JPH02304400A - Ｘ線分光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は分光結晶を用いたＸ線分光装置に関する。

（従来の技術） 分光結晶を用いたＸ線分光装置は従来、使用時だけ分光
結晶はＸ線の照射を受けると云う使い方がなされていた
。所が分光結晶はＸ　＆’ｉｔ照射を受けることにより
格子面間隔および反射Ｘ線強度が変化して徐々に一定に
近づいて行く。従って測定を開始してから、分光結晶の
変化が落着（までの間は頻繁に分光器の波畏の合せ直し
およびＸ線検出感度の確認を行わねばならず、大へん面
倒でしかも精度の良い測定を行うのが困難であった。

（発明が解決しようとする課題） 分光結晶を用いたＸ線分光装置で毎回測定開始から直ち
に安定した状態で測定を行い得るようにしようとするも
のである （課題を解決するための手段） Ｘ線分光装置において、Ｘ線分光用結晶に常にＸ線を照
射してお（ようにした。

（作用） 分光結晶を用いたＸ線分光装置の不安定の原因は前述し
たように分光結晶がＸ線の照射を受けることにより格子
面間隔が徐々に変化する所にある。従って予め分光結晶
にＸ線を照射して分光結晶を終着状態まで変化させてお
けば直ちに安定した状態で測定を開始することができる
。Ｘ線照射を中断すると分光結晶が元に戻るが、常時Ｘ
線を照射しておけば、分光結晶はＸ線照射による安定状
態に落着いているので、何時でも測定を行うことができ
る。

（実施例） 図面に本発明の一実施例を示す。この実施例はＸ線マイ
クロアナライザに本発明を適用した例である。図でｅは
電子ビームで試料表面に収束せしめられている。Ｃは分
光結晶で、試料面の電子ビーム照射点を通る固定直線り
に沿って移動するようになっている。ＤはＸ線検出器で
、その前面に置かれた分光用スリットＤｓと一体化され
ており、このスリブ！・が試料Ｓの電子ビーム照射点と
分光結晶Ｃの中心を通る一定半径の円周（１コ一ランド
円）上に常に位置しているように分光結晶Ｃと機構的に
連結されている。ＧはＸ線源で上記機構上に取付けられ
ており、分光結晶Ｃに軟Ｘ線を照射している。

この実施例では上述した機構は、直線りに沿って固定さ
れた分光結晶ガイド１と、このガイドに沿って摺動する
分光結晶台２と台２から一体的に延出された腕３と、同
じく台２に対し回動可能な腕４と、ガイド１および腕４
に一端が枢支され、夫々の他端が互いに連結されたリン
ク６．７と、腕３の端とスリットＤｓとを結ぶリンクと
よりなっており、Ｘ！ｌ！ｉ１検出器りとスリットＤｓ
の一体物は腕４上を摺動可能であり、腕３とリンク８と
は夫々長さがローランド円の半径に等しくしてあり、リ
ンク６．７の結合ビンｐを腕３の摺動溝内に摺動させる
ことで分光結晶Ｃの中心法線が常にローランド円の中心
に向っているようにしである。この構成により、分光結
晶Ｃを送りねじによってガイド１に沿い移動させること
によって波長走査が行われる。Ｘ線源Ｇは腕３に固定さ
れているので、分光結晶Ｃとの位置関係は常に一定とな
っている。かつＸ線源Ｇは腕３の中心線上よりや＼腕４
に近い側に片寄せて取付けである。このようにしておく
と、Ｘ線源Ｇから放射されたＸ線が分光結晶で反射され
ても検出器とは反対側に反射されるので、測定中のバッ
クグラウンド上昇を低く抑えることができる。Ｘ線源Ｇ
から放射されるＸ線は実際のＸ線分光測定におけるＸ線
の波長範囲よりも長波長側に選定しである。Ｘ線検出器
に比例計数管のようなエネルギー分析機能を有する検出
器を用いることにより、測定時にもＸ線源Ｇから放射さ
れているＸ線によるバックグラウンド上昇は更に低（抑
えられる。測定中はＸ線源Ｇの作動を停止させておいて
もよい。

（発明の効果） 本発明によれば、測定前に分光結晶は既にＸ線照射を受
けていて変化が安定しているので、測定開始後更めで波
長合せや強度確認を繰返す必要がな（、測定操作が簡単
かつ能率的になり、また分光結晶が安定しているので高
精度の測定ができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例装置の側面図である。 ｅ・・・電子ビ、−ム、Ｓ・・・試料、Ｃ・・・分光結
晶、Ｄ・・・Ｘ線検出器、Ｄｓ・・・分光用スリット、
Ｇ・・・Ｘ線源。 代理人　　弁理士　縣　　浩　介 り固定１線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｘ線分光用結晶に測定前に予めＸ線を照射しておくよう
   にしたことを特徴とするＸ線分光装置。