JPH0237360U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0237360U JPH0237360U JP11676688U JP11676688U JPH0237360U JP H0237360 U JPH0237360 U JP H0237360U JP 11676688 U JP11676688 U JP 11676688U JP 11676688 U JP11676688 U JP 11676688U JP H0237360 U JPH0237360 U JP H0237360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- electric heater
- bridging portion
- conductive layer
- utility
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
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- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
第１図は本考案による電熱器の一実施例を示す
平面図、第２図は第１図の―′線に沿つた断
端面図、第３図は本考案の一実施例を製造する工
程を示す断端面図、第４図は従来の電熱器の一例
を示す平面図、第５図は第４図の―′線に沿
つた断端面図である。 ８……シリコン基板（基体）、９……シリコン
酸化膜（絶縁層）、１０……白金層（導電層）、
１３……第１の凹部、１４……第２の凹部、１６
……白金層（導電層）の架橋部。
平面図、第２図は第１図の―′線に沿つた断
端面図、第３図は本考案の一実施例を製造する工
程を示す断端面図、第４図は従来の電熱器の一例
を示す平面図、第５図は第４図の―′線に沿
つた断端面図である。 ８……シリコン基板（基体）、９……シリコン
酸化膜（絶縁層）、１０……白金層（導電層）、
１３……第１の凹部、１４……第２の凹部、１６
……白金層（導電層）の架橋部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 表面に第１の凹部を設けるとともに、該第１の
凹部底面に第２の凹部を設けた基体と、 該基体の表面上に絶縁層を介して設けられ、上
記第２の凹部上の部分を架橋部と成し、該架橋部
を発熱させるように成された導電層とを具備して
成る電熱器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11676688U JPH0237360U (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11676688U JPH0237360U (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0237360U true JPH0237360U (ja) | 1990-03-12 |
Family
ID=31359603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11676688U Pending JPH0237360U (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0237360U (ja) |
-
1988
- 1988-09-05 JP JP11676688U patent/JPH0237360U/ja active Pending