JPH02304837A - 電子管用部品の洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子管用部品の洗浄方法に関し、特に、人体お
よび環境への悪影響が少ないリモネン（テルペン化合物
の一種）を用い洗浄方法を改良した電子管用部品の洗浄
方法に関する。

〔従来の技術〕

脱脂洗浄（以下洗浄と記す）は、種々の部品材料および
機械類などの表面を清浄化し、塗装その地衣工程の処理
を容易にする下地処理として広〈実施されている。

特に、電子管の製造においては部品表面の汚れが管内真
空度に重大な影響を及ぼすため、十分な洗浄がほとんど
全ての部品に実施されている。

従来、このような洗浄工程においては、有機ハロゲン化
合物から成る溶剤、例えば、１，１．１トリクロルエタ
ンやフロン１１３などが広く用いられて来た。ところが
、近年、有機ハロゲン化合物溶剤による地下水の汚染や
オゾン層の破壊による人体への悪影響が大きな問題とな
って来た。

こうした情勢から、全地球的規模での有機ハロゲン化合
物溶剤の使用制限が叫ばれ、代替剤の開発と切替えが進
みつつある。リモネンはこうした要請にもとづき選択れ
な物質で第１表に示す特性を持つ。

以下余白 第１表 ここで、従来の１．１．１トリクロルエタン（以下トリ
エタンと記す）を用いた脱脂方法および装置の一例につ
きその概略を説明する。

この方法では多くの場合、複数の洗浄槽を備えた多槽式
洗浄装置が広く用いられている。例えは、二槽式の例で
は、洗浄物は、先ず、約５０℃に加熱した温浴槽（第１
槽）に入り、表面の油脂類をトリエタンに溶解洗浄する
。

次に、はぼ室温で第１槽より汚れの少ない冷浴槽く第２
槽）に入り、更に、洗浄される。

最後に、トリエタンを沸騰させた蒸気浴（第３槽）でト
リエタン蒸気中に保持される。トリエタン蒸気は、冷浴
槽（第２槽）で冷却された処理物表面で凝縮して清浄な
トリエタンの液体となり、洗浄物を、さらに、きれいに
洗浄する。

その後は、処理物の温度が上昇し、トリエタンの蒸気温
度と同程度になると、表面が乾燥状態となり、洗浄を終
了する。

一方、リモネンで前記トリエタンと同じプロセスで洗浄
しようとする場合には、次の欠点がある。

（１）リモネンは引火性であり蒸気洗浄は困難である。

（危険物第４類第二石油） （２）沸点が高く蒸発し難いので乾燥に時間がかかる。

さらに、電子管用の部品では、多くの狭隘部を持つマグ
ネトロンの陽極部品、クライストロンの共振空胴部品、
進行波管のへリックスミ極など、リモネン液が滞留し易
い構造が多い。しかも、これ等の部品は電子管の最重要
部で、かつ、動作中に高温となるため、部品表面の清浄
度が管内の真空度、ひいては、性能と寿命に直接影響を
与える。以上の理由から、脱脂溶剤と云えども完全に除
去する必要が生じる。このため、蒸気洗浄や高温の空気
や不活性ガスを吹付けてリモネンを乾燥しようとすると
、微少部品やグリッド等変形し易い部品の破損や酸化な
どが発生する恐れがあり好ましくない。

また、アセトン等の蒸発し易い溶剤に浸漬してリモネン
とアセトンを置換した後、乾燥する方法も知られている
が、これ等の溶剤は、リモネンよりさらに引火点が低く
、火災事故を起す危険性が大で、多量の使用は種々の制
約がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の電子管用部品の洗浄方法では、有機ハロ
ゲン化合物溶剤による人体への悪影響が大きな問題点と
なっていた。

また、リモネンを使用した場合には、蒸気洗浄が困難で
、乾燥に時間がかかり、変形し易い部品の破損や酸化等
が発生するという問題点もあつた。

本発明の目的は、人体への悪影響や部品の破損や酸化等
のない、効率の良い電子管用部品の洗浄方法を提供する
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、リモネンを９５％以上含む洗浄液を用いて電
子管用部品の脱脂洗浄を行なう電子管用部品の洗浄方法
において、前記洗浄液により前記電子管用部品を洗浄し
た後減圧乾燥する工程を含んでいる。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。

第１図は本発明の第１の実施例の概略を示す工程図、第
２図は本発明の第１の実施例の溶剤脱脂装置の概略構成
図である。

第１の実施例は、第１図及び第２図に示すように、先ず
、洗浄物（電子管用部品）６は、脱脂装置の専用搬送ト
レイ（ステンレスかご）内に入れ、自動搬送機１ｌｌ（
図示せず）によって、第１槽１ａのリモネン液に浸漬す
る。この第１槽１ａの底部には、水蒸気による加熱パイ
プヒータ８が配置されており、リモネン液を４０℃±５
℃に加温し、洗浄効率を高めている。

次に、所定時間浸漬後、自動搬送機構により、洗浄物６
を第２槽１ｂに移す。この第２槽１ｂの洗浄液（リモネ
ン）は、第１槽１ａより清浄なものが第３槽ＩＣから流
入する。この方式は多くの多槽式洗浄装置の洗浄液の流
入方式として広く用いられていて、最後の槽に清浄な新
しい洗浄液を投入し、オーバーフローにより順次前の槽
に流下する。従って、洗浄物は順次清浄度が高い液で洗
浄され、すすぎ洗いされる。

次に、第３槽ＩＣの最終洗浄を終えた洗浄物６は、隣接
する液切り室１ｄに移され、所定時間静置してリモネン
を滴下、除去する。ここで、大部分のリモネンが除去さ
れるが、表面に濡れている分や細孔中に入っているもの
は残留する。

次に、洗浄物６を減圧質２に移し、ふた２ａを閉じてか
ら、カットバルブ２ｂを開は減圧ポンプ３により室内を
排気する。減圧条件は、リモネンのその温度における飽
和蒸気以下とするのが効率的であり、リモネンの飽和蒸
気圧は、第２表に示す通りで、室内が５　ｔｏｒｒ以下
の圧力となったのを第２表 確認した後３分間保持し、大気圧に戻し、洗浄物６を取
出す。

第３図は本発明の第２の実施例の概略を示す工程図であ
る。

第２の実施例は、第３図に示すように、リモネンによる
洗浄工程は、前記第１の実施例と同じもので、減圧乾燥
工程に新たな工夫を加えたものである。

即ち、前記第１の実施例ては、減圧室２と排気ポンプ３
はカットバルブ２ｂを介して連結されていたが、これに
対し、第２の実施例では、減圧室２０と排気ポンプ３０
の間に水冷式トラップ４０を装備した例である。

これにより、排気ポンプ油中へのリモネンの溶解による
混入が減少し、設備保守（油交換）期間か著しく延長し
た。

また、同時に、水冷式トラップ４０により回収されるリ
モネンは、リモネン回収再利用システム５０により精製
され、再び洗浄用として利用可能となった。

尚、このトラップには、さらに、低温の液体窒素を用い
ても良く、排気中のリモネン蒸気の分圧によって適宜選
択することも可能である。

また、減圧室２０の内壁にもかなりのリモネンが凝縮付
着する場合もあり、これもドレンバルブ２３を適時開き
回収再利用される。

尚、本発明は実施例に示した洗浄プロセス條件および減
圧室の材質や構造、および、排気の方法や温度等に限定
されるものではなく、リモネンを９５％以上含む洗浄剤
を用いて洗浄した後、洗浄物に残留するリモネンを減圧
下で強制的に蒸発除去する全ての場合を含むことは本文
の記述内容から明白である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の洗浄方法では、減圧室を設
は減圧乾燥することによって、電子管用部品を自然環境
への悪影響が無いリモネンを用いて効率よく脱脂洗浄す
ることが可能となる効果がある。

図面の簡単な説明 第１図は本発明の第１の実施例の概略を示す工程図、第
２図は本発明の第１の実施例の溶剤脱脂装置の概略構成
図、第３図は本発明の第２の実施例の概略を示す工程図
である。

１．１０・・・洗浄システム、１ａ・・・第１槽、１ｂ
・・・第２槽、ＩＣ・・・第３槽、１ｄ・・・液切り室
、２゜２０・・・減圧室、２ａ・・・ふた、２ｂ、２１
．４２・・・カットバルブ、２２・・・リークバルブ、
２３．４３・・・ドレンバルブ、３，３０・・・排気ポ
ンプ、６・・・洗浄物、４０・・・水冷式トラップ、４
１・・・ウォータークーラ、５０・・・リモネン回収再
利用システム。

代理人　弁理士　　内　原　　音 躬Ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. リモネンを９５％以上含む洗浄液を用いて電子管用部品
   の脱脂洗浄を行なう電子管用部品の洗浄方法において、
   前記洗浄液により前記電子管用部品を洗浄した後減圧乾
   燥する工程を含むことを特徴とする電子管用部品の洗浄
   方法。