JPH02307080A - 液冷ｂｔ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はＩＣの信頼性評価用の液冷ＢＴ装置に関し、特
に循環中の冷却用液体のフィルター機能を備えた液冷Ｂ
Ｔ装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の液冷ＢＴ装置は、冷却用液体として炭素
及びフッ素を主成分とする高分子化合物（例えば、３Ｍ
社製、商品名フロリナート）を使用し、約５０〜１５０
°Ｃ内の任意温度に調節されたこの冷却用液体中に、Ｂ
Ｔプリント板に実装したＩＣ等を浸漬してバーンインを
行うようになっている。しかし、冷却用液体の汚染を除
去し、清浄度を回復させることを稼働中に行う手段は設
けられていなかった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の液冷ＢＴ装置は、汚れの付着したＩＣや
ＢＴプリント板を投入するなどして、冷却用液体が汚染
された場合、投入中のＩＣへの２次汚染が避けられず、
一度汚染されてしまった冷却用液体の清浄度を回復させ
るには、液冷ＢＴ装置から冷却用液体を回収し、再生作
業を行うしか方法がないという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、循環する冷却用液体にＩＣを浸漬しバーンイ
ンを行う液冷ＢＴ装置において、前記冷却用液体の循環
経路中に冷却用液体を清浄化するフィルターを取り付け
た液冷ＢＴ装置である。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図である。

ＩＣが実装されたＢＴプリント板１はエレベータ−２に
取り付けられ、装置本体の頂面に設けられたウィンチ３
により上下に移動できるようになっており、上にある状
態で扉４を開けてＢＴプリント板１の出し入れ作業を行
ない、下にある状態で８７層５に満たされた冷却用液体
中に浸漬し、ＢＴ電源６からケーブル７を介してＢＴプ
リント板１に実装されたＩＣに電源を供給しＢＴを行う
。

冷却用液体はポンプ１３よりフィルター１４に流れ込み
、汚染を除去されたのち吹き出し口８から出て、ＢＴ槽
５を満たした後オーバーフロ一槽９へ流れ込み、ドレイ
ン口１０を通り液温調節用のヒーター１１および冷却器
１２を通り、再びポンプ１３へ入る０本実施例で使用す
るフィルターは、通常、各種液体に使用されているフィ
ルターならば特に差し使えなく使用できる。第２図は本
発明の第２の実施例の縦断面図である。

ＩＣが実装されたＢＴプリント板１は装置本体の扉４に
取り付けられ、扉４を横方向に開けな状態でＢＴプリン
ト板１の出し入れ作業を行ない、扉４を閉めた状態でＢ
Ｔ電源５からケーブル７を介してＢＴプリント板１に実
装されたＩＣに電源供給しＢＴを行う。

冷却用液体はポンプ１３よりフィルター１４に流れ込み
、汚染を除去されたのちノズル１５から噴射され、ＩＣ
を冷却したのちドレイン口１０を通り、液温調節用のヒ
ーター１１および冷却器１２を通り、再びポンプ１３へ
入る。この実施例では、噴射式のため、冷却用液体の流
量が少なくてよく、またＩＣに付着した汚れをＢＴ中に
取り去る効果が大きいという利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ＩＣと接触する冷却用液
体を循環させ、なおかつ循環経路中にフィルターを取り
付けることにより、装置稼働中の冷却用液体を常に清浄
な状態に保つことができ、冷却用液体の汚れによるＩＣ
への２次汚染を防止し、なおかつ投入前のＩＣに付着し
ていた汚れさえも、ＢＴを行うことにより除去すること
が可能であるという効果がある。

図面の簡単な説明 第１図は本発明の第１の実施例の縦断面図、第２図は本
発明の第２の実施例の縦断面図である。

１・・・ＢＴプリント板、２・・・エレベータ−１３・
・・ウィンチ、４・・・扉、５・・・ＢＴ槽、６・・・
ＢＴ電源、７・・・ケーブル、８・・・吹き出し口、９
・・・オーバーフロ一槽、１０・・・ドレイン口、１１
・・・ヒーター、１２・・・冷却器、１３・・・ポンプ
、１４・・・フィルター、１５・・・ノズル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 循環する冷却用液体にＩＣを浸漬しバーンインを行う液
   冷ＢＴ装置において、前記冷却用液体の循環経路中に冷
   却用液体を清浄化するフィルターを取り付けたことを特
   徴とする液冷ＢＴ装置。