JPH024286A - 液晶投写装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、投写装置（又は投影装置）に関し、特に、液
晶表示装置を内蔵した液晶投写装置に適用して有効な技
術に関するものである。

〔従来の技術〕

会議、講演会等のプレゼンテーションにはオーバーへラ
ドプロジェクタ（ＯＨＰ）、スライドプロジェクタ等の
投写装置が使用されている。この種の投写装置はスクリ
ーンに投写される画像が静止画像である。

最近、投写装置で投写される画像を動画像にする要求が
高まり、その研究開発が盛んに行われている。本発明者
は、アクティブマトリックス方式の２次元カラー液晶表
示装置を内蔵する投写装置（投影装置）の開発を行って
いる。この投写装置は、主に、投写用光源、その光軸上
に順次配置された前記液晶表示装置、投写用光学レンズ
の夫々で構成されている。前記液晶表示装置は動画像を
形成するために備えられている。投写用光学レンズは、
この液晶表示装置の動画像を装置の外部に配置された外
部スクリーンに投写するように構成されている。液晶表
示装置を内蔵するこの投写装置は、動画像を形成する液
晶表示装置のサイズが光軸方向において非常に小さいの
で、小型化及び携帯化できる特徴がある。

なお、この種の液晶表示装置を内蔵する投写装置につい
ては、例えばニスアイデイ　８７　ダイジェストセクシ
ョン６、第７５頁乃至第７８頁。

１９８７年（ＳＩＤ　８７　ＤＩＧＥＳＴ　５ｅｃｓｉ
ｏｎ　６．ｐｐ７５−７８．１９８７）に記載されてい
る。また、この種の投写装置については、ユーロディス
プレイ′８７．第１１５頁及び第１１６頁、　１９８７
年（ＥＵＲＯＤＩＳＰＬＡＹ’８７．ｐｐＨ５〜１１６
．１９８７）に記載されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

本発明者が開発中の前記投写装置に内蔵される２次元カ
ラー液晶表示装置は、通常のＮＴＳＣテレビ信号で投写
される動画像の実用上問題ない程度の解像度を得るため
に、約６４０Ｘ４８０個の画素（ピクセル）を配列して
いる。現状の加工技術を使用した場合、前記画素間ピッ
チの最小加工寸法は０．０６〜０．０７［ｍｍ］である
ので、画素面（液晶有効表示面）は高さ方向で３０　［
ｍｍ１．横方向で４０［ｍｍｌ、対角方向で５０　［ｍ
ｓ］程度のサイズで構成される。液晶表示装置は、前記
画素面の周囲に駆動回路が配置されるので、高さ方向が
約６０　［ｍｍ］、横方向が約７０　［ｍｍｌのサイズ
で構成されている。

このため、投写装置は液晶表示装置の厚さ方向のサイズ
（光軸方向のサイズ）が小さいのである程度の小型化を
図ることができるが、液晶表示装置の高さ方向又は横方
向のサイズが解像度で規定されているので、その方向に
おいて投・耳装置の小型化を図ることができないという
問題点があった。

また、本発明者が開発中の前記投写装置は、小型で携帯
性に優れ、あらゆる場所に持ち運びが自由であるが、場
所によっては外部スクリーン又は白壁等外部スクリーン
に相当するものがない場合がある。このような場合、前
記投写装置は動画像を投写することができないという問
題点があった。

また１本発明者が開発中の前記投写装置は、前述のよう
に小型で携帯性に優れ、あらゆる場所に持ち運びが自由
である。ところが、投写装置を携帯した場所によっては
、用意された外部スクリーンがフロントプロジェクショ
ン型の場合とりアブロジェクション型の場合とがある。

フロントプロジェクション型の外部スクリーンは動画像
を投写方向側から見れるように構成されている。リアプ
ロジェクション型の外部スクリーンは動画像を投写方向
と反対の裏側から、見れるように構成されている。この
ため、用意された外部スクリーンによって、投写装置で
投写される動画像が反転し、動画像が見苦しくなるとい
う問題点があった。

本発明の目的は、液晶表示装置を内蔵する投写装置にお
いて、前記液晶表示装置の高さ方向（水平走査方向）又
は横方向（垂直走査方向）のサイズを縮小し、小型化を
図ることが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記液晶表示装置を内蔵する投写
装置において、投写される動画像の解像度を向上するこ
とが可能な技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、前記液晶表示装置を内蔵する投写
装置において、製造上の歩留りを向上することが可能な
技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、液晶表示装置を内蔵する投写装置
において、外部スクリーン又はそれに相当するものがあ
ってもなくても動画像を投写することが可能な技術を提
供することにある。

本発明の他の目的は、液晶表示装置を内蔵する投写装置
において、投写方法によって動画像が反転することを防
止することが可能な技術を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は１本
明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろ
う。

〔課題を解決するための手段〕

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概
要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

（１）液晶投写装置において、投写用光源の光軸上に配
列された水平方向走査型（又は垂直方向走査型）の一次
元液晶表示装置と、前記投写用′光源からの光で投写さ
れる一次元液晶表示装置の１走査分の画像をその走査毎
に段階的に垂直方向（又は水平方向）に走査させる走査
手段とを具備する。

（２）前記液晶投写装置において、前記構成の他に、前
記走査手段で走査された動画像を投写する位置に配置さ
れかつその位置から回避することができる可動型スクリ
ーンを具備する。

（３）前記液晶投写装置において、前記構成の他に、前
記一次元液晶表示装置のシフトレジスタの走査方向を反
転させる手段を具備する。

〔作　　用〕

上述した手段（１）によれば、前記一次元液晶表示装置
の高さ方向（又は横方向）のサイズを縮小したので、液
晶投写装置の小型化を図ることができる。

また、前記一次元液晶表示装置は垂直方向（又は水平方
向）の画素数の制約がなくなり、横方向（又は高さ方向
）の画素数を独立的に増加することができるので、投写
される動画像の解像度を向上することができる。

また、前記一次元液晶表示装置は垂直方向（又は水平方
向）の画素数の制約がなくなり、横方向（又は高さ方向
）の画素サイズ、画素間ピッチ等の加工精度を緩和する
ことができるので、一次元液晶表示装置の製造上の歩留
りを向上することができる。

前記手段（２）によれば、前記（１）の効果の他に、前
記可動型スクリーンを投写位置から回避して外部スクリ
ーンに動画像を投写したり、外部スクリーンがない場合
でも可動型スクリーンを投写位置に配置して動画像を投
写することができる。

前記手段（３）によれば、前記（２）の効果の他に、フ
ロントプロジエクシコン時、リアプロジェクション時の
夫々において、前記一次元液晶表示装置の映像信号線（
又は走査信号線）の走査方向を反転させることができる
ので、スクリーンに投写される動画像の反転を防止する
ことができる。

この結果、投写方法による動画像の見苦しさを低減する
ことができる。

以下、本発明の構成について、一実施例とともに説明す
る。

なお、実施例を説明するための全回において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。

〔実施例〕

（実施例■） 本発明の実施例Ｉである液晶投写装置の構成を第１図（
部分断面斜視図）及び第２図（概略断面図）で示す。

第１図及び第２図に示すように、液晶投写装置（液晶投
影装置）１は、本体１０に、主に、投写用光源２０、一
次元液晶表示装置２５、投写用光学レンズ２６、ガルバ
ノミラ−（ポリゴンミラー）２７Ｂ及び可動型スクリー
ン２９を備えている。液晶表示装置２５、投写用光学レ
ンズ２６、ガルバノミラ−２７Ｂ、可動型スクリーン２
９の夫々は、投写用光源２０の光軸上に投写用光源２０
の配置された側から順次配置されている。

本体１０はこの形状に限定されないが方形状で構成され
ている。本体１０は、液晶投写装置１のフレームとして
使用されるので、適度な硬度を有しかつ軽量な材料例え
ばアルミニウム合金や硬質樹脂材料で形成されている。

前記投写用光源２０は、投写（投影）に必要な光量や波
長を有し、かつ液晶表示装置２５に熱による損傷を与え
ないような光源で形成されている。投写用光源２０は例
えばハロゲン系ランプで形成されている。この投写用光
源２０は、この形状に限定されないが、高さ方向のサイ
ズが小さくかつ一次元液晶表示装置２５の走査方向（水
平走査方向）の全域に光を照射できるように、棒状（円
柱形状）で構成されている。第１図に示すように、液晶
表示装置２５に対向する方向と反対側において、投写用
光源２０の近傍に光反射板２１が配置されている。光反
射板２１は投写用光源２０からの光を効率良く液晶表示
装置２５に照射できるように構成されている。光反射板
２１４よ例えば凹面鏡で形成されている。

投写用光源２０と液晶表示装置２５との間には、投写用
光源２０の光軸上においてその配置された側からシリン
ドリカルレンズ２２．赤外線フィルタ２３の夫々が順次
配置されている。これらは、基本的にはガラス材料で形
成するが、液晶投写装置１を軽量化するために樹脂材料
で形成してもよい。前記シリンドリカルレンズ２２は、
投写用光源２０からの光を液晶表示装置２５の画素面に
均一に照射でき、しかも高さ方向のサイズを小さくする
ことができる。

投写用光源２０からの光で投写される液晶表示装置２５
の動画像は、投写用光学レンズ２６に入射され。

ガルバノミラ−２７Ｂ及び可動型反射鏡２８で折り反し
て可動型スクリーン２９に投写される。

投写用光学レンズ２６は、液晶表示装置２５の動画像を
投写する際にその動画像の焦点を調整することができる
ように構成されている。つまり、投写用光学レンズ２６
の焦点の調整は、それ自体を光軸方向に沿った矢印六方
向に自在に動かすことで行われている。特に、液晶投写
装置１は、後に詳述するが、内蔵された可動型スクリー
ン２９、外部に配置された外部スクリーン（３０）の夫
々に動画像を鮮明に投写できるように構成されているの
で、投写用光学レンズ２６には焦点を調整する機構が必
要となる。また、投写用光学レンズ２６には倍率調整用
レンズを付加できるように構成してもよい。

前記ガルバノミラ−２７Ｂは、液晶表示装置２５の動画
像を本体１０の内部から外側の一端側に配置された可動
型反射鏡２８に向って投写（反射）するように構成され
ている。ガルバノミラ−２７Ｂの一端側はステップモー
タ２７Ａに連結されており、ガルバノミラ−２７Ｂはス
テップモータ２７Ａで矢印り方向（又は矢印ｄ方向）に
回転するように構成されている。ガルバノミラ−２７Ｂ
は、前記一次元液晶表示装置２５の１水平走査で形成さ
れる画像を走査毎に段階的に垂直方向に走査する（可動
型反射鏡２８の表面上を走査する）ように構成されてい
る。ガルバノミラ−２７Ｂは８面体で構成され、８面体
のうちの１つの反射面は１垂直走査を行い１画面を形成
するように構成されている。８面体のうちの次段の反射
面は１次の１垂直走査を行い、次の１画面を形成するよ
うに構成されている。このガルバノミラ−２７Ｂは、８
面体に限らず、２，４，６゜１０、・・・等の多面体又
は１つの反射面を有する単面体であってもよい。実用上
においてはガルバノミラ−２７Ｂは反射面の動作範囲が
少ない゛多面体の方が好ましい。このように、ガルバノ
ミラ−２７Ｂは、液晶投写装置１に水平方向走査型の一
次元液晶表示装置２５を組込むので、２次元画像を形成
するために、前記一次元液晶表示装置２５の水平方向の
走査で形成された画像を垂直方向に走査できるように構
成されている。

可動型反射鏡２８は、前記ガルバノミラ−２７Ｂで反射
された画像を本体１０の外側の他端側に配置された可動
型スクリーン２９等に投写するように構成されている。

可動型反射鏡２８は、第１図及び第２図に示すように、
矢印Ｂ方向に可動する反射鏡支持台２８Ａに回転自在に
支持されている。可動型反射１！２８は動画像の投写位
置を調整できるように構成されている。第１図及び第２
図に示すように、液晶投写装置１に内蔵された可動型ス
クリーン２９に動画像を投写する場合、可動型反射鏡２
８は矢印Ｂ方向に例えば約４５度の角度をもって設定さ
れる。また、第３図（概略断面図）に示すように、液晶
投写装置１の収納時や携帯時等、投写を行わない場合、
可動型反射鏡２８は本体１０の底面と略平行になるよう
に（０度の角度を持って）本体１０に収納される。また
、第４図（概略断面図）に示すように、液晶投写袋ｗ１
の可動型スクリーン２９側の外部に配置された外部スク
リーン３０Ａに動画像を投写する場合、前記第１図及び
第２図に示す場合と同様に、可動型反射！ｔ２８は矢印
Ｂ方向に例えば約４５度の角度を持って設定される。ま
た、同第４図に示すように、液晶投写装置１の可動型ス
クリーン２９側と反対側の外部に配置された外部スクリ
ーン３０Ｂに動画像を投写する場合、可動型反射鏡２８
は矢印Ｂ方向に例えば約１３５度の角度をもって設定さ
れる。この時、可動型反射鏡２８は反射鏡支持台２８Ａ
に対して回転させることによって前述の角度に設定する
ことができる。

前記可動型スクリーン２９は、前記可動型反射鏡２８と
対向する位置である本体１０の他端側において、可動型
反射鏡２８で動画像を投写する位・置とその位置から回
避できる位置との間つまり第２図に示す矢印Ｃ方向に自
在に可動できるように構成されている。可動型スクリー
ン２９は、第１図及び第２図に示すように、動画像を投
写する場合、矢印Ｃ方向に例えば７０〜９０度の角度を
もって設定される（動画像の投写位置に設定される）。

また、可動型スクリーン２９は、第３図及び第４図に示
すように、動画像を投写しない場合、本体１ｏの底面と
略平行になるように（０度の角度を持って）本体１０に
収納されている（動画像の投写位置から回避される）。

可動型スクリーン２９は、投写側（矢印Ｆ方向）から動
画像を見る所謂フロントプロジェクション型。

投写側と反対側（矢印Ｒ方向）から動画像を見る所謂リ
アプロジェクション型のいずれの方式で構成してもよい
。例えば、可動型スクリーン２９はフロントプロジェク
ション型で構成し、外部スクリーン３０Ａはフロントプ
ロジェクション型或はリアプロジェクション型で構成す
る。フロントプロジェクション型の可動型スクリーン２
９は例えば硬質の金属や樹脂で形成し、この可動型スク
リーン２９の画像投写面は動画像を鮮明にするために白
色或はそれに類似する塗料や板状の材料が設けられてい
る。また、可動型スクリーン２９は画像投写面となる材
料そのもの例えば樹脂で形成してもよい。また、可動型
スクリーン２９はリアプロジェクション型で構成し、外
部スクリーン３０Ａをフロントプロジェクション型或は
リアプロジェクション型で構成してもよい。リアプロジ
ェクション型の可動スクリーン２９は少なくとも画像投
写面がり′アプロジェクシゴン可能な材料、例えば光を
散乱させる機能を有するガラス、樹脂或は布で形成され
ている。

前記液晶投写装置１の本体１０の内部には図示しない冷
却用ファン、ファン駆動用トランス１３、電源回路１４
、テレビ回路１５等が内蔵され、本体１０の上部開口に
は蓋１１が着脱自在に取り付けられている。

前記冷却用ファンは、発熱源となる投写用光源２０の近
傍の本体１０に取り付けられており、本体１０の内部の
熱を外部に放出できるように構成されている。冷却用フ
ァンはファン駆動用トランス１３によって駆動されてい
る。

電源回路１４は、外部の交流電源を直流電源に変換し、
この直流電源をテレビ回路１５に供給するように構成さ
れている。テレビ回路１５は前記液晶表示装置１ｔ２５
、ステップモータ２７Ａ及びガルバノミラ−２７Ｂの夫
々を駆動するように構成されている。

このように、液晶投写装置１において、投写用光源２０
からの光で液晶表示装置２５の画像を投写する位置に配
置されかつその位置から回避することができる可動型ス
クリーン２９を備える（内蔵する）ことにより、前記可
動型スクリーン２９を投写位置から回避して外部スクリ
ーン３０Ａや３０Ｂに動画像を投写したり、外部スクリ
ーン３０Ａや３０Ｂがない場合でも可動型スクリーン２
９を投写位置に配置して動画像を投写することができる
。この結果、液晶投写装置１は、液晶表示装置２５を内
蔵するので小型であり、しかも外部スクリーン３０Ａや
３０Ｂ或はそれに相当する白壁等が存在しない場合でも
動画像を投写することができるので、携帯性をより向上
することができる。

次に、前記液晶投写装置１に内蔵された一次元液晶表示
装置２５の具体的な構造について説明する。

この液晶表示装置２５は、単板構造のカラー一次元液晶
表示装置で構成されており、その画素面の一画素を第５
図（要部平面図）で、第５図の■−■切断線で切った断
面を第６図で示す、また、液晶表示装置２５の画素面の
全体のレイアウト構成を第７図（等価回路図）で示す。

第５図及び第６図に示すように、液晶表示装置は、下部
透明ガラス基板ＳＵＢ　１の内側（液晶側）の表面上に
、薄膜トランジスタＴＰＴ及び透明画素電極ＩＴＯを有
する画素が構成されている。下部透明ガラス基板ＳＵＢ
　１は例えば１．１　［ｍｍ］程度の厚さで構成されて
いる。

各画素は、第５図乃至第７図に示すように、１本の走査
信号線（ゲート信号線又は水平信号線）ＧＬと、隣接す
る２本の映像信号線（ドレイン信号線又は垂直信号線）
ＤＬとの交差領域内（夫々の信号線で囲まれた領域内）
に配置されている。走査信号ｍＧＬは一次元であるので
列方向に１本延在している。映像信号線ＤＬは行方向に
延在しかつ列方向に複数本配置されている。

各画素の薄膜トランジスタＴＰＴは、画素内において３
つ（複数）に分割され、薄膜トランジスタ（分割薄膜ト
ランジスタ）ＴＦＴＩ、ＴＦＴ２及びＴＦＴ３で構成さ
れている。薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々
は、実質的に同一サイズで構成されている。この分割さ
れた薄膜１〜ランジスタＴＦＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々は、
主に、ゲート電極ＧＴ、絶縁膜ＧＩ、ｉ型半導体層ＡＳ
、一対のソース電極ＳＤＩ及びドレイン電極ＳＤ２で構
成されている。

前記ゲート電極ＧＴは、走査信号線ＧＬから行方向（第
５図において下方向）に突出する丁字形状で構成されて
いる（丁字形状に分岐されている）。

つまり、ゲート電極ＧＴは映像信号ｇＤＬと実質・的に
平行に延在するように構成されている。ゲート電極ＧＴ
は、薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々の形成
領域まで突出するように構成されている。薄膜トランジ
スタＴＰＴＩ〜ＴＰＴ３の夫々のゲート電極ＧＴは、一
体に（共通ゲート電極として）構成されており、走査信
号線ＧＬに接続されている。ゲート電極ＧＴは、薄膜ト
ランジスタＴＰＴの形成領域において段差形状をなるべ
く成長させないように、単層の第１導電膜ｇ１で構成さ
れている。第１導電膜ｇ１は、例えばスパッタで形成さ
れたクロム（Ｃｒ）膜を用い、１０００［人］程度の膜
厚で形成されている。

このゲート電極ＧＴは、第６図に示すように、ｉ型半導
体層ＡＳを完全に覆うように（下方から見て）それより
も大きなサイズで形成されている。

下部透明ガラス基板５ＵＢＩの下側（上側でもよい）に
は前述の投写用光源２０が取り付けられるので、ゲート
電極ＧＴは投写用光源２０からの光を遮蔽してｉ型半導
体層ＡＳに前記光が照射されないように構成されている
。つまり、ゲート電極ＧＴは、ｉ型半導体層Ａｓに光が
入射したことによる導電現像を低減し、薄膜トランジス
タＴＰＴのオフ特性を向上するように構成されている。

前記走査信号線ＯＬは、第１導電膜ｇ１及びその上部に
設けられた第２導電膜ｇ２からなる複合膜で構成されて
いる。この走査信号線ＧＬの第１導電膜ｇ１は、前記ゲ
ート電極ＧＴの第１導電膜ｇ１と同一製造工程で形成さ
れ、かつ一体に構成されている。第２導電膜ｇ２は、例
えば、スパッタで形成されたアルミニウム（Ａ　ｆｌ　
）膜を用い、２０００〜４０００［人］程度の膜厚で形
成する。第２導電膜ｇ２は、走査信号・線ＧＬの抵抗値
を低減し、信号伝達速度の高速化（画素の情報の書込特
性）を図ることができるように構成されている。

また、走査信号線ＧＬは、第１導電膜ｇ１の幅寸法に比
べて第２導電膜ｇ２の幅寸法を小さく構成している。す
なわち、走査信号線ＯＬは、その側壁の段差形状を緩和
することができるので、その上層の絶縁膜Ｇ工の表面を
平担化できるように構成されている。

絶縁膜ＧＩは薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫
々のゲート絶縁膜として使用される。絶縁膜ＧＩはゲー
ト電極ＧＴ及び走査信号線ＧＬの上層に形成されている
。絶縁膜ＧＩは、例えばプラズマＣＶＤで形成された窒
化珪素膜を用い、３０００［人コ程度の膜厚で形成する
６ ｉ型型半体層Ａｓは複数に分割された薄膜トランジスタ
ＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々のチャネル形成領域として使
用される。複数に分割された薄膜トランジスタＴＰＴＩ
〜ＴＦＴ３の夫々のｉ型半導体層Ａｓは１画素内におい
て一体或は夫々独立に分離して構成されている。ｉ型半
導体層ＡＳは、アモーファスシリコン膜又は多結晶シリ
コン膜で形成し、例えば１５００〜２０００［入コ程度
の膜厚で形成する。ｉ型半導体層ＡＳは第５図に示すよ
うに走査信号線ＧＬと映像信号線ＤＬとの交差部（クロ
スオーバ部）の両者間まで延在させて設けられている。

この延在させたｉ型半導体層ＡＳは交差部における走査
信号線ＧＬと映像信号線ＤＬとの短絡を低減するように
構成されている。

画素の複数に分割された薄膜トランジスタＴＰＴ１〜Ｔ
ＦＴ３の夫々のソース電極ＳＤＩとドレイン電極ＳＤ２
とは、第５図及び第６図に示すように、ｉ型半導体層Ａ
ｓ上に夫々離隔して設けられている。ソース電極ＳＤＩ
、ドレイン電極ＳＤ２の夫々とｉ型半導体層ＡＳとの間
にはオーミックコンタクト用の導電膜ｄｏが設けられて
いる。

この導電膜ｄｏは、例えば不純物としてＰをドープした
多結晶シリコン膜で形成され、約４００［人］程度の膜
厚で形成されている。この導電膜ｄｏはｉ型半導体層Ａ
Ｓと同−ＣＶＤ装置内において堆積することができる。

ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の夫々は１回路
のバイアス極性が変ると、動作上、ソースとドレインが
入れ替わるように構成されている。つまり、薄膜トラン
ジスタＴＰＴは電界効果型トランジスタＦＥＴと同様に
双方向性である。

ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の夫々は、ｉ型
半導体層ＡＳ（導電膜ｄｏ）に接触する下層側から、第
１導電膜ｄ１、第２導電膜ｄ２、第３導電膜ｄ３を順次
重ね合わせて構成されている。

第１導電膜ｄ１は、スパッタで形成したクロム膜を用い
、５００〜１０００［人］の膜厚（本実施例では、６０
０［人］程度の膜厚）で形成する。クロム膜は膜厚を厚
く形成するとストレスが大きくなるので２０００［人コ
程度の膜厚を越えない範囲で形成する。クロム膜は導電
膜ｄｏ（又はｉ型半導体層ＡＳ）との接触が良好である
。クロム膜は後述する第２導電膜ｄ２のアルミニウムが
ｉ型半導体層ＡＳに拡散することを防止する所謂バリア
層を構成する。第１導電膜ｄ１としては、クロム膜の他
に、高融点金属（Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）膜、高融点金
属シリサイド（ＭｏＳｉ２．ＴｉＳｉ２．ＴａＳｉ２．
ＷＳｉ２）膜の夫々で形成してもよい。

第２導電膜ｄ２は、スパッタで形成したアルミニウム膜
を用い、３０００〜４０００［人コの膜厚（本実施例で
は、３０００［人］程度の膜厚）で形成する。アルミニ
ウム膜は、クロム膜に比べてストレスが小さく、厚い膜
厚に形成することが可能で、ソース電極ＳＤＩ、ドレイ
ン電極ＳＤ２及び映像信号線ＤＬの抵抗値を低減するよ
うに構成されている。第２導電膜ｄ２は、薄膜トランジ
スタＴＰＴの動作速度の高速化、及び映像信号線ＤＬの
信号伝達速度の高速化を図ることができるように構成さ
れている。また、第２導電膜ｄ２は、アルミニウム膜の
他に、シリコン（Ｓｉ）や銅（Ｃｕ）を添加物として含
有させたアルミニウム膜で形成してもよい。

第３導電膜ｄ３は、スパッタで形成された透明導電膜（
ＩＴＯ：ネサ膜）を用い、１０００〜２０００［人］の
膜厚（本実施例では、１２００［人］程度の膜厚）で形
成する。この第３導電膜ｄ３は、ソース電極ＳＤ１、ド
レイン電極ＳＤ２及び映像信号線ＤＬを構成すると共に
、透明画素電極ＩＴ○を構成するようになっている。

ソース電極ＳＤＩの第１導電膜ｄ１、ドレイン電極ＳＤ
２の第１導電膜ｄ１の夫々は、上層の第２導電膜ｄ２及
び第３導電膜ｄ３に比べてチャネル形成領域側を大きい
サイズで構成している。第１導電膜ｄ１は、第１導電膜
ｄ１と第２導電膜ｄ２及び第３導電膜ｄ３との間の製造
工程におけるマスク合せずれが生じても、第２導電膜ｄ
２及び第３導電膜ｄ３に比べて大きいサイズになるよう
に構成されている。また、第１導電膜ｄ１のチャネル形
成領域側は、第２導電膜ｄ２、第３導電膜ｄ３の夫々の
チャネル形成領域側とオンザラインで構成してもよい。

ソース電極ＳＤＩの第１導電膜ｄ１．ドレイン電極ＳＤ
２の第１導電膜ｄ１の夫々は、薄膜トランジスタＴＰＴ
のゲート長りを規定するように構成されている。

前記ソース電極ＳＤＩは前記のように透明画素電極ＩＴ
○に接続されている。ソース電極ＳＤＩは、ｉ型半導体
層ＡＳの段差形状（第１導電膜ｇ１の膜厚とｉ型半導体
層ＡＳの膜厚とを加算した膜厚に相当する段差）に沿っ
て構成されて魁）る。

具体的には、ソース電極ＳＤＩは、ｉ型半導体層Ａｓの
段差形状に沿って形成された第１導電膜ｄ１と、この第
１導電膜ｄ１の上部にそれに比べて透明画素電極ＩＴＯ
と接続される側を小さし）サイズで形成した第２導電膜
ｄ２と、この第２導電膜から露出する第１導電膜ｄ１に
接続された第３導電膜ｄ３とで構成されている。ソース
電極ＳＤＩの第１導電膜ｄ１は、ｉ型半導体層ＡＳとの
接着性が良好であり、かつ、主に第２導電膜ｄ２力１ら
の拡散物に対するバリア層として構成されてし）る。

ソース電極ＳＤＩの第２導電膜ｄ２は、第１導電膜ｄ１
のクロム膜がストレスの増大から厚く形成できず、ｉ型
半導体ＭＡＳの段差形状を乗り越えられないので、この
ｉ型半導体層ＡＳを乗り越えるために構成されている。

つまり、第２導電膜ｄ２は厚く形成することでステップ
カバレッジを向上している。第２導電膜ｄ２は、厚く形
成できるので、ソース電極ＳＤＩの抵抗値（ドレイン電
極ＳＤ２や映像信号線ＤＬについても同様）の低減に大
きく寄与している。第３導電膜ｄ３は、第２導電膜ｄ２
のｉ型半導体層ＡＳに起因する段差形状を乗り越えるこ
とができないので、第２導電膜ｄ２のサイズを小さくす
ることで露出する第１導電膜ｄ１に接続するように構成
されている。第１導電膜ｄ１と第３導電膜ｄ３とは、接
着性が良好であるばかりか、両者間の接続部の段差形状
が小さいので、確実に接続することができる。

ドレイン電極ＳＤ２は、映像信号線ＤＬと一体に構成さ
れており、同一製造工程で形成されている。ドレイン電
極ＳＤ２は、映像信号線ＤＬと交差する列方向に突出し
たＬ字形状で構成されている。つまり、画素の複数に分
割された薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々の
ドレイン電極ＳＤ２は、一体に構成され、同一の映像信
号線ＤＬに接続されている。

前記透明画素電極ＩＴＯは、各画素毎に設けられており
、液晶表示部の画素電極の一方を構成する。透明画素電
極ＩＴＯは、画素の複数に分割された薄膜トランジスタ
ＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々に対応して３つの透明画素電
極（分割透明画紫電ｔりＩＴＯ１，ＩｒＯ２及びＩ　Ｔ
　Ｏ３ニ分割されている。透明画素電極ＩＴＯＩは薄膜
トランジスタＴＦＴＩのソース電極ＳＤＩに接続されて
いる。

透明画素電極ＩＴＯ２は薄膜トランジスタＴＦＴ２のソ
ース電極ＳＤＩに接続されている。透明画素電極ＩＴＯ
３は薄膜トランジスタＴＦＴ３のソース電極ＳＤＩに接
続されている。

透明画素電極ＩＴＯＩ〜ＩＴＯ３の夫々は、薄膜トラン
ジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の夫々と同様に、実質的に同
一サイズで構成されている。透明画素電極ＩＴＯＩ〜Ｉ
ＴＯ３の夫々は、薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３
の夫々のｉ型半導体層ＡＳを一個所に集中的に配置しで
あるので、平面形状がＬ字形状で構成されている。なお
、透明画素電極ＩＴＯＩ〜ＩＴ○３の夫々は、Ｌ字形状
に限定されず、薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３の
夫々を映像信号線ＤＬに沿って離隔して配置し、平面形
状を方形状に構成してもよい。

このように、１本の走査信号線ＯＬと隣接する２本の映
像信号線ＤＬとの交差領域内に配置された画素の薄膜ト
ランジスタＴＰＴを複数の薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜
ＴＦＴ３に分割し、この複数に分割された薄膜トランジ
スタＴＰＴ１〜ＴＦＴ３の夫々に複数に分割した透明画
素電極ＩＴＯ１〜ＩＴＯ３の夫々を接続することにより
、画素の分割された一部分（例えば、ＴＦＴｌ）が点欠
陥になるだけで１画素の全体としては点欠陥でなくなる
（Ｔ　Ｐ　Ｔ　２及びＴＦＴ３が点欠陥でない）ので、
画素全体としての点欠陥を低減することができる。

つまり、画素において分割された分割画素のうちの１つ
の点欠陥は１画素の全体の面積に比べて小さい（本実施
例の場合、画素の３分の１の面積）ので、前記点欠陥を
見にくくすることができる。また、前記画素において分
割された透明画素電極■ＴＯＩ〜ＩＴ○３の夫々を実質
的に同一サイズで構成することにより、画素内の点欠陥
の面積を均一にすることができる。

特に、液晶投写装置１は、液晶表示装置２５の動画像を
投写用光学レンズ２６．ガルバノミラ−２７Ｂ及び可動
用反射鏡２８を通して拡大して投写するので、画素面に
配列された各画素が拡大され、点欠陥が非常に目立つ。

したがって、液晶投写装置１に前述のような各画素が複
数に分割された液晶表示装置２５を組込むことにより、
画素の一部に点欠陥が生じても画素の大部分を点灯させ
ることができるので、投写される拡大された動画像にお
いて点欠陥を見にくくすることができる。

前記薄膜トランジスタＴＰＴ及び透明画素電極ＩＴＯ上
には第６図に示すように保護膜ＰＳＶＩが設けられてい
る。保護膜ＰＳＶＩは、主に、薄膜トランジスタＴＰＴ
を湿気等から保護するために形成されており、透明性が
高くしがも耐湿性の良いものを使用する。保護膜ＰＳＶ
Ｉは、例えば、プラズマＣＶＤで形成した酸化珪素膜や
窒化珪素膜で形成されており、８０００［人］程度の膜
厚で形成する。

薄膜トランジスタＴＦＴ上の保護膜ＰＳＶＩの上部には
外部光がチャネル形成領域として使用されるｉ型半導体
層ＡＳに入射されないように遮蔽膜ＬＳが設けられてい
る。第５図に示すように、遮蔽膜ＬＳは点線で囲まれた
領域内に構成されている。遮蔽膜ＬＳは、光に対する遮
蔽性が高い例えばスパッタで形成したアルミニウム膜や
クロム膜等で形成されており、１０００［人］程度の膜
厚で形成する。

薄膜トランジスタＴＰＴは、ゲート電極ＧＴに正のバイ
アスを印加するとソース−ドレイン間のチャネル抵抗が
小さくなり、バイアスを零にするとチャネル抵抗は大き
くなるように構成されている。つまり、薄膜トランジス
タＴＰＴは透明画素電極ＩＴ○に印加される電圧を制御
するように構成されている。

液晶ＬＣは、下部透明ガラス基板ＳＵＢ　１と上部透明
ガラス基板５ＵＢ２との間に形成された空間内に、液晶
分子の向きを設定する下部配向膜○ＲＩＩ及び上部配向
膜０ＲＩ２に規定され、封入されている。

下部配向膜０ＲＩＩは下部透明ガラス基板５ＵＢｌ側の
保護膜ＰＳＶＩの上部に形成される。

上部透明ガラス基板５ＵＢ２の内側（液晶側）の表面に
は、カラーフィルタＦＩＬ、保護膜ＰＳＶ２、共通透明
画素電極（ＣＯＭ）ＩＴＯ及び前記上部配向膜０ＲＩ２
が順次積層して設けられている。

前記共通透明画素電極ＩＴ○は、下部透明ガラス基板５
ＵＢＩ側に画素毎に設けられた透明画素電極ＩＴＯに対
向し、隣接する他の共通透明画素電極ＩＴ○と一体に構
成されている。この共通透明画素電極ＩＴＯには、コモ
ン電圧Ｖｃｏｍが印加されるように構成されている。コ
モン電圧Ｖｃｏｍは、映像信号線ＤＬに印加されるロウ
レベルの駆動電圧Ｖ　ｄ　ｍｉｎとハイレベルの駆動電
圧Ｖ　ｄ　ｍａｘとの中間電位である。

カラーフィルタＦＩＬは、アクリル樹脂等の樹脂材料で
形成される染色基材に染料を着色して構成されている。

カラーフィルタＦＩＬは、第８図（画素面の平面図）に
示すように、画素に対向する位置に各画素毎に構成され
、各画素毎に染め分けられている。つまり、カラーフィ
ルタＦＩＬは、画素と同様に、１本の走査信号線ＧＬと
隣接する２本の映像信号線ＤＬとの交差領域内に構成さ
れている。各画素は、カラーフィルタＦＩＬの個々の所
定色フィルタ内において、前述のように複数に分割され
ている。

カラーフィルタＦＩＬは次のように形成することができ
る。まず、上部透明ガラス基板５ＵＢ２の表面に染色基
材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤色フィルタ形
成領域以外の染色基材を除去する。この後、染色基材を
赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色フィルタＲを形
成する。次に。

同様な工程を施すことによって、緑色フィルタＧ、青色
フィルタＢを順次形成する。

保護膜ＰＳＶ２は、前記カラーフィルタＦＩＬを異なる
色に染め分けた染料が液晶ＬＣに漏れることを防止する
ために設けられている。保護膜ＰＳ■２は１例えば、ア
クリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成され
ている。

この液晶表示装置２５は、下部透明ガラス基板５ＵＢＩ
側、上部透明ガラス基板５ＵＢ２側の夫々の層を別々に
形成し、その後、上下透明ガラス基板５ＵＢＩ及び５Ｕ
Ｂ２を重ね合せ、両者間に液晶ＬＣを封入することによ
って組み立てられる。

前記液晶表示装置２５の画素面（液晶表示部）の各画素
は、第７図及び第８図に示すように、走査信号線ＧＬが
延在する方向と同一列方向に複数配置され１画素列を構
成している。つまり、液晶表示装置２５は１列方向（水
平方向）に画素が配列された一次元で構成されている。

前記第７図に示すＸｉＧ、Ｘｉ＋ＩＧ、・・・は緑色フ
ィルタＧが形成される画素に接続された映像信号線ＤＬ
である。ＸｉＢ、Ｘｉ＋ＩＢ、・・・は青色フィルタＢ
が形成される画素に接続された映像信号線ＤＬである。

Ｘｉ＋ＩＲ，Ｘｉ＋２Ｒ，・・・は赤色フィルタＲが形
成される画素に接続された映像信号線ＤＬである。これ
らの映像信号線ＤＬは、映像信号駆動回路ＨＤに接続さ
れ、この映像信号駆動回路ＨＤで駆動（選択）されてい
る。映像信号駆動回路ＨＤは、前記第１図に示す液晶投
写装置１に内蔵されたテレビ回路１５からのビデオ信号
ｖ１゜ｔｏ及び水平同期信号Ｈ□。が入力された水平方
向シフトレジスタＨ８Ｒの走査に同期して映像信号線Ｄ
Ｌを列方向に順次駆動するように構成されている。

同第７図に示す走査信号線ＧＬは、各画素の夫々を同時
に選択するように構成されている。走査信号線ＧＬは走
査信号線駆動回路ＶＤに接続されている。走査信号線駆
動回路ＶＤは、テレビ回路１５からの垂直同期信号Ｖ。

。が入力され、走査信号線ＧＬを駆動するように構成さ
れている。走査信号線駆動回路ＶＤは、映像信号駆動回
路ＨＤでの映像信号線ＤＬの１水平走査毎に（又は常時
）走査信号線ＧＬを駆動するように構成されている。

前記テレビ回路１５からの垂直同期信号ｖｆｚ−０は分
周回路１５Ａにも入力される。分周回路１５Ａはステッ
プモータ２７Ａを介在させてガルバノミラ−２７Ｂの回
転を制御するように構成されている。つまり、分周回路
１５Ａはガルバノミラ−２７Ｂが有する反射面数に応じ
てステップモータ２７Ａの回転する角度を制御するよう
に構成されている。例えば、分周回路１５Ａは、ガルバ
ノミラ−２７Ｂを８面体で構成した場合、１画面を形成
するために８分の１回転するようにステップモータ２７
Ａを制御するように構成されている。

前記テレビ回路１５から水平方向シフトレジスタＨ８Ｒ
に入力するビデオ信号Ｖ、。６゜は、ビデオ信号切換ス
イッチｖＳＷを介在させて水平方向シフトレジスタＨ５
Ｒの一端（右側）又は他端（左側）に入力するように構
成されている。つまり、水平方向シフトレジスタＨ８Ｒ
は双方向型で構成されている。ビデオ信号切換スイッチ
ｖＳＷはフリップフロップ回路ＦＦを介在させてマイク
ロスイッチＭＳＷにより制御されている。マイクロスイ
ッチＭＳＷは、手動にて又は可動型スクリーン２９等の
動作に連動して自動的に制御されている。

例えば、液晶投写装置１の可動型スクリーン２９をフロ
ントプロジェクション型で構成し、この可動型スクリー
ン２９に液晶表示装置２５の動画像を投写する場合、ビ
デオ信号Ｖ□。５ｏを水平方向シフトレジスタＨ８Ｈの
一端側に入力する。この水平方向シフトレジスタＨ３Ｒ
は、左側から右側に向って映像信号駆動回路ＨＤを介し
て映像信号線ＤＬを駆動し、可動型スクリーン２９に所
定の動画像を投写することができる。一方、この液晶投
写装置１でリアプロジェクション型の外部スクリーン３
０Ａに液晶表示装置２５の動画像を投写する場合、動画
像の左右が反転するので、マイクロスイッチＭＳＷの投
入によってビデオ信号切換スイッチｖＳＷを作動させ、
ビデオ信号ｖ１゜６゜を水平方向シフトレジスタＨ５Ｒ
の他端側に入力する。この水平方向シフトレジスタＨ８
Ｒは、右側から左側に向って映像信号駆動回路ＨＤを介
して映像信号線ＤＬを駆動し、可動型スクリーン２９に
投写した動画像と左右が一致した動画像を外部スクリー
ン３０Ａに投写することができる。

また、液晶投写装置１の液晶表示装置２５で投写される
動画像が上下に反転する場合は、例えばステップモータ
２７Ａの回転方向を反転させ、ガルバノミラ−２７Ｂを
反転させて垂直走査方向を変換することによって、動画
像の上下の反転を防止することができる。前述のステッ
プモータ２７Ａの回転方向を反転させるには前述のよう
に切換スイッチを備えればよい。

このように、液晶投写装置１において、投写用光源２０
の光軸上に配列された水平方向走査型の一次元液晶表示
装置２５と、前記投写用光源２０からの光で投写される
一次元液晶表示装置の１水平走査分の画像をその走査毎
に段階的に垂直方向に走査させる走査手段（主に、分周
回路１５Ａ、ステップモータ２７Ａ及びガルバノミラ−
２７Ｂ）とを具備することにより、垂直方向に画像を配
列しない分、一次元液晶表示装置２５の高さ方向のサイ
ズを縮小することができるので、小型化を図ることがで
きる。

また、前記一次元液晶表示装置２５は垂直方向の画素数
の制約がなくなり、水平走査方向の画素数を増加するこ
とができるので、投写される動画像の解像度を向上する
ことができる。

また、前記一次元液晶表示装置２５は垂直方向の画素数
の制約がなくなり、水平走査方向の画素サイズ、画素間
ピッチ等の加工精度を緩和することができるので、一次
元液晶表示装置２５の製造上の歩留りを向上することが
できる。

また、前記液晶投写装置１に内蔵される液晶表示装置２
５の水平方向シフトレジスタＨ８Ｒの走査方向を反転さ
せる手段を設ける（双方向型にする）ことにより、フロ
ントプロジェクション時、リアプロジェクション時の夫
々において、液晶表示装置２５の映像信号線ＤＬの走査
方向を反転させることができるので、スクリーンに投写
される動画像の反転を防止することができる。

前記第６図の中央部は液晶表示装置２５の一画素部分の
断面を示しているが、左側は透明ガラス基板５ＵＢＩ及
び５ＵＢ２の左側縁部分で外部引出配線の存在する部分
の断面を示している。右側は、透明ガラス基板ＳＵＢ　
１及び５ＵＢ２の右側縁部分で外部引出配線の存在しな
い部分の断面を示している。

第６図の左側、右側の夫々に示すシール材ＳＬは、液晶
ＬＣを封止するように構成されており、液晶封入口（図
示していない）を除く透明ガラス基板ＳＵＢ　１及び５
ＵＢ２の縁周囲全体に沿って形成されている。シール材
ＳＬは例えばエポキシ樹脂で形成されている。

前記上部透明ガラス基板５ＵＢ２側の共通透明画素電極
ＩＴＯは、少なくとも一個所において。

銀ペースト材ＳＩＬによって、下部透明ガラス基板５Ｕ
ＢＩ側に形成された外部引出配線に接続されている。こ
の外部引出配線は、前述したゲート電極ＧＴ、ソース電
極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の夫々と同一製造工程で
形成される。

前記配向膜０ＲＩＩ及び○ＲＩ２、透明画素電極ＩＴＯ
１共通透明画素電極ＩＴＯ１保護膜ＰＳｖ１及びＰＳＶ
２、絶縁膜ＧＩの夫々の層は、シール材ＳＬの内側に形
成される。偏光板ＰＯＬは、下部透明ガラス基板ＳＵＢ
　１、上部透明ガラス基板５ＵＢ２の夫々の外側の表面
に形成されている。

（実施例■） 本実施例■は、前記液晶投写装置の垂直方向の走査を光
偏向器で行った、本発明の第２実施例である。

本発明の実施例■である液晶投写装置の構成を第９図（
概略断面図）で示す。

第９図に示すように、液晶投写装置１は、一次元液晶表
示装置２５と投写用光学レンズ２６との間に光偏向器３
１が設けられている。光偏向器３１は、電圧の印加で光
の屈折率を変化させるように構成されており、一次元液
晶表示装置２５の水平方向の走査で形成された画像を垂
直方向に走査するように構成されている。

投写用光学レンズ２６と可動型反射鏡２８との間には固
定型反射鏡２７が設けられている。固定型反射鏡２７は
、一次元液晶表示装置２５及び光偏向器３１で形成され
た動画像を可動型反射鏡２８を介して可動型スクリーン
２９、外部スクリーン３０Ａ、３０Ｂ等に投写するよう
に構成されている。

この一次元液晶表示袋［２５及び光偏向器３１を内蔵す
る液晶投写装置１は、前記実施例Ｉと略同様の効果を奏
することができる６ また、前述のステップモータ２７Ａ及びガルバノミラ−
２７Ｂで構成される垂直走査手段は回転に伴う機械的振
動が存在するが、前記光偏向器３１で構成される垂直走
査手段はそれが実質的に発生しないので、この光偏向器
３１を内蔵する液晶投写装置１は機械的振動に起因する
故障が少ない等の効果を得ることができる。

以上、本発明者によってなされた発明を前記実施例に基
づき具体的に説明したが１本発明は前記実施例に限定さ
れるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において
、種々変更できる。

例えば、液晶投写装置は駆動周波数が高い水平方向走査
型の一次元液晶表示装置で構成したが、本発明は垂直方
向走査型の一次元液晶表示装置及び水平方向走査手段を
内蔵する液晶投写装置を構成してもよい。

また、本発明は、前記一次元液晶表示装置の水平方向に
配列された各画素毎に設けられた薄膜トランジスタＴＰ
Ｔを廃止し、一次元液晶表示装置を所謂単純マトリック
ス型で構成してもよい。この場合、液晶表示装置の製造
プロセスにおいて、薄膜トランジスタＴＰＴに相当する
分、製造上の歩留りを向上することができる。

〔発明の効果〕

本願において開示された発明のうち１代表的なものの効
果を簡単に説明すれば１次のとおりである。

液晶投写装置において、液晶表示装置のサイズを縮小し
、小型化を図ることができる。

また、前記液晶投写装置において、前記効果の他に、外
部スクリーン又はそれに相当するものがない場合でも動
画像を投写することができる。

また、前記液晶投写装置において、前記効果の他に、フ
ロントプロジェクション、リアプロジェクシ目ン等の投
写方法による画像の反転を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例！である液晶投写装置の部分
断面斜視図、 第２図乃至第４図は、前記液晶投写装置の概略断面図。 第５図は、前記液晶投写装置に内蔵された液晶表示装置
の画素面の一画素を示す要部平面図、第６図は、前記第
５図に示すＶＩ−ＶＩ切断線で切った断面図。 第７図は、前記液晶表示装置の画素面の等価回路図、 第８図は、前記液晶表示装置の画素面の平面図、第９図
は１本発明の実施例■である液晶投写装置の概略断面図
である。 図中、１・・・液晶投写装置、１４・・・電源回路、１
５・・・テレビ回路、１５Ａ・・・分周回路、２０・・
・投写用光源、２２・・・シリンドリカルレンズ、２３
・・・赤外線フィルタ。 ２５・・・一次元液晶表示装置、２６・・・投写用光学
レンズ、２７Ａ・・・ステップモータ、２７Ｂ・・・ガ
ルバノミラ−２７・・・固定型反射鏡、２８・・・可動
型反射鏡、２９・・・可動型スクリーン、３０Ａ、３０
Ｂ・・・外部スクリーン、３１・・・光偏向器、Ｈ８Ｒ
・・・シフトレジスタ、ＨＤ・・・映像信号駆動回路、
ＶＤ・・・走査信号線駆動回路、ＶＳＷ・・・ビデオ信
号切換スイッチ、ＭＳＷ・・・マイクロスイッチ、ＧＬ
・・・走査信号線、ＤＬ・・・映像信号線、ＧＴ・・・
ゲート電極、ＡＳ・・・ｉ型半導体層、ＳＤ・・・ソー
ス電極又はド、レイン電極、ＴＰＴ・・・薄膜トランジ
スタ、ＩＴＯ・・・透明画素電極である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、投写用光源と、該投写用光源の光軸上に配列された
   水平方向走査型又は垂直方向走査型の一次元液晶表示装
   置と、前記投写用光源からの光で投写される一次元液晶
   表示装置の１走査分の画像をその走査毎に段階的に垂直
   方向又は水平方向に走査させる走査手段とを備えたこと
   を特徴とする液晶投写装置。 ２、前記一次元液晶表示装置の１走査分の画像をその走
   査毎に段階的に垂直方向又は水平方向に走査させる走査
   手段は、前記一次元液晶表示装置の走査に同期して制御
   されるステップモータ及びそれで駆動されるガルバノミ
   ラーで構成されていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載の液晶投写装置。 ３、前記一次元液晶表示装置の１走査分の画像をその走
   査毎に段階的に垂直方向又は水平方向に走査させる走査
   手段は、前記一次元液晶表示装置の走査に同期して制御
   される光偏向器で構成されていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項に記載の液晶投写装置。 ４、投写用光源と、該投写用光源の光軸上に配列された
   水平方向走査型又は垂直方向走査型の一次元液晶表示装
   置と、前記投写用光源からの光で投写される一次元液晶
   表示装置の１走査分の画像をその走査毎に段階的に垂直
   方向又は水平方向に走査させる走査手段と、該走査され
   た動画像を投写する位置に配置されかつその位置から回
   避することができる可動型スクリーンとを備えたことを
   特徴とする液晶投写装置。 ５、前記一次元液晶表示装置は、シフトレジスタの走査
   方向を反転させる手段を備えていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項又は第４項に記載の液晶投写装置。