JPH02303377A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH02303377A JPH02303377A JP1126052A JP12605289A JPH02303377A JP H02303377 A JPH02303377 A JP H02303377A JP 1126052 A JP1126052 A JP 1126052A JP 12605289 A JP12605289 A JP 12605289A JP H02303377 A JPH02303377 A JP H02303377A
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- JP
- Japan
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- movable element
- stator
- ultrasonic motor
- spring
- elastic
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は可動子をばね手段によって固定子に加圧し、そ
の固定子に発生した弾性進行波により可動子を駆動する
ように構成した超音波モータに係り、詳しくは、ばね手
段と可動子との接合部の構造に関するものである。
の固定子に発生した弾性進行波により可動子を駆動する
ように構成した超音波モータに係り、詳しくは、ばね手
段と可動子との接合部の構造に関するものである。
[従来の技術]
従来のこの種の超音波モータとして、特開昭63−73
887号公報に掲載された技術が挙げられる。
887号公報に掲載された技術が挙げられる。
第3図は従来の超音波モータを示す縦断面図、第4図は
第3図の超音波モータにおいて固定子と可動子との接触
部分を拡大して示す部分断面図、第5図は第4図の超音
波モータで使用されている皿ばねの加圧力の分布状態を
示す説明図である。
第3図の超音波モータにおいて固定子と可動子との接触
部分を拡大して示す部分断面図、第5図は第4図の超音
波モータで使用されている皿ばねの加圧力の分布状態を
示す説明図である。
第3図において、41は超音波モータの外郭となるケー
ス、42はケース41を閉じるカバー、43は固定子、
44は前記固定子43に配設された圧電素子、45はラ
イナー46を介して固定子43に接合すべく配置された
可動子、47は前記可動子45と一体に回転する回転軸
である。前記回転軸47の大径鍔部48の下側には、可
動子45の薄肉部49を押圧する皿ばね50が配設され
ている。また、回転軸47の下部にはスナップリング5
1によってシム52が保持されていて、このシム52の
厚みを選択することにより、皿ばね50の押圧力を適宜
に調整できるように構成されている。
ス、42はケース41を閉じるカバー、43は固定子、
44は前記固定子43に配設された圧電素子、45はラ
イナー46を介して固定子43に接合すべく配置された
可動子、47は前記可動子45と一体に回転する回転軸
である。前記回転軸47の大径鍔部48の下側には、可
動子45の薄肉部49を押圧する皿ばね50が配設され
ている。また、回転軸47の下部にはスナップリング5
1によってシム52が保持されていて、このシム52の
厚みを選択することにより、皿ばね50の押圧力を適宜
に調整できるように構成されている。
上記のように構成された従来の超音波モータにおいて、
圧電素子44に高周波電圧が印加されると、圧電素子4
4の変形に伴って固定子43に弾性進行波が発生し、こ
の弾性進行波によって固定子43の表面上の質点に楕円
運動が生起する。そして、この楕円運動に伴い固定子4
3と可動子45に固定されたライナー46との接触面に
摩擦力が発生し、その摩擦力で可動子45に回転モーメ
ントが作用して、可動子45と一体に回転軸47が回転
される。
圧電素子44に高周波電圧が印加されると、圧電素子4
4の変形に伴って固定子43に弾性進行波が発生し、こ
の弾性進行波によって固定子43の表面上の質点に楕円
運動が生起する。そして、この楕円運動に伴い固定子4
3と可動子45に固定されたライナー46との接触面に
摩擦力が発生し、その摩擦力で可動子45に回転モーメ
ントが作用して、可動子45と一体に回転軸47が回転
される。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、この種の超音波モータの出力は、−鰻に、固
定子43とライナー46との摩擦係数及び皿ばね50の
加圧力に依存する。しかしながら、従来の超音波モータ
において皿ばね50の加圧力を大きく設定した場合、第
4図に拡大して示すように、その加圧力で可動子45の
薄肉部49及び固定子43の薄肉部54がそれぞれ彎曲
されて、固定子43と可動子45に固着されたライナー
46とが片当りの状態で圧接される。また、皿ばね50
はそれ自身のばね特性からして、第5図に矢印で示すよ
うに、周方向の加圧力が不均一となっているので、固定
子43に対し可動子45を各部均一な力で加圧すること
が困難である。
定子43とライナー46との摩擦係数及び皿ばね50の
加圧力に依存する。しかしながら、従来の超音波モータ
において皿ばね50の加圧力を大きく設定した場合、第
4図に拡大して示すように、その加圧力で可動子45の
薄肉部49及び固定子43の薄肉部54がそれぞれ彎曲
されて、固定子43と可動子45に固着されたライナー
46とが片当りの状態で圧接される。また、皿ばね50
はそれ自身のばね特性からして、第5図に矢印で示すよ
うに、周方向の加圧力が不均一となっているので、固定
子43に対し可動子45を各部均一な力で加圧すること
が困難である。
したがって、固定子43と可動子45に固着されたライ
ナー46との摩擦係数及び圧接力の変動幅が大きくなり
、回転むらまたはトルクむらが生じて、モータ出力が不
安定になることが予想される。しかも、摩擦係数及び圧
接力が不安定な状態では、可動子45に固定子43とは
異なる周波数の固有振動が生じ、異音が発生するという
不都合も想定される。そして、これらの理由によって、
従来は超音波モータの高出力化が妨げられていた。
ナー46との摩擦係数及び圧接力の変動幅が大きくなり
、回転むらまたはトルクむらが生じて、モータ出力が不
安定になることが予想される。しかも、摩擦係数及び圧
接力が不安定な状態では、可動子45に固定子43とは
異なる周波数の固有振動が生じ、異音が発生するという
不都合も想定される。そして、これらの理由によって、
従来は超音波モータの高出力化が妨げられていた。
そこで、本発明の課題は、簡単な構造によってばね手段
の加圧力を可動子の周方向龜一様に分布させ、回転むら
及びトルクむら、並びに、異音の発生を抑制でき、もっ
て、高出力を得ることができる超音波モータを提供する
ことにある。
の加圧力を可動子の周方向龜一様に分布させ、回転むら
及びトルクむら、並びに、異音の発生を抑制でき、もっ
て、高出力を得ることができる超音波モータを提供する
ことにある。
[課題を解決するための手段]
本発明にかかる超音波モータは、圧電素子の変形により
弾性進行波を発生する固定子に弾接するように配置され
て弾性進行波によって駆動される可動子と、その可動子
を固定子の方向に向けて加圧するばね手段と、そのばね
手段の加圧力を受けるように可動子に配設された突起と
から構成されている。
弾性進行波を発生する固定子に弾接するように配置され
て弾性進行波によって駆動される可動子と、その可動子
を固定子の方向に向けて加圧するばね手段と、そのばね
手段の加圧力を受けるように可動子に配設された突起と
から構成されている。
[作用]
本発明の超音波モータにおいては、可動子にばね手段の
加圧力を受ける突起が配設されているため、ばね手段の
加圧力が突起に沿って可動子に一様に分布される。また
、可動子はばね手段の加圧力に係合する部分において突
起により補強されるから、ばね手段の加圧力で可動子に
彎曲が生じるおそれがなくなり、固定子と可動子とが常
に安定した接触面を介して圧接される。したがって、固
定子及び可動子に固定されたライナーの摩擦係数及び圧
接力が安定化し、回転むら及びトルクむらが抑制される
とともに、可動子の固有振動が抑制されて、異音の発生
が防止される。その結果、圧電素子に高電力を供給して
、高いモータ出力を支障なく得ることができる。
加圧力を受ける突起が配設されているため、ばね手段の
加圧力が突起に沿って可動子に一様に分布される。また
、可動子はばね手段の加圧力に係合する部分において突
起により補強されるから、ばね手段の加圧力で可動子に
彎曲が生じるおそれがなくなり、固定子と可動子とが常
に安定した接触面を介して圧接される。したがって、固
定子及び可動子に固定されたライナーの摩擦係数及び圧
接力が安定化し、回転むら及びトルクむらが抑制される
とともに、可動子の固有振動が抑制されて、異音の発生
が防止される。その結果、圧電素子に高電力を供給して
、高いモータ出力を支障なく得ることができる。
[実施例コ
以下、本発明を具体化した実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断面
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図である。
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図である。
この実施例の超音波モータのハウジング1はベース2と
、前記ベース2の上方を覆うカバー3とから構成されて
いる。ベース2の中央部には支持筒4が内方に突出した
状態で形成されている。前記支持筒4にはベアリング1
7が圧入され、支持筒4の張出部5によって内方への移
動が規制されている。前記ベアリング17の内輪17a
に回転軸20が下方から挿着されている。前記回転輪2
0はハウジング1の下方へ突出する出力部21と、ベア
リング17の下面に当接する鍔部22と、上端の連結部
23とを備えていて、前記鍔部22によってハウジング
1の内方への移動を規制している。
、前記ベース2の上方を覆うカバー3とから構成されて
いる。ベース2の中央部には支持筒4が内方に突出した
状態で形成されている。前記支持筒4にはベアリング1
7が圧入され、支持筒4の張出部5によって内方への移
動が規制されている。前記ベアリング17の内輪17a
に回転軸20が下方から挿着されている。前記回転輪2
0はハウジング1の下方へ突出する出力部21と、ベア
リング17の下面に当接する鍔部22と、上端の連結部
23とを備えていて、前記鍔部22によってハウジング
1の内方への移動を規制している。
前記回転軸20の連結部23には、ホルダ18が面接合
またはスプライン結合等の回り止め手段を介して相対回
動不能に挿入されている。前記ホルダ18とベアリング
17との間にはシム34が介装されている。そして、ホ
ルダ18の上部凹所18aに座金15を収容して、螺子
19を回転軸20の上端に締付けることにより、前記座
金15でホルダ18が抜は止めされるとともに、シム3
4が挾持され、その状態で、回転軸20、ベアリング1
7の内輪17a1ホルダ18、及びシム34がそれぞれ
一体回転可能に連結される。
またはスプライン結合等の回り止め手段を介して相対回
動不能に挿入されている。前記ホルダ18とベアリング
17との間にはシム34が介装されている。そして、ホ
ルダ18の上部凹所18aに座金15を収容して、螺子
19を回転軸20の上端に締付けることにより、前記座
金15でホルダ18が抜は止めされるとともに、シム3
4が挾持され、その状態で、回転軸20、ベアリング1
7の内輪17a1ホルダ18、及びシム34がそれぞれ
一体回転可能に連結される。
ベース2の支持筒4の外周は固定子6の内孔7を挿着し
ている。固定子6は小径リング部8、大径リング部9及
び薄肉部10から、りん青銅等の金属弾性材料で一体的
に構成されている。前記小径リング部8はベース2の支
持筒11に接合した状態で螺子12によって固定されて
いる。前記大径リング部9の上面には全周にわたって多
数のくし歯13が一定ピッチで突設されている。
ている。固定子6は小径リング部8、大径リング部9及
び薄肉部10から、りん青銅等の金属弾性材料で一体的
に構成されている。前記小径リング部8はベース2の支
持筒11に接合した状態で螺子12によって固定されて
いる。前記大径リング部9の上面には全周にわたって多
数のくし歯13が一定ピッチで突設されている。
前記固定子6の大径リング部9の下面には、セラミック
ス材料等でリング状に成形された圧電素子14が図示し
ない導電性の接着材を介して固着されている。前記圧電
素子14はフレキシブルプリント基板31及びその端部
に配設されたプリント基板32を介してコネクタ33に
接続されている。そして、前記圧電素子14に高周波電
力が印加されると、圧電素子14の伸縮変形に伴い固定
子6の大径リング部9に弾性進行波、すなわち、超音波
振動が発生する。
ス材料等でリング状に成形された圧電素子14が図示し
ない導電性の接着材を介して固着されている。前記圧電
素子14はフレキシブルプリント基板31及びその端部
に配設されたプリント基板32を介してコネクタ33に
接続されている。そして、前記圧電素子14に高周波電
力が印加されると、圧電素子14の伸縮変形に伴い固定
子6の大径リング部9に弾性進行波、すなわち、超音波
振動が発生する。
前記固定子6に対し上方から接合するように、ホルダ1
8には可動子24が面接合またはスプライン結合等の回
り止め手段を介して相対回動不能に挿着されている。前
記可動子24はアルミニウム等の金属材料で円板状に形
成されていて、その外周にはリング状凸部26が下向に
突設されている。そして、前記リング状凸部26の下面
はライナー28を介して固定子6の<[13に対接して
いる。
8には可動子24が面接合またはスプライン結合等の回
り止め手段を介して相対回動不能に挿着されている。前
記可動子24はアルミニウム等の金属材料で円板状に形
成されていて、その外周にはリング状凸部26が下向に
突設されている。そして、前記リング状凸部26の下面
はライナー28を介して固定子6の<[13に対接して
いる。
前記可動子24の上方においてホルダ18には、可動子
24を固定子6に向けて加圧するばね手段としての皿ば
ね30が挿入され、ホルダ18の」1端鍔部18bによ
って上方から抑圧保持されている。
24を固定子6に向けて加圧するばね手段としての皿ば
ね30が挿入され、ホルダ18の」1端鍔部18bによ
って上方から抑圧保持されている。
また、前記皿ばね30の外周縁と対応する位置において
、可動子24の上部には環状突起25が一体形成されて
いる。前記環状突起25の内周には、皿ばね30の外周
縁、すなわち、加圧作用部30aを受けるばね受は部2
5aが切欠形成されている。ばね受は部25aと加圧作
用部30aとの間には、弾性部材としてのゴムリング2
7が介装されている。なお、皿ばね30の加圧力は前記
シム34の厚みを変更することによって適宜に調整され
ている。
、可動子24の上部には環状突起25が一体形成されて
いる。前記環状突起25の内周には、皿ばね30の外周
縁、すなわち、加圧作用部30aを受けるばね受は部2
5aが切欠形成されている。ばね受は部25aと加圧作
用部30aとの間には、弾性部材としてのゴムリング2
7が介装されている。なお、皿ばね30の加圧力は前記
シム34の厚みを変更することによって適宜に調整され
ている。
次に、上記のように構成された本実施例の超音波モータ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
固定子6に固着された圧電素子14に高周波電力が印加
されると、その圧電素子14が歪み、固定子6に弾性進
行波が発生する。この弾性進行波は固定子6の大径リン
グ部9に沿って周回し、その過程で、弾性進行波の振幅
が大径リング部°9のくし歯13によって拡大される。
されると、その圧電素子14が歪み、固定子6に弾性進
行波が発生する。この弾性進行波は固定子6の大径リン
グ部9に沿って周回し、その過程で、弾性進行波の振幅
が大径リング部°9のくし歯13によって拡大される。
すると、くし歯13の表面上の質点には楕円運動が生起
され、この楕円運動に伴い、固定子6と可動子24に固
定されたライナー28との接触面に摩擦力が発生する。
され、この楕円運動に伴い、固定子6と可動子24に固
定されたライナー28との接触面に摩擦力が発生する。
そして、この摩擦力で可動子24に回転モ−メントが作
用し、これによって、可動子24、ホルダ18及び回転
軸20が一体に回転される。
用し、これによって、可動子24、ホルダ18及び回転
軸20が一体に回転される。
このように、本実施例の超音波モータにおいて−は、可
動子24の上面に皿ばね30の加圧作用部30aを受け
る環状突起25が一体形成されているため、1111ば
ね30の加圧力がその環状突起25に沿って可動子24
の周方向に一様に分布される。
動子24の上面に皿ばね30の加圧作用部30aを受け
る環状突起25が一体形成されているため、1111ば
ね30の加圧力がその環状突起25に沿って可動子24
の周方向に一様に分布される。
また、皿ばね30の加圧作用部30aに係合する部分で
可動子24が環状突起25により補強されるため、皿ば
ね30の加圧力で可動子24に彎曲が生じるおそれがな
くなり、固定子6と可動子24とが常に安定した接触面
を介して圧接される。
可動子24が環状突起25により補強されるため、皿ば
ね30の加圧力で可動子24に彎曲が生じるおそれがな
くなり、固定子6と可動子24とが常に安定した接触面
を介して圧接される。
したがって、可動子24に固定されたライナー28及び
固定子6間の摩擦係数及び圧接力が安定化し、回転むら
及びトルクむらが抑制される。また、可動子24に固定
されたライナー28及び固定子6が安定して圧接する状
態では、可動子24に固定子6とは異なる周波数の固有
振動が発生しにくくなり、可動子24及び皿ばね30等
における異音の発生が防止される。その結果、圧電素子
14に高電力を供給して、高いモータ出力を支障なく得
ることができる。
固定子6間の摩擦係数及び圧接力が安定化し、回転むら
及びトルクむらが抑制される。また、可動子24に固定
されたライナー28及び固定子6が安定して圧接する状
態では、可動子24に固定子6とは異なる周波数の固有
振動が発生しにくくなり、可動子24及び皿ばね30等
における異音の発生が防止される。その結果、圧電素子
14に高電力を供給して、高いモータ出力を支障なく得
ることができる。
しかも、環状突起25が可動子24に一体状に固定され
ているため、可動子24と皿ばね30とめ間に別部品を
介装する場合と比較して部品点数が少なくなり、軽量で
かつ組付は容易な構造により、皿ばね30の加圧力を安
定化させることができる。更に、本実施例においては、
環状突起25と皿ばね30との間に弾性部材としてのゴ
ムリング27が介在しているので、可動子24の振動が
1111ばね30側に伝わりにくくなり、振動エネルギ
ーの減衰を抑制することができる。
ているため、可動子24と皿ばね30とめ間に別部品を
介装する場合と比較して部品点数が少なくなり、軽量で
かつ組付は容易な構造により、皿ばね30の加圧力を安
定化させることができる。更に、本実施例においては、
環状突起25と皿ばね30との間に弾性部材としてのゴ
ムリング27が介在しているので、可動子24の振動が
1111ばね30側に伝わりにくくなり、振動エネルギ
ーの減衰を抑制することができる。
なお、上記実施例では環状突起25が可動子24に一体
形成されているが、本発明を実施する場合にはこれに限
定されるものではなく、環状突起25と可動子24とを
分割して形成し、それらを接着剤または溶接等の固着手
段で予め一体に固定したのちに組付けることもできる。
形成されているが、本発明を実施する場合にはこれに限
定されるものではなく、環状突起25と可動子24とを
分割して形成し、それらを接着剤または溶接等の固着手
段で予め一体に固定したのちに組付けることもできる。
或いは、環状突起25は所定のピッチに配設した突起と
して使用することもできる。しかしながら、前記環状突
起25を可動子24に一体形成した本実施例によれば、
環状突起25の精度が向上し、その分、皿ばね30の加
圧力を可動子24の周方向に均一に分布できるという特
有の効果が得られる。
して使用することもできる。しかしながら、前記環状突
起25を可動子24に一体形成した本実施例によれば、
環状突起25の精度が向上し、その分、皿ばね30の加
圧力を可動子24の周方向に均一に分布できるという特
有の効果が得られる。
また、本実施例の超音波モータは可動子24が回転運動
を行なうように構成されているが、可動子が直線運動す
るように構成したリニア形の超音波モータに本発明を応
用して具体化することも可能である。勿論、この場合に
は、上記実施例の環状突起25は直線状の突起または所
定のピッチに配設した突起とすることができる。
を行なうように構成されているが、可動子が直線運動す
るように構成したリニア形の超音波モータに本発明を応
用して具体化することも可能である。勿論、この場合に
は、上記実施例の環状突起25は直線状の突起または所
定のピッチに配設した突起とすることができる。
[発明の効果コ
以上、詳述したように、本発明の超音波モータは、圧電
素子によって弾性進行波を発生する固定子と、その固定
子に弾接するように配置された弾性進行波により駆動さ
れる可動子と、その可動子を固定子に向けて加圧するば
ね手段と、そのばね手段の加圧力を受けるように可動子
に配設された突起とから構成したものであるから、至っ
て簡単な構造により、ばね手段の加圧力を可動子の周方
向に一様に分布させ、回転むら及びトルクむら、並びに
、異音の発生を抑制でき、もって、高出力を得ることが
できる。
素子によって弾性進行波を発生する固定子と、その固定
子に弾接するように配置された弾性進行波により駆動さ
れる可動子と、その可動子を固定子に向けて加圧するば
ね手段と、そのばね手段の加圧力を受けるように可動子
に配設された突起とから構成したものであるから、至っ
て簡単な構造により、ばね手段の加圧力を可動子の周方
向に一様に分布させ、回転むら及びトルクむら、並びに
、異音の発生を抑制でき、もって、高出力を得ることが
できる。
第1図は本発明の一実施例による超音波モータの縦断面
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図、第3図は従来の超音波モータを示す縦断
面図、第4図は第3図の超音波モータにおいて固定子と
可動子との接触部分を拡大して示す部分断面図、第5図
は第3図の超音波モータで使用されている皿ばねの加圧
力の分布状態を示す説明図である。 図において、 6:固定子、 14:圧電素子、24:可動子
、 25:環状突起、30:皿ばね である。 なお、図中、同−符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。 特許出願人 アイシン精機株式会社 外1名
図、第2図は第1図の超音波モータに装備された可動子
を示す斜視図、第3図は従来の超音波モータを示す縦断
面図、第4図は第3図の超音波モータにおいて固定子と
可動子との接触部分を拡大して示す部分断面図、第5図
は第3図の超音波モータで使用されている皿ばねの加圧
力の分布状態を示す説明図である。 図において、 6:固定子、 14:圧電素子、24:可動子
、 25:環状突起、30:皿ばね である。 なお、図中、同−符号及び同一記号は同一または相当部
分を示すものである。 特許出願人 アイシン精機株式会社 外1名
Claims (3)
- (1)圧電素子によって弾性進行波を発生する固定子と
、 前記固定子に弾接するように配置されて、前記弾性進行
波によって駆動される可動子と、 前記可動子を前記固定子に向けて加圧するばね手段と、 前記ばね手段の加圧力を受けるように前記可動子に配設
された突起と を具備することを特徴とする超音波モータ。 - (2)前記突起は、可動子と一体的に形成された環状突
起としたことを特徴とする請求項1に記載の超音波モー
タ。 - (3)前記環状突起とばね手段との間に弾性部材が介在
していることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載の超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126052A JP2810109B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126052A JP2810109B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02303377A true JPH02303377A (ja) | 1990-12-17 |
| JP2810109B2 JP2810109B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=14925451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1126052A Expired - Lifetime JP2810109B2 (ja) | 1989-05-18 | 1989-05-18 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2810109B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0529295U (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-16 | 株式会社フコク | 超音波モータ |
| US5313132A (en) * | 1991-05-20 | 1994-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Elastic supporting member for a vibration driven motor |
| CN104506075A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-04-08 | 南京航空航天大学 | 一种可承受轴向力的预压力恒定的超声电机 |
-
1989
- 1989-05-18 JP JP1126052A patent/JP2810109B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5313132A (en) * | 1991-05-20 | 1994-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Elastic supporting member for a vibration driven motor |
| JPH0529295U (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-16 | 株式会社フコク | 超音波モータ |
| CN104506075A (zh) * | 2014-10-16 | 2015-04-08 | 南京航空航天大学 | 一种可承受轴向力的预压力恒定的超声电机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2810109B2 (ja) | 1998-10-15 |
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