JPH0233253U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0233253U JPH0233253U JP11375988U JP11375988U JPH0233253U JP H0233253 U JPH0233253 U JP H0233253U JP 11375988 U JP11375988 U JP 11375988U JP 11375988 U JP11375988 U JP 11375988U JP H0233253 U JPH0233253 U JP H0233253U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- protrusion
- rotary support
- tip
- drive mechanism
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る駆動機構の一実施例を
示す要部拡大正面図、第２図は同じく斜視図であ
る。第３図は、駆動機構を含む真空蒸着装置の縦
断正面図、第４図は、同じく駆動機構部分の斜視
図である。 ６……支持アーム、６ａ……先端部、７……回
転支持体、１０……突起部、２０，２１……ケー
ス、２０ａ，２１ａ……開口側端部、２３，２４
……磁石。
示す要部拡大正面図、第２図は同じく斜視図であ
る。第３図は、駆動機構を含む真空蒸着装置の縦
断正面図、第４図は、同じく駆動機構部分の斜視
図である。 ６……支持アーム、６ａ……先端部、７……回
転支持体、１０……突起部、２０，２１……ケー
ス、２０ａ，２１ａ……開口側端部、２３，２４
……磁石。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面端部に突起部を固設した回転支持体と、回
転支持体と同軸で回転支持体上方を公転駆動され
、かつ、先端部が上記突起部と対向配置された支
持アームとを具備する駆動機構において、 上記突起部は単一であり、この突起部と支持ア
ームの夫々の先端部に、磁石を、同極に対向させ
て装着したことを特徴とする駆動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375988U JPH0233253U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11375988U JPH0233253U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233253U true JPH0233253U (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=31353884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11375988U Pending JPH0233253U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0233253U (ja) |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP11375988U patent/JPH0233253U/ja active Pending