JPH02300501A - 空気圧駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧縮空気源を駆動源として動作を行う空気圧駆
動装置に関するものである。

従来の技術 空気圧駆動装置は、動作部の出力重量比が高いため小型
・軽量化が容易で、駆動源から動作部への伝達も配管に
より容易にかつ自由にできる。さらに、安価で、環境を
汚すこともなく、力を保持したり圧力エネルギーとして
保存できる等の長所を生かして、近年、産業分野等で広
く利用されている。

一方、これまでオンオフ弁により弁を全開あるいは全閉
させて駆動していたため、機械的なストッパーを用いて
１点あるいは数点のみの位置決めしかできなかったもの
が、弁部の開口面積を指令値に応じて変化させる機能を
有する制御弁が進歩したため、空気室内の圧力の制御が
可能となり、任意の位置で位置決め可能となってきた。

以下図面を参照しながら、上述した従来の空気圧駆動装
置の一例について説明する。

第７図は従来の空気圧駆動装置の一例を示す全体図であ
る。

第７図において１は空気室を有する揺動型シリンダ、４
は圧縮空気源、５ａ、５ｂは空気室に空気を流入、流出
させるために弁部の開口面積を指令値に応して変化させ
る機能を有する制御弁、６ａ、６ｂはそれぞれ空気室の
内部圧力を検出する圧力センサ、７は動作部の位置を検
出する位置センサ、８は負荷、９ａ、９ｂはそれぞれ制
御弁５ａ、５ｂを駆動するコントローラ、２０は動作制
御部である。

第２図は第７図における空気圧駆動揺動型シリンダの詳
細説明図である。ｌは空気室を有する揺動型シリンダ、
２はシリンダ１内を機密性を保ちながら移動できるベー
ン、３ａ、３ｂはベーン２によって分割された空気室、
４は圧縮空気源、５ａ、５ｂは空気室に空気室３ａ、３
ｂに空気を流入、流出させるために弁部の開口面積を指
令値に応じて変化させる機能を有する制御弁、６ａ、６
ｂはそれぞれ空気室３ａ、３ｂの内部圧力を検出する圧
力センサである。

第８図は第７図における動作制御部２０の詳細説明図で
ある。第８図において１１は微分器、２１ａ。

２１ｂは増幅器である。２１ａ、２１ｂはそれぞれ動作
部の目標位置に対する位置偏差、動作部の速度、空気室
３ａ、３ｂの基準圧力からの圧力偏差のフィードバック
ゲイン成分であり、これらは、揺動型シリンダ１、ベー
ン２、負荷８を含む空気圧駆動系の状態フィードバック
制御系を構成している。

空気室３ａ、３ｂ内のそれぞれの圧力をｐｌ。

Ｐ２、ベーン２と負荷全体の慣性モーメントをＪ、粘性
摩擦係数をｂ１ベーン２の受圧面積をＡ、ベーン２の受
圧部の外半径と内半径との中心半径をｒＯ、ベーン２の
回転変位量をθとすると、Ｊθ＋ｂθ＝Ａ−ｒＯ−（ｐ
ｉ−ｐ２）・−・−・（１） の関係が成り立つ。ここで、θはθの時間に関する２同
機分、θはθの時間に関する１同機分を表わす。圧力ｐ
ｉ　　Ｎ＝１．２）と制御弁の開口面積ｓ　ｉ　（ｉ＝
１．２）との関係は、制御弁の上流側圧力と下流側圧力
との差が十分あると仮定すると、平衡点（基準圧力ｐｏ
）まわりで線形化を行い、 ｐｌ＝ｋｌ・ｓｌ・ｐｓ−に２・ｐ（ｌθ・−・・・（
２） ｐ２＝ｋｌ・ｓ２・Ｐｓ＋に２・ｐｏ・θ・・−・・−
（３） という関係が得られる。ここで、ｐｓは供給圧力、ｋｌ
、に２はベーンの形状や温度等に関係する定数である。

このとき、この空気圧駆動装置の状態方程式は、 となる。なお、Ｔは転置行列を意味する。現代制御理論
に基づき第８図に示す状態フィードバック制御を行なう
と、指令値Ｕは、 ｕ　−−ｋ　ｃ　　１　　、ｅ　　　　　　　　　　　
　　−−−−−（５）となる。ただし、θｄは動作部の
回転変位量θの目標軌道、ｋｃｌは第８図中の状態フィ
ードバックゲイン行列２１ａ、２１ｂで、動作自由度が
１つの場合は合計８個のゲインから構成される。この状
態フィードバック制御により空気の圧縮性が位置決め動
作に及ぼす影響を抑制して、空気圧駆動装置における任
意の位置での位置決め動作を実現できる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記のような空気圧駆動装置では、２つ
の空気圧室の圧力差で動作部を駆動させるため、１つの
動作部に対し２つの制御弁への指令値を決めなければな
らない。つまり、１自由度当り２つの制御入力量を定め
なければならない。

従って、駆動系の構成が複雑となり、フィードバックゲ
インの個数も多く、動作自由度が増えるに従い実現が困
難であった。

本発明は上記課題に鑑み、１自由度あたり１つの制御量
を構成し、該制御量から２つの制御弁への指令値に簡単
に分配することにより、空気圧制御系の設計が簡単にな
り、任意の目標位置に対する位置決め等の動作を容易に
実現する空気圧駆動装置を提供するものである。

課題を解決するための手段 前記課題を解決するために、本発明の空気圧駆動装置は
、空気室と該空気室内を機密性を保ちながら移動可能な
動作部とを有する空気圧アクチュエータと、前記動作部
により分割された空気室群のそれぞれに指令値に応じた
空気を流入あるいは流出させることができる制御弁群と
、前記空気室群の前記動作部に加わるそれぞれの流体力
を検出する流体力検出部と、前記動作部の動作状態を検
出する動作状態検出部と、前記動作状態検出部と前記流
体力検出部の出力信号、及び目標動作状態を入力として
前記動作部が前記目標動作状態に従って移動するために
必要な指令値を計算し、前記空気圧室群のそれぞれの前
記制御弁群に出力する指令値は前記制御量を分配して求
め、前記制御弁群に出力する動作制御部とを備えたもの
である。

作用 本発明は前記した構成によって、動作自由度と同数の制
御量を求めればよく、制御弁への指令値は前記制御量を
簡単な法則で分配することで求めることができる。従っ
て、制御系の構成が簡便になり、容易に空気圧駆動装置
における任意の位置での位置決め動作を実現することが
できる。

実施例 以下本発明の第１の一実施例の空気圧駆動装置について
、図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の第１の実施例における空気圧駆動装置
の構成を示す全体図である。

第１図においてｌは空気室を有する揺動型シリンダ、４
は圧縮空気源、５ａ、５ｂは空気室に空気を流入、流出
させるために弁部の開口面積を指令値に応じて変化させ
る機能を有する制御弁、６ａ；６ｂはそれぞれ空気室の
内部圧力を検出する圧力センサ、７は動作部の位置を検
出する位置センサ、８は負荷、９ａ、９ｂはそれぞれ制
御井５ａ、５ｂを駆動するコントローラ、１０は動作制
御部である。

第２図は第１図における空気圧駆動揺動型シリンダの詳
細説明図である。空気圧揺動シリンダは従来例と同じで
ある。

第３図は本発明の第１の実施例における空気圧駆動装置
の第１図の動作制御部１０の詳細説明図である。第３図
において１１は微分器、１２ａ、１２ｂ。

１２ｃ、１３ａ、１３ｂは増幅器である。！２ａ、１２
ｂ。

１２ｃはそれぞれ動作部の目標位置に対する位置偏差、
動作部の速度、空気室３ａ、３ｂの圧力差のフィードバ
ックゲイン成分であり、これらは、揺動型シリンダ１、
ベーン２、負荷８を含む空気圧駆動系の状態フィードバ
ック制御系を構成している。１３ａ、１３ｂは動作部の
目標位置に対する位置偏差、動作部の速度、空気室３ａ
、３ｂの圧力差にそれぞれフィードバンクゲイン１２　
ａ　、　１２　ｂ　、　１２Ｃを乗したて加え合わせた
制御量を、各制御弁への指令値に分配する分配ゲインで
ある。

以上のように構成された空気圧駆動装置の動作について
以下に説明する。

まず、式（４）のシステムにおいては、δｐ＝ｐｌ−ｐ
２　　　　　　　　　　・−・−・・−（６）δ５＝ｓ
ｌ−ｓ２　　　　　　　　　−・・−（７）となる圧力
差δｐと制御量δＳを用いると、状態方程式は、 という式が得られる。従って、１自由度当り１人力のシ
ステムとなる。そこで、現代制御理論に基づき、空気の
圧縮性が位置決め動作に及ぼす影響を抑制して、動作部
の任意の位置で位置決め動作を実現するために、第３図
に示す状態フィードハック制御を行なうと、制御量δＳ
は、 δ５＝ｋｐ・　（θｄ−θ）−ｋｖ・θ−ｋｐｒ・δｐ
　　　　　　　　　−−−−−−・・（９）となる。た
だし、θｄは動作部の回転変位量θの目標軌道、ｋｃ２
−（ｋｐ　　ｋｖ　　ｋｐｒ）は第３図中の状態フィー
ドバンクゲイン１２ａ、　１２ｂ、　１２Ｃで合計３個
のゲインで構成される。

次に、この圧力差δｐと制御量δＳを、それぞれ空気圧
室の圧力ｐ１．ｐ２と制御弁群の指令値ｓ１．ｓ２とに
分配する例を示す。

ここでは、δｐをｐｌ、ｐ２に、δＳをｓｌ。

ｓ２に均等に分配することにする。この時、次式の関係
式を用いることができる。

ｐ　１−ｐ２＝　（ｐ　１−ｐｏ）−（ｐ２−ｐｏ）−
δｐ　　　　　　　　　〜・−・−・００）ｐＬ＋ｐ２
＝２・ｐＯ・−−−−−−ａＯｓｌ−ｓ２＝δＳ　　　
　　　　　　・−・・・−・０２！ｌｓｌ＋５２＝ｏ　
　　　　　　　　　　・・・・−・−０３）すると、各
弁への指令値ｓｌ、ｓ２は、−ｋｐｒ・δｐ）　　　　
　　　　　・−一−−−−・圓−ｋｐｒ・δｐ）　　　
　　　　　　−・−・・０９と容易に分配可能である。

この場合、第３図における分配ゲイン１３ａ、１３ｂは
それぞれ０．５．−０．５となる。

以上のような本実施例によれば、１自由度当り１人力と
して構成した状態方程式により設計が可能で、この設計
した制御量を空気圧室群のそれぞれの制御弁群への指令
値に分配し出力することで、容易に希望の動作を実現す
ることができる。この構成により、制御系の設計も容易
となり、ゲインの数も少なくて、すむため、空気圧駆動
装置における位置決め制御が容易に実現できる。

なお、ここでは制御量を各制御弁への指令値に分配する
際、均等に分配したが、分配の方式は任意である。

以下本発明の第２の実施例における空気圧駆動装置につ
いて、図面を参照しながら説明する。

第４図は本発明の第２の実施例における空気圧駆動装置
の動作制御部１０の詳細説明図である。第４図において
１１は微分器、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１３ａ、１３
ｂは増幅器である。１２ａ、１２ｂ、１２ｃはそれぞれ
動作部の目標位置に対する位置偏差、動作部の速度、空
気室３ａ、３ｂの基準圧力からの圧力偏差のフィードバ
ックゲイン成分であり、これらは、揺動型シリンダ１、
ベーン２、負荷８を含む空気圧駆動系の状態フィードバ
ック制御系を構成している。１３ａ、１３ｂは動作部の
目標位置に対する位置偏差、動作部の速度にそれぞれフ
ィードバックゲイン１２ａ、１２ｂを乗じたものを加え
合わせた制御量を、各制御弁への指令値に分配する分配
ゲインである。

第５図はδｐをｐｉ、ｐ２に均等に分配する場合の説明
図である。

第５図において１４はδｐの時刻に対する応答で、１５
、１６はそれぞれｐｉ、ｐ２の時刻に対する応答である
。

以上のように構成された空気圧駆動装置の動作について
以下に説明する。

式（９）の圧力差δｐと制御量δＳを、それぞれ空気室
の圧力ｐｉ、ｐ２と制御弁の開口面積ｓｌ。

ｓ２とに分配する際、ｐＨｐ２を基準圧力ｐ。

に収束させることを考える。

本実施例ではδｐを第５図に示すように、ｐｔ。

ｐ２に、δｓ＠ｓｌ、ｓ２に均等に分配する簡便な場合
について説明する。

式（１０）、　（Ｉ＋）の関係を考慮すると、基準圧力
ｐＯを用いて、答弁への指令値ｓｌ、ｓ２は次式のよう
に書き直せる。

−ｋｐｒ　・（ｐ　１’　−ｐ　Ｏ）　　　　−−−−
−（１６）−ｋｐｒ・　（ｐ２−ｐｏ）　　　　−−−
−−−ＯＴ）この場合、第４図中の分配ゲイン１３ａ、
１３ｂはそれぞれ０．５．−０．５である。指令値を以
上のように構成すると、θがθｄに近づくと共に、ＰＩ
、Ｐ２も基準圧力ｐｏに収束する。そのため、任意の動
作を行っても、各空気室の圧力と供給側圧力及び排気側
圧力との圧力差を常に確保できる。従って、制御性が向
上し、常に同等の動作を実現することができる。また、
この時、基準圧力を供給側圧力と排気側圧力との中心圧
力に取れば、有効圧力差となる供給側圧力と排気側圧力
との差をすべて利用できる。

以上のように本実施例によれば、１自由度当り１入力と
して構成した状態方程式により設計か可能で、動作部の
動作状態により構成する制御量については均等に制御弁
群への指令値に分配し、流体力により構成する制御量は
流体力検出部の出力信号と流体力基準値との差を指令値
として制御弁群に出力することで、容易に希望の動作を
実現することができる。また、基準圧力を供給側圧力と
排気側圧力との中心圧力に取ることで、有効圧力差とな
る供給側圧力と排気側圧力との差をすべて利用できる。

以下本発明の第３の実施例における空気圧駆動装置につ
いて、図面を参照しながら説明する。

第６図は圧力差δｐをｐｔ、ｐ２に均等に分配しない場
合の説明図である。

第６図において１７はδｐの時刻に対する応答で、１８
、１９はそれぞれｐｉ、ｐ２の時刻に対する応答である
。

第２の実施例のように、δｐ　（＝ｐｌ−ｐ２）。

δｓ＝　（＝ｓ　１−ｓ　２）をそれぞれｐｉ、ｐ２と
ｓｌ、ｓ２とに均等に分配する場合、基準圧力ｐＯを供
給側圧力ｐｓと排気側圧力ｐａとの中心圧力に取らなけ
れば、有効圧力差となる供給側圧力と排気側圧力との差
をすべて利用できない。そこで、任意の基準圧力でも前
記有効圧力差をすべて利用できるように、制御量δＳを
供給側圧力と基準圧力との差と、排気側圧力と前記基準
圧力との差の比に分配する。そして、基準圧力より高圧
になる側の空気室の弁に供給側圧力と基準圧力との差に
対応する指令値を、基準圧力より低圧になる側の空気室
の弁に排気側圧力と基準圧力との差に対応する指令値を
制御弁群に出力する。すなわち、となる場合は、 ｐ　ｓ、　−ｐ　０ ｓｌ＝　　　　　　　（ｋｐ・　（θｄ−θ）５−ｐａ −ｋｖ、＃−ｋｐｒ・δｐ　）　　　−−−−−−−０
９）ｐ　ｓ　−ｐ　ａ −ｋｖ−δ−ｋｐｒ・δｐ　ｌ　　　・−−−−−（２
１１Ｄとする。ここでこの時、圧力に関する関係式、ｐ
ｓ−ｐａ　　ｐｓ−ｐｏ　　ｐａ−ｐ。

−−−−・−ｒ２Ｄ を考慮すると、式０９）、　ｅ（ｌは、５−ｐａ −ｋｖ　−／ｌ？）−ｋｐｒ・（ｐ　Ｉ　　Ｐ　０）−
−−−＝−四 ５−ｐａ −ｋｖ−θ）　　　ｋｐｒ・　（ｐ２−ｐｏ）−一一一
一一一・　四 となる。同様にして、 となる場合は、 ５−ｐａ −ｋｖ−θ）　−ｋｐｒ・（ｐ　１　　ｐ　Ｏ）・・−
・・・−（イ） ５−ｐａ −ｋｖ・θ）−ｋｐｒ・　（ｐ２−ｐＯ）−・・−・・
−（支） となる。以上のようにこの方式を用いると、任意の基準
圧力で有効圧力差をすべて利用できる。

また、制御弁の上流側の圧力ｐｕと下流側の圧力ｐｄと
の比が、 ｕ の場合、弁の開口面積と弁を通過する空気の流量との関
係は線形関係である。従って、基準圧力ｐｏを、 ｐＯ＝　（ｐ　ｓ−ｐ　ｓ　）　　　　　　　−−−−
−−一・（至）とすれば、線形の領域を広く確保できる
。

以上のように本実施例によれば、２つの弁への指令値の
差δＳを供給側圧力と基準圧力との差と、排気側圧力と
基準圧力との差の比に分配し、基準圧力より高圧になる
側の空気室の弁に供給側圧力と基準圧力との差に対応す
る指令値を、基準圧力より低圧になる側の空気室の弁に
排気側圧力と基準圧力との差に対応する指令値を制御弁
群に出力することにより、任意の基準圧力でも有効圧力
差をすべて利用することが実現できる。また、基準圧力
ｐＯを供給側圧力と排気側圧力との積の平方根として構
成することで、弁の開口面積と弁を通過する空気の流量
との関係が線形関係になる領域を広く確保でき、制御が
容易となる。

なお、本実施例において制御則をＰＤ動作としたが、制
御則はＰＩＤ動作や、ＩＰＤ動作、さらには、ＰＩ動作
等でもよい。

さらに、本実施例において揺動型シリンダを用いたが、
直動型シリンダでも同様に実現できる。

発明の効果 以上のように本発明の空気圧駆動装置は、空気室と該空
気室内を機密性を保ちながら移動可能な動作部とを有す
る空気圧アクチュエータと、前記動作部により分割され
た空気室群のそれぞれに指令値に応じた空気を流入ある
いは流出させることができる制御弁群と、前記空気室群
の前記動作部に加わるそれぞれの流体力を検出する流体
力検出部と、前記動作部の動作状態を検出する動作状態
検出部と、前記動作状態検出部と前記流体力検出部の出
力信号、及び目標動作状態を入力として前記動作部が前
記目標動作状態に従って移動するために必要な制御量を
計算し、前記制御量を前記空気圧室群のそれぞれの前記
制御弁群に出力する指令値に分配し、出力する動作制御
部を有することで、空気圧駆動装置の位置決め等の動作
において任意の動作を容易に実現できるという効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例における空気圧駆動装置の全体
図、第２図は同空気圧駆動装置における空気圧駆動揺動
型シリンダの詳細図、第３図は同空気圧駆動装置におけ
る本発明の第１の実施例の動作制御部の詳細図、第４図
は同空気圧駆動装置における本発明の第２の実施例の動
作制御部の詳細図、第５図は同空気圧駆動装置における
空気圧室の圧力差δｐを各空気圧室の圧力に均等に分配
する場合の説明図、第６図は同空気圧駆動装置における
空気圧室の圧力差δｐを各空気圧室の圧力に均等に分配
しない場合の説明図ご第７図は従来の空気圧駆動装置の
全体図、第８図は同空気圧駆動装置における動作制御部
の詳細図である。 １・・・・・・空気圧揺動型シリンダ、２・・・・・・
ベーン、３ａ、３ｂ・・・・・・空気室、４・・・・・
・圧縮空気源、５ａ。 ５ｂ・・・・・・空気室３ａ、３ｂに対応する制御弁、
６ａ、６ｂ・・・・・・空気室３ａ、３ｂに対応する圧
力センサ、７・・・・・・位置検出センサ、８・・・・
・・負荷、９ａ。 ９ｂ・・・・・・制御弁５ａ、５ｂのコントローラ、１
０・・・・・・動作制御部、１１・・・・・・微分器、
１２　ａ　、　１２　ｂ　、　１２　ｃ　。 １３ａ、１３ｂ・・・・・・増幅器、１４・・・・・・
δｐの時刻に対する応答、１５・・・・・・圧力ｐ１の
時刻に対する応答、１６・・・・・・圧力ｐ２の時刻に
対する応答、１７・・・・・・δｐの時刻に対する応答
、１８・・・・・・圧力Ｐ１の時刻に対する応答、１９
・・・・・・圧力ｐ２の時刻に対する応答、２０・・・
・・・動作制御部、２１ａ、２１ｂ・・・・・・増幅器
。 代理人の氏名　弁理士　粟野重孝　はか１名／　−−−
Ｑ　気ＪＥ才愚第ケシソング４−・基！Ｓ墾気氏瀝 ６ユ、５ｂ−・−匍Ｉ堺升 ごＬＬ、　６ｂ−・・ルカゼンブ ７−一一イｊｌｃ　　ｌ［（ど　ンプ１８　・・−＊荷 Ｑａ−、９ｂ　＝−ＩＩ　Ｉ’８４？コントローラｔｏ
−＃　イ乍　１’Ｔ　ａｌｌ　　ｑ第１図 １−　諷気氏、播切シリング ２−゛ベーン ３Ｌ、　３ｂ・−・た気鼠 ４−　氏堵隻気斥瀝 ５ｃｔ、　Ｓｂ−制擲升 ム、６ｂ−りニオでンツ 第　２　図 第３図 第４図　　　　　　　　　　　、。 す印 第５図 第　６　図 （ｈ） ！　−゛た一３Ｅ才冨奪かｔ／ソング ４−Ｘ！４２”ｓ−＠　ａ。 ５ａ、、　Ｓｂ−側淘升 ｚ山、Ｉ４１１ｂ　−エカとング γ−イ装置でンブ ８−　電荷 ｑＬ　Ｑｂ　　　制＃升コントローラ 乙り　・・　普＃グ　イ響　使Ｉ　、おｇ４第　７　図

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）空気室と前記空気室内を機密性を保ちながら移動
   可能な動作部とを有する空気圧アクチュエータと、前記
   動作部により分割された空気室群のそれぞれに指令値に
   応じた空気を流入あるいは流出させることができる制御
   弁群と、前記空気室群の前記動作部に加わるそれぞれの
   流体力を検出する流体力検出部と、前記動作部の動作状
   態を検出する動作状態検出部と、前記動作状態検出部と
   前記流体力検出部の出力信号、及び目標動作状態を入力
   として前記動作部が前記目標動作状態に従って移動する
   ために必要な指令値を前記制御弁群に出力する動作制御
   部を備え、前記動作制御部は動作自由度と同数の制御部
   を計算し、該制御量を前記指令値に分配し、前記空気圧
   室群のそれぞれの前記制御弁群に出力することを特徴と
   する空気圧駆動装置。
2. （２）動作制御部が、制御量のうち動作状態により構成
   される部分の制御量については、前記指令値に分配し、
   流体力により構成される部分の制御量については、空気
   圧室群のそれぞれに対応する流体力検出部の出力信号と
   流体力基準値との差に基づいて構成する指令値を制御弁
   群に出力することを特徴とする請求項（１）記載の空気
   圧駆動装置。
3. （３）流体検出部が空気室群のそれぞれの圧力を検出す
   る圧力検出装置群によって構成されていることを特徴と
   する請求項（１）または（２）のいずれかに記載の空気
   圧駆動装置。
4. （４）動作制御部が動作部の動作状態により構成される
   部分の制御量については、供給側圧力と基準圧力との差
   と、排気側圧力と前記基準圧力との差の比に分配し、前
   記基準圧力より高圧になる側の空気室の弁には前記供給
   側圧力と前記基準圧力との差に対応する指令値を、前記
   基準圧力より低圧になる側の空気室の弁には前記排気側
   圧力と前記基準圧力との差に対応する指令値を前記制御
   弁群に出力することを特徴とする請求項（３）記載の空
   気圧駆動装置。
5. （５）動作制御部が動作部の動作状態により構成される
   部分の制御量については、均等に指令値に分配し、制御
   弁群に出力することを特徴とする請求項（１）または（
   ２）のいずれかに記載の空気圧駆動装置。
6. （６）基準圧力を供給側圧力と排気側圧力との中心の圧
   力として構成することを特徴とする請求項（３）記載の
   空気圧駆動装置。
7. （７）基準圧力を供給側圧力と排気側圧力との積の平方
   根として構成することを特徴とする請求項（３）記載の
   空気圧駆動装置。
8. （８）動作状態検出部が位置、速度、加速度を検出する
   手段のいずれか、あるいはその組合せにより構成されて
   いる請求項（１）記載の空気圧駆動装置。