JPH02303066A - マスタ・スライス集積回路 - Google Patents
マスタ・スライス集積回路Info
- Publication number
- JPH02303066A JPH02303066A JP2097816A JP9781690A JPH02303066A JP H02303066 A JPH02303066 A JP H02303066A JP 2097816 A JP2097816 A JP 2097816A JP 9781690 A JP9781690 A JP 9781690A JP H02303066 A JPH02303066 A JP H02303066A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- cell
- logic
- fets
- circuits
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/90—Masterslice integrated circuits
- H10D84/903—Masterslice integrated circuits comprising field effect technology
- H10D84/907—CMOS gate arrays
Landscapes
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Δ、産業上の利用分野
本発明は相補形金属酸化物電界効果トランジスタ(CM
O5FET)技術のマスタ・スライス・タイプの超大規
模集積回路(VLSIC)の設計、更に詳細に説明すれ
ば、ゲート・アレイで用いることができる最適化された
異なるサイズの4個のCMO3FET装置を含む改良さ
れたセルに関する。その最適化された構造のため、改良
されたセルは、最適の密度/性能比を有する簡単な又は
複雑なロジック機能をゲート・アレイで実現することが
できる。
O5FET)技術のマスタ・スライス・タイプの超大規
模集積回路(VLSIC)の設計、更に詳細に説明すれ
ば、ゲート・アレイで用いることができる最適化された
異なるサイズの4個のCMO3FET装置を含む改良さ
れたセルに関する。その最適化された構造のため、改良
されたセルは、最適の密度/性能比を有する簡単な又は
複雑なロジック機能をゲート・アレイで実現することが
できる。
B、従来の技術
データ処理システムの急速な進歩に寄与するJk本的な
要素は装置密度、速度1回路の複雑さ、消費電力などの
ような特性を決定する集積回路の物理的な設計である。
要素は装置密度、速度1回路の複雑さ、消費電力などの
ような特性を決定する集積回路の物理的な設計である。
周知のように、集積回路チップの表面にトランジスタの
ような基本構成要素を配置する際に、所望のロジック機
能を実行できる回路を形成する種々の基本的なオプショ
ンが回路設計者に開放されている、多年にわたって1回
路は顧客の仕様に従って特定のアプリケーションの要求
を満たすように設計されlI造されている。この従来の
アプローチはしばしば”フル・カスタム (完全顧客仕
様)″概念と呼ばれる。これは時間及び費用が掛かる。
ような基本構成要素を配置する際に、所望のロジック機
能を実行できる回路を形成する種々の基本的なオプショ
ンが回路設計者に開放されている、多年にわたって1回
路は顧客の仕様に従って特定のアプリケーションの要求
を満たすように設計されlI造されている。この従来の
アプローチはしばしば”フル・カスタム (完全顧客仕
様)″概念と呼ばれる。これは時間及び費用が掛かる。
なぜなら、チップの形状はひとりのユーザの要求に適応
させ、この0的のために全ての関連するマスクを特別に
製造しなければならないからである。
させ、この0的のために全ての関連するマスクを特別に
製造しなければならないからである。
多くの異なるマスクが設計されるので、いかなる変更も
全マスクの完全な再設計を必要とする。
全マスクの完全な再設計を必要とする。
いわゆる”セミ・カスタム(半顧客仕様)″概念は、ず
っと見込みがあるように見える。これまでは2つの異な
る方法が考えられている。″−一般的セル“又は”マス
タ・イメージ”法では、予め特性を付与された回路−ラ
イブラリに記述された基本的なロジック機能を実行する
ように設計されている−が用いられる。このライブラリ
は、多数の”ブック″(NANDゲート、ラッチ等)及
びマクロ (RAM、 RO3,^LU等)を含むこと
ができ、高性能の装置及び高いチップ密度を得ることを
可能にする。
っと見込みがあるように見える。これまでは2つの異な
る方法が考えられている。″−一般的セル“又は”マス
タ・イメージ”法では、予め特性を付与された回路−ラ
イブラリに記述された基本的なロジック機能を実行する
ように設計されている−が用いられる。このライブラリ
は、多数の”ブック″(NANDゲート、ラッチ等)及
びマクロ (RAM、 RO3,^LU等)を含むこと
ができ、高性能の装置及び高いチップ密度を得ることを
可能にする。
バイポーラ装置に関して最初に開発された”マスク・ス
ライス”法では、予、め拡散された回路が用いられる1
本明細書では、半導体基板に関する限り全てのウェーハ
は同じように処理され、関係するアプリケーションに応
じて7個人化”即ち”顧客化”を構成する最終金属被膜
工程だけが異なる。この方法は特にCMO3FETで有
利であり、その場合の回路の構成は、通常は”ゲート・
アレイ”と呼ばれるアレイの形式で配列することができ
る。
ライス”法では、予、め拡散された回路が用いられる1
本明細書では、半導体基板に関する限り全てのウェーハ
は同じように処理され、関係するアプリケーションに応
じて7個人化”即ち”顧客化”を構成する最終金属被膜
工程だけが異なる。この方法は特にCMO3FETで有
利であり、その場合の回路の構成は、通常は”ゲート・
アレイ”と呼ばれるアレイの形式で配列することができ
る。
ゲート・アレイは”アプリケーション特定集積回路”即
ちASICといわれている回路の開発によって次第に普
及している。ゲート・アレイは行及び列を形成するよう
に配列された同じ基本セルで区切られるNFET及びP
FETのストライプ(stripe)から成る。各々の
セルは一定数の相補形トランジスタ対−そのサイズ及び
特性はユーザの要求を満たすために一定のパラメータを
最適化するように調整されているーから成る。装置セル
を相互接続することにより、所望のロジック機能を実行
するロジック回路即ち”ブック”を形成することができ
る。チップの表面の背景セルの配列を知ることによって
、所望の相互接続を確立する自動装置配置及びワイヤリ
ング・ツール(wiring tool)を用いること
ができる0種々の顧客化レベルのマスクに関するデータ
は自動マスク生成ツールによって自動ワイヤリング・プ
ログラムから供給される。よって、ゲート・アレイ・ア
プローチは、(1)シリコン基板に集積された回路の密
度及び速度の増大と、(2)半導体ロジック・チップの
費用及び製造の遅延の間の価値ある折衷案である。
ちASICといわれている回路の開発によって次第に普
及している。ゲート・アレイは行及び列を形成するよう
に配列された同じ基本セルで区切られるNFET及びP
FETのストライプ(stripe)から成る。各々の
セルは一定数の相補形トランジスタ対−そのサイズ及び
特性はユーザの要求を満たすために一定のパラメータを
最適化するように調整されているーから成る。装置セル
を相互接続することにより、所望のロジック機能を実行
するロジック回路即ち”ブック”を形成することができ
る。チップの表面の背景セルの配列を知ることによって
、所望の相互接続を確立する自動装置配置及びワイヤリ
ング・ツール(wiring tool)を用いること
ができる0種々の顧客化レベルのマスクに関するデータ
は自動マスク生成ツールによって自動ワイヤリング・プ
ログラムから供給される。よって、ゲート・アレイ・ア
プローチは、(1)シリコン基板に集積された回路の密
度及び速度の増大と、(2)半導体ロジック・チップの
費用及び製造の遅延の間の価値ある折衷案である。
しかしながら、ゲート・アレイ法は一般的なセル上にか
なりのエツジ効果(edge)をもたらすことがあり、
下記の問題が解決されなければならない。
なりのエツジ効果(edge)をもたらすことがあり、
下記の問題が解決されなければならない。
(1)ゲート・アレイ内のラッチの実現は一般的なセル
法よりも多くの装置を必要とするので、チップの集積密
度はかなり低下する。半導体ロジック・チップでは、ラ
ッチはシリコン領域の大きな部分を表わす、統、計的に
は、 CMOSゲート・アレイ内のシリコン領域の20
〜50%、平均しておよそ40%がラッチによって用い
られる。
法よりも多くの装置を必要とするので、チップの集積密
度はかなり低下する。半導体ロジック・チップでは、ラ
ッチはシリコン領域の大きな部分を表わす、統、計的に
は、 CMOSゲート・アレイ内のシリコン領域の20
〜50%、平均しておよそ40%がラッチによって用い
られる。
(2)ラッチの外に、多くの他の基本的なロジック機能
1例えばINV(反転)、NANO(否定積)、N0R
(否定和)ゲート等が半導体ロジック・チップに集積さ
れる。信号トランジスタで立上り及び立下り遅延を平衡
させる(対称的にする)ように、これらの全ての機能の
最適化が望ましいことがよくある。
1例えばINV(反転)、NANO(否定積)、N0R
(否定和)ゲート等が半導体ロジック・チップに集積さ
れる。信号トランジスタで立上り及び立下り遅延を平衡
させる(対称的にする)ように、これらの全ての機能の
最適化が望ましいことがよくある。
これはクリティカル・ロジック・パスでの均等なデータ
処理を保証する。一般的なゲート・アレイは一定の背景
(NFETのための1つの固定サイズ及びr’FETの
ための1つの固定サイズ)を有するので、その点で1つ
のロジック機能しか最適化することができない。
処理を保証する。一般的なゲート・アレイは一定の背景
(NFETのための1つの固定サイズ及びr’FETの
ための1つの固定サイズ)を有するので、その点で1つ
のロジック機能しか最適化することができない。
これらの問題はより汎用的なゲート・アレイの利用にと
って不利であるので、ここで更に詳細に論述する。
って不利であるので、ここで更に詳細に論述する。
第1の問題を説明するために、極性保持シフト・レジス
タ・ラッチ(posn+、)、最も頻繁に使用されるラ
ッチ回路の1つ、が選択されている。
タ・ラッチ(posn+、)、最も頻繁に使用されるラ
ッチ回路の1つ、が選択されている。
第2図に1通常のマスタ/スレーブCMO5高密度LS
SD PH5RLラッチ回路10の概略を示す、 LS
SDはレベル・センシイティブ・スキャン・デザイン、
1970年代に[1,Eichelbergerによっ
て創始された。
SD PH5RLラッチ回路10の概略を示す、 LS
SDはレベル・センシイティブ・スキャン・デザイン、
1970年代に[1,Eichelbergerによっ
て創始された。
組合せロジック回路の検査方法、を意味する。シングル
エンド・データ人力タイプの回路lOは2つの部分から
成る。各々の部分は端子11及び12にLl及びL2と
呼ばれる出力信号をそれぞれ供給する。
エンド・データ人力タイプの回路lOは2つの部分から
成る。各々の部分は端子11及び12にLl及びL2と
呼ばれる出力信号をそれぞれ供給する。
各々の部分の記憶セルSCは、2つの交差結合されたイ
ンバータ: FET pH,Ni1. PI3. N1
2から成る上部のSCI及びFET 1)13、N13
、PI4. N14から成るSC2で構成される。 S
CIは端子13に印加されるデータ人力DOの一般的な
インバータIfにより、そしてクロックCOのパス・ト
ランジスタ (転送ゲート)により普通に駆動される。
ンバータ: FET pH,Ni1. PI3. N1
2から成る上部のSCI及びFET 1)13、N13
、PI4. N14から成るSC2で構成される。 S
CIは端子13に印加されるデータ人力DOの一般的な
インバータIfにより、そしてクロックCOのパス・ト
ランジスタ (転送ゲート)により普通に駆動される。
スキャン・イン(scanin)信号IOは端子14.
インバータI2及びパス・トランジスタN18を介して
SCIに印加され、クロックAOによって制御される。
インバータI2及びパス・トランジスタN18を介して
SCIに印加され、クロックAOによって制御される。
更に、上部は、ClO2FETインバータから成り、端
子11で出力信号L1を供給する出力バッファBlを含
む、同様な構成は下部にもあてはまる。 SC2はパス
・トランジスタN17を介して、SCIの共有ノードに
存在する電位によって駆動される。記憶セル、バッファ
及びインバータは第1及び第2の電源電圧(Vdd及び
Gnd)の間にバイアスされる。クロックCOが高いレ
ベル(’1’)のとき、上部の’WIIITE’(書込
み)動作はイネーブルされる。このケースでは、パス・
トランジスタNI5はlo、+ (活動状態)になり、
ノード16の電圧はデータDOに関してIIF又は30
1に強制される。
子11で出力信号L1を供給する出力バッファBlを含
む、同様な構成は下部にもあてはまる。 SC2はパス
・トランジスタN17を介して、SCIの共有ノードに
存在する電位によって駆動される。記憶セル、バッファ
及びインバータは第1及び第2の電源電圧(Vdd及び
Gnd)の間にバイアスされる。クロックCOが高いレ
ベル(’1’)のとき、上部の’WIIITE’(書込
み)動作はイネーブルされる。このケースでは、パス・
トランジスタNI5はlo、+ (活動状態)になり、
ノード16の電圧はデータDOに関してIIF又は30
1に強制される。
クロックCOが低いレベルのとき’WRITE’動作は
完了しており、データはラッチされる。
完了しており、データはラッチされる。
クロックが活動化されるときの第2図の回路の切替えは
、交差結合インバータ間の非対称性が必要であり、さも
なければ、このようなシングルエンド・データ入力回路
が用いられるとき記憶セルは決して切替えしない、 F
ET pH,旧1.P12、N12が適切な相互コンダ
クタンス(V/L比)を有する場合にのみ前記動作は正
しく行うことができる。一般i:、FET PI3及び
N12 (7)W/L比はFET pH及びNllのW
/L比よりもずっと小さい、同様な要求は下部にもあて
はまる。 FETのサイズは随意に調整することができ
るので、第2図のラッチ回路は一般的なセルで容易に実
現することができる。それに対し、 CMOSアレイで
は、2つの固定FET幅しか使用できないので問題は異
なる。その結果、第2図のラッチ回路は、使用するFE
Tの数は最小であるが1機能的ではない在来のゲート・
アレイ・セルによって用いることはできない、一般にラ
ッチに必要な非対称性は、後で第3図に関連して説明す
るように、クロック制御のパス・トランジスタを記憶セ
ルのフィードバック・ループに導入することによって得
られる。同様な問題はゲート・アレイでアナログ回路の
実現を必要とするときにも存在する。アナログ回路では
1種々のサイズのFETを有することが望ましいことが
よくある。これを実現するために、従来のゲート・アレ
イでは。
、交差結合インバータ間の非対称性が必要であり、さも
なければ、このようなシングルエンド・データ入力回路
が用いられるとき記憶セルは決して切替えしない、 F
ET pH,旧1.P12、N12が適切な相互コンダ
クタンス(V/L比)を有する場合にのみ前記動作は正
しく行うことができる。一般i:、FET PI3及び
N12 (7)W/L比はFET pH及びNllのW
/L比よりもずっと小さい、同様な要求は下部にもあて
はまる。 FETのサイズは随意に調整することができ
るので、第2図のラッチ回路は一般的なセルで容易に実
現することができる。それに対し、 CMOSアレイで
は、2つの固定FET幅しか使用できないので問題は異
なる。その結果、第2図のラッチ回路は、使用するFE
Tの数は最小であるが1機能的ではない在来のゲート・
アレイ・セルによって用いることはできない、一般にラ
ッチに必要な非対称性は、後で第3図に関連して説明す
るように、クロック制御のパス・トランジスタを記憶セ
ルのフィードバック・ループに導入することによって得
られる。同様な問題はゲート・アレイでアナログ回路の
実現を必要とするときにも存在する。アナログ回路では
1種々のサイズのFETを有することが望ましいことが
よくある。これを実現するために、従来のゲート・アレ
イでは。
同じFETを直列又は並列に接続することが可能かも知
れない、しかしながら、後者のケースでは。
れない、しかしながら、後者のケースでは。
該回路を実現するのに必要な領域は大きすぎることがあ
る。
る。
第3図はゲート・アレイ環境での動作に適合した第2図
のシングルエンド出力ラッチを示す、対応する素子は同
じ参照番号を持っている。第3図のLSSD PIIS
RI、回路17は記憶セルのフィードバック・ループに
導入されたパス・トランジスタを制御する1“(及び反
転クロック (例えば、 AO及びAN)を必要とする
。それゆえ、3個の追加のインバータ13、14.15
が必要になる。更に、全電圧スイングを保証するために
、3個のパス・トランジスタN15、N16. N17
が倍加され、相補形装置に並列接続されている。最後に
、相補形パス・トランジスタ対重87P18、N19/
I”19. N20/P20がクロック・フィードバッ
ク・ループに必要になる。その結果、 FETの合計数
は1回路10 (第1図)では15になるのに対し1回
路17(第31川)では30になる。
のシングルエンド出力ラッチを示す、対応する素子は同
じ参照番号を持っている。第3図のLSSD PIIS
RI、回路17は記憶セルのフィードバック・ループに
導入されたパス・トランジスタを制御する1“(及び反
転クロック (例えば、 AO及びAN)を必要とする
。それゆえ、3個の追加のインバータ13、14.15
が必要になる。更に、全電圧スイングを保証するために
、3個のパス・トランジスタN15、N16. N17
が倍加され、相補形装置に並列接続されている。最後に
、相補形パス・トランジスタ対重87P18、N19/
I”19. N20/P20がクロック・フィードバッ
ク・ループに必要になる。その結果、 FETの合計数
は1回路10 (第1図)では15になるのに対し1回
路17(第31川)では30になる。
所望の非対称性を保証する他の解法は下記を含む:
(1)対称的なコマンドDO及びONを記憶セルの両側
に同時に印加することによりラッチの切替えを可能にす
るダブルエンド・データ人力構造を用いる。これは論文
R,l!ornunH外、 rcMO9技術の高速シフ
ト・レジスタ・ラッチ (Fast 5hift re
gisterin CMO5technology)
J、IBM TDB、Vol、27.No、7A、1
984年12月、 pP、 3894−3896に記載
されている。
に同時に印加することによりラッチの切替えを可能にす
るダブルエンド・データ人力構造を用いる。これは論文
R,l!ornunH外、 rcMO9技術の高速シフ
ト・レジスタ・ラッチ (Fast 5hift re
gisterin CMO5technology)
J、IBM TDB、Vol、27.No、7A、1
984年12月、 pP、 3894−3896に記載
されている。
(2)1本のレグ(leg)のインピーダンスを低くす
るために交差結合されたインバータで直列に装置を付加
する。これは欧州特許出願公開El’第273082号
に記載されている。
るために交差結合されたインバータで直列に装置を付加
する。これは欧州特許出願公開El’第273082号
に記載されている。
これらの全ての回路は類似の性能を有し、それらの間の
有効な比較を可能にする。異なるサイズ”FETが望ま
しいときはいつでも、個々のFETはりy1望の装置を
形成するように直列又は並列に接続されなければならな
い、それによって、集積の密度は必ず低下する。バッフ
ァ内のFETの数を除外すると、第3図の回路内のFE
Tの数は30になり。
有効な比較を可能にする。異なるサイズ”FETが望ま
しいときはいつでも、個々のFETはりy1望の装置を
形成するように直列又は並列に接続されなければならな
い、それによって、集積の密度は必ず低下する。バッフ
ァ内のFETの数を除外すると、第3図の回路内のFE
Tの数は30になり。
前記論文に記載された回路では26になり、前記欧州特
許出願による回路では30になる。これらの数字は本明
細書の第2図の回路のFETの数15と比較する必要が
ある。
許出願による回路では30になる。これらの数字は本明
細書の第2図の回路のFETの数15と比較する必要が
ある。
ここで平衡遅延の問題について説明する。非平衡回路に
よって最小平均遅延に達し、場合によっては、補償はパ
ス・レベルでランダムに行うことができるので、平衡遅
延を有する回路はチップ上では広範囲には用いられない
、しかしながら、平衡遅延はこれらのロジック・パス、
例えばクリティカル・ロジック・パス及びクロック分散
トリーを最適化するキーであり、クロック生成のために
等しい立上り及び立下り遅延を必要とする。クリティカ
ル・ロジック・パスでは、より速い遷移はチップ・サイ
クル・タイムに影響しないが、必要以上に高いノイズが
電力パスに発生する。クロック分散トリーでは、平衡遅
延を生じる回路は46号の正しい伝播、即ちパルス収縮
がないこと、及びクロック間の一定の非オーバラツプ・
タイムを保証する。基本的な対を形成するPFET及び
N I/ E Tのそれぞれの幅の比WP/WNは遅延
が平衡しているがどうかを決定する。一定の背景のため
、一般的なゲート・アレイのWP/WN比は一定である
ので、遅延はチップに埋込まれた全てのロジック回路に
ついて平衡させることはできない、しかしながら、FE
Tを並列に接続することにより、2つの列に3つの可能
な組合f : MP/WN、 2WPハN、 WP/2
WNが提供される0例えば、 21Nは並列の2個のN
FETで形成されたFET装置に対応する幅である。し
かしながら、並列のFETはシリコン領域を節約するた
めに注意深く用いなければならない、その結果、従来の
ゲート・アレイでは、1つだけのロジック・ブック、例
えばNOR回路即ち機能が平衡遅延について最適化され
る。
よって最小平均遅延に達し、場合によっては、補償はパ
ス・レベルでランダムに行うことができるので、平衡遅
延を有する回路はチップ上では広範囲には用いられない
、しかしながら、平衡遅延はこれらのロジック・パス、
例えばクリティカル・ロジック・パス及びクロック分散
トリーを最適化するキーであり、クロック生成のために
等しい立上り及び立下り遅延を必要とする。クリティカ
ル・ロジック・パスでは、より速い遷移はチップ・サイ
クル・タイムに影響しないが、必要以上に高いノイズが
電力パスに発生する。クロック分散トリーでは、平衡遅
延を生じる回路は46号の正しい伝播、即ちパルス収縮
がないこと、及びクロック間の一定の非オーバラツプ・
タイムを保証する。基本的な対を形成するPFET及び
N I/ E Tのそれぞれの幅の比WP/WNは遅延
が平衡しているがどうかを決定する。一定の背景のため
、一般的なゲート・アレイのWP/WN比は一定である
ので、遅延はチップに埋込まれた全てのロジック回路に
ついて平衡させることはできない、しかしながら、FE
Tを並列に接続することにより、2つの列に3つの可能
な組合f : MP/WN、 2WPハN、 WP/2
WNが提供される0例えば、 21Nは並列の2個のN
FETで形成されたFET装置に対応する幅である。し
かしながら、並列のFETはシリコン領域を節約するた
めに注意深く用いなければならない、その結果、従来の
ゲート・アレイでは、1つだけのロジック・ブック、例
えばNOR回路即ち機能が平衡遅延について最適化され
る。
C0発明が解決しようとする課題
要するに、一般的なセル環境では、所望の電気的特性を
有する装置を提供するために、サイズが回路毎に!11
!I!されているシリコン基板で異なるサイズのFET
を用いて、所望の非対称性及び平衡遅延を取得すること
ができる。決められたロジック回路のため、 FETの
幅(讐)及びチャネル長(1,)が主要な電気的特性:
(1)個々のFET 9置のW/L比。
有する装置を提供するために、サイズが回路毎に!11
!I!されているシリコン基板で異なるサイズのFET
を用いて、所望の非対称性及び平衡遅延を取得すること
ができる。決められたロジック回路のため、 FETの
幅(讐)及びチャネル長(1,)が主要な電気的特性:
(1)個々のFET 9置のW/L比。
及び(2) CMO5FETの対における合計υP +
WN及び比VP/WN CvP及びWN41PFET
及びNFET(7)幅テアル)を決定する。このような
環境では、これらの比の値は随意に調整することができ
る。しかし、技術変更(EC)のために、処理時間が長
くなる。これは一定の背景のため、従来のゲート・アレ
イでは不可能である。最後に、チャネル長(L)は利用
可能な技術で提供される最短のものを選択する必要があ
る。
WN及び比VP/WN CvP及びWN41PFET
及びNFET(7)幅テアル)を決定する。このような
環境では、これらの比の値は随意に調整することができ
る。しかし、技術変更(EC)のために、処理時間が長
くなる。これは一定の背景のため、従来のゲート・アレ
イでは不可能である。最後に、チャネル長(L)は利用
可能な技術で提供される最短のものを選択する必要があ
る。
従って、一般的なセルの方法と同じ効率(性能及び密度
)を有するロジック回路の実現に適応するように最適化
された異なるサイズのV E Tを有し、しかも、技術
変更の場合に短い処理時間についてゲート・アレイ方法
の特定の利点をなお維持する改良されたゲート・アレイ
が真に必要である。
)を有するロジック回路の実現に適応するように最適化
された異なるサイズのV E Tを有し、しかも、技術
変更の場合に短い処理時間についてゲート・アレイ方法
の特定の利点をなお維持する改良されたゲート・アレイ
が真に必要である。
01課題を解決するための手段
本発明の主たる目的はマスタ・スライス・タイプ・チッ
プ、特にゲート・アレイにロジック回路の全ライブラリ
を容易且つ効率的に実現する最適化された異なるサイズ
の4個のFETを含む改良されたコア・セルを提供する
ことである。
プ、特にゲート・アレイにロジック回路の全ライブラリ
を容易且つ効率的に実現する最適化された異なるサイズ
の4個のFETを含む改良されたコア・セルを提供する
ことである。
本発明の目的には密度及び性能について一般的なセルの
方法に比肩できるゲート・アレイに複雑なロジック回路
、例えばラッチを実現することを可能にする最適化され
た異なるサイズの4個のFETを持つ改良されたコア・
セルを提供することも含まれる。
方法に比肩できるゲート・アレイに複雑なロジック回路
、例えばラッチを実現することを可能にする最適化され
た異なるサイズの4個のFETを持つ改良されたコア・
セルを提供することも含まれる。
更に1本発明の目的にはゲート・アレイのクリティカル
・パスにおける均質なデータ処理のために、平衡された
立上り及び立下り遅延を有する回路を実現することを可
能にする最適化された異なるサイズの4個のFETを持
つ改良されたコア・セルを提供することも含まれる。
・パスにおける均質なデータ処理のために、平衡された
立上り及び立下り遅延を有する回路を実現することを可
能にする最適化された異なるサイズの4個のFETを持
つ改良されたコア・セルを提供することも含まれる。
更に1本発明の目的にはゲート・アレイ並びにロジック
回路でアナログ回路を実現することを可能にする最適化
された異なるサイズの4個のFETを持つ改良されたコ
ア・セルを提供することも含まれる。
回路でアナログ回路を実現することを可能にする最適化
された異なるサイズの4個のFETを持つ改良されたコ
ア・セルを提供することも含まれる。
これら及び他の目的は1本発明に従って1行方向に沿っ
て反復的に互いに隣接して配列された複数のコア・セル
を含む決められた高さ即ち距離の少なくとも1つのスト
ライプの形状の機能ゲート領域を含むゲート・アレイ・
タイプのマスタ・スライス集積回路チップにより達成さ
れる。前記回路の特徴は各々のコア・セルが4個の異な
るサイズのFET :第一に小さい第1の幅WNIのN
FET、次に大きい第2の幅−N2のNFET、第一に
小さい第1のdRiWPIのPFET、次に大きい第2
の幅WP2のP F E Tを列方向に含むことである
。更に、前記FET間の相対的な幅関係は、該チップで
実現された最大数のロジック回路についてラッチの機能
性及び平衡遅延をどちらも保証するように最適化される
0幅関係はある点では技術によって決まる。一般的なC
MOS FET技術では、実験によれば、4個のFET
の間の最適化された幅関係、たとえばWP2/WN2/
W131ハN1は、およそ7/3.5/1.5/1であ
る。
て反復的に互いに隣接して配列された複数のコア・セル
を含む決められた高さ即ち距離の少なくとも1つのスト
ライプの形状の機能ゲート領域を含むゲート・アレイ・
タイプのマスタ・スライス集積回路チップにより達成さ
れる。前記回路の特徴は各々のコア・セルが4個の異な
るサイズのFET :第一に小さい第1の幅WNIのN
FET、次に大きい第2の幅−N2のNFET、第一に
小さい第1のdRiWPIのPFET、次に大きい第2
の幅WP2のP F E Tを列方向に含むことである
。更に、前記FET間の相対的な幅関係は、該チップで
実現された最大数のロジック回路についてラッチの機能
性及び平衡遅延をどちらも保証するように最適化される
0幅関係はある点では技術によって決まる。一般的なC
MOS FET技術では、実験によれば、4個のFET
の間の最適化された幅関係、たとえばWP2/WN2/
W131ハN1は、およそ7/3.5/1.5/1であ
る。
E、実施例
ゲート・アレイ・チップの製造の基礎は欧州特許出願公
開EP−^第186720号に記載されている。簡単に
述べれば、通常の (ゲート・アレイ方法による) C
MOS FET又は (一般的なセル方法による)セル
のアレイで形成されたこのようなチップに複雑な機能を
実現する2つの階層レベルが定義される: ・基本的な組合せ即ち順次機能を実現するFETの相互
接続、これらの相互接続は”内部ワイヤリングと呼ばれ
る。
開EP−^第186720号に記載されている。簡単に
述べれば、通常の (ゲート・アレイ方法による) C
MOS FET又は (一般的なセル方法による)セル
のアレイで形成されたこのようなチップに複雑な機能を
実現する2つの階層レベルが定義される: ・基本的な組合せ即ち順次機能を実現するFETの相互
接続、これらの相互接続は”内部ワイヤリングと呼ばれ
る。
・これらの基本的な機能の相互接続、それらは”大域ワ
イヤリング”と呼ばれる。
イヤリング”と呼ばれる。
大域ワイヤリングは、ピッチがチップ全体にわたって一
定の、仮想グリッド上で行われる。このグリッドはワイ
ヤが走行できる水平又は垂直のトラックのみでつくられ
る。幾つかのワイヤリング・プレーン(plane)の
技術が設計者に提供されている。一般に、結合容量を最
小にするために、ワイヤは上部及び下部のプレーンのワ
イヤと直交するように走行する。大抵の技術は(Ml、
82、N3と呼ばれる)2又は3の金属レベルを提供し
、大部分の進んだ技術は短い接続にのみ用いられる下位
の金属レベル(MO)を特徴とする。
定の、仮想グリッド上で行われる。このグリッドはワイ
ヤが走行できる水平又は垂直のトラックのみでつくられ
る。幾つかのワイヤリング・プレーン(plane)の
技術が設計者に提供されている。一般に、結合容量を最
小にするために、ワイヤは上部及び下部のプレーンのワ
イヤと直交するように走行する。大抵の技術は(Ml、
82、N3と呼ばれる)2又は3の金属レベルを提供し
、大部分の進んだ技術は短い接続にのみ用いられる下位
の金属レベル(MO)を特徴とする。
これらの金属レベルは本明細書では下記のように用いら
れる: (1) NOは垂直の拡散に対する拡散、即ち保護ダイ
オードを含む上部金属被g (Ml〜CA)に対する拡
散にのみ用いられる。
れる: (1) NOは垂直の拡散に対する拡散、即ち保護ダイ
オードを含む上部金属被g (Ml〜CA)に対する拡
散にのみ用いられる。
(2)旧及びCAは(ホール・マスクを介して)垂直又
は水平のゲート対ゲート、拡散対拡散、即ちゲート接続
に対する拡散に用いられる。
は水平のゲート対ゲート、拡散対拡散、即ちゲート接続
に対する拡散に用いられる。
これらのレベルは基本機能の内部ワイヤリングを行い、
ブックの個人化を成し遂げる。
ブックの個人化を成し遂げる。
(3) Ml、 82. N3はノル木ロジック機能即
ちブックを相互接続するために用いられる。
ちブックを相互接続するために用いられる。
これらのレベルはチップの大域ワイヤリングを行う。
第1A図は本発明の改良されたゲート・アレイ・コア・
セルの形状を示す。
セルの形状を示す。
第1A図は互いに隣接して行方向に反復して配列された
コア・セルの連続するストライプの部分20を示す1m
単にするため、2つのコア・セル、CELLI及びCE
LL2だけを示す、コア・セルは列方向に沿って決めら
れた高さHの機能ゲート領域zl内に形成される0本発
明によれば、コア・セル。
コア・セルの連続するストライプの部分20を示す1m
単にするため、2つのコア・セル、CELLI及びCE
LL2だけを示す、コア・セルは列方向に沿って決めら
れた高さHの機能ゲート領域zl内に形成される0本発
明によれば、コア・セル。
例えばCELLIは、連続するストライプ形のソース/
ドレーン拡散領域から形成される4個のF E T即ち
装置:1個の小さいNFET N1.1.1個の大きい
NFET N2.1,1個の小さいPFET Pl、1
、及び1個の大きいPFET Pl、1−それぞれの輻
−NL、νN2、vpt、 vpz ニ参照番号222
32425がそれぞれ付与されいてる−を含む、よって
、コア・セル。
ドレーン拡散領域から形成される4個のF E T即ち
装置:1個の小さいNFET N1.1.1個の大きい
NFET N2.1,1個の小さいPFET Pl、1
、及び1個の大きいPFET Pl、1−それぞれの輻
−NL、νN2、vpt、 vpz ニ参照番号222
32425がそれぞれ付与されいてる−を含む、よって
、コア・セル。
例えばCELLIでは、P装置、N装置の数は2.2で
ある。これらのl” E Tの一般的な名前は、セル番
号とは無関係に、それぞれN1. N2. r’l及び
Plである。 NFET及びPFETはそれぞれ前記機
能ゲート領域の上部及び下部に配置される。小さい装置
は前記領域の境界の近くに配置されるが、大きい装置は
その中央部分に配置される。
ある。これらのl” E Tの一般的な名前は、セル番
号とは無関係に、それぞれN1. N2. r’l及び
Plである。 NFET及びPFETはそれぞれ前記機
能ゲート領域の上部及び下部に配置される。小さい装置
は前記領域の境界の近くに配置されるが、大きい装置は
その中央部分に配置される。
良好な実施例では、 NFET N1.l及びN2.
lは、もし望むなら、P、1で参照されるシングル(s
ingle)PFETを規定することができる共通ゲー
ト電極GPIを共有するPFET Pl、1及びPl、
lと異なり、独立したゲート電極を有するので、独特の
装置である。
lは、もし望むなら、P、1で参照されるシングル(s
ingle)PFETを規定することができる共通ゲー
ト電極GPIを共有するPFET Pl、1及びPl、
lと異なり、独立したゲート電極を有するので、独特の
装置である。
個々のシングルPFET(例えば、Pl、1)は他の(
例えば、 Pl、lの)ドレーン・ソース領域を短絡す
ることによって得ることができる。並列する装置は前述
のようなストライプの使用により容易に得られる。ゲー
ト電極はそれらの末端がドッグ・ボーン(dog−bo
ne)の形状であるので、どちらの端でも旧レベルでア
クセスすることができる。この形状には2つの利点があ
る: (1)セルの上部又は下部で2つの活動状態のゲートを
結合する1本のトラックが使用可能である。
例えば、 Pl、lの)ドレーン・ソース領域を短絡す
ることによって得ることができる。並列する装置は前述
のようなストライプの使用により容易に得られる。ゲー
ト電極はそれらの末端がドッグ・ボーン(dog−bo
ne)の形状であるので、どちらの端でも旧レベルでア
クセスすることができる。この形状には2つの利点があ
る: (1)セルの上部又は下部で2つの活動状態のゲートを
結合する1本のトラックが使用可能である。
(2)本発明の改良されたセルによって実現された回路
の人出力点、即ちロジック・サービス端子(LST)は
セルの上部、中間部又は下部に配置することができる。
の人出力点、即ちロジック・サービス端子(LST)は
セルの上部、中間部又は下部に配置することができる。
それゆえ、大域ワイヤリングの輻幀のなかには全回路領
域にわたって統計的にLSTを広げることにより避けら
れるものがある。 LSTは入力及び出力信号(例えば
、第2図の回路lOにおけるIO,DOlll、及びL
Ll、1.)のアクセスを提供するために用いられる。
域にわたって統計的にLSTを広げることにより避けら
れるものがある。 LSTは入力及び出力信号(例えば
、第2図の回路lOにおけるIO,DOlll、及びL
Ll、1.)のアクセスを提供するために用いられる。
Mlレベルの2つの電力バス26及び27はそれぞれ
P装置及びN装置にわたって配置され、正の電源電圧V
dd及びグランドGNDを供給する。
P装置及びN装置にわたって配置され、正の電源電圧V
dd及びグランドGNDを供給する。
Mlレベルの2つの電力レール(rail)2g及び2
9はセルの上部及び下部にわたって配置され、それぞれ
接点28.1.、、、及び29.1.、、、でP基板及
びNウェル30をそれぞれバイアスする。正の電源電圧
Vdd及びグランドGNDの拡散領域をバイアスするこ
とは接点だけが必要であるので1回路内部のワイヤリン
グに対して透明である。ウェーハ処理中に静電気の放電
のため起きることがあるゲート・ブレークダウンを避け
るために保護ダイオード旧及びD2が必要である(簡略
化のため第5C図及び第6図に示す形状には表示されな
い)。
9はセルの上部及び下部にわたって配置され、それぞれ
接点28.1.、、、及び29.1.、、、でP基板及
びNウェル30をそれぞれバイアスする。正の電源電圧
Vdd及びグランドGNDの拡散領域をバイアスするこ
とは接点だけが必要であるので1回路内部のワイヤリン
グに対して透明である。ウェーハ処理中に静電気の放電
のため起きることがあるゲート・ブレークダウンを避け
るために保護ダイオード旧及びD2が必要である(簡略
化のため第5C図及び第6図に示す形状には表示されな
い)。
第1B図は第1Δ図に示された2つのコア・セルCEL
LI及びCELL2から成る部分20の等価電気回路図
20゛ を示す。
LI及びCELL2から成る部分20の等価電気回路図
20゛ を示す。
4個のFETのそれぞれの幅は異なる要求に基づいて決
定する。ラッチの機能性は、小さい相補形FETの対(
例えばPl2、N12)と大きいFETの対(例えばP
ll、N11)を、各々の記憶セル(例えば5et)に
必要とする。もう1つの一般的な要求はNFETの幅よ
りもPFETの幅を広くシ、前記PFETのあまり良く
ないキャリヤ移動度を補償することである。これらの要
求は下記の一組のFET幅の間の関係にまとめることが
できる: WF2>>WPI、 WN2>>VNl、 WPI>W
NI及びWF2>vN2最後に、明確な最適化は平f%
i!i延要求によって与えられるが、それでもなお技術
の基本原則を考慮している。
定する。ラッチの機能性は、小さい相補形FETの対(
例えばPl2、N12)と大きいFETの対(例えばP
ll、N11)を、各々の記憶セル(例えば5et)に
必要とする。もう1つの一般的な要求はNFETの幅よ
りもPFETの幅を広くシ、前記PFETのあまり良く
ないキャリヤ移動度を補償することである。これらの要
求は下記の一組のFET幅の間の関係にまとめることが
できる: WF2>>WPI、 WN2>>VNl、 WPI>W
NI及びWF2>vN2最後に、明確な最適化は平f%
i!i延要求によって与えられるが、それでもなお技術
の基本原則を考慮している。
第4図は平衡遅延要求の理解を深めるのに役立つ、第4
図は一般的な技術の幾つかの基本ロジック回路:例えば
INV、 NAND、NOR,AOl、、、(7)遅延
結果対−PハN比を図示する。各々の回路は三角形で示
す、各々の三角形の右側の頂点は立上り遅延Rdが立下
り遅延Fdに等しい場合の平均比を示す。
図は一般的な技術の幾つかの基本ロジック回路:例えば
INV、 NAND、NOR,AOl、、、(7)遅延
結果対−PハN比を図示する。各々の回路は三角形で示
す、各々の三角形の右側の頂点は立上り遅延Rdが立下
り遅延Fdに等しい場合の平均比を示す。
前記頂点に対する底辺の部分の上部の点は立上り(又は
立下り)遅延を示し下部の点は立下り(立上り)遅延を
示す、この部分の中間点は最小平均遅延である。三角形
31. :12.33.34.35.36及び37ハソ
れぞれ4 ’7 x イNAND、 2ウェイNAND
、INV、2ウェイNOR,AOI・22.0AI 2
2及び3ウ工イNOR回路を表わす、第4図の表示は、
場合によっては平均遅延は10%まで大きくすることが
できるので、平衡遅延は必ずしも望ましい最小平均遅延
ではないことも示す、これは第4図のカーブ37から明
白である4点37B(平衡遅延)は点37A(最小平均
遅延)よりも僅かに上である。平衡遅延が要求されない
ときは、WP/WN比2が選択される。この解法は最良
の密度(1列のFETだけが用いられる)と性能(1列
の幅の合計が最大化される)の間の折衷案を提供する。
立下り)遅延を示し下部の点は立下り(立上り)遅延を
示す、この部分の中間点は最小平均遅延である。三角形
31. :12.33.34.35.36及び37ハソ
れぞれ4 ’7 x イNAND、 2ウェイNAND
、INV、2ウェイNOR,AOI・22.0AI 2
2及び3ウ工イNOR回路を表わす、第4図の表示は、
場合によっては平均遅延は10%まで大きくすることが
できるので、平衡遅延は必ずしも望ましい最小平均遅延
ではないことも示す、これは第4図のカーブ37から明
白である4点37B(平衡遅延)は点37A(最小平均
遅延)よりも僅かに上である。平衡遅延が要求されない
ときは、WP/WN比2が選択される。この解法は最良
の密度(1列のFETだけが用いられる)と性能(1列
の幅の合計が最大化される)の間の折衷案を提供する。
よって、第4図はロジック回路の最大の平衡遅延を得る
ために要求される最適の装置幅を決めるのに非常に役立
つ。
ために要求される最適の装置幅を決めるのに非常に役立
つ。
本発明で提案されたコア・セルは1列内に異なるサイズ
の4個のFETを提供するので、理論的には9組の異な
る比が可能であるが、82実には、前述の関係により2
回路設計者は4組の可能な比:WP1+WP2/WN1
+WN2、WP1+WP2/VN2、WP2/WNI+
υN2、VP2/vN2だけに関心がある。他の比はあ
まり違わない。
の4個のFETを提供するので、理論的には9組の異な
る比が可能であるが、82実には、前述の関係により2
回路設計者は4組の可能な比:WP1+WP2/WN1
+WN2、WP1+WP2/VN2、WP2/WNI+
υN2、VP2/vN2だけに関心がある。他の比はあ
まり違わない。
その結果、明確に最適化されたWNI、 WN2. W
PI及びWP2の値は前記から導き出され、決定される
。
PI及びWP2の値は前記から導き出され、決定される
。
例えば、一般的なCMO3FET技術では、下記の値:
VNt = 3μm、 WN2 = 10μm、 W
PI = 4.4pts及びWl)2 = 21.6μ
mが決定されている0幅の間のサイズ関係: WP2/
WN2/WPI/WNIは7/3.5/1.5/lにな
る。
VNt = 3μm、 WN2 = 10μm、 W
PI = 4.4pts及びWl)2 = 21.6μ
mが決定されている0幅の間のサイズ関係: WP2/
WN2/WPI/WNIは7/3.5/1.5/lにな
る。
これらの値により、次の比が後で示す回路と同じものを
組み立てるのに適切であるニ ー VP1+WP2/WN1+WN2 = 2 (
INVに使用)−Ml)1+WP2/VN2 =
2.6 (AOI 22.2ウエイNORに使用) ・%1lP2/li!N1+WN2 =1.7
(2ウエイNANDに使用)V I) l + W P
2ハ旧+WN2(即ちWP、l/WN1+WN2)は
例えば、インバータ回路INVは: (1) PI FET及びPl FET (例えば、前
述のP、1装置と等価である)を並列にすることにより
形成されるPFET装置、及び (2)個々のNI FET及びN2 NFIシTを並列
にすることにより形成される装置 によって1つのコア・セル°で実現されることを意味す
る。
組み立てるのに適切であるニ ー VP1+WP2/WN1+WN2 = 2 (
INVに使用)−Ml)1+WP2/VN2 =
2.6 (AOI 22.2ウエイNORに使用) ・%1lP2/li!N1+WN2 =1.7
(2ウエイNANDに使用)V I) l + W P
2ハ旧+WN2(即ちWP、l/WN1+WN2)は
例えば、インバータ回路INVは: (1) PI FET及びPl FET (例えば、前
述のP、1装置と等価である)を並列にすることにより
形成されるPFET装置、及び (2)個々のNI FET及びN2 NFIシTを並列
にすることにより形成される装置 によって1つのコア・セル°で実現されることを意味す
る。
P装置及びN装置が2つのコア・セルのP FET及び
N FETで構成されるとき、近似は更に改善すること
ができる1例えば、興味のある次の比を前記の比に付加
することができる。
N FETで構成されるとき、近似は更に改善すること
ができる1例えば、興味のある次の比を前記の比に付加
することができる。
・2WP2 /WN1+WN2 = 3.3 (3
ウェイNOR,0AI22に使用) −WP1+WP2/2WN2 =1.3 (4つx
イNANDニ使用)これらの全ての数字は技術によっ
て決まるが。
ウェイNOR,0AI22に使用) −WP1+WP2/2WN2 =1.3 (4つx
イNANDニ使用)これらの全ての数字は技術によっ
て決まるが。
あまり変化はしない。
結論として、第4図は、1つのコア・セルによって提供
される3つの異なる比により、−組の簡単なブックにつ
いて(理想的な数字と比較して)かなりよい平衡遅延を
簡単な得ることが11)能であることを示す、装置が2
つのコア・セル、例えば2つの列でFETから構成され
るとき、これはがなり改善することができる。
される3つの異なる比により、−組の簡単なブックにつ
いて(理想的な数字と比較して)かなりよい平衡遅延を
簡単な得ることが11)能であることを示す、装置が2
つのコア・セル、例えば2つの列でFETから構成され
るとき、これはがなり改善することができる。
第5A図は、CMO5FET QNl、 QN2 及び
Q[’1. QP2の2つの対を用いる、一般的な2ウ
工イ〜01?ロジツク回路39の電気回路図を示す、各
々の対、例えばQPl、QNIは列内のコア・セルから
形成される。
Q[’1. QP2の2つの対を用いる、一般的な2ウ
工イ〜01?ロジツク回路39の電気回路図を示す、各
々の対、例えばQPl、QNIは列内のコア・セルから
形成される。
理想的な比2.8(第4図のカーブ34参照)に近づく
ために、小及び大のコア・セルのPFETは並列にされ
るが、小のNFETはもはや用いられない、換言すれば
、PFET装置、例えばQPlは、FET Pl、l及
びPl、1を並列にすることにより形成されるP、1で
ある。 NFET装置、例えばQNIはFET N2.
1によって形成される。同様な構成は他の対QP2、Q
N2にもあてはまる。その結果2回路39内の装置対の
υP/WN比はvPl+シP2ハN2で付与されるタイ
プであり1例えば、およそ2.6である。第5B図は本
発明のコア・セルによって実現されたときの等価電気回
路39″を示す1本発明の改良されたコア・セルによる
ゲート・アレイで物理的に実現されるときの、第5B図
の回路の現実の形状は第5C図の形状39″に示す、2
ウエイNORブツクを完成するには3つのセルが必要で
ある。ロジック回路を実現するのに2つのコア・セル、
例えばCELLI及びCELL2が用いられる。第3の
コア・セル、例えばCELL3は右側の次のブック(図
示せず)との絶縁のために必要である。第4のコア・セ
ル、例えばCELLOはブツクの左側に示されるが、前
のブックに属する。
ために、小及び大のコア・セルのPFETは並列にされ
るが、小のNFETはもはや用いられない、換言すれば
、PFET装置、例えばQPlは、FET Pl、l及
びPl、1を並列にすることにより形成されるP、1で
ある。 NFET装置、例えばQNIはFET N2.
1によって形成される。同様な構成は他の対QP2、Q
N2にもあてはまる。その結果2回路39内の装置対の
υP/WN比はvPl+シP2ハN2で付与されるタイ
プであり1例えば、およそ2.6である。第5B図は本
発明のコア・セルによって実現されたときの等価電気回
路39″を示す1本発明の改良されたコア・セルによる
ゲート・アレイで物理的に実現されるときの、第5B図
の回路の現実の形状は第5C図の形状39″に示す、2
ウエイNORブツクを完成するには3つのセルが必要で
ある。ロジック回路を実現するのに2つのコア・セル、
例えばCELLI及びCELL2が用いられる。第3の
コア・セル、例えばCELL3は右側の次のブック(図
示せず)との絶縁のために必要である。第4のコア・セ
ル、例えばCELLOはブツクの左側に示されるが、前
のブックに属する。
CELL3で、絶縁のためにFETが結合される。この
回路は平衡した立上り及び立下り遅延特性を得るように
設計されている。
回路は平衡した立上り及び立下り遅延特性を得るように
設計されている。
第5D図は入出力信号の波形、振幅対時間を示す、所与
の全スイング入力信号40について、対応する出力信号
41が示されている。第5D図から。
の全スイング入力信号40について、対応する出力信号
41が示されている。第5D図から。
回路39は平衡遅延(Rd= Fd)を示すことが明白
である。
である。
第6図は、提案されたコア・セルによって実現された時
の第2図のラッチの物理的な実現、即ちレイアウトを示
す、16のコア・セル、即ち16対のNY&置(Nl及
びN2)並びにPV&置(PI及びPl)が使用される
。実際、回路10の上部で記憶セルSC1の交差結合さ
れたインバータの第1のステージを実行するために用い
られるFET Nll及びPll(第2図参照)は大き
い装置N2及びPlによってそれぞれ実現される。一方
、第2のステージで、 FET N12及びPl2は、
コア・セルの上部及び下部にそれぞれ配置されている小
さい装′r1N1及びPlによって実現される。交差結
合インバータSCI及びSC2のワイヤリングの方法を
示すため、内部ノード旧(即ち16)、 R2(又は1
5)、 R3及び、R4を第6図に示す。
の第2図のラッチの物理的な実現、即ちレイアウトを示
す、16のコア・セル、即ち16対のNY&置(Nl及
びN2)並びにPV&置(PI及びPl)が使用される
。実際、回路10の上部で記憶セルSC1の交差結合さ
れたインバータの第1のステージを実行するために用い
られるFET Nll及びPll(第2図参照)は大き
い装置N2及びPlによってそれぞれ実現される。一方
、第2のステージで、 FET N12及びPl2は、
コア・セルの上部及び下部にそれぞれ配置されている小
さい装′r1N1及びPlによって実現される。交差結
合インバータSCI及びSC2のワイヤリングの方法を
示すため、内部ノード旧(即ち16)、 R2(又は1
5)、 R3及び、R4を第6図に示す。
更に、バッファ、例えばBlを形成するNFET及びP
FETは大きくなければならない、それらは、装置Nl
÷N2及びP1+P2を並列にする際に少なくとも2回
実呪される。第6図のラッチ回路でクロックAO1BO
,COは信号IO(第2図参照)の走査のように、旧レ
ベルに分散することができる。これは、セルの外側では
なく、セルの高さH内でクロックをワイヤリングさせる
興味ある特性である。その結果。
FETは大きくなければならない、それらは、装置Nl
÷N2及びP1+P2を並列にする際に少なくとも2回
実呪される。第6図のラッチ回路でクロックAO1BO
,COは信号IO(第2図参照)の走査のように、旧レ
ベルに分散することができる。これは、セルの外側では
なく、セルの高さH内でクロックをワイヤリングさせる
興味ある特性である。その結果。
複数のPH5RL回路から成るシフト・レジスタは容易
に実現することができる。
に実現することができる。
一般的に、提案されたコア・セルはマスク・スライス環
境で高密度の回路、特にラッチを実現する可能性を提供
する。提案された基本セルは、同じ密度及び性能の一般
的なセル環境の場合と同じ回路を用いる可能性を(小さ
いNl及びP1装置のおかげで)提供する。その結果、
2つの大きい装置NZ及びPlは全てのロジック回路で
全く対称的に用いられる。小さい装置は主としてラッチ
の機能性について所望の非対称性を保証するラッチ回路
で用いられる。
境で高密度の回路、特にラッチを実現する可能性を提供
する。提案された基本セルは、同じ密度及び性能の一般
的なセル環境の場合と同じ回路を用いる可能性を(小さ
いNl及びP1装置のおかげで)提供する。その結果、
2つの大きい装置NZ及びPlは全てのロジック回路で
全く対称的に用いられる。小さい装置は主としてラッチ
の機能性について所望の非対称性を保証するラッチ回路
で用いられる。
前述の欧州特許出願に記載された、12のセル(24の
装置対)を必要とする。従来のPIISRLの回路図及
びレイアウトと比較して、もし2つの同じ細分性が維持
されるならば、提案された基本セルは装置数を33%減
少させる。典型的なゲート・アレイ・ロジック・チップ
の場合、およそ40%の内部セルがラッチに用いられる
ので、基本セルはチップ・レベルの密度にかなりの利得
(およそ13%)を提供する。一般的な技術によって、
soo、ooo個までの背景セルを適度のチップ・サイ
ズ(14,7X 14.7s園)番こ配置することがで
きる。″大量のゲート”構造は、3レベルの金属相互接
続(Ml、 N2. N3)によって用いられ、最大数
のワイヤリング可能な回路を完成する。前記集積にによ
る密度について言えば、2つの異なる局面:(1)回路
レベルの密度、及び(2)チップ・レベルの密度(完成
したワイヤリング可能な回路の数)を考慮することが必
要である。
装置対)を必要とする。従来のPIISRLの回路図及
びレイアウトと比較して、もし2つの同じ細分性が維持
されるならば、提案された基本セルは装置数を33%減
少させる。典型的なゲート・アレイ・ロジック・チップ
の場合、およそ40%の内部セルがラッチに用いられる
ので、基本セルはチップ・レベルの密度にかなりの利得
(およそ13%)を提供する。一般的な技術によって、
soo、ooo個までの背景セルを適度のチップ・サイ
ズ(14,7X 14.7s園)番こ配置することがで
きる。″大量のゲート”構造は、3レベルの金属相互接
続(Ml、 N2. N3)によって用いられ、最大数
のワイヤリング可能な回路を完成する。前記集積にによ
る密度について言えば、2つの異なる局面:(1)回路
レベルの密度、及び(2)チップ・レベルの密度(完成
したワイヤリング可能な回路の数)を考慮することが必
要である。
第1の点については、ラッチを除く全ての基本回路のゲ
ート・アレイ及び一般的なセルの間に等しい密度を得る
のは慣れており、それによって。
ート・アレイ及び一般的なセルの間に等しい密度を得る
のは慣れており、それによって。
一般に機能のおよそ15%まで典型的な部分に寄与する
ことは事実である。(ゲート・アレイでは。
ことは事実である。(ゲート・アレイでは。
これは全体のセルの40%までである)1組合せ回路に
ついては、2つの方法の電気回路図が同一であるので1
等しい密度が説明されることがある。
ついては、2つの方法の電気回路図が同一であるので1
等しい密度が説明されることがある。
相違はゲート・アレイについては同ピツチのトランジス
タから、一般的なセルについてはll0X(凹形酸化物
)破断の代りにトランジスタによる分離から起きるだけ
である。これらの相違は重要ではない、ラッチについて
は、提案されたゲート・アレイは密度の問題を解決する
。それゆえ、全体のライブラリについて回路レベルで同
じ密度を考えることができる。
タから、一般的なセルについてはll0X(凹形酸化物
)破断の代りにトランジスタによる分離から起きるだけ
である。これらの相違は重要ではない、ラッチについて
は、提案されたゲート・アレイは密度の問題を解決する
。それゆえ、全体のライブラリについて回路レベルで同
じ密度を考えることができる。
第2の点については1例えばチップ・レベルで、大証の
ゲート構造及び3つの金属レベル(2つは水平、1つは
垂直)を考慮すると、相違は主に旧レベルの回路の多孔
度から来る。実際に、このワイヤリング・レベルはブッ
ク個人化及び大域ワイヤリングの両者に用いられる。ゲ
ート・アレイでの一定の背景のため、ブック個人化は制
約が多く大域ワイヤリングのトラックは一般的なセル回
路の場合よりも少ししか生じない。
ゲート構造及び3つの金属レベル(2つは水平、1つは
垂直)を考慮すると、相違は主に旧レベルの回路の多孔
度から来る。実際に、このワイヤリング・レベルはブッ
ク個人化及び大域ワイヤリングの両者に用いられる。ゲ
ート・アレイでの一定の背景のため、ブック個人化は制
約が多く大域ワイヤリングのトラックは一般的なセル回
路の場合よりも少ししか生じない。
最後に、提案された(より柔軟性を可能にするMOレベ
ルよる)ゲート・アレイにより5本のワイヤリング・ト
ラックが使用可能である。もしこれが一般的なセルによ
って得られるよりも少なくても、水平ワイヤリング・ト
ラック数は(考えられる大抵のチップ・サイズについて
)垂直方向の場合よりも大きくなるので十分である。お
おまかに、結果的に得られる密度は一般的なセルの密度
とほぼ同じである。
ルよる)ゲート・アレイにより5本のワイヤリング・ト
ラックが使用可能である。もしこれが一般的なセルによ
って得られるよりも少なくても、水平ワイヤリング・ト
ラック数は(考えられる大抵のチップ・サイズについて
)垂直方向の場合よりも大きくなるので十分である。お
おまかに、結果的に得られる密度は一般的なセルの密度
とほぼ同じである。
F0発明の効果
以上をまとめると、改良されたこのゲート・アレイ・セ
ルによって提供される主たる改善は下記のようになる: (1)ラッチの設計では、他のロジックの部分に影響を
及ぼさずに、一般的なセルの場合のように同じ密度及び
性能が得られる。その結果。
ルによって提供される主たる改善は下記のようになる: (1)ラッチの設計では、他のロジックの部分に影響を
及ぼさずに、一般的なセルの場合のように同じ密度及び
性能が得られる。その結果。
提案されたゲート・アレイ・コア・セルは=(a)大域
ワイヤリングについて制約されずにシフト・レジスタの
容易な実現、及び (b)ロジック・ブックの全セットについて同等の密度
及び同数のワイヤリング可能な回路/チップ を可能にする。従って、提案されたコア・セルは密度に
ついて一般的なセルに比肩する。
ワイヤリングについて制約されずにシフト・レジスタの
容易な実現、及び (b)ロジック・ブックの全セットについて同等の密度
及び同数のワイヤリング可能な回路/チップ を可能にする。従って、提案されたコア・セルは密度に
ついて一般的なセルに比肩する。
(2)(主としてクロック分散トリー及びクリティカル
・ロジック・バスに必要な)基本ロジック・ブックの設
計で平衡した立上り及び立下り遅延を得る能力はロジッ
ク設計者にとって貴重である。
・ロジック・バスに必要な)基本ロジック・ブックの設
計で平衡した立上り及び立下り遅延を得る能力はロジッ
ク設計者にとって貴重である。
よって、本発明はゲート・アレイ能力を拡大し5それら
を将来のASICとして更に競争力のあるものにする。
を将来のASICとして更に競争力のあるものにする。
第1A図及び第1B図はそれぞれ、最適化された異なる
輻及び同等の電気回路図を含む1本発明の2つの隣接す
るゲート・アレイ・コア・セルの形状を示す図である。 第2図は予め特性を付与された。即ち一般的なセル・タ
イプのチップで実現するのに適した従来のt、s s
oタイプのPIISRLH路を示す図である。 第3図は予め拡散された。即ちゲート・アレイ・タイプ
のチップで実現するのに適した従来のLSSDタイプの
PIISRLli!l路を示す図である。 第4図は種々の基本的なロジック機能/回路の立上り及
び立下り遅延対WE)/WN比を示す図である。 第5A図、第5B図、第5C図及び第5D図はそれぞれ
2ウ工イNORロジツク回路、その等価電気回路、本発
明のゲート・アレイ・コア・セルによってゲート・アレ
イ・チップで実現された時のその形状、及び取得される
平衡した立上り/立下り遅延を有する入出力信号の波形
の概要を示す図である。 第6図は本発明のゲート・アレイ・コア・セルによって
ゲート・アレイ・チップで実現された時の第2図のPH
5RL回路を示す図である。 10・・・・マスタ/スレーブCMO5高密度LSSD
PIISRLラッチ回路、17・・・・LSSD P
IISRL回路、39・・・・2ウ工イN0IIロジツ
ク回路・ 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人 弁理士 頓 宮 孝 −(外1名) WE2図 Gnd Gnd i[3図 砺3 一!?Iれ1 セLフ 」 0図 第5D図
輻及び同等の電気回路図を含む1本発明の2つの隣接す
るゲート・アレイ・コア・セルの形状を示す図である。 第2図は予め特性を付与された。即ち一般的なセル・タ
イプのチップで実現するのに適した従来のt、s s
oタイプのPIISRLH路を示す図である。 第3図は予め拡散された。即ちゲート・アレイ・タイプ
のチップで実現するのに適した従来のLSSDタイプの
PIISRLli!l路を示す図である。 第4図は種々の基本的なロジック機能/回路の立上り及
び立下り遅延対WE)/WN比を示す図である。 第5A図、第5B図、第5C図及び第5D図はそれぞれ
2ウ工イNORロジツク回路、その等価電気回路、本発
明のゲート・アレイ・コア・セルによってゲート・アレ
イ・チップで実現された時のその形状、及び取得される
平衡した立上り/立下り遅延を有する入出力信号の波形
の概要を示す図である。 第6図は本発明のゲート・アレイ・コア・セルによって
ゲート・アレイ・チップで実現された時の第2図のPH
5RL回路を示す図である。 10・・・・マスタ/スレーブCMO5高密度LSSD
PIISRLラッチ回路、17・・・・LSSD P
IISRL回路、39・・・・2ウ工イN0IIロジツ
ク回路・ 出願人 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ
・コーポレーション 代理人 弁理士 頓 宮 孝 −(外1名) WE2図 Gnd Gnd i[3図 砺3 一!?Iれ1 セLフ 」 0図 第5D図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ロジック半導体チップで実現されるゲート・アレイ・タ
イプのマスタ・スライス集積回路であって、 行方向に互いに隣接し反復して配列された複数のコア・
セルを含む所定の距離の少なくとも1つのストライプの
形状の機能ゲート領域を含み、各々のコア・セルは列方
向に配列された異なるサイズの4個の装置である、 第1の幅の第一に小さいNFETと、 第2の幅の次に大きいNFETと、 第1の幅の第一に小さいPFETと、 第2の幅の次に大きいPFETと、 を含むことを特徴とするマスタ・スライス集積回路。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP89480071A EP0394598B1 (en) | 1989-04-28 | 1989-04-28 | An improved gate array cell having FETS of different and optimized sizes |
| EP89480071.3 | 1989-04-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02303066A true JPH02303066A (ja) | 1990-12-17 |
| JPH0785501B2 JPH0785501B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=8203059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2097816A Expired - Fee Related JPH0785501B2 (ja) | 1989-04-28 | 1990-04-16 | マスタ・スライス集積回路 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5038192A (ja) |
| EP (1) | EP0394598B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0785501B2 (ja) |
| DE (1) | DE68925897T2 (ja) |
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- 1990-04-16 JP JP2097816A patent/JPH0785501B2/ja not_active Expired - Fee Related
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