JPH0240579A - 磁区観察装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、垂直磁気記録媒体や光磁気記録媒体の垂直磁
化膜等の磁性薄膜を始めとする各種磁性体の磁区観察を
行う観察装置に係わる。

〔発明の概要〕

本発明は、磁区観察試料に直線偏光を照射し、この磁区
観察試料における光−磁気相互作用の利用と画像処理に
よって試料の磁化状態、すなわち磁区をモニター用画像
映出装置によって直視的に観察できるようにし、試料に
対する外部磁場印加を特に置型コア構成として光−磁気
相互作用が小ざい試料といえども確実にその磁区観察を
実時間いわゆるリアルタイムで直視的に観察することが
Ｃきるようにした磁区観察装置を提供する。

〔従来の技術〕

各種磁性ＦＪ股、永久磁石等の磁性体の開発、研究にお
いてその磁区観察は重要である。例えば垂直磁気記録媒
体の記録状態の解析や光磁気記録媒体におけるノイズの
解析のためにその垂直磁化膜素材の磁区状態、或いは記
録された情報ビットとじての磁区発生状態の観察が正確
かつ手軽るに行えるようにすることの要求が高い。近年
、磁区観察のためにポーラーカー効果と画像処理による
垂直磁区観察装置が開発されて来ている（例えばアイ　
イー　イー　ｌ・ランスアクションズ　オンマグネティ
ックス（ＴＩ＋ｅ　Ｉｎ５ｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ｅｌｅ
ｃｔｒｉｃａｌａｎｄ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｅｎ
ｇｉｎｅｅｒｓ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｎＭａ
ｇｎｅｔｉｃｓ　）　Ｖｏｌ、？Ｉ＾Ｇ−２１，（１９
８５）　ＰＰ１５９６〜１５９Ｂ。

及び同誌Ｖｏ１．ＭＡＧ−２３，（１９８７）　ＰＰ２
０６７〜２０６９参照）このように、磁区観察試料にお
ける磁化状態に基くポーラーカー効果、すなわち光−磁
気相互作用による直線偏光の偏光面の回転状態に基（光
学像によって磁区観察を行う磁区観察装置においては、
観察試料に外部から磁場を印加し、試料の磁区の状態を
変化させ、この変化に基く情報を画像処理によって適当
な処理をなして画像映出装置に映出することによって磁
区観察を行うという方法がとられる。

この場合、外部磁場印加手段は、試料に対する印加磁場
を可変とする上で電磁石を用いることが望まれる。とこ
ろが、この場合、その線輪からの発熱が試料に与える影
響が問題となる。そして、この線輪からの発熱の影響を
回避すべくこの外部磁場印加手段を試料配置部より遠去
ければ、大きな外部磁場を与えにくくなり、確実、高感
度の磁区観察を阻害する。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明は、上述した試料における光−磁気相互作用の利
用によって磁区観察を行う態様を採るものにおいて、試
料に対する外部磁場印加手段による熱的影響の課題を解
決し、しかも充分に大きな外部磁場の印加を可能にし、
磁区観察を確実、高感度に行うことができるようにする
。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、第１図に示すように、直線偏光光源部１１）
と、磁区観察試料（１１）が配置される磁区観察試料配
置部（１２）　と、この磁区観察試料配置部（１２）に
端部が対向するセンターポール（１３）を有し、線輪（
１４）が内装された直型コア（１５）を有して成り、磁
区観察試料（１１）に対して直流外＋’ＦＢ磁場を印加
する外部磁場印加手段（１６）と、検光子（１７）と、
撮像カメラ（１８）と、画像処理装置（１９）と、モニ
ター用画像映出装置（２０）とを具備して成る。そして
、光源部（１）からの直線偏光を磁区観察試料（１１）
に！（？Ａ射し、この磁区観察試料（１１）からのこの
試料（１１）における磁化状態すなわち磁区状態に応じ
た光−磁気相互作用を受けた偏光面変調光に基く検光子
（１７）を通過後の光学像を撮像カメラ（１８）によっ
て撮像し、その撮像出力を画１象処理装置（１９）に入
力し、モニター用画像映出装置（２０）で撮像光学像に
基く映像を再生して磁区観察試料（１１）の磁区観察を
行う。

〔作用〕

上述の本発明装置を用いての磁区観察は、例えば、垂直
磁気記録媒体において磁気ヘッドによっζ記録のなされ
た磁区による情報ビットを有する試料や光磁気記録のな
されたすなわら例えばバブル磁区による情報ビットを有
する試料の磁区観察、或いはＩＲ報ピントの形成前の垂
直磁化膜素材を始めとする各種磁性体試料の磁区観察を
行うことができる。例えば垂直磁化膜素材のは区観察を
行う場合について説明すると、この場合、外部磁場印加
手段（１６）の線輪（１４）に通電を行ってセンターポ
ール（１３）の図において上端から試料（１１）の面に
垂直に磁場を与え、−旦試料（１１）を磁気的に飽和さ
せ、この状態から外部磁場印加手段（１６）の印加磁場
を充分ゆっくりと弱めて行（。

このとき、光源部（１１からの直線偏光を磁区観察試料
（１１）に照射し、この試料（１１）における磁化状態
に応じて生じたカー効果による偏光面が回転された反射
光を検光子（１７）を通じて撮像カメラご撮像し、これ
よりの出力を画像処理装置（１９）に人力し、これを増
幅し、かつ所要の信号処理をなして両像映出装置（２０
）にてこの試料（１１）からの反射光学像をＩｌｆ生す
る。このようにすると、例えば試料（１１）に対する印
加磁場の変化によっζ発生する磁区の、その発生の様子
を実時間いわゆるリアルタ・イムで直視的に観察するこ
とができる。

或いは同様に試料（１１）に対して大きな磁場を与えて
磁気的に飽和させ、この状態で同様に試料（１１）から
の反射光による例えば第２図Ａに示すような光学像を撮
像カメラ（１８）によって撮像し、これを画像処理装置
（１９）に参照画像としてメモリ、すなわち記録する。

次に磁場印加手段（１６）の通電電源を制御して磁区観
察を行い度い目的とする印加磁場の大きさに減少させる
。そして、この状態で同様に試料（１１）からの反射光
による例えば第２図Ｂに示す光学像をカメラ（１８）に
よっζ撮像し、画像処理装置（１９）によって、この撮
像画像から先にメモリされた参照画像を減算し、この減
算された例えば第２図Ｃに示す画像を画像映出装置（２
０）に映出して磁区観察する。このようにすれば、例え
ば試料（１１）に研磨跡等が存在する場合においてこれ
によるいわゆるバックグラウンドノイズは、減算操作で
排除されるのでＳ／Ｎが高い、またカー回転能の小さい
材料の試料でも確実に良好に磁区観察を行うことができ
る。

上述したように、本発明装置によれば、外部磁場印加手
段（１６）により、試料（１１）に対する所要の外部磁
場印加によって目的とする磁区観察を行うことができる
ものであるが、特に本発明においては、その外部磁場印
加手段（１６）が線輪（１４）が巻装されセンターポー
ル（１３）を有する置型コ゛〆（１５）を有する構成と
したので、センターポール（１３）の先端に強い磁場を
例えば１ＯＫＯｅ発生させることができ、試料（］１）
を磁気的に飽和させるに必要な高い磁場を得ることがで
きる。尚、この感型磁石での強力な発生磁場については
、裳華房発行、近角聰信著、「強磁性体の物理（下）」
第１５４頁に記載されているように強い磁場が得られる
ことから、試料（１１）を飽和させるに充分な磁場印加
が可能となる。また、このように強い磁場印加が可能で
あることから、試料配置部（１２）と、外部磁場印加手
段（１６）との間に必要に応じζ間隙を保持させること
ができ、これによりこの外部磁場印加手段（１６）の線
輪（１４）への通電による発熱の試料（１１）への熱的
影奮を減少させることができる。

〔実施例〕

直線偏光光源ｙｉ＋＋　（１１は、例えば第１図に示す
ように、　１００Ｗの超高圧水銀灯等の光ｔＡ（１）と
、ケーラーレンズ（３）と、偏光子（４）例えば消光比
１０−５以上の方解石グラントムソンプリズムとを有し
て成る。

（５）は光源（１）としての超高圧水銀灯の起動電源を
示す。

外部磁場印加手段（１６）は、第３図にその平面図を示
し、第４図に第３図のＡ−Ａ線上の断面図を示すように
、壺型構成とする。すなわちそれぞれ高透磁率のセンタ
ーポール（１３）と、直型コア（１５）と有して成る。

直型コア（１５）は、センタボール（１３）の図におい
て下端と磁気的に密に結合された若しくは一体に構成さ
れた底面板部（１５Ａ　）と、その外周からセンターポ
ール（１３）と同心的に上方に延長して配された周壁部
（１５Ｂ）と、その上端に磁気的に密に結合して底面板
部（１５Ａ）に対向して配された上面、ｔｉ部（１５Ｃ
）とを有して成る。そして上面板部（１５Ｃ）の中心部
には透孔（１５ｈ）が穿設され、これにセンターポール
（１３）の、図において上端と対向する中心部に、中心
孔（２１ａ　）を有する円１反状の例えば非磁性金属の
ＳＯＳ　３０４より成る非磁性板（２１）が嵌入かしつ
けられる。

第１図において（３０）は外部磁場印加手段（１６）の
励起用電源を示す。この外部磁場印加手段（１６）の線
輪（１４）への通電電流の変動等に因る磁場の変動は、
サブミクロンオーダの磁区の観察においζは３％以下に
抑えることが望まれる。

この外部磁場印加手段（１６）は、例えばその直型コア
の半径が７３１．非磁性板（２１）の半径が２５ｍｍと
され線輪（１４）への印加電圧が０．２１Ｖのときその
発生磁場は４　ＫＯｅ　、　０．４３Ｖのとき６．５Ｋ
Ｏｅ　。

ＩＶのとき９にＯｅを得ることができる。

そして、また、この外部磁場印加手段（１６）は、長時
間の連続使用によっても、試料（１１）及び光学系への
熱的影響を回避する上で空冷による冷却をすることが望
ましい。

そして、センターポール（１３）の上端は、円錐状に形
成されることが望ましく、この円錐状端部に、ベルチェ
素子（２２）が配される。

このベルチェ素子（２２）は、第５図に示すように、そ
の中心部にセンターポール（１３）の円錐状上端部が挿
入される例えば円筒状透孔（２２ａ）が穿設され、相対
向する両主面に印加電圧極性によって一方が冷極となり
他方が熱極となる電極（２３１）及び（２３２）が配置
された構成をとり得る。そして、一方の電極（２３１）
側を磁区観察試料配置部（１２）として、センターポー
ル（１３）の上端面とほぼ同一面を形成するようにして
これの上に磁区観察試料（１１）が載置配置されている
ようにする。

そして、ベルチェ素子（２２）の試料配置部（Ｉ２）と
は反対側がセンターポール（１３）と熱的に連結するよ
うにする。

一方、磁区観察試料（１１）を固定する固定手段（２４
）を設ける。この固定手段（２４）は、例えば対の非磁
性で熱伝導の低い例えばアルミニウムより成る抑え腕（
２５１）及び（２５２）より成る。各抑え腕（２５□）
及び（２５２）は、例えばその各外端が、感型コア（１
５）の上面阪部（１５Ｃ）にビス（２６１）及び（２６
２）によって固定されて、各内端が試料（１１）の側縁
部上に衝合して、試料（１１）を試料配置部（１２）に
向って、すなわぢこの例ではベルチェ素子（２２）に向
って、更にセンターポール（１３）の上端面に向って押
しつけて保持するようになされる。

また試料配置部（１２）には、第３図に示すように、例
えばデジタル温度計（２６）の温度検出素子（２７）例
えば熱電対を、磁区観察試料（１１）にできるだけ近接
ないしは接して配置する。そしてデジタル温度針（２６
）よりの出力をデジタルコントローラ（２８）に入力し
、ベルチェ素子（２２）電極（２３１）及び（２３２）
への印加電圧、陽性を制御し、試料載置部（１２）の温
度制御が行われるようにする。このベルチェ素子（２２
）によれば、試料（１１）の載置部（１２）の温度を一
１５℃〜＋８０℃の範囲で可変制御することができる。

一方、第１図に示すように、磁区観察試料配置部（１２
）に対向して偏光顕微鏡（２９）を設ける。

検光子（１７）は、この偏光顕？ｉｋ鏡（２９）の中間
鏡筒内検光子によって構成し得る。

（３１）は対物レンズで、この対物レンズ（３１）は、
例えば倍率が８０倍、１００倍等のレンズを用いｊする
が、その開口数Ｎ、Ａ、は、比較的小さい０．８の例え
ばニコン超長作動距離プランアクロアートＣＦＭＰＬａ
ｎ　ＥＬＪＩυ（！ｉ！！晶名）を用い得る。更に成る
場合は、対物レンズ（３１）として上述した倍率１００
倍のＮ、＾、＝０．８のレンズで、ガラスの補正環（０
，９ｍｍ〜１．５１厚のガラスの屈折率補正）のついた
レンズを用いる。

（３２）は、反射照明装置を示す。

撮像カメラ（１８）は、例えば倍率が１７倍のＣＣＤ固
体撮像カメラを用い得る。

画像処理装置（１９）は、分解能６４０　Ｘ　４８０　
Ｘ　６０ビツトで、演算機能を有し、積分最大２５６フ
レームの高速画像処理装置とし得る。

モニター用画像映出装置（２０）は、陰極線管型のテレ
ビジョン受像管によって構成し得る。

また、ビデオプリンタ（３３）が設けられ、画像映出装
置（２０）が映出した画像を必要に応じいわゆるハード
コピーとしてプリントできるようにされる。

上述した構成による磁区観察装置の光源部（１）。

外部磁場印加手段（１６）　、検光子（１７）を含めた
偏光顕微鏡（２９）、撮像カメラ（１８）等は防振台（
３４）上に互いに所定の位置関係を保持して配置される
。

上述の本発明装置を用いた磁区観察例を説明する。

観察例１ この場合の磁区観察試料（１１）は、高分子フィルム上
にスパッタによって被着された第６図に示すカーヒステ
リシスループを有する厚さ５０００人の（Ｃｏｏ、ｖｖ
　Ｃｒｏ、２３）　ｓｓ、ｖｓｃｏｏ、２ｓ　ＩＱの場
合で、このＣ。

Ｃｒ系膜の磁区構造の外部磁場依存性を測定した。

この場合、試料温度は、室温に設定した。この試料（１
１）のトルク磁力計から求めた垂直異方性磁界１１ｘは
５．５１ＪＯｅ　）で、ＶＳＭ　（振動試料型磁化特性
測定装置）から求めた垂直方向の保持力１１ｃ（±）は
４３０　（Ｏｅ）である。観察の手順は、先ず、外部磁
場印加手段（１６）を励起して試料（１１）に外部磁場
１０ＫＯｅを１４１加し、試料（１１）を磁気的に飽和
させた。この状態で顕微５Ｊｉ（２９）によって観察し
、その観察像を高速画像処理装置（１９）に記憶させた
。次に、外部磁場印加手段（１６）の線輪（１４）の通
電電流を充分緩慢に低めて試料（１１）への印加磁場を
減少させ、希望する磁場、例えば第６図のカーヒステリ
シスループの各点Ａ、Ｂ。

Ｃ，Ｄ及びＥの磁場に設定し、画像処理装置（１９）に
おいてその磁場における試料（１１）の各観察像から先
に記憶させた観察像を差し引き、更にこれを増幅して画
像映出装置に映出してこれを観察し、プリンタ（３３）
によって各設定観察磁場下での観察像をプリントした。

この場合、第２図で説明したようにバンクグラウンドノ
イズが排除された鮮明な磁区観察像が得られた。

１荀、この観察において、外部印加磁場の設定値が変動
すると、観察している磁区も変動し、時には慣性によっ
て、磁化反転が極端に進行してしまうことがある。そこ
で、今、観察例■において、その外部磁場を１０にＯｅ
から減少させ、希望の外部磁場Ｈｅｘに設定したときの
ｌＩｅ×の変ｖノが、試料（１１）の磁化の変動が、試
料（１１）の飽和磁化Ｍｓのθ％、３％、５％、１０％
、２０％になるように制御した５種類の観察を行ったと
ころ、下記表１の結果が得られた。

表１ この表１の結果から、前述したように、外部磁場印加手
段（１６）による外部ｖＬ場変動は、３％以内にとどめ
ることが望まれることが分り、これにより動作が安定し
た直型コアによる磁場印加手段が用いられ、更に空冷が
望まれることがわかる。

また、光源部（１）の光源（２）として、超高圧水銀ラ
ンプを用いる場合、その分光特性は、第７図に示ず分光
分布を有するので、本観察例１におけるように、試料（
１１）としてＧｏ−Ｃｒ　ｎ＊である場合、４９０ｎｍ
以上の波長の光をカットするように、ケーラーレンズ（
３）の前段にフィルターを配することによって、磁区観
察をより鮮明に行うことができた。

これは、Ｃｏ−Ｃｒ　Ｉｆｆのカー回転角θにの波長依
存性ノ にλは光源の波長、　Ｎ、Ａ、は対物レンズ（３１）の
開口数）の兼ね合いによるものと思われる。

観察例２ この場合、磁区観察試料（１１）は、第８図に示すよう
にガラス基板（４１）上に、厚さ８００人のシリコン系
より成る保護ＩＱ（４２）を介してＧ　ｄ　Ｔｂ　Ｆ　
ｅ系磁性薄股（４３）が被着され、これの上に史に厚ざ
１５００人のシリコン系より成る保護１１Ｑ　（４４）
が被着された構成を有する光磁気ディスクであり、情報
ビット、すなわちバブル磁区が形成されていて、これを
観察しようとするものである。この場合、対物レンズ（
３１）は、倍率１００倍、Ｎ、八、＝０．８を用いた。

その観察は、外部磁場を印加しない状態で光源部（１）
からの偏光を保護膜（４４）から照射し、反射光を検光
子（８）を通じて撮像カメラ（１８）で撮像し、画像映
出装置に映出して観察する。このとき検光子（８）の光
軸設定を調整することによって鮮明な磁区観察を行うこ
とができた。

観察例３ 光磁気ディスクの基板（４１）としてガラス基板（複屈
折の２重パスが１０ｎｍ）を用い、信号を記録し、その
記録情報ビットを観察例２と同様の方法によるも、その
観察を基板（４）側から行った。また、この場合、対物
レンズ（３１）は倍率４０倍、　Ｎ、Ａ、＝０．５で、
θ〜２ｍｍ厚のガラスの屈折率補正する補正環を有する
レンズを用いた。この場合、鮮明な磁区観察を行うこと
ができた。

比較例１ 光磁気ディスクの基板（４１）としてポリカーボネート
基＋Ｆｉ（複屈折の２重パスが２０ｎｍを超える）を用
い、信号を記録し、その記録情報ビットを観察例３と同
様の方法によって行った。この場合、観察像の歪みが大
きく画像処理磁区観察を行うことができなかった。

観察例４ 観察例２における同様の試料（１１）に対して同様の方
法によって基板（４１）側から磁区観察を行ったが、こ
の観察例では、対物レンズ（３１）として倍率が１００
倍、　Ｎ、Ａ、＝０．８で、ガラスの補正環（０，９ｍ
ｍ〜１　、５ｍｍ厚のガラスの屈折率を補正する）がつ
いたレンズを用いた。この場合においても明瞭な観察が
行われた。

比較例２ ス・ｌ物しンズ（３１）として、倍率が１００倍で、Ｎ
、八、＝０．９のレンズにコンＭＰ／　ａｎ　１００：
製品名）を用いて観察例２と同様の観察を行った。この
場合、磁区の＆１１察は不鮮明であった。

比較例２におけるようにＮ、Ａ、が０．９の場合は、観
察画像が不鮮明となるが、観察例２及び３におけるよう
にＮ、Ａ、　＝　０．８である場合は、倍率が１００倍
の対物レンズで鮮明な磁区観察が可能になった。

これは、直線偏光によるものであることで、レンズのひ
ずみが大きく影響してくるが、Ｎ、Ａ、−０，８のレン
ズであれば、ひずみが出にくくなることに因る。しかし
ながらＮ、Ａ、−０，８で充分観察に支障ノ Ｎ、Ａ、が０．８未満のものを用いる必要はない。

上述した観察例２では、基Ｉｔ（４１）とは反対側から
磁区観察を行った場合であるが、一般の光磁気ディスク
においては、磁性薄膜（４３）の基板（４Ｉ）とは反対
側にＡ／％等による反射膜が設けられ、基板（４１）側
から記録情報ビットの読み出しがなされるものであり、
磁区観察においても基＋Ｍ（４１）側から観察すること
が望ましい。この場合基ｆｆ１（４１）としては、基［
１ｉ（４１）における複屈折ムこよって磁区観察が阻害
されることがないように複屈折の小さい具体的には２重
パスが２０ｎｍ以下の材料の例えばガラス基板によって
構成する。

観察例５ 篩分子フィルム上にＤＣマグネトロンスパッタ法により
、膜厚０．２μｍのＣｏ−Ｃｒ磁性膜が被着された垂直
磁気記録媒体に波長が１０μｍの記録信号により、固定
磁気ヘッドによってトランク幅２６μｍの磁気記録を行
った。この磁気記録媒体に、外部磁場を印加しない状態
でそのＣｏ−Ｃｒ磁性膜側から、光源部（１１からの偏
光を照射して第２図ｍで説明した手順をとって磁区の観
察を行った。この場合、対物レンズ（３１）は倍率１０
０　、　Ｎ、八、＝０．８とした。この場合、鮮明な磁
区観察を行うことができた。

比較例３ 観察例４における試料に対して検光子（１７）を第１の
回転位置において固定し、画像処理を行わなかった。こ
の場合、磁区は全く観察できなかった。これはＣｏ−Ｃ
ｒ磁性）模のカー回転角が小さ過ぎるため、明暗差が小
さく人間の視覚では磁区の反転部分の見分りができない
ためである。

〔発明の効果〕

本発明装置によれば、磁区観察試料（１１）に、外部磁
場を印加する外部磁場印加手段（１６）を設けたことに
よって、例えば第２図で説明したように、飽和状態から
所望の磁場印加に変化させてそれぞれバックグラウンド
ノイズを排除した状態で、しかも各所望の磁場下での磁
区観察を行うことができるなど、外部磁場印加の下での
磁区観察を行うことができるものである。そして、特に
本発明においては、その外部磁場印加手段（１６）とし
て、磁気的に閉じられた電型コア構成としたので、セン
ターポール（１３）から効率良く大なる磁場の発生がで
き、例えばＯ〜１０ＸＯｅに及ぶ大きな磁場の発生が可
能であることから、磁区観察試料（ＩＩ）において磁気
飽和状態を確実に形成することができ、確実にバックグ
ラウンドノイズの排除操作を実現することができ、これ
に伴ってカー回転角の小さい材料による試料（１１）に
対しても確実な磁区観察を行うことができる。尚、壺型
コアの上面板部（１６）をセンターポール（１３）の周
辺におい°（非磁性板（２１）とするときは、閉ｖｉ、
路構成としたにもかかわらずセンターポール（１３）近
傍の磁場を、より水平成分の小さい磁場とすることがで
きる。これについて微小領域測定用ホール素子で測定し
たところ水平（センターポール（１３）の軸心と直交す
る方向）成分は、垂直成分に比し殆んど無視できる程度
であることが確かめられた。

また、センターポール（１３）の端部にベルチェ素子（
２２）を配するときは、装置全体を恒温槽内に配置する
場合におけるような、装置の大型化を招来することが回
避できると共に、目的とする磁区観察試料（１１）のみ
を所要の温度の例えば−１５℃〜８０℃に設定できるも
のであり、光学系等の加熱・冷却等を嫌う部分について
は、その加熱・冷却を回避して各温度下での磁区観察を
行うことができる。また、ベルチェ素子（２２）の試料
（１１）の配置部とは反対側の極をセンターポール（１
３）に熱的に結合しておくことによってセンターポール
（１３）を通じての放熱を行うか、或いはセンターポー
ル（１３）を冷却する効果が得られ、より熱的に安定し
た連続的磁区観察を行うことができる。

また、サブミクロンオーダーの磁区観察において、試料
（１１）自体の磁区観察時の移動はｈカ回避されること
が望まれるが、上述したように、固定手段（２４）を設
けるときは、磁区観察試料（１１）の磁性が、外部磁場
印加手段（１６）つまり、７１ｕ磁石の磁界変動によっ
て移動するような不都合を回避でき、より安定した磁区
観察を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の一例の構成図、第２図Ａ〜Ｃは磁
区観察の一例における撮像光学像の説明図、第３図は磁
場印加手段の上面図、第４図は第３図のＡ−Ａ線の断面
図、第５図はベルチェ素子の配置部の一例の断面図、第
６図は磁区観察試料の一例のカーヒステリシスループ図
、第７図は超高圧水銀ランプの分光分布図、第８図は磁
区観察試料の一例の断面図である。 （１）は直線偏光光源部、（２）は光源、（４）は偏光
子、（１１）は磁区観察試料、（１２）は磁区観察試料
配置部、（１３）はセンターポール、（１４）は線輪、
（１５）は直型コア、（１６）は外部磁場印加手段、（
１７）は検光子、（１８）は撮像カメラ、（１９）は画
像処理装置、（２０）はモニター用画像映出装置である
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 直線偏光光源部と、 磁区観察試料配置部と、 該磁区観察試料配置部に端部が対向するセンターポール
   を有し、線輪が内装された壺型コアを有して成る磁区観
   察試料に対する直流外部磁場印加手段と、 検光子と、 撮像カメラと、 画像処理装置と、 モニター用画像映出装置とを具備して成り、上記光源部
   からの直線偏光を上記磁区観察試料に照射し、該磁区観
   察試料からの該試料における磁化状態に応じた光−磁気
   相互作用を受けた偏光面変調光に基く上記検光子の通過
   後の光学像を上記撮像カメラによって撮像し、その撮像
   出力を画像処理装置に入力し、上記モニター用画像映出
   装置で上記光学像に基く映像を再生して上記磁区観察試
   料の磁区観察を行うことを特徴とする磁区観察装置。