JPH0242358U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0242358U JPH0242358U JP11990888U JP11990888U JPH0242358U JP H0242358 U JPH0242358 U JP H0242358U JP 11990888 U JP11990888 U JP 11990888U JP 11990888 U JP11990888 U JP 11990888U JP H0242358 U JPH0242358 U JP H0242358U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- grounding
- piezoelectric element
- electron beam
- sample holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 claims 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本案の一実施例の概略構成図、第２図
は第１図の詳細図、第３図は他の実施例の詳細図
である。 １……試料ホルダ、２……基準面、３……接地
部材、４……試料、５……圧電素子、６……電源
、７……ばね。
は第１図の詳細図、第３図は他の実施例の詳細図
である。 １……試料ホルダ、２……基準面、３……接地
部材、４……試料、５……圧電素子、６……電源
、７……ばね。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 試料を保持する部材と、試料を固定する部材
と試料の導体部を接地する部材からなる試料ホル
ダにおいて、圧電素子を使用して接地部材を試料
に押しつける機構を有することを特徴とした電子
線描画装置の試料ホルダ。 ２ 請求の範囲第１項において、圧電素子を使用
し、接地部材を試料に押しつけた状態で微動させ
接地能力を向上させる機能を有することを特徴と
した電子線描画装置の試料ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11990888U JPH0242358U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11990888U JPH0242358U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242358U true JPH0242358U (ja) | 1990-03-23 |
Family
ID=31365551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11990888U Pending JPH0242358U (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242358U (ja) |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP11990888U patent/JPH0242358U/ja active Pending