株式会社 | 顕微鏡用照明装置、顕微鏡用照明装置を備える顕微鏡、顕微鏡用照明装置を備える顕微鏡システム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5830720A (ja) * | 1981-08-19 | 1983-02-23 | Fujitsu Ltd | 実体顕微鏡の同軸照明装置 |
| JPS61116310A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-03 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 変倍装置 |
| JPS62134615A (ja) * | 1985-12-06 | 1987-06-17 | Canon Inc | 実体顕微鏡 |
-
1988
- 1988-07-20 JP JP63181376A patent/JP2768470B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2768470B2 (ja) | 1998-06-25 |
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