JPH0241889A - クリーンロボット - Google Patents
クリーンロボットInfo
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- JPH0241889A JPH0241889A JP18800888A JP18800888A JPH0241889A JP H0241889 A JPH0241889 A JP H0241889A JP 18800888 A JP18800888 A JP 18800888A JP 18800888 A JP18800888 A JP 18800888A JP H0241889 A JPH0241889 A JP H0241889A
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- JP
- Japan
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- robot
- clean
- dust
- control device
- work robot
- Prior art date
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
- B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明はクリーンルーム内などで作業を行うための作業
用ロボットに関するものである。
用ロボットに関するものである。
（従来の技術）
従来、クリーンルームで作業を行うロボットには発塵を
防ぐ対策が必要であるが、これまでのクリーンロボット
は、従来の産業用ロボットに防塵対策を施したようなも
のが多かった。このような追加された防塵対策の設備の
ため、設置面積を広くとってしまいクリーンルームとい
う限られた空間に適さなくなるという不具合が生じてい
た。
防ぐ対策が必要であるが、これまでのクリーンロボット
は、従来の産業用ロボットに防塵対策を施したようなも
のが多かった。このような追加された防塵対策の設備の
ため、設置面積を広くとってしまいクリーンルームとい
う限られた空間に適さなくなるという不具合が生じてい
た。
このような防塵対策としては、ロボット本体の発刑部位
の近傍に吸引機構を設けたり、発塵部を取り囲むカバー
を設けたうえで吸引機構を設け、カバーの隙間より塵が
流失しないようにしていた。
の近傍に吸引機構を設けたり、発塵部を取り囲むカバー
を設けたうえで吸引機構を設け、カバーの隙間より塵が
流失しないようにしていた。
また、吸引された空気はフィルタを介して塵を除去して
からクリーンルーム内に排気するか、クリーンルーム外
に吸引・排気していた。
からクリーンルーム内に排気するか、クリーンルーム外
に吸引・排気していた。
また、制御装置はロボット本体とは別に設置するため、
制御装置用の防塵対策を別に必要としていた。この対策
としては、排気用ファンを床面に向けて設置したり、制
御装置を筐体で密封し、装置の加熱を防ぐため冷却用フ
ァンで筐体内の空気を循環させ、筐体表面から放熱する
ようにしていた。
制御装置用の防塵対策を別に必要としていた。この対策
としては、排気用ファンを床面に向けて設置したり、制
御装置を筐体で密封し、装置の加熱を防ぐため冷却用フ
ァンで筐体内の空気を循環させ、筐体表面から放熱する
ようにしていた。
（発明が解決しようとする課題）
上述のようなりリーンロボットの構成では、防塵機構の
排気パイプの設置のためクリーンロボットの移動・再設
置が困難になり、クリーンルーム内のレイアウト変更に
支障を生じることとなった。
排気パイプの設置のためクリーンロボットの移動・再設
置が困難になり、クリーンルーム内のレイアウト変更に
支障を生じることとなった。
また、制御装置にしても筐体を密閉するには、その表面
より熱交換を行うだけの表面積が必要になり、そのため
筐体表面をフィン状にしたり、表面積を大きくするため
に筐体自身を大きく形成するようにしていた。そのため
、小さな制御装置本体に対して非常に大きな筐体を設け
なければならず、クリーンルームという限られた空間の
中で非常に不合理な設計であるといえた。
より熱交換を行うだけの表面積が必要になり、そのため
筐体表面をフィン状にしたり、表面積を大きくするため
に筐体自身を大きく形成するようにしていた。そのため
、小さな制御装置本体に対して非常に大きな筐体を設け
なければならず、クリーンルームという限られた空間の
中で非常に不合理な設計であるといえた。
本発明は」二連のような不都合を解決し、クリーンルー
ム内の限られた空間を有効に活用可能なりリーンロボッ
トを提供する。
ム内の限られた空間を有効に活用可能なりリーンロボッ
トを提供する。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
クリーンルーム内で作業を行うクリーンロボットにおい
て、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、こ
の作業用ロボットおよび制御装置内部の空気の流れを作
業用ロボット上部の隙間から吸入し、クリーンロボット
全体の下部より排気するように設けたクリーンロボット
である。
て、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、こ
の作業用ロボットおよび制御装置内部の空気の流れを作
業用ロボット上部の隙間から吸入し、クリーンロボット
全体の下部より排気するように設けたクリーンロボット
である。
（作用）
上述のようにクリーンロボットを構成すると、ロボット
本体の防塵対策と制御装置の冷却及び防塵対策の３つの
機能を同時に持たせることができる。さらに、ロボット
全体の設置面積を小さくできる。
本体の防塵対策と制御装置の冷却及び防塵対策の３つの
機能を同時に持たせることができる。さらに、ロボット
全体の設置面積を小さくできる。
すなわち、第１の作用効果としてクリーンロボット内部
で塵が発塵しても内部の上から下への空気の流れにした
がって作業用ロボット及び制御装置筐体の内部を通り、
クリーンロボット本体の下部より排気されるので、クリ
ーンルーム内部に塵が飛散するのを防ぐことができる。
で塵が発塵しても内部の上から下への空気の流れにした
がって作業用ロボット及び制御装置筐体の内部を通り、
クリーンロボット本体の下部より排気されるので、クリ
ーンルーム内部に塵が飛散するのを防ぐことができる。
また、制御装置上部に作業用ロボットを設けたことによ
り、作業用ロボットの発塵を作業用ロボット上部に設け
た隙間より吸引することができる。さらに、クリーンロ
ボット本体の下部から空気を排気するようにしたことで
、クリーンルーム自身の防塵機構を用いて塵を処理する
ことができる。そのため、クリーンロボットの移動・再
配置が容易になっている。
り、作業用ロボットの発塵を作業用ロボット上部に設け
た隙間より吸引することができる。さらに、クリーンロ
ボット本体の下部から空気を排気するようにしたことで
、クリーンルーム自身の防塵機構を用いて塵を処理する
ことができる。そのため、クリーンロボットの移動・再
配置が容易になっている。
また、床面に室内の空気の吸引設備が設置されていない
場合は、排気ダクトによる室外への排気も可能である。
場合は、排気ダクトによる室外への排気も可能である。
第２の作用効果として制御装置内部の空気の流れにより
制御装置の冷却を行うことができる。これは空気の流れ
が熱交換を行った空気をクリーンロボット本体下部より
排気しているので、従来の筐体を密封したクリーンロボ
ットのように、熱交換のために筐体を必要以上に大きく
したり、筐体外部をフィン状に形成する必要を無くすと
いう効果も生じさせている。
制御装置の冷却を行うことができる。これは空気の流れ
が熱交換を行った空気をクリーンロボット本体下部より
排気しているので、従来の筐体を密封したクリーンロボ
ットのように、熱交換のために筐体を必要以上に大きく
したり、筐体外部をフィン状に形成する必要を無くすと
いう効果も生じさせている。
（実施例）
以下に本発明の一実施例を図面を用い゛Ｃ説明する。
第１図は本実施例の構成図である。作業用ロボット（１
）を移動させる移動機構（２）とが設けられている。こ
の移動機構（２）の下方にはこの作業用ロボット（１）
と移動機構（２）とを制御する制御装置（３）が設けら
れ、各被制御体に接続されている。
）を移動させる移動機構（２）とが設けられている。こ
の移動機構（２）の下方にはこの作業用ロボット（１）
と移動機構（２）とを制御する制御装置（３）が設けら
れ、各被制御体に接続されている。
この制御装置（３）は筐体（４）内部に固定支持されて
おり、筐体（４）はその上部に移動機構（２）を載置し
ている。さらに、筐体（４）上面と移動機構（２）下面
とにおいて両者は空間的に接続されており、両者の接続
部は密着されている。制御装置（３）の上方には筐体（
４）により保持された冷却用ファン（５）が設置され、
図示しない制御装置（３）の電源が入ると同時に作動す
るように接続されている。
おり、筐体（４）はその上部に移動機構（２）を載置し
ている。さらに、筐体（４）上面と移動機構（２）下面
とにおいて両者は空間的に接続されており、両者の接続
部は密着されている。制御装置（３）の上方には筐体（
４）により保持された冷却用ファン（５）が設置され、
図示しない制御装置（３）の電源が入ると同時に作動す
るように接続されている。
また、筐体（４）下部は吹抜けになっており、筐体（４
）下部全面が排気用の通気孔となっている。
）下部全面が排気用の通気孔となっている。
以下に本実施例の作用を説明する。制御装置（３）の図
示しない電源を入れると同時に冷却用ファン（５）が作
動を開始する。この冷却用ファン（５）が作動を開始す
ると、図中矢印で空気の流れを示したように移動機構（
２）内部の空気を取り込み、制御装置（３）を冷却する
。空気を取り込まれた移動機構（２）内部は負圧を生じ
ることとなり、このため作業用ロボット本体（１）移動
用の隙間穴（６）より外部の空気を流入することになる
。また、クリーンロボット内の空気の流れは制御装置（
３）を冷却し筐体（４）下部の通気孔より排気される。
示しない電源を入れると同時に冷却用ファン（５）が作
動を開始する。この冷却用ファン（５）が作動を開始す
ると、図中矢印で空気の流れを示したように移動機構（
２）内部の空気を取り込み、制御装置（３）を冷却する
。空気を取り込まれた移動機構（２）内部は負圧を生じ
ることとなり、このため作業用ロボット本体（１）移動
用の隙間穴（６）より外部の空気を流入することになる
。また、クリーンロボット内の空気の流れは制御装置（
３）を冷却し筐体（４）下部の通気孔より排気される。
ここで移動機構（２）を作動させた場合、移動機構（２
）内で作業用ロボット（１）が摺動する度に発塵する塵
は冷却ファンの起こす空気の流れにより筐体（４）内部
に取り入れられ、筐体（４）外部に排気されることとな
る。
）内で作業用ロボット（１）が摺動する度に発塵する塵
は冷却ファンの起こす空気の流れにより筐体（４）内部
に取り入れられ、筐体（４）外部に排気されることとな
る。
このとき作業用ロボット本体（１）からの発塵をクリー
ンロボット内に吸引することができるが、作業用ロボッ
ト本体（１）の排気機構については、本発明とは別に独
自の防塵機構を有していてもよい。しかし、そのような
場合はクリーンロボットの設置効率や構成などを考慮に
いれれば、作業用ロボット本体（１）で発塵した塵を吸
気した空気を移動機構（２）または筐体（４）内部に排
気するように排気口を設けた方が効率的であろう。
ンロボット内に吸引することができるが、作業用ロボッ
ト本体（１）の排気機構については、本発明とは別に独
自の防塵機構を有していてもよい。しかし、そのような
場合はクリーンロボットの設置効率や構成などを考慮に
いれれば、作業用ロボット本体（１）で発塵した塵を吸
気した空気を移動機構（２）または筐体（４）内部に排
気するように排気口を設けた方が効率的であろう。
以下に本発明の第２の実施例を図面を用いて示す。
基本的な構成は第１の実施例と同じであるが、制御装置
（２）の構成の関係で排気用の通気孔を大きく設けるこ
とができなかった。そこで第１の実施例のような筐体（
４）の下部全面を通気孔にする代りに、筐体（４）下部
の一部に通気孔を設け、この通気孔に排気用ファン（７
）を設けたものである。
（２）の構成の関係で排気用の通気孔を大きく設けるこ
とができなかった。そこで第１の実施例のような筐体（
４）の下部全面を通気孔にする代りに、筐体（４）下部
の一部に通気孔を設け、この通気孔に排気用ファン（７
）を設けたものである。
第２の実施例の作用も第１の実施例と基本的には同様で
あるが、通気孔が一箇所であるので、排気用ファン（７
）により強制的に空気の流れを通気孔に向けて作り出し
ている。また、排気用ファンに防塵フィルタを取付け、
塵をクリーンルームないに出さないようにしてもよい。
あるが、通気孔が一箇所であるので、排気用ファン（７
）により強制的に空気の流れを通気孔に向けて作り出し
ている。また、排気用ファンに防塵フィルタを取付け、
塵をクリーンルームないに出さないようにしてもよい。
上述の第１および第２の実施例のように上から下への空
気の流れをクリーンロボット内部に作り出すことにより
、クリーンルーム内の空気の流れと一致させ、発塵した
塵をクリーンルーム床面に排気することができ、簡単な
構成により容易に発塵した塵がクリーンルーム内部に飛
散することを防ぐことができる。
気の流れをクリーンロボット内部に作り出すことにより
、クリーンルーム内の空気の流れと一致させ、発塵した
塵をクリーンルーム床面に排気することができ、簡単な
構成により容易に発塵した塵がクリーンルーム内部に飛
散することを防ぐことができる。
［発明の効果］
上述のようにクリーンロボットを構成することにより、
従来のクリーンロボットの課題であった防塵機構のため
の移動・再配置の困難や装置自身の大きさ、設置面積、
形状などの問題を解決し、容易に移動・設置可能な、か
つ小面積のクリーンロボットを構成することができる。
従来のクリーンロボットの課題であった防塵機構のため
の移動・再配置の困難や装置自身の大きさ、設置面積、
形状などの問題を解決し、容易に移動・設置可能な、か
つ小面積のクリーンロボットを構成することができる。
第１図および第２図は本発明のクリーンロボットの構成
を示す構成図である。 １・・・作業用ロボット、 ２・・・移動機構、３・
・・制御装置、 ４・・・筐体、５・・・冷却
用ファン、 ６・・・隙間穴、７・・・排気用フ
ァン
を示す構成図である。 １・・・作業用ロボット、 ２・・・移動機構、３・
・・制御装置、 ４・・・筐体、５・・・冷却
用ファン、 ６・・・隙間穴、７・・・排気用フ
ァン
Claims (1)
- クリーンルーム内で作業を行うクリーンロボットにおい
て、制御装置上に作業用ロボットを一体的に構成し、こ
の作業用ロボットおよび制御装置内部の空気の流れを作
業用ロボット上部の隙間から吸入し、クリーンロボット
全体の下部より排気するように設けたことを特徴とする
クリーンロボット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63188008A JP2604012B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | クリーンロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63188008A JP2604012B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | クリーンロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0241889A true JPH0241889A (ja) | 1990-02-13 |
| JP2604012B2 JP2604012B2 (ja) | 1997-04-23 |
Family
ID=16216029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63188008A Expired - Fee Related JP2604012B2 (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | クリーンロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2604012B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996025275A1 (en) * | 1995-02-15 | 1996-08-22 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot |
| WO2010069377A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Abb Technology Ab | A kit and a method |
| CN103465274A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 昆山泰丰自动化技术有限公司 | 一种机械手控制箱散热系统 |
| JP2013545626A (ja) * | 2010-12-16 | 2013-12-26 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 |
| WO2018054535A1 (de) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | Kuka Roboter Gmbh | Manipulatorsystem mit mitteln zur erzeugung eines luftstroms |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4534404B2 (ja) * | 2001-09-21 | 2010-09-01 | 株式会社豊田自動織機 | 移載装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6294291A (ja) * | 1985-10-21 | 1987-04-30 | フアナツク株式会社 | 産業用ロボツトの防塵構造 |
| JPS62292391A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 無塵室用搬送ロボット |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP63188008A patent/JP2604012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6294291A (ja) * | 1985-10-21 | 1987-04-30 | フアナツク株式会社 | 産業用ロボツトの防塵構造 |
| JPS62292391A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 無塵室用搬送ロボット |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1996025275A1 (en) * | 1995-02-15 | 1996-08-22 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Robot |
| US5783921A (en) * | 1995-02-15 | 1998-07-21 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Welding robot with base stand having self contained welding power source |
| KR100414660B1 (ko) * | 1995-02-15 | 2004-05-22 | 가부시키가이샤 야스가와덴끼 | 로봇장치 |
| WO2010069377A1 (en) * | 2008-12-18 | 2010-06-24 | Abb Technology Ab | A kit and a method |
| JP2013545626A (ja) * | 2010-12-16 | 2013-12-26 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自動化されたハンドリング装置、特にハンドリングロボットから熱を排出する装置、並びにこの装置の使用 |
| CN103465274A (zh) * | 2013-09-24 | 2013-12-25 | 昆山泰丰自动化技术有限公司 | 一种机械手控制箱散热系统 |
| WO2018054535A1 (de) * | 2016-09-23 | 2018-03-29 | Kuka Roboter Gmbh | Manipulatorsystem mit mitteln zur erzeugung eines luftstroms |
| CN109789567A (zh) * | 2016-09-23 | 2019-05-21 | 库卡德国有限公司 | 具有用于产生气流的装置的操纵器系统 |
| CN109789567B (zh) * | 2016-09-23 | 2022-07-08 | 库卡德国有限公司 | 具有用于产生气流的装置的操纵器系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2604012B2 (ja) | 1997-04-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |