JPH0233260U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0233260U JPH0233260U JP11292288U JP11292288U JPH0233260U JP H0233260 U JPH0233260 U JP H0233260U JP 11292288 U JP11292288 U JP 11292288U JP 11292288 U JP11292288 U JP 11292288U JP H0233260 U JPH0233260 U JP H0233260U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main pipe
- flow rate
- gas supply
- adjusting
- branched
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例１を示す断面図、第２
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図、第
４図は従来のＬＰＣＶＤ装置を示す断面図である
。 １……ウエーハ支持台、２……ウエーハ、３…
…反応管、４……反応管の入口側蓋体、５……反
応管の出口側蓋体、６……ガス供給孔、７……加
熱炉、８……排気孔、９……排気ポンプ、１０…
…ＳｉＨ４マスフローコントローラ、１１……Ｐ
Ｈ３マスフローコントローラ、１２……主管、１
３……分岐配管、１４……マスフローコントロー
ラ、１５……分岐配管、１６……ニードルバルブ
、１７……流量計、１８……ニードルバルブ。
図は本考案の実施例２を示す断面図、第３図、第
４図は従来のＬＰＣＶＤ装置を示す断面図である
。 １……ウエーハ支持台、２……ウエーハ、３…
…反応管、４……反応管の入口側蓋体、５……反
応管の出口側蓋体、６……ガス供給孔、７……加
熱炉、８……排気孔、９……排気ポンプ、１０…
…ＳｉＨ４マスフローコントローラ、１１……Ｐ
Ｈ３マスフローコントローラ、１２……主管、１
３……分岐配管、１４……マスフローコントロー
ラ、１５……分岐配管、１６……ニードルバルブ
、１７……流量計、１８……ニードルバルブ。
Claims (1)
- マスフローコントローラによつて各々流量調整
のなされた少なくとも２種類の反応ガスを混合す
る１本の主管と、該主管から分岐した少なくとも
２本の反応ガス供給管とを有する気相成長装置に
おいて、主管から分岐した前記各反応ガス供給管
のそれぞれに流量調整用マスフローコントローラ
を有し、かつ前記主管から流量調整用ニードルバ
ルブを有する１本の分岐配管を分岐させたことを
特徴とする薄膜気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11292288U JPH0233260U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11292288U JPH0233260U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233260U true JPH0233260U (ja) | 1990-03-01 |
Family
ID=31352303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11292288U Pending JPH0233260U (ja) | 1988-08-29 | 1988-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0233260U (ja) |
-
1988
- 1988-08-29 JP JP11292288U patent/JPH0233260U/ja active Pending