JPH023128B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH023128B2 JPH023128B2 JP56092239A JP9223981A JPH023128B2 JP H023128 B2 JPH023128 B2 JP H023128B2 JP 56092239 A JP56092239 A JP 56092239A JP 9223981 A JP9223981 A JP 9223981A JP H023128 B2 JPH023128 B2 JP H023128B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- optical fiber
- pressure sensor
- pipe
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0076—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means
- G01L9/0077—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using photoelectric means for measuring reflected light
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光フアイバ型圧力センサに係り、特に
ダイアフラムが設けられている感圧部の接合方法
に関する。
ダイアフラムが設けられている感圧部の接合方法
に関する。
近年、光フアイバを用いた圧力センサは小形で
ノイズ環境に強いという特徴を生かして、徐々に
応用分野が広がりつつある。第１図は従来この種
の光フアイバ型圧力センサの例を示したものであ
る。ガラスフアイバ１が内蔵されているパイプ状
カテーテル２の先端部にダイアフラムからなる感
圧部３が接合されている。この感圧部３の一面は
測定雰囲気４中に挿入されており、他の面はガラ
スフアイバ１と所定の隙間を隔てて対向してい
る。ガラスフアイバ１の後部は入射フアイバと受
光フアイバの２つの束５，６に分かれており、そ
れぞれ発光ダイオード７と受光ダイオード８とに
導びかれている。更に、発光ダイオード７には電
源９が接続されており、受光ダイオードは増幅器
１０に接続されている。
ノイズ環境に強いという特徴を生かして、徐々に
応用分野が広がりつつある。第１図は従来この種
の光フアイバ型圧力センサの例を示したものであ
る。ガラスフアイバ１が内蔵されているパイプ状
カテーテル２の先端部にダイアフラムからなる感
圧部３が接合されている。この感圧部３の一面は
測定雰囲気４中に挿入されており、他の面はガラ
スフアイバ１と所定の隙間を隔てて対向してい
る。ガラスフアイバ１の後部は入射フアイバと受
光フアイバの２つの束５，６に分かれており、そ
れぞれ発光ダイオード７と受光ダイオード８とに
導びかれている。更に、発光ダイオード７には電
源９が接続されており、受光ダイオードは増幅器
１０に接続されている。
第２図Ａ乃至Ｃは第１図で示したガラスフアイ
バ１の先端部の構造の例である。Ａ図では円形の
ガラスフアイバの反面が入射フアイバ５で他の反
面が受光フアイバ６となつている。Ｂ図では入射
フアイバ５と受光フアイバ６が同心状に配置さ
れ、中心部にある入射フアイバ５を受光フアイバ
６が取囲んでいる。Ｃ図では入射フアイバ５と受
光フアイバ６が円形断面上に適当に分布配置され
ている横造となつている。
バ１の先端部の構造の例である。Ａ図では円形の
ガラスフアイバの反面が入射フアイバ５で他の反
面が受光フアイバ６となつている。Ｂ図では入射
フアイバ５と受光フアイバ６が同心状に配置さ
れ、中心部にある入射フアイバ５を受光フアイバ
６が取囲んでいる。Ｃ図では入射フアイバ５と受
光フアイバ６が円形断面上に適当に分布配置され
ている横造となつている。
このような構成の光フアイバ型圧力センサで
は、感圧部３に圧力が与えられると感圧部を構成
しているダイアフラムとガラスフアイバ１との間
隙が減少し、入射フアイバ５から出た光を受光フ
アイバ６が受光する量が増加するため、受光フア
イバ６の光を電気信号に変換する受光ダイオード
８の出力を増幅する増幅器１０の出力は第３図の
ように変化する。即ち圧力が高くなると出力もそ
れに伴なつて高くなる。なお図中Ａは第２図Ａに
示した構造のガラスフアイバを用いたものでＢで
示したものは第２図Ｂで示した構造のものを用い
た場合を示してあり、増幅器１０の出力は入射フ
アイバ５と受光フアイバ６の配置及びダイアフラ
ムとフアイバとの初期間隙の値に依存する。な
お、図中V1，V2は増幅器１０の出力オフセツト
を示している。
は、感圧部３に圧力が与えられると感圧部を構成
しているダイアフラムとガラスフアイバ１との間
隙が減少し、入射フアイバ５から出た光を受光フ
アイバ６が受光する量が増加するため、受光フア
イバ６の光を電気信号に変換する受光ダイオード
８の出力を増幅する増幅器１０の出力は第３図の
ように変化する。即ち圧力が高くなると出力もそ
れに伴なつて高くなる。なお図中Ａは第２図Ａに
示した構造のガラスフアイバを用いたものでＢで
示したものは第２図Ｂで示した構造のものを用い
た場合を示してあり、増幅器１０の出力は入射フ
アイバ５と受光フアイバ６の配置及びダイアフラ
ムとフアイバとの初期間隙の値に依存する。な
お、図中V1，V2は増幅器１０の出力オフセツト
を示している。
特に小形で高感度を得ようとする光フアイバ型
の圧力センサでは、第４図Ａ及びＢに示すように
ダイアフラム１１とガラスフアイバ１との初期間
隙１２が数〜数10μｍと極めて小さく設定される
必要が生じる。このため、初期間隙１２のばらつ
きが大きいと前記出力オフセツトV1，V2がばら
ついてしまうという欠点が生じ、量産化を阻害す
る要因となつていた。これは第４図においてパイ
プ状のカテーテル２とダイアフラム１１とを接着
剤１３にて接合しているためであり、この接着剤
１３の厚みが初期間隙１２を決める因子であるか
らである。即ち、前述のように初期間隙１２が数
μｍとなると接着剤１３の厚みのばらつきを管理
することが難しくなり、第４図ＡとＢに見られる
ようにこの接着剤１３の厚みのばらつきによつて
初期間隙１２がばらついてしまう。
の圧力センサでは、第４図Ａ及びＢに示すように
ダイアフラム１１とガラスフアイバ１との初期間
隙１２が数〜数10μｍと極めて小さく設定される
必要が生じる。このため、初期間隙１２のばらつ
きが大きいと前記出力オフセツトV1，V2がばら
ついてしまうという欠点が生じ、量産化を阻害す
る要因となつていた。これは第４図においてパイ
プ状のカテーテル２とダイアフラム１１とを接着
剤１３にて接合しているためであり、この接着剤
１３の厚みが初期間隙１２を決める因子であるか
らである。即ち、前述のように初期間隙１２が数
μｍとなると接着剤１３の厚みのばらつきを管理
することが難しくなり、第４図ＡとＢに見られる
ようにこの接着剤１３の厚みのばらつきによつて
初期間隙１２がばらついてしまう。
また、このような従来例では接着剤１３の熱膨
張が他の部材に比べて大きいため、周囲温度の変
化により初期間隙１２が変化して出力オフセツト
が変化する欠点があつた。更に、接着剤１３の強
度変化により圧力感度が変化する恐れもあつた。
張が他の部材に比べて大きいため、周囲温度の変
化により初期間隙１２が変化して出力オフセツト
が変化する欠点があつた。更に、接着剤１３の強
度変化により圧力感度が変化する恐れもあつた。
本発明の目的は上記の欠点に鑑み、特性にばら
つきが少なく且つ温度特性に優れた高感度な光フ
アイバ型圧力センサの製造方法を提供するにあ
る。
つきが少なく且つ温度特性に優れた高感度な光フ
アイバ型圧力センサの製造方法を提供するにあ
る。
本発明により上記の目的は、感圧部であるダイ
アフラムとガラスフアイバとの初期間隙をダイア
フラムに設けた凹形穴の深さだけで決まる構造と
し、感圧部を接着剤を用いない静電接合法で固定
することにより達成される。
アフラムとガラスフアイバとの初期間隙をダイア
フラムに設けた凹形穴の深さだけで決まる構造と
し、感圧部を接着剤を用いない静電接合法で固定
することにより達成される。
以下、本発明の一実施例を図面に従つて説明す
る。
る。
第５図Ａ乃至Ｅは本発明に係る光フアイバ型圧
力センサの一実施例を示す説明図である。以下説
明の便宜上製作順序に従つて説明する。
力センサの一実施例を示す説明図である。以下説
明の便宜上製作順序に従つて説明する。
Ａ図において、鉄、ニツケル系合金から成るパ
イプ（カテーテル）５１の端面に、このパイプ５
１と熱膨張の近似せる朋珪酸ガラスでできた固定
環５２が接合している。これらパイプ５１と固定
環５２の端面は鏡面仕上げ行なわれ、両者は数百
℃に加熱した状態で数百〜数千ボルトの電圧を印
加して静電的に接合されている。これは、パイプ
５１側に正、固定環５２側に負の電圧を与える
と、両者の界面において互いのイオンが近接交換
され、このイオン間に働く結合力により接合が行
なわれる。なお、図中符号５３は接合面である。
イプ（カテーテル）５１の端面に、このパイプ５
１と熱膨張の近似せる朋珪酸ガラスでできた固定
環５２が接合している。これらパイプ５１と固定
環５２の端面は鏡面仕上げ行なわれ、両者は数百
℃に加熱した状態で数百〜数千ボルトの電圧を印
加して静電的に接合されている。これは、パイプ
５１側に正、固定環５２側に負の電圧を与える
と、両者の界面において互いのイオンが近接交換
され、このイオン間に働く結合力により接合が行
なわれる。なお、図中符号５３は接合面である。
次にＢ図のようにガラスフアイバ５４をパイプ
５１の中に嵌挿する。この時、ガラスフアイバの
先端５５を若干突出した状態でパイプ５１を絞
り、ガラスフアイバ５４との位置決めが行なわれ
る。次にＣ図に示すようにガラスフアイバ５４の
突出部５５をラツピングしてガラスフアイバ５４
と固定環５２との平面出しを行なつた後、両者を
鏡面仕上げとする。次にＤ図に示すように、片側
に凹形穴５６が形成されたシリコンダイアフラム
５７の厚肉周辺部（固定部）５８を前記Ａ図で述
べたように固定環５２の端面と静電接合する。
５１の中に嵌挿する。この時、ガラスフアイバの
先端５５を若干突出した状態でパイプ５１を絞
り、ガラスフアイバ５４との位置決めが行なわれ
る。次にＣ図に示すようにガラスフアイバ５４の
突出部５５をラツピングしてガラスフアイバ５４
と固定環５２との平面出しを行なつた後、両者を
鏡面仕上げとする。次にＤ図に示すように、片側
に凹形穴５６が形成されたシリコンダイアフラム
５７の厚肉周辺部（固定部）５８を前記Ａ図で述
べたように固定環５２の端面と静電接合する。
接合部はガラス製の固定環５２が変形しない温
度で固定環５２とダイアフラム５７との接合がな
されているため、シリコンダイアフラム５７の凹
形穴５６の深さがそのまま光フアイバ５４とダイ
アフラム５７との初期間隙となる。従つて、ダイ
アフラム５７の凹形穴５６の深さの加工精度を上
げ、この部分のばらつきを少なくすることによ
り、出力オフセツトの低減を圧力、出力特性の揃
いを向上させることができる。
度で固定環５２とダイアフラム５７との接合がな
されているため、シリコンダイアフラム５７の凹
形穴５６の深さがそのまま光フアイバ５４とダイ
アフラム５７との初期間隙となる。従つて、ダイ
アフラム５７の凹形穴５６の深さの加工精度を上
げ、この部分のばらつきを少なくすることによ
り、出力オフセツトの低減を圧力、出力特性の揃
いを向上させることができる。
次にＥ図に示すように、パイプ５１、固定環５
２及びダイアフラム５７の外筒面に樹脂コーテイ
ング５９を施し、ガラス製の固定環５２からの光
の放射を防止すると共に外筒面を平滑化する。こ
の際、ダイアフラム５６の表面までコーテイング
しても良い。
２及びダイアフラム５７の外筒面に樹脂コーテイ
ング５９を施し、ガラス製の固定環５２からの光
の放射を防止すると共に外筒面を平滑化する。こ
の際、ダイアフラム５６の表面までコーテイング
しても良い。
第６図Ａ乃至Ｆはシリコンダイヤフラムの凹形
穴の加工法を説明したものである。Ａ図におい
て、（100）面方位のシリコン単結晶基板６１を水
蒸気中にて高温にし酸化することにより、Ｂ図の
ようにその表面に酸化皮膜６２，６２′を形成さ
せる。次に酸化皮膜６２の上面全体にレジスト膜
６３を塗り、ホトエツチングの手法でこのレジス
ト膜６３の凹形穴領域となる中央部領域を除去
し、周辺部のみ残す。次に沸酸を用いてＤ図のよ
うに凹形穴領域の酸化皮膜６２を除去し厚肉部６
４を残す。こうしておいて、次にＥ乃Ｆ図に示す
ように水酸化カリウムの水溶液を用いてシリコン
単結晶基板６１の前記凹形穴領域の部分を必要な
深さだけ取除いて凹形穴５６を形成する。この
際、エツチング加工の抑制剤としてアルコールを
適当量加えると良い結果が得られ、実験によれば
加工精度は深さ20μｍの凹形穴を得る場合±0.1μ
ｍ程となつた。
穴の加工法を説明したものである。Ａ図におい
て、（100）面方位のシリコン単結晶基板６１を水
蒸気中にて高温にし酸化することにより、Ｂ図の
ようにその表面に酸化皮膜６２，６２′を形成さ
せる。次に酸化皮膜６２の上面全体にレジスト膜
６３を塗り、ホトエツチングの手法でこのレジス
ト膜６３の凹形穴領域となる中央部領域を除去
し、周辺部のみ残す。次に沸酸を用いてＤ図のよ
うに凹形穴領域の酸化皮膜６２を除去し厚肉部６
４を残す。こうしておいて、次にＥ乃Ｆ図に示す
ように水酸化カリウムの水溶液を用いてシリコン
単結晶基板６１の前記凹形穴領域の部分を必要な
深さだけ取除いて凹形穴５６を形成する。この
際、エツチング加工の抑制剤としてアルコールを
適当量加えると良い結果が得られ、実験によれば
加工精度は深さ20μｍの凹形穴を得る場合±0.1μ
ｍ程となつた。
本実施例によれば、凹形穴５６を有するダイア
フラム５７を固定環５２に静電接合して接着剤を
排除したことにより、ダイアフラム５７とガラス
フアイバ５４との初期間隙はダイアフラム５７の
凹形穴５６の深さにより設定でき、且つシリコン
を用いたダイアフラム５７の加工精度が極めて高
いため、初期設定が簡単且つ高精度に行い得る効
果があり、製品による初期間隙のばらつきをなく
す効果がある。従つて、出力オフセツトのばらつ
きが小さく、圧力、出力特性の揃いが向上する効
果がある。また熱膨張が大き接着剤を用いていな
いため、周囲温度の変化による初期間隙の変化が
少なく、また接着剤の強度変化等もないため、感
圧部の温度特性に優れ、信頼性を向上させる効果
がある。また、ダイアフラム５７の材料として弾
性特性の優れたシリコン単結晶板を用いているた
め、ヒステリシスがなく高精度であり長期的に特
性を安定させる効果がある。更に、このシリコン
単結晶板を用いたダイアフラム５７はアルカリエ
ツチング法により量産できるためコストを低減さ
せる効果がある。
フラム５７を固定環５２に静電接合して接着剤を
排除したことにより、ダイアフラム５７とガラス
フアイバ５４との初期間隙はダイアフラム５７の
凹形穴５６の深さにより設定でき、且つシリコン
を用いたダイアフラム５７の加工精度が極めて高
いため、初期設定が簡単且つ高精度に行い得る効
果があり、製品による初期間隙のばらつきをなく
す効果がある。従つて、出力オフセツトのばらつ
きが小さく、圧力、出力特性の揃いが向上する効
果がある。また熱膨張が大き接着剤を用いていな
いため、周囲温度の変化による初期間隙の変化が
少なく、また接着剤の強度変化等もないため、感
圧部の温度特性に優れ、信頼性を向上させる効果
がある。また、ダイアフラム５７の材料として弾
性特性の優れたシリコン単結晶板を用いているた
め、ヒステリシスがなく高精度であり長期的に特
性を安定させる効果がある。更に、このシリコン
単結晶板を用いたダイアフラム５７はアルカリエ
ツチング法により量産できるためコストを低減さ
せる効果がある。
第７図は本発明の他の実施例を示したものであ
る。但し第５図と対応する部分は同一符号を用い
て示してある。本実施例の特徴は固定環をなくし
てパイプ５１にダイアフラム５７を直接静電接合
した構造となつているところにあり、ダイアフラ
ム５７の材料としては朋珪酸ガラスあるいは石英
ガラス等で作られる。本実施例も先きの実施例と
同様の効果があるが、特に構造が単純なため原価
を低減させる効果が著しい。
る。但し第５図と対応する部分は同一符号を用い
て示してある。本実施例の特徴は固定環をなくし
てパイプ５１にダイアフラム５７を直接静電接合
した構造となつているところにあり、ダイアフラ
ム５７の材料としては朋珪酸ガラスあるいは石英
ガラス等で作られる。本実施例も先きの実施例と
同様の効果があるが、特に構造が単純なため原価
を低減させる効果が著しい。
以上の説明から明かなように本発明によれば、
凹形穴を有するダイアフラムをパイプに直接ある
いは固定環を介して静電接合することにより、特
性にばらつきが少なく且つ温度特性に優れた高感
度な光フアイバ型圧力センサを提供することがで
きる。
凹形穴を有するダイアフラムをパイプに直接ある
いは固定環を介して静電接合することにより、特
性にばらつきが少なく且つ温度特性に優れた高感
度な光フアイバ型圧力センサを提供することがで
きる。
第１図は従来の光フアイバ型圧力センサの一例
を示す構成図、第２図Ａ乃至Ｃは従来のガラスフ
アイバ端面から見た入射フアイバと受光フアイバ
の配置図、第３図は光フアイバ型圧力センサの圧
力、出力特性線図、第４図Ａ及びＢは従来の光フ
アイバ型圧力センサの感圧部を示す構成図、第５
図Ａ乃至Ｅは本発明に係る光フアイバ型圧力セン
サの一実施例の製作工程及び構造を示す概略図、
第６図Ａ乃至Ｆは第５図で用いられるダイアフラ
ムの製作工程を示した説明図、第７図は本発明に
係る光フアイバ型圧力センサの他の実施例を示す
構成図である。 ５１……パイプ、５２……固定環、５４……ガ
ラスフアイバ、５６……凹形穴、５７……ダイア
フラム、５８……固定部、５９……コーテイン
グ、６１……シリコン単結晶板。
を示す構成図、第２図Ａ乃至Ｃは従来のガラスフ
アイバ端面から見た入射フアイバと受光フアイバ
の配置図、第３図は光フアイバ型圧力センサの圧
力、出力特性線図、第４図Ａ及びＢは従来の光フ
アイバ型圧力センサの感圧部を示す構成図、第５
図Ａ乃至Ｅは本発明に係る光フアイバ型圧力セン
サの一実施例の製作工程及び構造を示す概略図、
第６図Ａ乃至Ｆは第５図で用いられるダイアフラ
ムの製作工程を示した説明図、第７図は本発明に
係る光フアイバ型圧力センサの他の実施例を示す
構成図である。 ５１……パイプ、５２……固定環、５４……ガ
ラスフアイバ、５６……凹形穴、５７……ダイア
フラム、５８……固定部、５９……コーテイン
グ、６１……シリコン単結晶板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ パイプに内蔵されたガラスフアイバの先端部
とダイヤフラムを接合し、圧力を検知する該ダイ
ヤフラムの動きに伴つて変化する光フアイバを通
る光を受光素子にて光電変換して圧力を検出する
光フアイバ型圧力センサの製造方法において、パ
イプの先端面とガラスフアイバの先端面を同一平
面に揃えるとともに鏡面加工し、このパイプの先
端面に凹形穴を有するダイアフラムの厚肉部を静
電接合することを特徴とする光フアイバ型圧力セ
ンサの製造方法。 ２ パイプに金属材料を用い、ダイアフラムに朋
珪酸ガラスまたは石英ガラスを用いることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の光フアイバ型
圧力センサの製造方法。 ３ パイプ先端面に環状をした固定環を同心状に
静電接合し、この固定環の先端面とガラスフアイ
バの先端面とを同一平面とし、この固定環の先端
面に凹形穴を有するダイアフラムの厚肉部を静電
接合すること特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の光フアイバ型圧力センサの製造方法。 ４ パイプと固定環及びダイアフラムの外筒面を
被覆シールすることを特徴とする特許請求の範囲
第３項記載の光フアイバ型圧力センサの製造方
法。 ５ 固定環に朋珪酸ガラスを用い、ダイアフラム
にシリコン単結晶板を用いることを特徴とする特
許請求の範囲第３項記載または第４項記載の光フ
アイバ型圧力センサの製造方法。 ６ 凹形穴をエツジング加工により形成すること
を特徴とする特許請求の範囲第５項記載の光フア
イバ型圧力センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9223981A JPS57207838A (en) | 1981-06-17 | 1981-06-17 | Optical fiber type pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9223981A JPS57207838A (en) | 1981-06-17 | 1981-06-17 | Optical fiber type pressure sensor |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57207838A JPS57207838A (en) | 1982-12-20 |
| JPH023128B2 true JPH023128B2 (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=14048880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9223981A Granted JPS57207838A (en) | 1981-06-17 | 1981-06-17 | Optical fiber type pressure sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57207838A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59109913U (ja) * | 1983-01-13 | 1984-07-24 | 横河電機株式会社 | 変位変換装置 |
| EP2095084A2 (de) * | 2006-11-27 | 2009-09-02 | Kistler Holding AG | Optischer drucksensor mit mindestens zwei optischen fasern |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5522819A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-18 | Hitachi Ltd | Semiconductor strain gauge absolute pressure sensor |
| JPS5552925A (en) * | 1978-10-16 | 1980-04-17 | Hitachi Ltd | Standard type pressure sensor |
-
1981
- 1981-06-17 JP JP9223981A patent/JPS57207838A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57207838A (en) | 1982-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4884450A (en) | Sensor device | |
| CA2697115C (en) | High temperature optical pressure sensor and method of fabrication of the same | |
| US4983824A (en) | Optically resonant sensor with increased monotonic range | |
| WO2021052123A1 (zh) | 一种微型膜片式光纤端部fp压力传感器、制作方法及应用 | |
| CN104515621B (zh) | 基于密闭微腔气体热效应的光纤温度传感器及其制作方法 | |
| JPS5855732A (ja) | 静電容量型圧力センサ | |
| CN107063554B (zh) | 一种一体化光纤大压力传感器及其制作方法 | |
| CN104614104A (zh) | 光纤法珀压力传感器及其制作方法 | |
| JPS63149531A (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
| CN105806543A (zh) | 一种光纤法珀高温压力传感器 | |
| CN102879136A (zh) | 壳聚糖薄膜高性能光纤压力传感头及其制作方法 | |
| CN106768279A (zh) | 基于金属纹膜的光纤f‑p声压传感器 | |
| CN106017756A (zh) | 一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏fp压力传感器 | |
| JPH0311644B2 (ja) | ||
| JPH01310316A (ja) | 金属小管中の球レンズ保持部とその製造方法 | |
| JPH023128B2 (ja) | ||
| CN205664972U (zh) | 一种高温压力传感器 | |
| CN115639378A (zh) | 一种基于弧形桥联臂结构的光纤法珀加速度传感器 | |
| CN106323516B (zh) | 带有复合介质薄膜的f-p压力传感器 | |
| JPS5821131A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| JPH0269630A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| CN116295557A (zh) | 一种e型膜结构的光纤f-p腔高温mems压力传感器及制作方法 | |
| JP3220346B2 (ja) | 圧力センサ及びその製造方法 | |
| CN115031880A (zh) | 一种耐高温全蓝宝石光纤压力传感器 | |
| CN214893787U (zh) | 光纤法珀压力传感器 |