JPH0230674A - 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム焼結体の製造方法Info
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- JPH0230674A JPH0230674A JP63179407A JP17940788A JPH0230674A JP H0230674 A JPH0230674 A JP H0230674A JP 63179407 A JP63179407 A JP 63179407A JP 17940788 A JP17940788 A JP 17940788A JP H0230674 A JPH0230674 A JP H0230674A
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、窒化アルミニウム系粉末の成形体を焼結する
方法に関し、特に窒化アルミニウム焼結体の表面平滑性
を改善するための焼結方法に関する。
方法に関し、特に窒化アルミニウム焼結体の表面平滑性
を改善するための焼結方法に関する。
窒化アルミニウムは、難焼結性物質であり、常圧では、
融点を持たす２２００’Ｃ以上の高温度で昇華分解する
ため窒化アルミニウムのみでの焼結は困難とされている
。このため従来、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添
加して加圧成形した後、この成形体を黒鉛製セッター又
はタングステン製セッターに設置し、そのセッター上に
リング状の黒鉛製スペーサ又はタングステン製のスペー
サを設置し、そのスペーサの上に黒鉛製上ぶた又はタン
グステン製の上ぶたを設置して、非酸化性雰囲気下で１
７００〜１９００’Ｃの温度で焼成し窒化アルミニウム
焼結体を製造していた。
融点を持たす２２００’Ｃ以上の高温度で昇華分解する
ため窒化アルミニウムのみでの焼結は困難とされている
。このため従来、窒化アルミニウム粉末に焼結助剤を添
加して加圧成形した後、この成形体を黒鉛製セッター又
はタングステン製セッターに設置し、そのセッター上に
リング状の黒鉛製スペーサ又はタングステン製のスペー
サを設置し、そのスペーサの上に黒鉛製上ぶた又はタン
グステン製の上ぶたを設置して、非酸化性雰囲気下で１
７００〜１９００’Ｃの温度で焼成し窒化アルミニウム
焼結体を製造していた。
上述した従来の窒化アルミ−ラム焼結体の製造方法では
、窒化アルミニウム成形体の焼結が進むにつれて、窒化
アルミニウム成形体が収縮し、窒化アルミニウム焼結体
になる過程において、窒化アルミニウム焼結体とセッタ
ーの上ぶたとの間に空間が生じることになり、焼結体に
うねり、そりが生じるという欠点があった。
、窒化アルミニウム成形体の焼結が進むにつれて、窒化
アルミニウム成形体が収縮し、窒化アルミニウム焼結体
になる過程において、窒化アルミニウム焼結体とセッタ
ーの上ぶたとの間に空間が生じることになり、焼結体に
うねり、そりが生じるという欠点があった。
本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法は、窒化ア
ルミニウム系粉末の成形体をセッター上に設置し、該セ
ッター上にスペーサを設置し、該スペーサ上にセッター
の上ぶたを設置して、該窒化アルミニウム成形体を焼結
する工程において、前期窒化アルミニウム系粉末を加圧
成形して作製した成形体を前記スペーサとして使用する
。
ルミニウム系粉末の成形体をセッター上に設置し、該セ
ッター上にスペーサを設置し、該スペーサ上にセッター
の上ぶたを設置して、該窒化アルミニウム成形体を焼結
する工程において、前期窒化アルミニウム系粉末を加圧
成形して作製した成形体を前記スペーサとして使用する
。
〔実施例１〕
次に、実施例によって本発明を具体的に説明する。
平均粒径０゜１μｍの窒化アルミニウム粉末に、焼結助
剤としてフッ化イツトリウム粉末を１５重量％添加して
、分散媒としてトリクロルエタンを使用してホモジナイ
ザーで回転数５００Ｏｒｐｍで１５分間混合した後、窒
素気流雰囲気下でろ過及び加熱乾燥してフッ化イツトリ
ウム添加窒化アルミニウム混合粉を調整した。続いてこ
の混合粉を室温で直径１３．６ｍｍの金型に充填して、
加圧成形して成形体２（第１図）とした。またこの混合
粉を内径１５−外径２５ｍｍのリング状の金型に充填し
て、加圧成形してスペーサ用成形体３（第１図）とした
。第１図に示したように成形体３をタングステン族のセ
ッター４の上に設置し、次に成形体２を成形体３のリン
グの内部に設置し、さらに上ぶた１を設置する。この窒
化アルミニウム成形体を焼結炉において窒素ガス雰囲気
下で１９００℃。
剤としてフッ化イツトリウム粉末を１５重量％添加して
、分散媒としてトリクロルエタンを使用してホモジナイ
ザーで回転数５００Ｏｒｐｍで１５分間混合した後、窒
素気流雰囲気下でろ過及び加熱乾燥してフッ化イツトリ
ウム添加窒化アルミニウム混合粉を調整した。続いてこ
の混合粉を室温で直径１３．６ｍｍの金型に充填して、
加圧成形して成形体２（第１図）とした。またこの混合
粉を内径１５−外径２５ｍｍのリング状の金型に充填し
て、加圧成形してスペーサ用成形体３（第１図）とした
。第１図に示したように成形体３をタングステン族のセ
ッター４の上に設置し、次に成形体２を成形体３のリン
グの内部に設置し、さらに上ぶた１を設置する。この窒
化アルミニウム成形体を焼結炉において窒素ガス雰囲気
下で１９００℃。
２時間焼結して窒化アルミニウム焼結体を得た。
この焼結体は、うねり＝１０μｍ／１０ｍｍと良好な表
面平滑性を有する窒化アルミニウム焼結体であった。比
較例として、実施例１において窒化アルミニウム成形体
製のスペーサーの替りにタングステン族のスペーサを使
用して窒化アルミニウム成形体を焼結した結果、うねり
＝８０μｍ／１０ｍｍの窒化アルミニウム焼結体が得ら
れた。
面平滑性を有する窒化アルミニウム焼結体であった。比
較例として、実施例１において窒化アルミニウム成形体
製のスペーサーの替りにタングステン族のスペーサを使
用して窒化アルミニウム成形体を焼結した結果、うねり
＝８０μｍ／１０ｍｍの窒化アルミニウム焼結体が得ら
れた。
〔実施例２〕
次に実施例２について示す。実施例１で使用したフッ化
イツトリウムの代りに炭化カルシウム２重量％を配合し
て実施例１と同様な方法で第１図に示した成形体２及び
リング状のスペーサー用成形体３を得た。この成形体２
及びリング状のスペーサ用成形体３を実施例１と同様な
方法でセッター上に設置して窒素ガス雰囲気下で１９０
０℃。
イツトリウムの代りに炭化カルシウム２重量％を配合し
て実施例１と同様な方法で第１図に示した成形体２及び
リング状のスペーサー用成形体３を得た。この成形体２
及びリング状のスペーサ用成形体３を実施例１と同様な
方法でセッター上に設置して窒素ガス雰囲気下で１９０
０℃。
２時間焼結して窒化アルミニウム焼結体を得た。
この焼結体は、うねり＝１２μｍ＝１０ｍｍと良好な表
面平滑性を有する窒化アルミニウム焼結体であった。比
較例として、実施例２において窒化アルミニウム成形体
製のスペーサの替りにタングステン族のスペーサを使用
して窒化アルミニウム成形体を焼結した結果、うねり２
９０μｍ７１０ｍｍの窒化アルミニラ焼結体が得られた
。
面平滑性を有する窒化アルミニウム焼結体であった。比
較例として、実施例２において窒化アルミニウム成形体
製のスペーサの替りにタングステン族のスペーサを使用
して窒化アルミニウム成形体を焼結した結果、うねり２
９０μｍ７１０ｍｍの窒化アルミニラ焼結体が得られた
。
以上説明したように本発明は、窒化アルミニウム成形体
を焼結する際ン気セッターの上ぶたを保持するスペーサ
として窒化アルミニウム成形体を使用することにより、
焼結の進行による窒化アルミニウム成形体の収縮とセッ
ターの上ぶたを保持しているスペーサの窒化アルミニウ
ム成形体の収縮が等しくなり、常に窒化アルミニウム成
形体とセッターの上ぶたとの間にすき間が生じないため
に表面平滑性のすぐれた窒化アルミニウム焼結体が得ら
れる効果がある。
を焼結する際ン気セッターの上ぶたを保持するスペーサ
として窒化アルミニウム成形体を使用することにより、
焼結の進行による窒化アルミニウム成形体の収縮とセッ
ターの上ぶたを保持しているスペーサの窒化アルミニウ
ム成形体の収縮が等しくなり、常に窒化アルミニウム成
形体とセッターの上ぶたとの間にすき間が生じないため
に表面平滑性のすぐれた窒化アルミニウム焼結体が得ら
れる効果がある。
第１図は本発明の実施例である窒化アルミニウムの成形
体を焼結する際のセッターに設置する手順を示すための
斜視図である。 １・・・・・・セッターの上ぶた、２・川・・窒化アル
ミニウム成形体、３・・・・・・窒化アルミニウム成形
体製のスペーサ、４・・・・・・セッター 代理人 弁理士 内 原 晋
体を焼結する際のセッターに設置する手順を示すための
斜視図である。 １・・・・・・セッターの上ぶた、２・川・・窒化アル
ミニウム成形体、３・・・・・・窒化アルミニウム成形
体製のスペーサ、４・・・・・・セッター 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 窒化アルミニウム系粉末の成形体をセッター上に設置し
、該セッター上にスペーサを設置し、該スペーサ上にセ
ッターの上ぶたを設置して、該窒化アルミニウム成形体
を焼結する工程において、前記窒化アルミニウム系粉末
を加圧成形して作製した成形体を前記スペーサとして使
用することを特徴とする窒化アルミニウム焼結体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179407A JPH0230674A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179407A JPH0230674A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0230674A true JPH0230674A (ja) | 1990-02-01 |
Family
ID=16065328
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63179407A Pending JPH0230674A (ja) | 1988-07-18 | 1988-07-18 | 窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0230674A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03262990A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-22 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 波浪観測レーダ |
-
1988
- 1988-07-18 JP JP63179407A patent/JPH0230674A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03262990A (ja) * | 1990-03-13 | 1991-11-22 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | 波浪観測レーダ |
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