JPH0240463B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0240463B2 JPH0240463B2 JP58217564A JP21756483A JPH0240463B2 JP H0240463 B2 JPH0240463 B2 JP H0240463B2 JP 58217564 A JP58217564 A JP 58217564A JP 21756483 A JP21756483 A JP 21756483A JP H0240463 B2 JPH0240463 B2 JP H0240463B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- workpiece support
- air
- workpiece
- ventilation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は工作機械等のワーク支持台と、それを
支持するベースとの間にエアー膜を構成して無接
触、無摩耗の状態でスライドさせ、さらに定位置
に完全静止させるエアースライド装置に関するも
ので、ワーク支持台側にエアー供給及び吸気用の
通気ホースを連結することなく、静止しているベ
ース側にエアー供給及び吸気用の通気装置を設け
ものである。
支持するベースとの間にエアー膜を構成して無接
触、無摩耗の状態でスライドさせ、さらに定位置
に完全静止させるエアースライド装置に関するも
ので、ワーク支持台側にエアー供給及び吸気用の
通気ホースを連結することなく、静止しているベ
ース側にエアー供給及び吸気用の通気装置を設け
ものである。
上記のごときエアースライド装置にあつては当
然のことながら、ベースが必要とする長さに構成
され、ワーク支持台は上記ベース上を必要とする
ストロークのみスライドさせられる。
然のことながら、ベースが必要とする長さに構成
され、ワーク支持台は上記ベース上を必要とする
ストロークのみスライドさせられる。
したがつて、一般的にはワーク支持台側からエ
アーを供給することが考えられるが、その場合に
はスライドするワーク支持台側にエアー供給及び
吸気用の通気ホースを連結しなければならず、該
ホースの取扱い等に手数を要する欠点がある。
アーを供給することが考えられるが、その場合に
はスライドするワーク支持台側にエアー供給及び
吸気用の通気ホースを連結しなければならず、該
ホースの取扱い等に手数を要する欠点がある。
すなわち、ワーク支持台のスライド時にホース
が緊張したり、垂れ下つたりして邪魔にならない
ように構成しなければならないものであつた。
が緊張したり、垂れ下つたりして邪魔にならない
ように構成しなければならないものであつた。
本発明は上記のごとき欠点を除去してなるもの
で、ベース側からエアー供給及び吸気用の通気を
行うよう構成し、さらに定位置に完全静止させる
構成としたものである。
で、ベース側からエアー供給及び吸気用の通気を
行うよう構成し、さらに定位置に完全静止させる
構成としたものである。
かように構成することにより、上記ホースの取
扱い等の問題は解決されるが、ベース側のワーク
支持台のスライド面全体に常時エアー供給するこ
とはエアーを無駄に消費することになる。
扱い等の問題は解決されるが、ベース側のワーク
支持台のスライド面全体に常時エアー供給するこ
とはエアーを無駄に消費することになる。
そこで、本発明はワーク支持台のスライド位置
に合わせて、エアー供給及び吸気が自動的に行わ
れるように構成したものである。
に合わせて、エアー供給及び吸気が自動的に行わ
れるように構成したものである。
したがつて、通気ホースの取扱いも問題になら
ず、さらにエアーを無駄に消費することがなく、
経済的であり、さらに正確な制御が可能となるも
のである。
ず、さらにエアーを無駄に消費することがなく、
経済的であり、さらに正確な制御が可能となるも
のである。
以下に本発明の一実施例を図面について詳細に
説明する。
説明する。
図中1はベース、2はワーク支持台である。図
面実施例の場合、ワーク支持台2のスライドはス
クリユー3により行つている。
面実施例の場合、ワーク支持台2のスライドはス
クリユー3により行つている。
すなわち、ベース1の両端の支持部1aにベア
リング4を介してベース2と平行になるようスク
リユー3を支持し、ワーク支持台2に設けられた
ブラケツト2aに支持したナツト5を上記スクリ
ユー3に螺合させてなる。
リング4を介してベース2と平行になるようスク
リユー3を支持し、ワーク支持台2に設けられた
ブラケツト2aに支持したナツト5を上記スクリ
ユー3に螺合させてなる。
図中6はスクリユー3を回転させるモーターで
ある。
ある。
もつとも、ブラケツト2aの両側部にタイミン
グベルトの両端を固着等してタイミングプーリー
で張設してワーク支持台2をスライドさせてもよ
い。
グベルトの両端を固着等してタイミングプーリー
で張設してワーク支持台2をスライドさせてもよ
い。
本発明ではさらにワーク支持台2のスライド時
に少くとも一つがワーク支持台2部に位置する間
隔をあけて適数の通気孔7,7a,7b,7cが
設けられる。
に少くとも一つがワーク支持台2部に位置する間
隔をあけて適数の通気孔7,7a,7b,7cが
設けられる。
それらは、第2図示のごとく、ワーク支持台2
の巾Wより狭い間隔とすればよいものである。
の巾Wより狭い間隔とすればよいものである。
なお、第1図、第2図実施例の場合、ワーク支
持台2はベース1の上面、下面及び両側面を囲む
よう設け、その上下面に上記通気孔7,7a,7
b,7cを設けているが、第3図示のごとく、ワ
ーク支持台2をベース1の上面及び両側面を囲む
コ字状に設けてもよく、その場合には製作が容易
となる。
持台2はベース1の上面、下面及び両側面を囲む
よう設け、その上下面に上記通気孔7,7a,7
b,7cを設けているが、第3図示のごとく、ワ
ーク支持台2をベース1の上面及び両側面を囲む
コ字状に設けてもよく、その場合には製作が容易
となる。
なお、図面実施例の場合、上記通気孔7,7
a,7b,7cへの通気をベース1の一端から行
うよう構成している。
a,7b,7cへの通気をベース1の一端から行
うよう構成している。
すなわち、ベース1の上記通気孔7,7a,7
b,7cの構成位置に連通孔8,8a,8b,8
cを設けた隔壁9,9a,9b,9cを設け、そ
の一端をそれぞれ上記通気孔7,7a,7b,7
cと連通させ、さらに連通孔8,8a,8b,8
cの他端に通気用のホースあるいはパイプ10,
10a,10b,10cを連結して上記ベース1
の一端に導出し、それぞれ三方切換え機能を有す
るソレノイドバルブ11,11a,11b,11
cに連結してなる。
b,7cの構成位置に連通孔8,8a,8b,8
cを設けた隔壁9,9a,9b,9cを設け、そ
の一端をそれぞれ上記通気孔7,7a,7b,7
cと連通させ、さらに連通孔8,8a,8b,8
cの他端に通気用のホースあるいはパイプ10,
10a,10b,10cを連結して上記ベース1
の一端に導出し、それぞれ三方切換え機能を有す
るソレノイドバルブ11,11a,11b,11
cに連結してなる。
なお、ソレノイドバルブ11,11a,11
b,11cにはそれぞれエアー供給源及び吸気源
からのホース12等が連通させられる。
b,11cにはそれぞれエアー供給源及び吸気源
からのホース12等が連通させられる。
さらに、本発明では上記通気孔7,7a,7
b,7cに合わせて近接センサー13が設けられ
る。
b,7cに合わせて近接センサー13が設けられ
る。
なお、図面実施例の場合、近接センサー13は
ベース1の通気孔7,7a,7b,7cに隣接さ
せて埋設しているが、第1図に一点鎖線で示した
ごとく、外部のワーク支持台2のスライド位置に
邪魔にならないように設けてもよい。
ベース1の通気孔7,7a,7b,7cに隣接さ
せて埋設しているが、第1図に一点鎖線で示した
ごとく、外部のワーク支持台2のスライド位置に
邪魔にならないように設けてもよい。
図中14は近接センサー13からのリード線で
あり、それぞれ隣接された通気孔7,7a,7
b,7cと対応するソレノイドバルブ11,11
a,11b,11cに接続されている。
あり、それぞれ隣接された通気孔7,7a,7
b,7cと対応するソレノイドバルブ11,11
a,11b,11cに接続されている。
つぎに、ワーク支持台2をベース1の定位置に
完全静止させる構成について述べる。
完全静止させる構成について述べる。
第3図示のごとく、ベース1の上面とワーク支
持台2との間にのみ圧縮エアーの供給に伴うエア
ー膜を構成した場合にはワーク支持台2のベース
1の上面と対応する面を囲むように外方を開放し
たリツプ状のシール材15を設け、連通孔8cに
給気を行えるとともに、さらに吸気を行うことが
できるように構成される。
持台2との間にのみ圧縮エアーの供給に伴うエア
ー膜を構成した場合にはワーク支持台2のベース
1の上面と対応する面を囲むように外方を開放し
たリツプ状のシール材15を設け、連通孔8cに
給気を行えるとともに、さらに吸気を行うことが
できるように構成される。
また、図中16は制御部である。
上記構成の本発明は近接センサー13により、
ワーク支持台2のスライドが検知された時にはそ
の近接センサー13に隣接されたいずれかの通気
孔7,7a,7b,7cと対応するソレノイドバ
ルブ11,11a,11b,11cが開放され、
ワーク支持台2の位置している通気孔7,7a,
7b,7cのいずれかに圧縮空気が供給され、他
の通気孔へはエアー遮断が行われるものである。
ワーク支持台2のスライドが検知された時にはそ
の近接センサー13に隣接されたいずれかの通気
孔7,7a,7b,7cと対応するソレノイドバ
ルブ11,11a,11b,11cが開放され、
ワーク支持台2の位置している通気孔7,7a,
7b,7cのいずれかに圧縮空気が供給され、他
の通気孔へはエアー遮断が行われるものである。
上記のごとく、本発明はベース1に支持したワ
ーク支持台2のスライド時にはベース1に適当な
間隔をあけて設けた通気孔7,7a,7b,7c
のうち、ワーク支持台2の位置した通気孔のみか
ら、ベース1とワーク支持台2間にのみ圧縮エア
ーの供給が行われ、順次エアー膜を構成して無接
触、無摩耗の状態でスライドさせることができ、
その他の通気孔7,7a,7b,7cからは圧縮
エアーが供給されることがないものであり、エア
ーを無駄に消費することがないものである。
ーク支持台2のスライド時にはベース1に適当な
間隔をあけて設けた通気孔7,7a,7b,7c
のうち、ワーク支持台2の位置した通気孔のみか
ら、ベース1とワーク支持台2間にのみ圧縮エア
ーの供給が行われ、順次エアー膜を構成して無接
触、無摩耗の状態でスライドさせることができ、
その他の通気孔7,7a,7b,7cからは圧縮
エアーが供給されることがないものであり、エア
ーを無駄に消費することがないものである。
なお、上記通気孔7,7a,7b,7cへの通
気時にはシール材15は供給された圧縮エアーの
働きでベース1から離れる状態に自動変形する。
気時にはシール材15は供給された圧縮エアーの
働きでベース1から離れる状態に自動変形する。
つぎに、ワーク支持台2を定位置で完全静止さ
せる場合について述べると、ソレノイドバルブ1
1cあるいは11,11a,11bを切換えてワ
ーク支持台2の下面に位置した連通孔8c、通気
孔7cへの圧縮空気の供給を停止するとともに、
逆に吸気を行えばシール材15がベース1に密着
し、シール材15で囲まれたベース1とワーク支
持台2間を真空状態としてベース1にワーク支持
台2を密着させて完全静止状態を保持できるもの
である。
せる場合について述べると、ソレノイドバルブ1
1cあるいは11,11a,11bを切換えてワ
ーク支持台2の下面に位置した連通孔8c、通気
孔7cへの圧縮空気の供給を停止するとともに、
逆に吸気を行えばシール材15がベース1に密着
し、シール材15で囲まれたベース1とワーク支
持台2間を真空状態としてベース1にワーク支持
台2を密着させて完全静止状態を保持できるもの
である。
上記ワーク支持台2の密着保持はワーク支持台
2をタイミングベルトあるいはリニアーモーター
等によりスライドさせる場合には極めて有効であ
る。
2をタイミングベルトあるいはリニアーモーター
等によりスライドさせる場合には極めて有効であ
る。
上記のごとく、本発明はワーク支持台のスライ
ドに合せてベース側から通気あるいは吸気を行う
ものであり、移動するワーク支持台側には通気ホ
ースを接続することがないため該通気ホースの取
扱いに手数を要することがなく、さらに、ワーク
支持台のスライド時にはワーク支持台のスライド
位置のみ通気が行われるため、エアーを無駄にす
ることがないとともに、ワーク支持台2をベース
1の定位置に完全静止させることができる効果が
得られるものである。
ドに合せてベース側から通気あるいは吸気を行う
ものであり、移動するワーク支持台側には通気ホ
ースを接続することがないため該通気ホースの取
扱いに手数を要することがなく、さらに、ワーク
支持台のスライド時にはワーク支持台のスライド
位置のみ通気が行われるため、エアーを無駄にす
ることがないとともに、ワーク支持台2をベース
1の定位置に完全静止させることができる効果が
得られるものである。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図
は要部の斜視図、第2図は要部の縦断面図、第3
図は他の実施例を示し、第2図と方向を変えた要
部の縦断面図である。 1……ベース、2……ワーク支持台、7,7
a,7b,7c……通気孔、8,8a,8b,8
c……連通孔、10,10a,10b,10c…
…パイプ、11,11a,11b,11c……ソ
レノイドバルブ、13……近接センサー。
は要部の斜視図、第2図は要部の縦断面図、第3
図は他の実施例を示し、第2図と方向を変えた要
部の縦断面図である。 1……ベース、2……ワーク支持台、7,7
a,7b,7c……通気孔、8,8a,8b,8
c……連通孔、10,10a,10b,10c…
…パイプ、11,11a,11b,11c……ソ
レノイドバルブ、13……近接センサー。
Claims (1)
- 1 ワーク支持台と、このワーク支持台がスライ
ドするベースからなり、該ベースにはワーク支持
台のスライド時に少くとも一つがワーク支持台部
に位置する間隔をあけて適数の通気孔が設けら
れ、ワーク支持台下面にはベースとの対応面を囲
むように外方を開放したリツプ状のシール材が設
けられ、さらに上記通気孔に合わせてそれぞれワ
ーク支持台のスライド位置を検知する近接センサ
ーが設けられ、近接センサーの検知によりワーク
支持台のスライド位置にある通気孔に通気を行
い、あるいは該通気孔から吸気を行うことを特徴
とするエアースライドシステム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21756483A JPS60108241A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | エア−スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21756483A JPS60108241A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | エア−スライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108241A JPS60108241A (ja) | 1985-06-13 |
| JPH0240463B2 true JPH0240463B2 (ja) | 1990-09-11 |
Family
ID=16706233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21756483A Granted JPS60108241A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | エア−スライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108241A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130101042A (ko) * | 2010-08-31 | 2013-09-12 | 유니챰 가부시키가이샤 | 일회용 착용 물품 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6145110A (ja) * | 1984-08-06 | 1986-03-05 | Nippon Seiko Kk | スライダ−装置 |
| DE3850825T2 (de) * | 1987-08-20 | 1995-03-09 | Toyoda Machine Works Ltd | Hydrostatische Lagerung für Gleitschiene. |
| JPH02262975A (ja) * | 1989-04-04 | 1990-10-25 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 流体噴出式スライド定盤 |
| US5148340A (en) * | 1990-04-18 | 1992-09-15 | International Business Machines Corporation | Bifurcated air bearing actuator assembly for a disk drive system |
| JP4165577B2 (ja) | 2006-05-19 | 2008-10-15 | トヨタ自動車株式会社 | ヘッドレスト機構 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS532689Y2 (ja) * | 1975-08-01 | 1978-01-24 | ||
| JPS5834249A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-02-28 | Tokico Ltd | 密閉型シリンダ装置 |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21756483A patent/JPS60108241A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130101042A (ko) * | 2010-08-31 | 2013-09-12 | 유니챰 가부시키가이샤 | 일회용 착용 물품 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60108241A (ja) | 1985-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR900008869B1 (ko) | 표면 처리장치 | |
| US4982835A (en) | Modular conveyor construction and mounting brackets therefor | |
| KR910019268A (ko) | 반도체 제조공장의 청정실 | |
| FI953611A0 (fi) | Imunsäätöventtiili rotaatiokompressoria varten | |
| JPH0240463B2 (ja) | ||
| DE59708340D1 (de) | Vorrichtung zum steuern eines schubumluftventils | |
| DE69534648D1 (de) | Aktives rauschbeeinflussungsgerät in einem kanal mit hoch-turbulentem luftstrom | |
| DE69519632D1 (de) | Stossventil für eine vakuumhebevorrichtung | |
| DE69719869T2 (de) | Vakuumregelventil für Filtervorrichtung | |
| JPH0249415B2 (ja) | ||
| NO920468L (no) | Trykk/vakuum ventil | |
| JPH11131363A (ja) | シート状素材の自動裁断装置 | |
| JPH05183042A (ja) | ウェーハの吸着方法 | |
| JP2674863B2 (ja) | 吸着パット | |
| CA2193701A1 (en) | Hood for a Wire Part and for a Press Section | |
| IT1303913B1 (it) | Dispositivo per la rovesciatura di manufatti tessili tubolari | |
| JPH0847827A (ja) | リング状パッキンの自動装着機 | |
| JPH0411033Y2 (ja) | ||
| WO2000059002A3 (de) | Anlage zur fertigung von halbleiterprodukten | |
| WO1993006973A1 (fr) | Dispositif d'aspiration | |
| JP4055271B2 (ja) | ワークの吸着把持装置および方法 | |
| JP3716008B2 (ja) | 半導体基板入りマガジンのクランプ搬送装置 | |
| JPH02253039A (ja) | ボールねじ移動機構のクリーン化機構 | |
| DE69434044D1 (de) | Bronchiale absaugvorrichtung mit einem ventil für luftröhrkanülen | |
| JP2000077497A (ja) | ウェハ搬送用ロボット |