JPH0236033U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0236033U JPH0236033U JP11450488U JP11450488U JPH0236033U JP H0236033 U JPH0236033 U JP H0236033U JP 11450488 U JP11450488 U JP 11450488U JP 11450488 U JP11450488 U JP 11450488U JP H0236033 U JPH0236033 U JP H0236033U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- control device
- pocl
- valve
- inlets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N phosphinic chloride Chemical compound ClP=O RLOWWWKZYUNIDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Description
第１図は本実施例のプロセスチユーブとガス制
御装置の説明図、第２図は特性分布図である。 １……プロセスチユーブ、２……ガス制御装置
、６……Ｎ２ライン、７……Ｏ２ライン、８……
Ｈ２ライン、９……ガス流量制御装置、１０〜１
４……バルブ、１６……ＰＯＣｌ３容器。
御装置の説明図、第２図は特性分布図である。 １……プロセスチユーブ、２……ガス制御装置
、６……Ｎ２ライン、７……Ｏ２ライン、８……
Ｈ２ライン、９……ガス流量制御装置、１０〜１
４……バルブ、１６……ＰＯＣｌ３容器。
Claims (1)
- トランジスタのエミツタ拡散装置として、Ｎ２
，Ｈ２の導入口とＯ２，ＰＯＣｌ３導入口を有し
水素燃焼部よりなるプロセスチユーブとガス制御
装置よりなり、前記ガス制御装置は配管ラインと
してはＮ２，とＨ２のライン、及びＯ２とＰＯＣ
ｌ３のラインよりなり、前記ラインはガス流量制
御装置とバルブを介して連結され、更にＰＯＣｌ
３のラインがガス流量制御装置とバルブを介して
前記Ｏ２のラインに連結されたエミツタ拡散装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11450488U JPH0236033U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11450488U JPH0236033U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0236033U true JPH0236033U (ja) | 1990-03-08 |
Family
ID=31355316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11450488U Pending JPH0236033U (ja) | 1988-08-31 | 1988-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0236033U (ja) |
-
1988
- 1988-08-31 JP JP11450488U patent/JPH0236033U/ja active Pending