JPH0241592Y2

JPH0241592Y2 -

Info

Publication number: JPH0241592Y2
Application number: JP5272583U
Authority: JP
Priority date: 1983-04-11
Filing date: 1983-04-11
Publication date: 1990-11-06
Also published as: JPS59158072U

Description

【考案の詳細な説明】

（技術分野）本考案は、磁化特性測定装置、更に詳しくは異
常ホール効果を利用して磁化特性を極めて簡便、
高精度で、かつ再現性良く測定可能な磁化特性測
定装置に関するものである。（従来技術）従来磁化特性の測定には、試料振動型磁力計、
トルク磁力計、磁気光学効果を利用した装置等が
用いられている。しかし、これらはいずれも装置
が複雑、大型、高価であり、また、調整、取扱い
が面倒である。例えば、磁気光学効果を利用した
装置は、偏光子を通したレーザー光を、励磁用コ
イル中に設置した試料に照射し、反射光または透
過光を分離し検光子を通してその強度を測定する
ものであるが、定盤、レーザー、鏡、偏光板、ビ
ームスプリツター、光検出器などが必要で、大
型、複雑、高価であり、精密な測定にはレーザー
の安定化、光路の調整などを入念に行わねばなら
ず、また、試料の凹凸、汚れにも著しく影響を受
けるなど調整、取扱いも面倒であつた。これに対
し、異常ホール効果を利用したものは、磁化特性
を簡便に精度良く測定できる。しかし、異常ホー
ル効果を利用するには、従来、蒸着、スパツタ時
にマスクを用いるか、エツチングするなどして試
料にパターニングを行う必要があるため面倒で効
率が悪く、試料も破壊検査となつてしまうという
問題があつた。以上のように、従来の磁化特性測定装置は、複
雑、大型、取扱いが面倒であるなどの問題、欠点
を免れないのが実情である。（考案の目的）本考案は、このような従来の欠点を除去するも
ので、試料用ホルダーと励磁用コイル等を組合わ
せることにより小型、簡便で、高精度の磁化特性
測定が行えるようにしたものである。以下本考案
の一実施例を図面により詳細に説明する。（考案の構成）第１図は試料を組込んだ異常ホール効果検出用
試料ホルダー１１の正面図で、磁性体試料１の一
面に平面型のヒーター２を重ね、これを下部カバ
ー３と上部カバー４で挾持し、ねじ５で固定でき
るようにしたものである。この上部カバー４は第
２図に示すように試料１の大きさをカバーできる
大きさとし、その両端近傍には試料１に電流を均
一に流すための帯状の通電用電極６，６′が対向
して設けてある。７，７′はホール電圧検出用の
電極で、２点間の電圧を検出するため小さな丸型
の電極とし、電極６，６′間の中央部に前記電流
の流れに対し直交するように配置される。なお、
各々の電極６，６′，７，７′は試料面との接触を
良好とするため、金メツキを施し、スプリングを
取付けるか、或いは弾性のある板ばねとする。８
は試料面の温度を検出するための熱電対であり、
試料１との短絡を防ぐため薄くテフロン等でコー
トしてある。なお下部カバー３は強じん、非磁性
で、耐熱性に富む材料、例えばテフロン等を用い
る。また上部カバー４は下部カバー３と同様に強
じん、非磁性、耐熱性に優れたもので、かつ前述
の各電極間を絶縁するため絶縁材料とするか導電
材料の場合にはテフロンコートするなどして絶縁
を保つようにする。第３図は、試料を異常ホール効果検出用試料ホ
ルダーにセツトした本考案磁化特性測定装置の一
実施例を示す構成図である。図において、９は励
磁用コイル１０に電流を供給する三角波電源、１
０，１０′は前記試料１における通電方向及びホ
ール電圧検出方向のそれぞれと直交する方向に磁
界を発生する一対の励磁用コイル、１１は前記異
常ホール検出用試料ホルダーで、一対の励磁用コ
イル１０，１０′が発生する磁界中に挿設する。
１２は通電用電極６，６′を介して試料１に電流
を供給する直流安定化電源、１３はＸ，Ｙレコー
ダーで、Ｘ方向に三角波電源９からの電圧を入力
し、Ｙ方向には異常ホール電圧を入力し、磁化曲
線を記録する。これからわかるようにこの磁化特
性測定装置は調整の必要な部分が全くなく、振動
の影響もなく、小型、低価格とすることができ
る。第４図は磁気カー（Kerr）効果により測定し
た18at％Tb−Feおよび20at％Tb−Fe垂直磁化膜
（スパツタリング中のArガス圧；PAr＝10，20ｍ
Torr）の磁化曲線であり、第５図は同一の試料
をこの測定装置により測定した磁化曲線である
が、形は良く一致している。（保磁力は全く同じ。
Ｙ軸方向に違うのは力−回転角とホール電圧の相
違によるもの）。なお、第４図において(イ)は18at
％Tb−Fe（PAr＝10ｍTorr）、(ロ)は18at％Tb−
Fe（PAr＝20ｍTorr）、(ハ)は20at％Tb−Fe（PAr
＝10ｍTorr）、(ニ)は20at％Tb−Fe（PAr＝20ｍ
Torr）、また第５図において(イ)′は18at％Tb−Fe
（PAr＝10ｍTorr）、(ロ)′は18at％Tb−Fe（PAr＝
20ｍTorr）、(ハ)′は20at％Tb−Fe（PAr＝10ｍ
Torr）、(ニ)′は20at％Tb−Fe（PAr＝20ｍTorr）
である。このホルダーを用いれば、パターニング
なしで磁化特性を精度良く測定できることがわか
る。また、Tb−Fe（20、22、25、30、35、39at％
Tb）垂直磁化膜、Gd−Fe（20、25、28、31、
35at％Gd）垂直磁化膜、Dy−Fe（18、20、22、
25、30at％Dy）垂直磁化膜などについて検討し
た場合も同様な結果を得ている。なお、高温での磁化特性を測定する場合には、
磁気カー効果を利用する場合と、本磁化特性測定
装置を用いる場合では、精度、簡便さに著しい相
違がある。すなわち、磁気カー効果により、高温
での磁化特性を測定するには、試料をジヤーに入
れ全体を加熱する方法がとられるが、対流などに
よるガスの乱れにより精度良く測定することは困
難となる。しかし、本磁化特性測定装置を用いれ
ば、試料１に重ねて配置されたヒーター２を加熱
させ、それにより試料１を加熱させるだけで300
℃以上の高温まで簡便に精度良く磁化特性を測定
することが可能で、キユーリー点の測定も容易で
ある。表１に高周波スパツタ法により作製した
Tb−Fe、Gd−Fe、Dy−Fe垂直磁化膜につい
て、本磁化特性測定装置により測定したキユーリ
ー点を示す。この値は文献等で報告されている他
の装置による測定値と良く一致している。

【表】（考案の効果）以上の記載から明らかなように、この考案は原
理的には異常ホール効果を利用して、試料に電流
を流しホール電圧を検出するだけの簡単な構成で
あり、ホルダーはシンプルで調整は全く不要で、
簡便に、精度良く磁化特性を測定することができ
る。また、ヒーターと熱電対を組み込んだことに
より300℃以上の高温まで正確にかつ再現性良く
磁化特性を測定できる。その上、磁化特性を簡便
に、再現性良く、しかも安価に測定できる効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は異常ホール効果検出用試料ホルダーの
正面図、第２図は上部ホルダーの裏面図、第３図
は本考案磁化特性測定装置の一実施例を示す構成
図、第４図は磁気カー効果により測定した磁化曲
線、第５図は本考案磁化特性測定装置を用いて測
定した磁化曲線である。１……磁性体試料、２……ヒーター、３……下
部カバー、４……上部カバー、５……ねじ、６，
６′……通電用電極、７，７′……ホール電圧検出
用電極、８……熱電対、９……三角波電源、１
０，１０′……励磁用コイル、１１……異常ホー
ル効果検出用試料ホルダー、１２……直流安定化
電源、１３……Ｘ，Ｙレコーダー。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】磁界を発生する一対の励磁用コイルと、該励磁
用コイルに励磁電力を供給する第１の電源と、前
記磁界に挿設する磁性体試料を保持する試料ホル
ダーと、該磁性体試料に通電する第２の電源と、
前記第１の電源の出力電圧並びに前記磁性体試料
から得られるホール電圧により、該磁性体試料の
磁化特性曲線を得る手段とにより構成された磁化
特性測定装置において、前記磁性体試料の表面の両端部に対向して当接
し、該磁性体試料に所定の方向に均一な電流を通
電する一対の通電用電極及び、前記通電方向と直
交する方向に所定の間隔を置いて、前記磁性体試
料の表面中央部に当接し、ホール電圧を検出する
一対のホール電圧検出用電極並びに前記磁性体試
料の表面に当接し、該磁性体試料の温度を検出す
る温度検出手段とを設けた上部カバーと、前記磁性体試料の裏面に密接し該磁性体試料を
加熱する平面型ヒーターと、前記磁性体試料と前記平面型ヒーターとを、前
記上部カバーと共に挾持する下部カバーとにより
形成した試料ホルダーを有するものであることを
特徴とする磁化特性測定装置。