JPH0230724Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0230724Y2 JPH0230724Y2 JP1583683U JP1583683U JPH0230724Y2 JP H0230724 Y2 JPH0230724 Y2 JP H0230724Y2 JP 1583683 U JP1583683 U JP 1583683U JP 1583683 U JP1583683 U JP 1583683U JP H0230724 Y2 JPH0230724 Y2 JP H0230724Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- case
- air
- insertion hole
- light emitting
- Prior art date
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- Expired
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 7
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 7
- 241000668842 Lepidosaphes gloverii Species 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〈考案の技術分野〉
本考案は、物体の移行距離、寸法、位置等を検
出するのに使用されるリニアエンコーダに関連
し、殊に本考案は空気圧を利用してスケールを浮
上させる方式の新規なリニアエンコーダを提供す
るものである。
出するのに使用されるリニアエンコーダに関連
し、殊に本考案は空気圧を利用してスケールを浮
上させる方式の新規なリニアエンコーダを提供す
るものである。
〈考案の背景〉
従来のリニアエンコーダは、第６図および第７
図に示す如く、筐状ケース８内に長尺スケール８
０を挿通し、固定軸８１に支持された案内ローラ
８２と、揺動レバー８３に支持された案内ローラ
８４とにより、長尺スケール８０を投光素子８５
と受光素子８６との中間位置に保持する。ところ
が投光素子８５側の案内ローラ８４は、スプリン
グ８７をもつて長尺スケール８０の表面へ常時押
圧付勢されているため、塵芥の付着等によりスケ
ール面が傷つき易く、光の透過に支障が生ずると
共にスケール破損の原因となつている。またこの
種構造では、ケース８を高速移行させると、案内
ローラ８２，８４が追従せず、ローラ、スケール
８０間に滑りが生ずるため、ケースの移行速度が
自ずと制限を受ける。更に案内ローラ８２，８４
が摩耗すると、これが振動発生の原因となり、ま
た投光若しくは受光素子と長尺スケール８０との
間隙が変動する等、幾多の問題があつた。
図に示す如く、筐状ケース８内に長尺スケール８
０を挿通し、固定軸８１に支持された案内ローラ
８２と、揺動レバー８３に支持された案内ローラ
８４とにより、長尺スケール８０を投光素子８５
と受光素子８６との中間位置に保持する。ところ
が投光素子８５側の案内ローラ８４は、スプリン
グ８７をもつて長尺スケール８０の表面へ常時押
圧付勢されているため、塵芥の付着等によりスケ
ール面が傷つき易く、光の透過に支障が生ずると
共にスケール破損の原因となつている。またこの
種構造では、ケース８を高速移行させると、案内
ローラ８２，８４が追従せず、ローラ、スケール
８０間に滑りが生ずるため、ケースの移行速度が
自ずと制限を受ける。更に案内ローラ８２，８４
が摩耗すると、これが振動発生の原因となり、ま
た投光若しくは受光素子と長尺スケール８０との
間隙が変動する等、幾多の問題があつた。
〈考案の目的〉
本考案は、空気圧を利用してスケールを浮上さ
せケースおよび内部の構成部材と非接触に維持す
ることにより、構造の簡略化をはかり、信頼性お
よび耐久性に優れたリニアエンコーダを提供する
ことを目的とする。
せケースおよび内部の構成部材と非接触に維持す
ることにより、構造の簡略化をはかり、信頼性お
よび耐久性に優れたリニアエンコーダを提供する
ことを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
上記目的を達成するために本考案では、その構
成を、ケースを貫通する平板状スケールの挿通孔
を備え、 ケース内部には上記平板状スケールを挾み投光
素子および受光素子が対向配備されると共に、 前記挿通孔の周囲には空気供給部に連通する少
なくとも一対の空気噴出口が上記平板状スケール
の両面に向けてほぼ平行に対向して開設された リニアエンコーダ とした。
成を、ケースを貫通する平板状スケールの挿通孔
を備え、 ケース内部には上記平板状スケールを挾み投光
素子および受光素子が対向配備されると共に、 前記挿通孔の周囲には空気供給部に連通する少
なくとも一対の空気噴出口が上記平板状スケール
の両面に向けてほぼ平行に対向して開設された リニアエンコーダ とした。
〈実施例の説明〉
第１図は本考案の一実施例にかかるリニアエン
コーダを示し、長尺スケール１上に可動物に連繋
される筐状ケース２が移動可能に配備されたもの
である。筐状ケース２は、第２図および第３図に
示す如く、上下に対向する空気軸受ユニツト２
１，２２の両側端間に同様の空気軸受ユニツト２
３，２４を配備して、各ユニツト間にケース内部
を貫通する長尺スケール１の挿通孔２０を形成し
ている。上側の空気軸受ユニツト２１には発光ダ
イオード、ランプ等の投光素子３、下側の空気軸
受ユニツト２２には固定スリツト４１、受光素子
４および増幅回路部４２が夫々組み込まれてお
り、各ユニツトには相互に連通し且つ空気供給管
５に接続される空気通路６が形成されている。こ
の空気通路６の通路内壁には空気噴出口７１を有
する複数の空気軸受パツド７が配設され、前記挿
通孔２０の周囲に空気噴出口７１（第４図および
第５図に示す）が長尺スケール１に向けて位置す
る。
コーダを示し、長尺スケール１上に可動物に連繋
される筐状ケース２が移動可能に配備されたもの
である。筐状ケース２は、第２図および第３図に
示す如く、上下に対向する空気軸受ユニツト２
１，２２の両側端間に同様の空気軸受ユニツト２
３，２４を配備して、各ユニツト間にケース内部
を貫通する長尺スケール１の挿通孔２０を形成し
ている。上側の空気軸受ユニツト２１には発光ダ
イオード、ランプ等の投光素子３、下側の空気軸
受ユニツト２２には固定スリツト４１、受光素子
４および増幅回路部４２が夫々組み込まれてお
り、各ユニツトには相互に連通し且つ空気供給管
５に接続される空気通路６が形成されている。こ
の空気通路６の通路内壁には空気噴出口７１を有
する複数の空気軸受パツド７が配設され、前記挿
通孔２０の周囲に空気噴出口７１（第４図および
第５図に示す）が長尺スケール１に向けて位置す
る。
然して空気供給管５より空気通路６内へ高圧空
気を供給すると、第４図に示す如く、空気は各空
気軸受パツド７の噴出口７１より流出し、ポケツ
ト部７２の圧力は上昇する。この空気圧によつて
長尺スケール１は各空気軸受ユニツトの内面より
離れ浮上し、第５図に示す如く、長尺スケール１
の荷重Ｗとポケツト部７２の圧力Prとが均衡す
る隙間値ｈの位置に定位する。従つてこの浮上状
態では長尺スケール１と各空気軸受ユニツトとは
非接触となり、圧力空気の供給を継続してケース
２を移動すれば、検出動作中においても上記非接
触状態を維持できる。
気を供給すると、第４図に示す如く、空気は各空
気軸受パツド７の噴出口７１より流出し、ポケツ
ト部７２の圧力は上昇する。この空気圧によつて
長尺スケール１は各空気軸受ユニツトの内面より
離れ浮上し、第５図に示す如く、長尺スケール１
の荷重Ｗとポケツト部７２の圧力Prとが均衡す
る隙間値ｈの位置に定位する。従つてこの浮上状
態では長尺スケール１と各空気軸受ユニツトとは
非接触となり、圧力空気の供給を継続してケース
２を移動すれば、検出動作中においても上記非接
触状態を維持できる。
〈考案の効果〉
本考案は上記の如く、空気圧を利用してスケー
ルを浮上させてケースおよび内部の構成部材と非
接触に維持するから、スケール面が傷つく等の虞
れが全くなく、光の透過特性の低下を防止できる
と共に、スケールが破損せず、信頼性および耐久
性を大幅に向上できる。また空気の噴出により塵
芥が吹き飛ばされるため、スケール面への塵芥の
付着に伴なうトラブルの発生もない。更に従来例
における案内ローラや揺動レバー等の可動部分が
ないから、構造が簡略化され、またローラの摩耗
に起因する振動の発生や間隙の変動もなく、加え
て案内ローラの追従性の問題がないから、移行速
度が制限されない等、考案目的を達成した幾多の
実用上の効果を奏する。
ルを浮上させてケースおよび内部の構成部材と非
接触に維持するから、スケール面が傷つく等の虞
れが全くなく、光の透過特性の低下を防止できる
と共に、スケールが破損せず、信頼性および耐久
性を大幅に向上できる。また空気の噴出により塵
芥が吹き飛ばされるため、スケール面への塵芥の
付着に伴なうトラブルの発生もない。更に従来例
における案内ローラや揺動レバー等の可動部分が
ないから、構造が簡略化され、またローラの摩耗
に起因する振動の発生や間隙の変動もなく、加え
て案内ローラの追従性の問題がないから、移行速
度が制限されない等、考案目的を達成した幾多の
実用上の効果を奏する。
第１図は本考案の一実施例にかかるリニアエン
コーダの斜面図、第２図は第１図−線に沿う
断面図、第３図は第１図−線に沿う断面図、
第４図は空気軸受パツドの部分断面図、第５図は
空気軸受パツドとその圧力分布を示す図、第６図
は従来例のケース内部を正面より見た構造説明
図、第７図は従来例のケース内部を側面より見た
構造説明図である。 １……長尺スケール、２……ケース、２０……
挿通孔、３……投光素子、４……受光素子、７１
……空気噴出口。
コーダの斜面図、第２図は第１図−線に沿う
断面図、第３図は第１図−線に沿う断面図、
第４図は空気軸受パツドの部分断面図、第５図は
空気軸受パツドとその圧力分布を示す図、第６図
は従来例のケース内部を正面より見た構造説明
図、第７図は従来例のケース内部を側面より見た
構造説明図である。 １……長尺スケール、２……ケース、２０……
挿通孔、３……投光素子、４……受光素子、７１
……空気噴出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ケースを貫通する平板状スケールの挿通孔を備
え、 ケース内部には上記平板状スケールを挾み投光
素子および受光素子が対向配備されると共に、 前記挿通孔の周囲には空気供給部に連通する少
なくとも一対の空気噴出口が上記平板状スケール
の両面に向けてほぼ平行に対向して開設された リニアエンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1583683U JPS59122506U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | リニアエンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1583683U JPS59122506U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | リニアエンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59122506U JPS59122506U (ja) | 1984-08-17 |
| JPH0230724Y2 true JPH0230724Y2 (ja) | 1990-08-20 |
Family
ID=30147146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1583683U Granted JPS59122506U (ja) | 1983-02-04 | 1983-02-04 | リニアエンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59122506U (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007033143A (ja) | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sharp Corp | 光電式エンコーダ及びそれを備える電子機器 |
| DE102006022882B4 (de) * | 2006-05-15 | 2016-04-14 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zum Messen der Dicke dünner Schichten mit einer Messsonde |
| JP2007187671A (ja) * | 2007-02-14 | 2007-07-26 | Sharp Corp | 光電式エンコーダ及びそれを備える電子機器 |
| JP5615022B2 (ja) * | 2010-04-13 | 2014-10-29 | 株式会社ディスコ | 可動装置 |
| JP2016083594A (ja) * | 2014-10-23 | 2016-05-19 | シャープ株式会社 | 太陽電池モジュールの清掃装置 |
-
1983
- 1983-02-04 JP JP1583683U patent/JPS59122506U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59122506U (ja) | 1984-08-17 |
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