JPH0243911A - ガスフイルター - Google Patents
ガスフイルターInfo
- Publication number
- JPH0243911A JPH0243911A JP19297588A JP19297588A JPH0243911A JP H0243911 A JPH0243911 A JP H0243911A JP 19297588 A JP19297588 A JP 19297588A JP 19297588 A JP19297588 A JP 19297588A JP H0243911 A JPH0243911 A JP H0243911A
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- JP
- Japan
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- pore
- membrane
- straight
- pores
- ratio
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は空気浄化、集塵、除塵等を目的として気体中に
混入している微粒子の除去に使用されるガスフィルター
またはそのプレフィルタ−に関する。
混入している微粒子の除去に使用されるガスフィルター
またはそのプレフィルタ−に関する。
〔従来の技術］
従来ガスフィルターまたはそのプレフィルタ−としては
無機系、有機系の不織布、ワインデインブタイブのフィ
ルター あるいはメンブランフィルタ−等が矧らｎてい
る。
無機系、有機系の不織布、ワインデインブタイブのフィ
ルター あるいはメンブランフィルタ−等が矧らｎてい
る。
しかしながら、前記不、餓布、ワインディングフィルタ
ー等は孔径が大さく、内部で捕捉する機構のため、除去
性能の信頼性が低い点、又、前記メンブランフィルタ−
は除去性能の信頼性は若干向上したものの非対称構造、
均質構造いずれの４造を有するものも圧力損失が大きい
点が問題である。
ー等は孔径が大さく、内部で捕捉する機構のため、除去
性能の信頼性が低い点、又、前記メンブランフィルタ−
は除去性能の信頼性は若干向上したものの非対称構造、
均質構造いずれの４造を有するものも圧力損失が大きい
点が問題である。
本発明の要旨は、少なくとも一方の表面において膜面に
対して実質的に垂直に開孔した孔が、平均孔径を（Ｌ５
〜１０μｍ 長径／短径の比を１．０〜２．０、孔径変
動係数全０〜５０％として開孔率５５〜７５％の割合で
存在し、多孔質膜全体の空孔率が５０〜９０％であるフ
ィルム成形可能な重合体の多孔質膜からなるガスフィル
ターにある。
対して実質的に垂直に開孔した孔が、平均孔径を（Ｌ５
〜１０μｍ 長径／短径の比を１．０〜２．０、孔径変
動係数全０〜５０％として開孔率５５〜７５％の割合で
存在し、多孔質膜全体の空孔率が５０〜９０％であるフ
ィルム成形可能な重合体の多孔質膜からなるガスフィル
ターにある。
本発明のガスフィルターに用いられる多孔質Ｂ！Ｘは、
少なくとも一方の表面において膜面に対して実質的に垂
直に開孔した孔を有するが、膜面に対して実質的に垂直
に開孔した孔（以下「ストレート孔」という）とは膜面
と垂直な任意の切断面において聞路比が１．０〜１．２
で変化比が［１６〜１．７である孔をいう。
少なくとも一方の表面において膜面に対して実質的に垂
直に開孔した孔を有するが、膜面に対して実質的に垂直
に開孔した孔（以下「ストレート孔」という）とは膜面
と垂直な任意の切断面において聞路比が１．０〜１．２
で変化比が［１６〜１．７である孔をいう。
ここで、血路比とは、前記切断面に現われたひとつの孔
についてその孔の中心部２通るＳ線又は直線ｋｔとし、
ストレート孔からなる多孔質層（以下「ストレート孔層
」という）の厚みｋｔ。とじたときのｔ７ｔ０の比をい
う。
についてその孔の中心部２通るＳ線又は直線ｋｔとし、
ストレート孔からなる多孔質層（以下「ストレート孔層
」という）の厚みｋｔ。とじたときのｔ７ｔ０の比をい
う。
また、変化比とは、前記切断面に現われたひとつのスト
レート孔について表面における孔の幅をｄｏ とし、
ストレート孔層の内部における任意の位置の孔の幅ｉｄ
としたときのａ／ａ、の比ｔいう。
レート孔について表面における孔の幅をｄｏ とし、
ストレート孔層の内部における任意の位置の孔の幅ｉｄ
としたときのａ／ａ、の比ｔいう。
変化比が前記範囲より小さいと分画精度が低下するので
好ましくなく、前記範囲よジ大きいと隣接する孔間の距
離が極端に小さくなシ開孔率ヲ上げることが難しいので
好ましくない。
好ましくなく、前記範囲よジ大きいと隣接する孔間の距
離が極端に小さくなシ開孔率ヲ上げることが難しいので
好ましくない。
血路比が前記範囲より大きいとＦ通抵抗が増加して透過
率が低下するので好筐しくない。
率が低下するので好筐しくない。
尚、細孔の血路比、又は変化比が前記範囲からはずれる
部分は当然ストレート孔ではなく、たとえばストレート
孔層とボイドｊ−からなる非対称膜は、ボイド層におけ
る孔の径が両層の界面から徐々に、又は急激に増大する
構造を有している。
部分は当然ストレート孔ではなく、たとえばストレート
孔層とボイドｊ−からなる非対称膜は、ボイド層におけ
る孔の径が両層の界面から徐々に、又は急激に増大する
構造を有している。
変化比は０．７〜１．５であることがより好ましく、α
８〜１．２でろることが特に好ましい。又、血路比は１
，０〜１．１でめることが二り好ましく、１．０〜１．
０５であることが特に好ましい。
８〜１．２でろることが特に好ましい。又、血路比は１
，０〜１．１でめることが二り好ましく、１．０〜１．
０５であることが特に好ましい。
この多孔質膜において、ストレート孔層の表面に存在す
る孔（以下「巽面孔」という）は、形状が円形又は楕円
形でめって長径／短径の比５０％である。またその平均
孔径ｒ１合寺→〜１ａｅｔｔｍｏａ囲でめる。ここに、
各々の表面孔についての長径と短径の相加平均値をその
表面孔の孔径といい、表面孔の平均孔径とはＮ １ｖＡ
の表面孔の孔径の相加平均値という。通常ＮＯ値は１０
０が採用さｎる。また、孔径変動係数とは表面孔の孔径
について以下の式で示される値をいう。
る孔（以下「巽面孔」という）は、形状が円形又は楕円
形でめって長径／短径の比５０％である。またその平均
孔径ｒ１合寺→〜１ａｅｔｔｍｏａ囲でめる。ここに、
各々の表面孔についての長径と短径の相加平均値をその
表面孔の孔径といい、表面孔の平均孔径とはＮ １ｖＡ
の表面孔の孔径の相加平均値という。通常ＮＯ値は１０
０が採用さｎる。また、孔径変動係数とは表面孔の孔径
について以下の式で示される値をいう。
（標準偏差／平均孔径） Ｘ １００ （％）長径／短
径の比が２．０より大きいと、濾過物質が球状でない場
合や一過時に濾過物質が形状変化する場合に分画特注が
低下するので好ましくなく、また、孔径変動係数が５０
％より大きいと分画特性が低下するので好ましくない。
径の比が２．０より大きいと、濾過物質が球状でない場
合や一過時に濾過物質が形状変化する場合に分画特注が
低下するので好ましくなく、また、孔径変動係数が５０
％より大きいと分画特性が低下するので好ましくない。
平均孔径がα５μｍよシ小さいものは充分な透過率が得
られないので好ましくなく、１０μｍより大きいものは
実用的でない。孔径変動係数は０〜４０俤であることが
より好ましい。
られないので好ましくなく、１０μｍより大きいものは
実用的でない。孔径変動係数は０〜４０俤であることが
より好ましい。
Ｒ’ｔｌ 記ストレート孔については、ストレート孔層
の厚みＬｏ と表面孔の平均孔径りの比は特に限定さ
れないが、ｔ０／Ｄの値はα１程度以上であればよく、
１５程度以上であることが好ましく、１．０程度以上で
あることがよ）好ましく、３程度以上であることが特に
好ましい。
の厚みＬｏ と表面孔の平均孔径りの比は特に限定さ
れないが、ｔ０／Ｄの値はα１程度以上であればよく、
１５程度以上であることが好ましく、１．０程度以上で
あることがよ）好ましく、３程度以上であることが特に
好ましい。
長径／短径の比及び平均孔径は走査型電子顕微鏡によっ
て測定することができる。
て測定することができる。
ここで開孔率とは前記表面孔全面積の膜外部界面積に占
める割合をいい、該開孔率は３５〜７５％である。開孔
率が３５％未満であると流体の透過率が低くなるので好
ましくなく、また７５％を超えると多孔質膜の強度が低
下し損傷さ九やすいので好ましくない。
める割合をいい、該開孔率は３５〜７５％である。開孔
率が３５％未満であると流体の透過率が低くなるので好
ましくなく、また７５％を超えると多孔質膜の強度が低
下し損傷さ九やすいので好ましくない。
本発明のガスフィルターに用いられる多孔質膜としては
、前記ストレート孔層のみからなる均質膜、−面がスト
レート孔層で他面がストレート孔より大きな孔径を有す
るボイド層で構成されてなる非対称膜、両面がストレー
ト孔層で内部がボイド層で構成されてなる不均質膜の構
造を有するものを挙げることができる。
、前記ストレート孔層のみからなる均質膜、−面がスト
レート孔層で他面がストレート孔より大きな孔径を有す
るボイド層で構成されてなる非対称膜、両面がストレー
ト孔層で内部がボイド層で構成されてなる不均質膜の構
造を有するものを挙げることができる。
ストレート孔層の厚みは特に限定されないがおよそα０
１〜５０μｍ程度であることが好ましく、均質膜の場合
は、ストレート孔の孔径や膜の用途に応じて５μｍ〜数
■の値をとシうる。
１〜５０μｍ程度であることが好ましく、均質膜の場合
は、ストレート孔の孔径や膜の用途に応じて５μｍ〜数
■の値をとシうる。
非対称膜及び不均質膜においては、ストレート孔層の厚
みは同様にα０１μｍ〜１錫程度のｆｆｆ ｔ、全体の
膜厚は５μｍ−数■程度の値をとりうる。
みは同様にα０１μｍ〜１錫程度のｆｆｆ ｔ、全体の
膜厚は５μｍ−数■程度の値をとりうる。
以上述べたように本発明の多孔質膜からなるガスフィル
ターは種々の細孔構造ととＶうるが、流体透過率を大き
くすることが容易で取扱い性に潰れている点から、−面
がストレート孔ＪｆＩで、他面がストレート孔層の孔よ
シ大きな孔径？有するボイド層で構成されてなる非附称
膜でめることが特に好ましい。
ターは種々の細孔構造ととＶうるが、流体透過率を大き
くすることが容易で取扱い性に潰れている点から、−面
がストレート孔ＪｆＩで、他面がストレート孔層の孔よ
シ大きな孔径？有するボイド層で構成されてなる非附称
膜でめることが特に好ましい。
の透過率が低下するので好ましくなく、前記範囲より大
きいと多孔質膜の機械的特性が低下するので好ましくな
い。
きいと多孔質膜の機械的特性が低下するので好ましくな
い。
尚、空孔率は水銀ポロシメーターによって求めることが
できる。
できる。
本発明におけるフィルム成形可能な重合体とば、有機浴
剤に可溶で水に不溶な重合体であってその溶液が鬼延可
能なものをいう。その列としてポリフッ化ビニリデン、
ポリテトラフルオロエチレン系共重合体、トリフルオロ
エチレン等のフッ素系重合体、ポリスルホン、ポリエー
テルスルホン、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド
、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレ
ート、ポリブチル（メタ）アクリレート等のポリ（メタ
）アクリル酸エステル、ポリアクリロニトリル、酢酸セ
ルロース、硝酸セルロース等のセルロースエステル類、
ポリエチレン、ポリ−４−メチル−１−ぺ／テン、ポリ
ブタジェン等のポリオレフィン、ポリ酢酸ビニル、ポリ
スチレン、ポリ−α−メチルスチレン、ポリ−４−ビニ
ルピリジン、ポリビニルピロリドン、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン、シリコン系ポリマー ポリフェニ
レンオキサイド等の重合体、あるいぼこれらの共重合体
を挙げることができ、１１を熱性、耐薬品性等を考慰し
てそれぞれの目的にかなった重合体を適宜還択使用する
ことができる。
剤に可溶で水に不溶な重合体であってその溶液が鬼延可
能なものをいう。その列としてポリフッ化ビニリデン、
ポリテトラフルオロエチレン系共重合体、トリフルオロ
エチレン等のフッ素系重合体、ポリスルホン、ポリエー
テルスルホン、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド
、ポリエチレンテレフタレート、ポリメチルメタクリレ
ート、ポリブチル（メタ）アクリレート等のポリ（メタ
）アクリル酸エステル、ポリアクリロニトリル、酢酸セ
ルロース、硝酸セルロース等のセルロースエステル類、
ポリエチレン、ポリ−４−メチル−１−ぺ／テン、ポリ
ブタジェン等のポリオレフィン、ポリ酢酸ビニル、ポリ
スチレン、ポリ−α−メチルスチレン、ポリ−４−ビニ
ルピリジン、ポリビニルピロリドン、ポリ塩化ビニル、
ポリ塩化ビニリデン、シリコン系ポリマー ポリフェニ
レンオキサイド等の重合体、あるいぼこれらの共重合体
を挙げることができ、１１を熱性、耐薬品性等を考慰し
てそれぞれの目的にかなった重合体を適宜還択使用する
ことができる。
又本発明においては重合体（共重合体も含む）は単独系
のみならず互に相浴性のある２４１以上の重合体のブレ
ンド物を用いることができる。
のみならず互に相浴性のある２４１以上の重合体のブレ
ンド物を用いることができる。
このようなブレンド物は、ある溶剤に対して通常重合体
成分の溶解度が異なるのでその性質を利用して多孔質膜
の構造を微妙にコントロールすることができるという利
点を有している。こ０２うなブレンド物としてはたとえ
ばフッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体
トポリアルキル（メタ）アクリレートとのポリマーアロ
イをはじめとしてポリ塩化ビニルとポリアルキル（メタ
）アクリレート、ポリスチレンとポリブタジェン、スチ
レン・アクリロニトリル共重合体とポリフェニレンオキ
サイド等のブレンド物を挙げることができる。
成分の溶解度が異なるのでその性質を利用して多孔質膜
の構造を微妙にコントロールすることができるという利
点を有している。こ０２うなブレンド物としてはたとえ
ばフッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン共重合体
トポリアルキル（メタ）アクリレートとのポリマーアロ
イをはじめとしてポリ塩化ビニルとポリアルキル（メタ
）アクリレート、ポリスチレンとポリブタジェン、スチ
レン・アクリロニトリル共重合体とポリフェニレンオキ
サイド等のブレンド物を挙げることができる。
本発明のガスフィルターの製造方法として種々の方法を
採用しうるが、特に好ましい方法とガスフィルターのモ
ジュール構造としては、種々の形態を採用しうるが、例
えばプリ・−ツ状に折曲げてハクジ／グ内に固定しｔも
の、あるいはディスク状に切り取ってメンプランホルダ
ーに組み込んだもの等が挙げられる。
採用しうるが、特に好ましい方法とガスフィルターのモ
ジュール構造としては、種々の形態を採用しうるが、例
えばプリ・−ツ状に折曲げてハクジ／グ内に固定しｔも
の、あるいはディスク状に切り取ってメンプランホルダ
ーに組み込んだもの等が挙げられる。
本発明のガスフィルターは使用に際し孔径が同一なもの
あるいは異なったものを複数枚積層して用いてもよ＜、
また他のガスフィルターと積層構造にして用いてもよい
。
あるいは異なったものを複数枚積層して用いてもよ＜、
また他のガスフィルターと積層構造にして用いてもよい
。
気体の流れの方向は特に限定されるものではないが、細
孔構造が非対称構造である場合はボイドｊ―′１則から
故密層側へ九す方が目詰りが遅く寿命が長くなるため好
ましい。
孔構造が非対称構造である場合はボイドｊ―′１則から
故密層側へ九す方が目詰りが遅く寿命が長くなるため好
ましい。
以下実施列によシ本発明を説明する。実施列にひいては
走査型′１子顕微鏡による１０００〜５ｏｏｏ暗の拡大
写真２用いて、膜厚、ストレート孔層の厚み、１００個
の表面孔について各々の長径と短径、又切断面に現われ
た１００個の孔についてＬｏ Ｌｏ ＊ ｄ ＊ ｄｏ
’に測定し、前述の式に従って孔径変動係数、曲路比
、変化比を求めた。
走査型′１子顕微鏡による１０００〜５ｏｏｏ暗の拡大
写真２用いて、膜厚、ストレート孔層の厚み、１００個
の表面孔について各々の長径と短径、又切断面に現われ
た１００個の孔についてＬｏ Ｌｏ ＊ ｄ ＊ ｄｏ
’に測定し、前述の式に従って孔径変動係数、曲路比
、変化比を求めた。
開孔率は面積法によシ、空孔率は水銀ポロシメーターｌ
こより測定した。又、空気透過率は膜間差圧を１０ｐ、
ｓ、ｉ、とじて測定した。
こより測定した。又、空気透過率は膜間差圧を１０ｐ、
ｓ、ｉ、とじて測定した。
微粒子の除去性能はガスフィルターを直径４７鱈のディ
スク状に切り取シホルダーに組み込み、パーティクルカ
ウンターに接続して、室内の空気を５ Ｇ Ｏｗｔ ／
ｍｉｎで２分間吸引し、１１３μｍ以上の粒子透過数
ｎを計測し、一方、そのわされる＋１ ｆ！：１５μｍ
以上の粒子の捕集効率とした。又、圧力損失はその際ガ
スフィルターにかかる差圧を、Ｕ字管水柱差圧計で実測
した。
スク状に切り取シホルダーに組み込み、パーティクルカ
ウンターに接続して、室内の空気を５ Ｇ Ｏｗｔ ／
ｍｉｎで２分間吸引し、１１３μｍ以上の粒子透過数
ｎを計測し、一方、そのわされる＋１ ｆ！：１５μｍ
以上の粒子の捕集効率とした。又、圧力損失はその際ガ
スフィルターにかかる差圧を、Ｕ字管水柱差圧計で実測
した。
夷１声］１
テトラフルオロエチレン／フッ化ビニリデンが２０ ／
８０ （１ｆＩｏ４ ／ ｍｏｔ’）からなる共重合
体６０部をメチルメタクリレート４０部にｆｆｉ解させ
窒素雰囲気中８５℃で１５分間保持することによってメ
チルメタクリレートを重合し重合体組成＊を得た。この
重合体組成物１００部をメチルエテルケトン１９００部
に浴解することによって重合体溶液を調整し、続いてフ
ィルム作製用アプリケーターを用いてガラス板上に厚み
２５４μｍに苑地し、重合体溶液の薄膜状物を形成した
９゜ 次いで５に９／σ２の飽和水蒸気を有する配管のバルブ
を開き、該薄膜状物の表面に飽和水蒸気に２０秒間接触
させて重合体を凝固させた。
８０ （１ｆＩｏ４ ／ ｍｏｔ’）からなる共重合
体６０部をメチルメタクリレート４０部にｆｆｉ解させ
窒素雰囲気中８５℃で１５分間保持することによってメ
チルメタクリレートを重合し重合体組成＊を得た。この
重合体組成物１００部をメチルエテルケトン１９００部
に浴解することによって重合体溶液を調整し、続いてフ
ィルム作製用アプリケーターを用いてガラス板上に厚み
２５４μｍに苑地し、重合体溶液の薄膜状物を形成した
９゜ 次いで５に９／σ２の飽和水蒸気を有する配管のバルブ
を開き、該薄膜状物の表面に飽和水蒸気に２０秒間接触
させて重合体を凝固させた。
尚、同様の条件で水蒸気を供給し薄膜状物から１ｃｒ１
１手前の位置の温度を測定したところ８３℃であった。
１手前の位置の温度を測定したところ８３℃であった。
又、この時の水蒸気流量の実測値は２６７？／ ｍｉｎ
であり、ノズルから５０ｃｒｓの位置の噴霧幅（直径１
５αφ）の面積１７７ ｃｍ−”から算出される単位面
積当力の水蒸気の供給量は２５〜／６θＣ−儒スであっ
た。
であり、ノズルから５０ｃｒｓの位置の噴霧幅（直径１
５αφ）の面積１７７ ｃｍ−”から算出される単位面
積当力の水蒸気の供給量は２５〜／６θＣ−儒スであっ
た。
次に２５℃の空気を１分間吹きつけて乾燥した後重合体
をガラス板からはく離することによって非対称構造の多
孔質膜（ガスフィルター）を得た。走査型電子顕微鏡を
用いて該多孔質膜の表面及び膜面に垂直な断面を観察し
た。
をガラス板からはく離することによって非対称構造の多
孔質膜（ガスフィルター）を得た。走査型電子顕微鏡を
用いて該多孔質膜の表面及び膜面に垂直な断面を観察し
た。
蒸気に接触さｎた表面には孔径がそろった長径／短径の
比が２．０以下の円形又は楕円形の微細孔がみられ、該
表面側の膜面に垂直な断面には孔径変化が殆んどないス
トレート孔が曜祭芒れた。また膜の内部から他方の表面
にかけてはボイド層が観察され、表面におけるボイドの
孔径は１０〜５０μｍであった。
比が２．０以下の円形又は楕円形の微細孔がみられ、該
表面側の膜面に垂直な断面には孔径変化が殆んどないス
トレート孔が曜祭芒れた。また膜の内部から他方の表面
にかけてはボイド層が観察され、表面におけるボイドの
孔径は１０〜５０μｍであった。
ストレート孔の曲路比、変化比を６１１１定し、ヌトレ
ート孔層の表面に存在する孔について長径／短径の比、
平均孔径、孔径変動係数、開孔率全測定し、又多孔質膜
全体の空孔率を測定した。
ート孔層の表面に存在する孔について長径／短径の比、
平均孔径、孔径変動係数、開孔率全測定し、又多孔質膜
全体の空孔率を測定した。
更に［Ｌ５μｍ以上の粒子の捕集効率と圧力損失？測定
し、これらの結果を第１表に示した。
し、これらの結果を第１表に示した。
実施例２及び３
水蒸気の供給量ヲそれぞれ１７ ｔｑ ／ ｓｅａ −
ｃｍ”（実施例２）、及び９．８４ ／ ｓｏａ ・ｃ
ｍ” （実施例５）とし、その他の条件は実施例１と同
様にして多孔質膜ｆ！：製造し、その構造性能等を測定
して第１表に示した。
ｃｍ”（実施例２）、及び９．８４ ／ ｓｏａ ・ｃ
ｍ” （実施例５）とし、その他の条件は実施例１と同
様にして多孔質膜ｆ！：製造し、その構造性能等を測定
して第１表に示した。
いずれの場合もストレート孔ノーとボイド層からなる非
対称膜であり、表面におけるボイドの孔径はおよそ１０
〜１００μｍでちった。
対称膜であり、表面におけるボイドの孔径はおよそ１０
〜１００μｍでちった。
／
／
〔発明の効果〕
本発明のガスフィルターは圧力損失が小さいにも拘らず
粒子除去性能が潰れている。
粒子除去性能が潰れている。
Claims (1)
- 少なくとも一方の表面において膜面に対して実質的に垂
直に開孔した孔が、平均孔径を０．５〜１０μｍ、長径
／短径の比を１．０〜２．０、孔径変動係数を０〜５０
％として開孔率３５〜７５％の割合で存在し、多孔質膜
全体の空孔率が５０〜９０％であるフィルム成形可能な
重合体の多孔質膜からなるガスフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19297588A JPH0243911A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ガスフイルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19297588A JPH0243911A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ガスフイルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243911A true JPH0243911A (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=16300150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19297588A Pending JPH0243911A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | ガスフイルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243911A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5387334A (en) * | 1991-02-15 | 1995-02-07 | Toa Medical Electronics Co., Ltd. | Apparatus for regulating liquid temperature |
| WO2004043666A1 (ja) * | 2002-11-12 | 2004-05-27 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | 多孔性フィルムの製造方法、及び多孔性フィルム |
| JP2004175104A (ja) * | 2002-11-12 | 2004-06-24 | Daicel Chem Ind Ltd | 多孔性フィルムの製造方法、及び多孔性フィルム |
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