JPH02306168A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH02306168A JPH02306168A JP1126918A JP12691889A JPH02306168A JP H02306168 A JPH02306168 A JP H02306168A JP 1126918 A JP1126918 A JP 1126918A JP 12691889 A JP12691889 A JP 12691889A JP H02306168 A JPH02306168 A JP H02306168A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnet
- magnetic
- acceleration sensor
- chamber
- acceleration
- Prior art date
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- Granted
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- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は物体の移動により生じる加速度を検知する加速
度センサに関するものである。
度センサに関するものである。
従来の技術
従来加速度センサとしては、特開昭63−148168
号公報に示す様なものが知られていた。これは密閉容器
の中に強磁性流体を封入し、その動部に磁性球体を配置
し、保持コイルでこの磁性球体を保持する構成において
、磁性球体に加速度が加えられた時、容器外部に設けら
れた励磁コイルと検出コイルとにより磁性球体の変位に
より生じる磁性流体の変位に基づく透磁率の変化を検出
して加速度検出を行なうものであった。
号公報に示す様なものが知られていた。これは密閉容器
の中に強磁性流体を封入し、その動部に磁性球体を配置
し、保持コイルでこの磁性球体を保持する構成において
、磁性球体に加速度が加えられた時、容器外部に設けら
れた励磁コイルと検出コイルとにより磁性球体の変位に
より生じる磁性流体の変位に基づく透磁率の変化を検出
して加速度検出を行なうものであった。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の様な構成では強磁性流体の透磁率
変化を検出するものであるため、飽和磁化の高い磁性流
体が必要となるものであった。
変化を検出するものであるため、飽和磁化の高い磁性流
体が必要となるものであった。
本発明は上記従来の課題を解決するもので、感度の良い
加速度センサを提供するものである。
加速度センサを提供するものである。
課題を解決するための手段
本発明では、球面状の曲面を有する室内に磁性流体を付
着させた球形状の移動用磁石を封入し、前記室の外部に
は、前記移動用磁石の保持用磁石を配置すると共に、前
記移動用磁石の移動を検知するため3対の磁気検知素子
をそれぞれの軸が互いに直角をなす様に加速度センサを
構成したものである。
着させた球形状の移動用磁石を封入し、前記室の外部に
は、前記移動用磁石の保持用磁石を配置すると共に、前
記移動用磁石の移動を検知するため3対の磁気検知素子
をそれぞれの軸が互いに直角をなす様に加速度センサを
構成したものである。
作用
上記した構成により、移動用磁石は磁性流体を介して室
内の曲面とは流体潤滑状態に配置され、この加速度セン
サに加速度が加わると磁石が移動し、これによる磁界の
変化を磁気検知素子が検知して加速度を検出するもので
ある。
内の曲面とは流体潤滑状態に配置され、この加速度セン
サに加速度が加わると磁石が移動し、これによる磁界の
変化を磁気検知素子が検知して加速度を検出するもので
ある。
実施例
以下、本発明の一実施例を第1図〜第6図に基づいて述
べる。
べる。
第1図において、1は加速度センサである。2は球形状
の移動用磁石であり、半球がN極、他の半球がS極に着
磁されている。1はこの磁石をとり囲む様に付着した磁
性流体である。この磁石2は、非磁性体で形成された本
体4の内部にあり、球面状の室5内に配置されている。
の移動用磁石であり、半球がN極、他の半球がS極に着
磁されている。1はこの磁石をとり囲む様に付着した磁
性流体である。この磁石2は、非磁性体で形成された本
体4の内部にあり、球面状の室5内に配置されている。
球面状の室5は、磁性流体3で完全に満たされる様な大
きさである。
きさである。
6は室5の外部に配置された円環状の保持用磁石である
。この磁石6は片面がN極、他面がS極に着磁されてい
る。
。この磁石6は片面がN極、他面がS極に着磁されてい
る。
7x、7x’ は室5の中心を通る水平面内のxx’軸
上に配置された比例型MR素子、7y。
上に配置された比例型MR素子、7y。
TV’ は室5の中心を通り、水平面内でxx“軸に垂
直なyy’軸に配置された比例型MR素子、7z、7z
’ は室5の中心を通り、χX゛軸ならびにyy’軸に
垂直なZZ’軸上に配置された比例型MR素子である。
直なyy’軸に配置された比例型MR素子、7z、7z
’ は室5の中心を通り、χX゛軸ならびにyy’軸に
垂直なZZ’軸上に配置された比例型MR素子である。
第3図は1例とした比例型MR素子7Xに対する回路1
0を示したものである。11は直流電源、12Xはオペ
アンプ、13xは出力端子である。他の比例型MR素子
は7x’ 〜7z’ も同様の回路を用いる。
0を示したものである。11は直流電源、12Xはオペ
アンプ、13xは出力端子である。他の比例型MR素子
は7x’ 〜7z’ も同様の回路を用いる。
第4図は信号処理部14の処理内容をブロンクダイヤグ
ラムで示したものである。13x、 13x’ 。
ラムで示したものである。13x、 13x’ 。
13y、13y’ 、13z、13z’ は、それぞれ
比例型MR素子7x、7x’ 、7y、7y’ 、7z
、72°に対応する出力である。15 x 、 15
y 、 15 zはそれぞれ差動増幅器、16 x 、
16 y 、 16 zはそれぞれx、 y、
z方向の加速度演算結果である。
比例型MR素子7x、7x’ 、7y、7y’ 、7z
、72°に対応する出力である。15 x 、 15
y 、 15 zはそれぞれ差動増幅器、16 x 、
16 y 、 16 zはそれぞれx、 y、
z方向の加速度演算結果である。
次に作動を説明する。
第1図は加速度センサIに加速度が加わっていない状態
である。
である。
移動用磁石2はその磁場により周囲の磁性流体3をその
全表面に付着させる。これにより磁石2は磁性流体3に
浮遊した状態となる。鉛直方向については磁性2の重力
と、その浮力および保持用磁石6の磁気力とがバランス
され、室5の中央に保持される様になっている。また、
この時、磁石2の磁極の方向は、磁石6の磁場の作用に
より、鉛直方向に関し磁石6の磁極と反対方向の磁極が
配置される様な状態で安定する。すなわち第1図では、
保持用磁石6の上方がS極、下方がN極に対し磁石2の
磁極は上方がN極、下方がS極となり、これらの作用に
より磁石2の両極を結ぶ軸はZZ’軸と一致した状態で
安定する。鉛直以外の方向については、もし磁石2の中
心が室5の中心から外れようとすると、磁性流体3内の
磁束に非対称性を生じるため、中心に戻ろうとする復元
力が働く。すなわち、これらの作用により、磁石2は室
5の中心に保持される。
全表面に付着させる。これにより磁石2は磁性流体3に
浮遊した状態となる。鉛直方向については磁性2の重力
と、その浮力および保持用磁石6の磁気力とがバランス
され、室5の中央に保持される様になっている。また、
この時、磁石2の磁極の方向は、磁石6の磁場の作用に
より、鉛直方向に関し磁石6の磁極と反対方向の磁極が
配置される様な状態で安定する。すなわち第1図では、
保持用磁石6の上方がS極、下方がN極に対し磁石2の
磁極は上方がN極、下方がS極となり、これらの作用に
より磁石2の両極を結ぶ軸はZZ’軸と一致した状態で
安定する。鉛直以外の方向については、もし磁石2の中
心が室5の中心から外れようとすると、磁性流体3内の
磁束に非対称性を生じるため、中心に戻ろうとする復元
力が働く。すなわち、これらの作用により、磁石2は室
5の中心に保持される。
この状態にある時、比例型MR素子7xと7x’の出力
13xと13x’、比例型MR素子7yと7y+の出力
13yと13y’ 、および比例型MR素子7Zと7z
’ の出力13zと13z”はそれぞれ等しい。
13xと13x’、比例型MR素子7yと7y+の出力
13yと13y’ 、および比例型MR素子7Zと7z
’ の出力13zと13z”はそれぞれ等しい。
すなわち、差動増幅器15x、15yおよび15zの出
力は生じず、x、y、z方向の加速度16 x 、 1
6 y 。
力は生じず、x、y、z方向の加速度16 x 、 1
6 y 。
16zはゼロ出力となる。
次にこの加速度センサに加速度αが加えられたとする。
第5図、第6図に示す様にこの加速度の垂直断面への投
影ベクトルをαxz、水平断面への投影ベクトルをαx
yとする。
影ベクトルをαxz、水平断面への投影ベクトルをαx
yとする。
この時磁石2には加速度αとは逆方向の力が作用し、磁
石2は加速度の方向とは反対方向に移動する。これによ
り、比例型MR素子7x’ の出力13x′は、7Xの
出力13xより大きくなる。また、比例型MR素子7y
’ の出力13y゛は、7yの出力13yより大きくな
る。また、比例型MR素子72′の出力13z゛は、7
zの出力13zより大きくなる。これらの出力に基づき
、差動増幅器15X。
石2は加速度の方向とは反対方向に移動する。これによ
り、比例型MR素子7x’ の出力13x′は、7Xの
出力13xより大きくなる。また、比例型MR素子7y
’ の出力13y゛は、7yの出力13yより大きくな
る。また、比例型MR素子72′の出力13z゛は、7
zの出力13zより大きくなる。これらの出力に基づき
、差動増幅器15X。
15y、15zの出力が生し、X、 y、Z方向の加
速度、6x、]、6y、16zが求められる。
速度、6x、]、6y、16zが求められる。
これらの出力は磁石2の中心からの移動量に応じて比例
的に生じるため、任意の大きさの加速度測定が可能とな
る。
的に生じるため、任意の大きさの加速度測定が可能とな
る。
加速度が加わった時の磁石2の移動に際しては、保持用
磁石6の磁場により、磁石2の磁極は、その方向を鉛直
方向に維持した状態で移動し、磁石2の不安定な回転に
よる不安定な出力を生しることはないため動作の再現性
は保障されるものである。
磁石6の磁場により、磁石2の磁極は、その方向を鉛直
方向に維持した状態で移動し、磁石2の不安定な回転に
よる不安定な出力を生しることはないため動作の再現性
は保障されるものである。
また、加速度が加わらなくなると、前述した様に、磁石
2のまわりの磁性流体3内の磁束の非対称性が復元力と
なり、磁石2は室5の中心に復帰する。
2のまわりの磁性流体3内の磁束の非対称性が復元力と
なり、磁石2は室5の中心に復帰する。
次に第2の実施例について述べる。
第7図は、第1図における保持用磁石6を現状のコイル
にて形成した電磁石17におきかえたものであり、その
他の構成は第1図と同一である。
にて形成した電磁石17におきかえたものであり、その
他の構成は第1図と同一である。
第8図において、18は電磁石17の制御回路であり、
19は直流電源、20は可変抵抗、21はスイッチであ
る。
19は直流電源、20は可変抵抗、21はスイッチであ
る。
次に作動を述べる。
スイッチ2工をオンして電磁石17を励磁し、第7図に
おいて上方がS極、下方がN極となる様にする。この様
な状態における加速度の検知動作は第1の実施例に示し
たのと全く同様である。この場合には、可変抵抗20の
調整により、電磁石17の強さが調整可能となっている
。これにより、磁石2の初期位置のvI!、!1!整を
可能とするものである。
おいて上方がS極、下方がN極となる様にする。この様
な状態における加速度の検知動作は第1の実施例に示し
たのと全く同様である。この場合には、可変抵抗20の
調整により、電磁石17の強さが調整可能となっている
。これにより、磁石2の初期位置のvI!、!1!整を
可能とするものである。
なお、本実施例では移動用磁石が初期位置として室の中
心である状態について説明したが、初期位置が中心から
ずれていても、その時の比例型MR素子の出力差を基準
にとれば、加速度検知は可能となるものである。
心である状態について説明したが、初期位置が中心から
ずれていても、その時の比例型MR素子の出力差を基準
にとれば、加速度検知は可能となるものである。
また、移動用磁石の磁場検知手段として比例型MR素子
を用いた例を示したが、磁場変化を連続的に検知できる
ものであれば、他の手段でもさしつかえない0例えば励
磁コイルと検出コイルを一体化した様なものでも可能で
ある。
を用いた例を示したが、磁場変化を連続的に検知できる
ものであれば、他の手段でもさしつかえない0例えば励
磁コイルと検出コイルを一体化した様なものでも可能で
ある。
発明の効果
以上述べた様に本発明によれば以下の様な効果がある。
(1)球面状の曲面を有する室内に磁性流体を付着させ
た球形状の移動用磁石を封入し、この磁石の移動による
磁界変化を検出する構成としたため、感度の良い三次元
加速度センサの構成が可能となった。
た球形状の移動用磁石を封入し、この磁石の移動による
磁界変化を検出する構成としたため、感度の良い三次元
加速度センサの構成が可能となった。
(2)保持用磁石を電磁石で構成とすることにより、移
動用磁石初期位置の微調整が可能となった。
動用磁石初期位置の微調整が可能となった。
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図は第
1図のAA’断面図、第3図は比例型MR素子の回路図
、第4図は゛信号処理部のブロックダイヤグラム、第5
図は第1図の異なる作動状態を示す縦断面図、第6図は
第5図のBB”断面図、第7図は本発明の第2の実施例
に示す縦断面図、第8図は同電磁石の制御回路図である
。 1・・・・・・加速度センサ、2・・・・・・移動用磁
石、3・・・・・・磁性流体、5・・・・・・室、6・
・・・・・保持用磁石、7x。 7x’ 、7y、7y’ 、7z、7z’ ・・−・比
例型MR素子(磁気検知素子)、17・・・・・・電磁
石。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか1名1−M遠友
センサ 2./l、−[藺りH遥石 3− 扁壮克猿 第1図 第3図 \β 第4図 13χ
1図のAA’断面図、第3図は比例型MR素子の回路図
、第4図は゛信号処理部のブロックダイヤグラム、第5
図は第1図の異なる作動状態を示す縦断面図、第6図は
第5図のBB”断面図、第7図は本発明の第2の実施例
に示す縦断面図、第8図は同電磁石の制御回路図である
。 1・・・・・・加速度センサ、2・・・・・・移動用磁
石、3・・・・・・磁性流体、5・・・・・・室、6・
・・・・・保持用磁石、7x。 7x’ 、7y、7y’ 、7z、7z’ ・・−・比
例型MR素子(磁気検知素子)、17・・・・・・電磁
石。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか1名1−M遠友
センサ 2./l、−[藺りH遥石 3− 扁壮克猿 第1図 第3図 \β 第4図 13χ
Claims (3)
- (1)球面状の曲面を有する室内に磁性流体を付着さ
せた球形状の移動用磁石を封入し、前記室の外部には、
前記移動用磁石の保持用磁石を配置すると共に、前記移
動用磁石の移動を検知する3対の磁気検知素子をそれぞ
れの軸が互いに直角をなす様に配置した加速度センサ。 - (2)前記保持用磁石が永久磁石で構成された特許請
求の範囲第(1)項記載の加速度センサ。 - (3)前記保持用磁石が電磁石で構成された特許請求
の範囲第(1)項記載の加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126918A JP2626055B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126918A JP2626055B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 加速度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02306168A true JPH02306168A (ja) | 1990-12-19 |
| JP2626055B2 JP2626055B2 (ja) | 1997-07-02 |
Family
ID=14947124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1126918A Expired - Fee Related JP2626055B2 (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2626055B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248059A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Nec Corp | 3次元加速度センサ |
| RU2468374C1 (ru) * | 2011-04-27 | 2012-11-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Высокоточный космический акселерометр |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP1126918A patent/JP2626055B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08248059A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-27 | Nec Corp | 3次元加速度センサ |
| RU2468374C1 (ru) * | 2011-04-27 | 2012-11-27 | Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" | Высокоточный космический акселерометр |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2626055B2 (ja) | 1997-07-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |