JPH02375A - 受光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この宅間は、受光装置に関して、特にカラーフィルター
を備えた受光装置に関する本のである。

〔従来の技術〕

第２図（ａ）は％従来のカラーフィルターを備えた受光
装置の断面図を示したものである。図において、（１）
は半導体基板の表面に設けられた受光部、（２）　Ｖｉ
受光部＋１）を直接保護するシリコン酸化膜％（３）は
シリコン酸化膜（２）上に設けられたアルミニウム配線
％［４）ｄアルミニウム配線（３）を絶縁するため設け
られた層間膜Ａ、［５）は層間膜Ａ（４）の上にアルミ
ニウム配線を保護するために設けられ、／ｉ１間膜Ａ（
４）屈折率の異なる層間膜Ｂ、（６１は層間膜Ｂ（５）
上の受光部【１）と対応する位置に設けられたカラーフ
ィルター層、（７）はカラーフィルターＩ！１（６）を
保護するため設けられた最上層の保護膜である。

第２図（ｂ）　Ｖｉ、１１１２図（ａ）に示した従来の
受光装置の分光特性を示し念ものである。縦軸に光電流
。

横軸に波長をとっている。第２図（ｃ）　’ｒｉ、第２
図（ａ）の受光装置の層間膜Ａ（４）と１間膜Ｂ（５）
における入射光の進み方を示したものである。

層間膜Ａ（４）と層間膜Ｂ（５）では屈折率が異ってｂ
るため、第２図（ｃ）に示すように層間膜界面で反射が
起こり各層間中で入射光と層間膜界面からの反射光なら
びに多重反射光が干渉を起こして、定在波効果をもたら
す。この定在波効果により第２図（１））に示すように
、光電流は波長により変動を示している。

〔宅間が解決しようとする問題点〕

従来の受光装置は、例えば層間膜Ａ（４）と層間膜Ｂ（
５）の屈折率が異なっているので層間膜界面で反射が起
こシ、各層間中で入射光と層間界面からの反射光ならび
に多重反射光が干渉を起こして、定在波効果をもたらす
という問題点があった。このため受光部の感度が波長に
よって変動し、バラツキを生じてｂたう との発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、多重反射光の干渉にょシ起こる定在波効果
を軽減し、波長による光感度のバラツキをなくすことを
目的とする 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に′ｉ、受光部上に対応する位置の層間膜表面
に入射光の一部をその側壁面で反射させて拡散光にする
複数の光通路を有する光透過部材を設けるようにしたも
のである。

〔作用〕

との発明け、受光部に対応する位置の層間膜表面に上記
光透過部材を設けることにより、多重反射光の干渉のた
めに起こる定在波効果が軽減され、分光特性が波長によ
シ変動しなくなる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例につ＾て説明する。

第１図（ａ）は、この発明の一実施例となる受光装置の
断面図を示したものである。図中、第２図（ａ）と同一
符号は、同一または相当部分を示すものであシ説明を省
略する。図において、（８）は層間膜Ａ（４）と層間膜
Ｂ（５）の開に設け、受光部【１）上のみ光の波長と同
程度から５倍程度の大きさ格子幅をもつ格子状の光透過
部材であって、入射光の一部をその側壁面で反射させて
拡散光にする。

格子幅を光の波長を同程度から５倍程度よシ大きくする
と、多重反射光が干渉を起こし、定在波効果が軽減され
ない。

第１図（ｂ）　Ｖｉ、第１図（ａ）の千面図である。こ
の図において、実線外枠で囲まれた部分はカラーフィル
ター１ｍ　＋６）を、点線枠で囲まれた部分は受光部（
１）％格子状になって＾る部分は第１図（ａ）の光透過
部材（８）を夫々表わす。

第１図（ｃ）　ｔｉｔ　、第１図（ａ）　、　（ｂ）　
Ｋ示したこの発明による受光部上に格子状の光透過部材
を設叶たカラーフィルターを備えた受光装置の分光特性
を示したものである。実線は、格子状の光透過部材（８
）の光通路の面積を大きくした場合で１点線Ｖｉ、格子
状の光透過部材（８）の光通路の面積を前者Ｃ実線の場
合）より小さくした場合である０縦軸に光電流、横軸に
波長をとっである〇 第１図（ａ）　Ｖｉ上記の光透過部材を設けた場合％層
間膜Ａ（４）と層間膜Ｂ（５）における入射光の進み方
を示している。

受光部上に上記の光透過部材を設けることにより、第１
図（ｄ）のようＩ／Ｃ＃間膜への入射光が拡散され、さ
らに光路長がモ均化されるために第２図（ｃ）のよ・う
な多重反射光の干渉が起こらず、定在波効果が軽減され
ふつ 同様に第１図（ａ）　、　（ｂ）の受光装置においても
、受光部上に上記の光透過部材を設けたので、多重反射
光の干渉が起こらず定在波効果が軽減される。

そのため第１図（ｃ）に見られるように分光特性が波長
により変動せず光感度のバラツキがなくなる。

さらに％第１図（ｃ）の実線と点線で示すように。

格子状の光透過部材の光通路の面積を変えることによシ
、受光部に入射する光量を可変でき、光感度の調整がで
きる。

〔発明の効果〕

以上のように、受光部上に上記の光透過部材を設けたの
で、波長による光感度のバラツキが軽減され、さらに光
感度の調整ができるとＡう効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、この発明の一実施例になる受光部上に
格子状の光透過部材を設けたカラーフィルター層を備え
た受光装置の断面図。 第１図（ｂ）　ｈ　、第１図（ａ）に示した受光装置の
乎面図。 第１図（ｃ）げ、第１図（ａ）　、　（１））に示した
受光装置の分光特性曲線図。 第１図（ｄ）は、第１図（ａ）　、　（ｂ）　Ｋ示した
受光装置の層間膜Ａ（４）と層間膜Ｂ（５）における入
射光の進み方を示す説明図。 第２図（ａ）　Ｉｄ　、従来のカラーフィルターを備え
た受光装置の断面図。 第２図（ｂ）　ｉｔ、第２図（ａ）に示した受光装置の
分光特性曲線図。 第２図（ｃ）は第２図（ａ）に示した受光装置の層間膜
Ａ（４）と層間膜Ｂ（５）における入射光の進み方を示
した説明図である。 図において％（１）ハ受光部、（２）はシリコン酸化膜
、（３）はアルミニウム配線％（４）μ層間膜Ａ、ｆ５
１は層間膜Ｂ、（６１ｔ’！カラーフィルター１−１（
７）は保護膜、（８）は格子状の光透過部材である。 なお１図中、同一符号は同一、′またμ相当部分を示す
。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）受光部上に１層以上の絶縁膜あるいは層間膜を設
   け、この絶縁膜あるいは層間膜の表面に入射光の一部を
   その側壁面で反射させて拡散光にする複数の光通路を有
   する光透過部材を備えたことを特徴とする受光装置。
2. （２）光通路の幅は光の波長と同等から約５倍であるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の受光装置。