JPH023647U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH023647U JPH023647U JP8271188U JP8271188U JPH023647U JP H023647 U JPH023647 U JP H023647U JP 8271188 U JP8271188 U JP 8271188U JP 8271188 U JP8271188 U JP 8271188U JP H023647 U JPH023647 U JP H023647U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion implantation
- displaying
- detecting
- negative current
- implantation device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Description
第２図は従来のイオン注入カウンターのブロツ
ク図、第１図は本考案のイオン注入カウンターの
ブロツク図である。 １…検出部、２…Ｉ／Ｖ変換部、３…Ｖ／Ｆ変
換部、４…カウンター部、５…ビーム電流表示メ
ーター、６…負電流表示メーター、７…ダイオー
ド、８…負電流インターロツク部。
ク図、第１図は本考案のイオン注入カウンターの
ブロツク図である。 １…検出部、２…Ｉ／Ｖ変換部、３…Ｖ／Ｆ変
換部、４…カウンター部、５…ビーム電流表示メ
ーター、６…負電流表示メーター、７…ダイオー
ド、８…負電流インターロツク部。
Claims (1)
- イオン注入装置に於て、ビーム電流の検知・表
示の他に負電流を検知・表示する機構を有し、か
つ、検知した負電流でイオン注入装置にインター
ロツクをかけることを特徴とするフエイルセーフ
機構付のイオン注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8271188U JPH023647U (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8271188U JPH023647U (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH023647U true JPH023647U (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=31307454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8271188U Pending JPH023647U (ja) | 1988-06-21 | 1988-06-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH023647U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01100477U (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-05 | ||
| JPH01100475U (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-05 |
-
1988
- 1988-06-21 JP JP8271188U patent/JPH023647U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01100477U (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-05 | ||
| JPH01100475U (ja) * | 1987-12-24 | 1989-07-05 |