JPH0241563Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0241563Y2 JPH0241563Y2 JP1984102804U JP10280484U JPH0241563Y2 JP H0241563 Y2 JPH0241563 Y2 JP H0241563Y2 JP 1984102804 U JP1984102804 U JP 1984102804U JP 10280484 U JP10280484 U JP 10280484U JP H0241563 Y2 JPH0241563 Y2 JP H0241563Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cell
- light
- gas analyzer
- wall surface
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は多層膜干渉フイルタを備えたガス分析
計に関し、特に、そのような分析計におけるセル
の構造の改良に関する。
計に関し、特に、そのような分析計におけるセル
の構造の改良に関する。
一般に、ガス分析計に用いるセルの内壁は、金
メツキ等により鏡面に形成するのが従来の技術常
識である。これは、検出器に入射する光量を多く
して、感度を上げるというのがその主たる理由で
ある。
メツキ等により鏡面に形成するのが従来の技術常
識である。これは、検出器に入射する光量を多く
して、感度を上げるというのがその主たる理由で
ある。
しかし、多層膜干渉フイルタを備えた分析計に
おいては次のような不都合がある。即ち、セル内
壁が鏡面であると、鏡面からの反射光も検出器に
入射するが、この入射光はフイルタに対して斜め
に入射することになる。一方、多層膜干渉フイル
タにおいては、入射光が斜めであると、その中心
波長がずれるという特性がある。
おいては次のような不都合がある。即ち、セル内
壁が鏡面であると、鏡面からの反射光も検出器に
入射するが、この入射光はフイルタに対して斜め
に入射することになる。一方、多層膜干渉フイル
タにおいては、入射光が斜めであると、その中心
波長がずれるという特性がある。
このため、上記の場合、測定波長域において検
出器に入射する光量が減少し、感度が低下すると
ともに、中心波長がずれる方向の干渉成分の影響
が大きくなるといつた欠点がある。
出器に入射する光量が減少し、感度が低下すると
ともに、中心波長がずれる方向の干渉成分の影響
が大きくなるといつた欠点がある。
かかる欠点を解消する手段として、
中心波長の異なるフイルタを多種作り、最適
のものを選択使用する、 フイルタを光軸に対して傾むけて取り付け
る、 斜入射光を遮ぎるスリツトを設ける、 こと等が考えられる。
のものを選択使用する、 フイルタを光軸に対して傾むけて取り付け
る、 斜入射光を遮ぎるスリツトを設ける、 こと等が考えられる。
しかし、上記の手段は、セル長、検出器の位
置、セル窓の汚れによつて入射角にバラツキがあ
るため、最適のものを選択することが大変面倒で
あるほか、セル窓の汚れは経時的に変化するた
め、一時的に最適であつても時間とともに不適当
なものとなり、上述した支障を生ずる。
置、セル窓の汚れによつて入射角にバラツキがあ
るため、最適のものを選択することが大変面倒で
あるほか、セル窓の汚れは経時的に変化するた
め、一時的に最適であつても時間とともに不適当
なものとなり、上述した支障を生ずる。
また、，の手段は角度微調整機構やスリツ
ト可変微調整機構を設けなければならず、装置が
大がかりとなるほか、前述の各微調整機構は振動
に対して弱く、故障し易いという問題点がある。
ト可変微調整機構を設けなければならず、装置が
大がかりとなるほか、前述の各微調整機構は振動
に対して弱く、故障し易いという問題点がある。
〔考案の目的〕
本考案は、上述の問題点を一挙に解決すべくな
されたもので、フイルタの中心波長のズレを簡便
かつ安価に防止した分析精度の高いガス分析計を
提供することを目的とする。
されたもので、フイルタの中心波長のズレを簡便
かつ安価に防止した分析精度の高いガス分析計を
提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本考案に係るガス分
析計はセルを通過した光源からの光が多層膜干渉
フイルタを介して検出器に入射されるようにした
ガス分析計において、前記多層膜干渉フイルタへ
の斜め入射光を無視できる程度に低減し得るよう
に、前記セルの内壁面を粗面加工したことを特徴
としている。
析計はセルを通過した光源からの光が多層膜干渉
フイルタを介して検出器に入射されるようにした
ガス分析計において、前記多層膜干渉フイルタへ
の斜め入射光を無視できる程度に低減し得るよう
に、前記セルの内壁面を粗面加工したことを特徴
としている。
第１図は本考案に係るガス分析計、例えば赤外
線ガス分析計の一例を示している。図において、
１０は測定ガスの導入口１１、導出口１２を有す
るセル、２０はこのセル１０の一端側に配置され
た赤外線を発生する光源、３０はセル１０の他端
側に配置された検出部、４０はセル１０と検出部
３０との間に設けられ、モータ４１により駆動さ
れるチヨツパである。前記検出部３０は例えばパ
イロセンサよりなる比較波長検出器３１と測定波
長検出器３２及び測定ガス中の測定装置対象であ
る特定成分が吸収する特定吸収帯域の波長を通過
させるための多層膜干渉フイルタ（以下、フイル
タという）３３と前記特定成分に対して吸収帯域
がないか或いは無視できる程度の吸収しかないと
ころの波長を通過させるための多層膜干渉フイル
タ（以下、フイルタという）３４とより成り、こ
れらセル１０、光源２０、検出部３０、チヨツパ
４０の光学的配置は従来のこの種ガス分析計のそ
れと何ら変わるところがない。
線ガス分析計の一例を示している。図において、
１０は測定ガスの導入口１１、導出口１２を有す
るセル、２０はこのセル１０の一端側に配置され
た赤外線を発生する光源、３０はセル１０の他端
側に配置された検出部、４０はセル１０と検出部
３０との間に設けられ、モータ４１により駆動さ
れるチヨツパである。前記検出部３０は例えばパ
イロセンサよりなる比較波長検出器３１と測定波
長検出器３２及び測定ガス中の測定装置対象であ
る特定成分が吸収する特定吸収帯域の波長を通過
させるための多層膜干渉フイルタ（以下、フイル
タという）３３と前記特定成分に対して吸収帯域
がないか或いは無視できる程度の吸収しかないと
ころの波長を通過させるための多層膜干渉フイル
タ（以下、フイルタという）３４とより成り、こ
れらセル１０、光源２０、検出部３０、チヨツパ
４０の光学的配置は従来のこの種ガス分析計のそ
れと何ら変わるところがない。
本考案の最も特徴的かつ重要な構成は、前記セ
ル１０の内壁面１３がフイルタ３３，３４への斜
め入射光を無視できる程度に低減し得るように、
前記セル１０の内壁面１３を粗面加工したことで
ある。すなわち、斜め入射光をセル１０内におい
て吸収あるいは減衰させるように、サンドプブラ
ストまたはサンドペーパ加工によつて内壁面１３
を粗面加工し、内壁面１３に粗面１３′を形成し
たのである。
ル１０の内壁面１３がフイルタ３３，３４への斜
め入射光を無視できる程度に低減し得るように、
前記セル１０の内壁面１３を粗面加工したことで
ある。すなわち、斜め入射光をセル１０内におい
て吸収あるいは減衰させるように、サンドプブラ
ストまたはサンドペーパ加工によつて内壁面１３
を粗面加工し、内壁面１３に粗面１３′を形成し
たのである。
このようにして、セル１０の内壁面１３を粗面
加工することにより、従来問題となつていた斜め
入射光をセル１０内で十分に吸収或いは減衰する
ことができる。従つて、フイルタ３３，３４への
斜め入射光は無視できる程度にまで低減され、フ
イルタ３３，３４への入射光の大部分が光源２０
からの平行光線となり、フイルタ３３，３４の中
心波長のずれが生じることがなくなり、分析精度
が向上する。
加工することにより、従来問題となつていた斜め
入射光をセル１０内で十分に吸収或いは減衰する
ことができる。従つて、フイルタ３３，３４への
斜め入射光は無視できる程度にまで低減され、フ
イルタ３３，３４への入射光の大部分が光源２０
からの平行光線となり、フイルタ３３，３４の中
心波長のずれが生じることがなくなり、分析精度
が向上する。
第２図は本考案の他の実施例を示すもので、第
１図のものと異なるところは、セル１０に温度調
節器５０を設けた点である。上述のように、セル
１０の内壁面１３が斜め入射光を吸収すると、セ
ル１０自体の温度が上昇し、分析に悪影響が及ぶ
ため、ペルチエ型クーラ、ヒータ型温度調節器に
よつて、セル１０の温度調節を行なうようにした
ものである。そして、上述の各実施例において、
内壁面１３を例えば塩化ビニルやアクリルなどの
プラスチツクで構成してもよく、さらに、セル１
０自体をプラスチツクで構成してもよい。
１図のものと異なるところは、セル１０に温度調
節器５０を設けた点である。上述のように、セル
１０の内壁面１３が斜め入射光を吸収すると、セ
ル１０自体の温度が上昇し、分析に悪影響が及ぶ
ため、ペルチエ型クーラ、ヒータ型温度調節器に
よつて、セル１０の温度調節を行なうようにした
ものである。そして、上述の各実施例において、
内壁面１３を例えば塩化ビニルやアクリルなどの
プラスチツクで構成してもよく、さらに、セル１
０自体をプラスチツクで構成してもよい。
なお、本考案は上述の実施例のみに限定される
ものではなく、例えば検出部３０において設ける
検出器３１、フイルタ３３は２以上の複数個であ
つてもよい。また、検出器３１，３２として例え
ばパイロセンサや半導体センタを用いた固体検出
器であつても、又、マイクロホンコンデンサを用
いたガス封入式検出器であつてもよい。そして、
セル１０は２又はそれ以上の所謂マルチタイプで
あつてもよい。更に、光源２０からの光は紫外線
や可視光線であつてもよい。
ものではなく、例えば検出部３０において設ける
検出器３１、フイルタ３３は２以上の複数個であ
つてもよい。また、検出器３１，３２として例え
ばパイロセンサや半導体センタを用いた固体検出
器であつても、又、マイクロホンコンデンサを用
いたガス封入式検出器であつてもよい。そして、
セル１０は２又はそれ以上の所謂マルチタイプで
あつてもよい。更に、光源２０からの光は紫外線
や可視光線であつてもよい。
即ち、本考案はセル１０を通過した光源２０か
らの光がフイルタ３３，３４を介して検出器３
１，３２に入射されるようにしたガス分析計であ
れば適用が可能となる。
らの光がフイルタ３３，３４を介して検出器３
１，３２に入射されるようにしたガス分析計であ
れば適用が可能となる。
第３図はCO（中心波長4.6μｍ）分析用のフイル
タにおける中心波長を示す分光図であり、曲線
はサンドブラストによる粗面加工を施こしたセル
を用いた場合、曲線はサンドペーパで粗面加工
したセルを用いた場合、曲線は従来の金メツキ
仕上によるセルを用いた場合をそれぞれ示してお
り、曲線に比して曲線，は殆んど中心波長
にズレを生じていないことを示している。
タにおける中心波長を示す分光図であり、曲線
はサンドブラストによる粗面加工を施こしたセル
を用いた場合、曲線はサンドペーパで粗面加工
したセルを用いた場合、曲線は従来の金メツキ
仕上によるセルを用いた場合をそれぞれ示してお
り、曲線に比して曲線，は殆んど中心波長
にズレを生じていないことを示している。
以上詳述したように、本考案によれば斜め入射
光によるフイルタの中心波長のズレを極めて簡単
に防止できるので、ガス分析計の分析精度が大巾
に向上される。そして、従来のガス分析計のよう
にセルの内壁面に金メツキを施す必要がなく、セ
ルの内壁面をサンドブラストまたはサンドペーパ
加工といつた極めて簡便でしかも安価な手法によ
つて粗面加工するだけでよいから、装置を安価に
製作できる。
光によるフイルタの中心波長のズレを極めて簡単
に防止できるので、ガス分析計の分析精度が大巾
に向上される。そして、従来のガス分析計のよう
にセルの内壁面に金メツキを施す必要がなく、セ
ルの内壁面をサンドブラストまたはサンドペーパ
加工といつた極めて簡便でしかも安価な手法によ
つて粗面加工するだけでよいから、装置を安価に
製作できる。
第１図は本考案に係るガス分析計の一例を示す
構成図、第２図は本考案の他の実施例を示す構成
図、第３図はフイルタにおける中心波長を示す分
光図である。 １０……セル、１３……内壁面、２０……光
源、３３，３４……多層膜干渉フイルタ、５０…
…温度調節器。
構成図、第２図は本考案の他の実施例を示す構成
図、第３図はフイルタにおける中心波長を示す分
光図である。 １０……セル、１３……内壁面、２０……光
源、３３，３４……多層膜干渉フイルタ、５０…
…温度調節器。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) セルを通過した光源からの光が多層膜干渉フ
イルタを介して検出器に入射されるようにした
ガス分析計において、前記多層膜干渉フイルタ
への斜め入射光を無視できる程度に低減し得る
ように、前記セルの内壁面を粗面加工したこと
を特徴とするガス分析計。 (2) 前記セルが温度調節されていることを特徴と
する実用新案登録請求の範囲第(1)項記載のガス
分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984102804U JPS6117651U (ja) | 1984-07-07 | 1984-07-07 | ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984102804U JPS6117651U (ja) | 1984-07-07 | 1984-07-07 | ガス分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6117651U JPS6117651U (ja) | 1986-02-01 |
| JPH0241563Y2 true JPH0241563Y2 (ja) | 1990-11-06 |
Family
ID=30662201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984102804U Granted JPS6117651U (ja) | 1984-07-07 | 1984-07-07 | ガス分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6117651U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027596A1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Nok Corporation | Co sensor |
| JP2013540986A (ja) * | 2010-07-12 | 2013-11-07 | ナノスポツト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 人工膜又は生体膜の特性の光学測定のための微小構造化された測定チップ及びその製造のための方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SE0802069A1 (sv) | 2008-09-30 | 2010-03-31 | Senseair Ab | Ett för en spektralanalys av höga gaskoncentrationer anpassat arrangemang |
| JP2013205052A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Yazaki Corp | 気体サンプル室及びガス濃度測定装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS616440Y2 (ja) * | 1977-02-04 | 1986-02-26 | ||
| JPS5555240A (en) * | 1978-10-20 | 1980-04-23 | Toshiba Corp | Flow cell |
| JPS6032594Y2 (ja) * | 1980-02-12 | 1985-09-28 | 横河電機株式会社 | ガス分析計 |
-
1984
- 1984-07-07 JP JP1984102804U patent/JPS6117651U/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001027596A1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Nok Corporation | Co sensor |
| JP2013540986A (ja) * | 2010-07-12 | 2013-11-07 | ナノスポツト・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 人工膜又は生体膜の特性の光学測定のための微小構造化された測定チップ及びその製造のための方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6117651U (ja) | 1986-02-01 |
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