JPH02298069A - 半導体集積回路 - Google Patents
半導体集積回路Info
- Publication number
- JPH02298069A JPH02298069A JP1119212A JP11921289A JPH02298069A JP H02298069 A JPH02298069 A JP H02298069A JP 1119212 A JP1119212 A JP 1119212A JP 11921289 A JP11921289 A JP 11921289A JP H02298069 A JPH02298069 A JP H02298069A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor integrated
- integrated circuit
- supplied
- transistor
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は半導体集積回路の電磁界誘導による破壊を防
止するためになされた半導体集積回路の構成法に関する
ものである0 〔従来の技術〕 近年、半導体集積回路の微細化が進むに従って半導体集
積回路の強電磁界変化による破壊という現象が顕著にな
り問題となっている0この破壊は半導体集積回路に給電
されていない時、即ち、電磁界変化の大きい場所に保存
されているような場合に特に顕著となる0この破壊のメ
カニズムを図を用いて説明する。第4図は半導体集積回
路を構成する一部であるNチャンネルuosトランジス
タと遅延用キャパシタを示す回路図で、図のキャパシタ
(1)は信号遅延を目的としているため比較的大きな容
量値に設計されており、そのためレイアウト面積も大き
い。もし、この半導体集積回路に給電されていない時、
vo。端子(2)ははP1接地電位になっている0又N
MO8トランジスタTrllf3)及びTrl!! (
4)のゲート電位もほぼ接地電位になってい私、この状
態の時に、半導体集積回路の周りの環境に大きな電磁界
変化が生じたとする。この時、ノード1(5)は大きな
寄生り成分(6)やO成分を有しているため高い電圧に
なる。
止するためになされた半導体集積回路の構成法に関する
ものである0 〔従来の技術〕 近年、半導体集積回路の微細化が進むに従って半導体集
積回路の強電磁界変化による破壊という現象が顕著にな
り問題となっている0この破壊は半導体集積回路に給電
されていない時、即ち、電磁界変化の大きい場所に保存
されているような場合に特に顕著となる0この破壊のメ
カニズムを図を用いて説明する。第4図は半導体集積回
路を構成する一部であるNチャンネルuosトランジス
タと遅延用キャパシタを示す回路図で、図のキャパシタ
(1)は信号遅延を目的としているため比較的大きな容
量値に設計されており、そのためレイアウト面積も大き
い。もし、この半導体集積回路に給電されていない時、
vo。端子(2)ははP1接地電位になっている0又N
MO8トランジスタTrllf3)及びTrl!! (
4)のゲート電位もほぼ接地電位になってい私、この状
態の時に、半導体集積回路の周りの環境に大きな電磁界
変化が生じたとする。この時、ノード1(5)は大きな
寄生り成分(6)やO成分を有しているため高い電圧に
なる。
従来の半導体集積回路は以上のように構成されていたの
で、トランジスタTr11及びトランジスタTr12は
非導通状態にあるためノード1に誘起さtた電荷は逃げ
るところがなく、遂にはキヤ/ぐシペ・の破壊に至り、
一方、動作時にはトランジスタTr11或はトランジス
タTr12のどちらかが導通しているために、誘起され
た電荷はこのトランジスタを介して逃げ破壊にはならな
い0このことが給電されていない半導体集積回路が大き
な電磁界強度変化のある環境下で破壊し易いという問題
点を有していた。
で、トランジスタTr11及びトランジスタTr12は
非導通状態にあるためノード1に誘起さtた電荷は逃げ
るところがなく、遂にはキヤ/ぐシペ・の破壊に至り、
一方、動作時にはトランジスタTr11或はトランジス
タTr12のどちらかが導通しているために、誘起され
た電荷はこのトランジスタを介して逃げ破壊にはならな
い0このことが給電されていない半導体集積回路が大き
な電磁界強度変化のある環境下で破壊し易いという問題
点を有していた。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、半導体集積回路の非給電時に大きなキャパシ
タの対向電極間を短絡する手段を設けることにより、電
磁界変化の大きい環境下での半導体集積回路の破壊を防
止することを目的とする。
たもので、半導体集積回路の非給電時に大きなキャパシ
タの対向電極間を短絡する手段を設けることにより、電
磁界変化の大きい環境下での半導体集積回路の破壊を防
止することを目的とする。
この発明に係る半導体集積回路はキャパシタの相対向す
る第1.第2の電極間に短絡手段を設け、半導体集積回
路への給電されていない時は短絡手段を短絡状態とし、
給電されている時には短絡手段を開放するようにしたも
のである。
る第1.第2の電極間に短絡手段を設け、半導体集積回
路への給電されていない時は短絡手段を短絡状態とし、
給電されている時には短絡手段を開放するようにしたも
のである。
この発明における短絡手段は半導体集積回路への給電さ
れていない時にはキャパシタの相対向する電極間を短絡
することによって蓄wtN、荷を放電させ、給電時には
短絡手段を開放することによって半導体集積回路の正常
な動作を可能にする。
れていない時にはキャパシタの相対向する電極間を短絡
することによって蓄wtN、荷を放電させ、給電時には
短絡手段を開放することによって半導体集積回路の正常
な動作を可能にする。
以下、この発明の一実施例を図について説明するO
第1図はこの発明における半導体集積回路の一実施例を
示す概念図である。図中符号(1)〜(4)は前記従来
のものと同一につき説明は省略する。図において、半導
体集積回路に給電しない時のみ、その機能を発揮する短
絡手段(7)をキャパシタ(1)の対向電極α11(2
)間に設けたものである0又、給電時にはこの短絡手段
(7)が開放になるように構成されている。
示す概念図である。図中符号(1)〜(4)は前記従来
のものと同一につき説明は省略する。図において、半導
体集積回路に給電しない時のみ、その機能を発揮する短
絡手段(7)をキャパシタ(1)の対向電極α11(2
)間に設けたものである0又、給電時にはこの短絡手段
(7)が開放になるように構成されている。
第2図はこの短絡手段(7)の具体的実施例を示した回
路図である。図示のように、短絡手段(7)はデプレッ
ション型NMO81’ランジスタ(8)からなっており
、そのドレイン端はキャパシタ(1)の一方の電極叩、
そのソース端はキャパシタ(1)の他方の電極(6)に
接続されている。又、ゲート端は、基板電位1’!IB
に接続されている◇ 次に動作について説明する0半導体集積回路が給電され
ていない状態では基板電位はほぼ接地電位になっており
、このためIJMOBトランジスタで。
路図である。図示のように、短絡手段(7)はデプレッ
ション型NMO81’ランジスタ(8)からなっており
、そのドレイン端はキャパシタ(1)の一方の電極叩、
そのソース端はキャパシタ(1)の他方の電極(6)に
接続されている。又、ゲート端は、基板電位1’!IB
に接続されている◇ 次に動作について説明する0半導体集積回路が給電され
ていない状態では基板電位はほぼ接地電位になっており
、このためIJMOBトランジスタで。
1(8)は導通状態になる0従って、この時電磁界誘電
によシ生じるコンデンサ(1)の電荷は、トランジスタ
(8)を介して短絡され、2つの対向電極002の電位
は同一に保たれ、キャパシタ(1)の破壊が防止できる
。一方、半導体集積回路に給電されている状態では、基
板は外部電源により直接食の電圧が印加されたり、或は
半導体集積回路上に形成された基板バイアス電圧発生回
路によシ発生される負の電圧が印加される0従って、こ
の時トランジスタ(8)は非導通状態になり、キャパシ
タ(1)の2つの対向電極0(2)は開放状態になり、
正常な回路動作を行なうことができる0 なお、上記実施例では短絡手段(7)としてデプレツシ
目ン型のNIJO13トランジスタ(8)を用いた場合
を示したが、第3図に示すような回路としてもよい。図
において、(9)はNチャネル−OSトランジスタ、α
OはPチャネルuos トランジスタである。
によシ生じるコンデンサ(1)の電荷は、トランジスタ
(8)を介して短絡され、2つの対向電極002の電位
は同一に保たれ、キャパシタ(1)の破壊が防止できる
。一方、半導体集積回路に給電されている状態では、基
板は外部電源により直接食の電圧が印加されたり、或は
半導体集積回路上に形成された基板バイアス電圧発生回
路によシ発生される負の電圧が印加される0従って、こ
の時トランジスタ(8)は非導通状態になり、キャパシ
タ(1)の2つの対向電極0(2)は開放状態になり、
正常な回路動作を行なうことができる0 なお、上記実施例では短絡手段(7)としてデプレツシ
目ン型のNIJO13トランジスタ(8)を用いた場合
を示したが、第3図に示すような回路としてもよい。図
において、(9)はNチャネル−OSトランジスタ、α
OはPチャネルuos トランジスタである。
図のように、キャパシタ(1)の対向電極α11(イ)
間にエンハンスメント型のNチャンネルvosトランジ
スタ(9)とPチャンネル1iosトランジスタqOを
接続し、そのゲート電極はそれぞれ接地配線及び電源配
線に接続されている。このとき、キャパシタ(1)の電
極但に電磁界変化により正の電荷が誘起されたとする。
間にエンハンスメント型のNチャンネルvosトランジ
スタ(9)とPチャンネル1iosトランジスタqOを
接続し、そのゲート電極はそれぞれ接地配線及び電源配
線に接続されている。このとき、キャパシタ(1)の電
極但に電磁界変化により正の電荷が誘起されたとする。
今、半導体集積回路が無給電状態にあるとした時は、電
源配線は接地電位にほぼ等しくなっているので、Pチャ
ンネル型MO8トランジスタαGにより、電極0の電位
はPチャンネル鑓oSトランジスタαOのしきい値電圧
でクランプされる。一方、電極(2)に負の電荷が誘起
された時はNチャンネル型MOSトランジスタ(9)が
導通し、電極■の電位は−INチャンネル型−OSトラ
ンジスタ(9)のしきい値1(V)でクランプされる。
源配線は接地電位にほぼ等しくなっているので、Pチャ
ンネル型MO8トランジスタαGにより、電極0の電位
はPチャンネル鑓oSトランジスタαOのしきい値電圧
でクランプされる。一方、電極(2)に負の電荷が誘起
された時はNチャンネル型MOSトランジスタ(9)が
導通し、電極■の電位は−INチャンネル型−OSトラ
ンジスタ(9)のしきい値1(V)でクランプされる。
以上のように、第3図の実施例では、キャパシタ(1)
の電極(111Q2間の電位差は−08トランジスタの
しきい値に抑えられるため、キャパシタの破壊を防ぐこ
とができる。一方、半導体集積回路に給電されている場
合は、Pチャンネル及びNチャンネル型MOSトランジ
スタは、共に非導通状態となるのでキャパシタ(1)は
正常にその役割を果たすことができる。
の電極(111Q2間の電位差は−08トランジスタの
しきい値に抑えられるため、キャパシタの破壊を防ぐこ
とができる。一方、半導体集積回路に給電されている場
合は、Pチャンネル及びNチャンネル型MOSトランジ
スタは、共に非導通状態となるのでキャパシタ(1)は
正常にその役割を果たすことができる。
以上のようにこの発明によれば、半導体集積回路の構成
デバイスであるキャパシタを形成スる2つの対向電極を
、半導体集積回路への給電がなされない時は、短絡或は
、ある低電圧にクランプし、かつ、給電時は開放にする
手段を用いたことによシ、非給電時の大きな電磁界変化
による素子の破壊を防止することができ、高信頼性の半
導体集積回路が得られる効果がある。
デバイスであるキャパシタを形成スる2つの対向電極を
、半導体集積回路への給電がなされない時は、短絡或は
、ある低電圧にクランプし、かつ、給電時は開放にする
手段を用いたことによシ、非給電時の大きな電磁界変化
による素子の破壊を防止することができ、高信頼性の半
導体集積回路が得られる効果がある。
第1図はこの発明の半導体集積回路の一実施例を示す概
念図、第2図はこの発明の短絡手段の具体的実施例を示
す回路図、第3図はこの発明の短絡手段の他の実施例を
示す回路図、第4図は従来の半導体集積回路においてキ
ャパシタの電磁誘導による破壊を発生する回路図である
。 図において、(1)はキャパシタ、(2)は端子、(3
)(4)はNチャネルMOSトランジスタ、(7)は短
絡手段、(8) ハNチャネルトランジスタ、(9)は
Nチャネル−〇Sトランジスタ、αOはPチャネルMO
Sトランジスタ、0(2)はキャパシタ(1)の電極を
示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
念図、第2図はこの発明の短絡手段の具体的実施例を示
す回路図、第3図はこの発明の短絡手段の他の実施例を
示す回路図、第4図は従来の半導体集積回路においてキ
ャパシタの電磁誘導による破壊を発生する回路図である
。 図において、(1)はキャパシタ、(2)は端子、(3
)(4)はNチャネルMOSトランジスタ、(7)は短
絡手段、(8) ハNチャネルトランジスタ、(9)は
Nチャネル−〇Sトランジスタ、αOはPチャネルMO
Sトランジスタ、0(2)はキャパシタ(1)の電極を
示す。 なお、図中、同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体集積回路の構成要素であるキャパシタの第1及
び第2の対向電極間を、前記半導体集積回路への給電が
なされていない時は短絡、或は一定の低電圧でクランプ
し、かつ、給電がされている時は開放状態となる手段を
有することを特徴とする半導体集積回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1119212A JPH02298069A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 半導体集積回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1119212A JPH02298069A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 半導体集積回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02298069A true JPH02298069A (ja) | 1990-12-10 |
Family
ID=14755717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1119212A Pending JPH02298069A (ja) | 1989-05-12 | 1989-05-12 | 半導体集積回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02298069A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020171157A (ja) * | 2019-04-04 | 2020-10-15 | 株式会社日立製作所 | フィルタコンデンサの短絡装置、短絡・ユニット装置、短絡方法 |
-
1989
- 1989-05-12 JP JP1119212A patent/JPH02298069A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020171157A (ja) * | 2019-04-04 | 2020-10-15 | 株式会社日立製作所 | フィルタコンデンサの短絡装置、短絡・ユニット装置、短絡方法 |
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