JPH0244162Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0244162Y2 JPH0244162Y2 JP338885U JP338885U JPH0244162Y2 JP H0244162 Y2 JPH0244162 Y2 JP H0244162Y2 JP 338885 U JP338885 U JP 338885U JP 338885 U JP338885 U JP 338885U JP H0244162 Y2 JPH0244162 Y2 JP H0244162Y2
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- JP
- Japan
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- optical system
- optical
- rotation axis
- optical interference
- interference measuring
- Prior art date
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- Expired
Links
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
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- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、IC基板に利用されるシリコンウ
エハの表面平担性を無接触で事前チエツクする
際、あるいは、レンズの球面形状が予定の形状に
研磨されているかをチエツクする際等のテストに
利用される光干渉測定器に関するものである。
エハの表面平担性を無接触で事前チエツクする
際、あるいは、レンズの球面形状が予定の形状に
研磨されているかをチエツクする際等のテストに
利用される光干渉測定器に関するものである。
光干渉測定器は一般的に試料を照射する照射光
学系と、この照射光学系に基づく照明光の反射光
によつて生成される光干渉縞を読み取る測定光学
系とを伴せ持つものである。すなわち、一般的な
光干渉測定器は、その照射光学系として、第３図
に示すようにコヒーレント光源１であるHe−Ne
レーザー装置１と、この装置１からのコヒーレン
ト光を拡げるビームエキスパンダーレンズあるい
は顕微鏡レンズ２と、ハーフプリズム３、更に上
記レンズ２により拡げられたコヒーレント光を平
行光となすコリメートレンズ４とからなる。上記
照射光学系をもつて基準板５を透過し照射された
試料６の表面反射光は、試料６の表面状態に対応
して変調され、上記照射光との相互干渉により干
渉縞が発生し、この干渉縞は、測定光学系を構成
するハーフプリズム３及び９を介し結像レンズ７
によりTVカメラ８の撮像面に結像される。な
お、ハーフプリズム９及びレンズ１０は、基準板
５を取付ける際の光軸合わせを行なうための光学
系である。
学系と、この照射光学系に基づく照明光の反射光
によつて生成される光干渉縞を読み取る測定光学
系とを伴せ持つものである。すなわち、一般的な
光干渉測定器は、その照射光学系として、第３図
に示すようにコヒーレント光源１であるHe−Ne
レーザー装置１と、この装置１からのコヒーレン
ト光を拡げるビームエキスパンダーレンズあるい
は顕微鏡レンズ２と、ハーフプリズム３、更に上
記レンズ２により拡げられたコヒーレント光を平
行光となすコリメートレンズ４とからなる。上記
照射光学系をもつて基準板５を透過し照射された
試料６の表面反射光は、試料６の表面状態に対応
して変調され、上記照射光との相互干渉により干
渉縞が発生し、この干渉縞は、測定光学系を構成
するハーフプリズム３及び９を介し結像レンズ７
によりTVカメラ８の撮像面に結像される。な
お、ハーフプリズム９及びレンズ１０は、基準板
５を取付ける際の光軸合わせを行なうための光学
系である。
以上のように構成される光干渉光学系は、試料
６を除き、第４図に示す如く基準板５の取付部を
測定窓とした一つのハウジング１１内に固定的に
セツトされているものである。
６を除き、第４図に示す如く基準板５の取付部を
測定窓とした一つのハウジング１１内に固定的に
セツトされているものである。
従つて、このように一つのブロツクとしてまと
められたこれまでの光干渉測定器は、試料６が、
第４図Ａに示すように上向き、第４図Ｂに示すよ
うに横向き、あるいは第４図Ｃに示すように下向
きの各面を測定する場合には、光干渉測定器全体
の向きを変えねばならない。しかしながら、比較
的重量のあるHe−Neレーザー光源なりTVカメ
ラなりを内蔵していること、また振動・衝撃を嫌
う光学系を内蔵していること等に起因して、光干
渉測定器全体を移動させたり天地逆にしたりする
ことは、決して好ましいものでないと言わざるを
得ない。
められたこれまでの光干渉測定器は、試料６が、
第４図Ａに示すように上向き、第４図Ｂに示すよ
うに横向き、あるいは第４図Ｃに示すように下向
きの各面を測定する場合には、光干渉測定器全体
の向きを変えねばならない。しかしながら、比較
的重量のあるHe−Neレーザー光源なりTVカメ
ラなりを内蔵していること、また振動・衝撃を嫌
う光学系を内蔵していること等に起因して、光干
渉測定器全体を移動させたり天地逆にしたりする
ことは、決して好ましいものでないと言わざるを
得ない。
そこで、この考案は、上述したところに鑑み
て、光干渉測定器のコリメートレンズ及び基準板
を回転自在な光学系支持体に担持させ、必要最小
限の光学系のみを試料に応じた方向に方向転換さ
せることができるようにした光干渉測定器を提供
する。
て、光干渉測定器のコリメートレンズ及び基準板
を回転自在な光学系支持体に担持させ、必要最小
限の光学系のみを試料に応じた方向に方向転換さ
せることができるようにした光干渉測定器を提供
する。
以下、この考案による光干渉測定器の一実施例
を第１図及び第２図に基づき詳細に説明する。
を第１図及び第２図に基づき詳細に説明する。
第１図において、２０は、光干渉測定器の本体
を示し、この光干渉測定器本体２０は、支持脚２
１ａ，２１ｂに支持されている。この光干渉測定
器本体２０は、回転制御部３０と回転体部４０
と、He−Neレーザー光源等を内蔵した光源部５
０とTVカメラ等の記録装置を内蔵した記録部６
０とから構成されている。上記回転体部４０は、
第１図及び第２図にて、左右方向の軸線を回転軸
として回転するように固定枠体４１に第１及び第
２の軸部材４２及び４３によつて回転自在に支承
された光学系支持体４４を含む。この光学系支持
体４４は、第１図にて前記回転軸と直交する上下
方向に貫通形成された中空部４４ａとこの中空部
４４と連通し前記回転軸に沿つて貫通形成された
開口部４４ｂとを有する。また、上記第１の軸部
材４２は、上記開口部４４ｂと整合する貫通口４
２ａが設けられており、光源部５０と上記光学系
支持体４４の中空部４４ａとを開口部４４ｂを介
して連通接続する。上記中空部４４ａには、上記
回転軸と直交する位置に45゜のプリズムミラーＭ
が、挿入固定され、また、コリメータレンズ４が
中空部４４ａの下側開口近くに固装されている。
また、第２図において、４５は、基準板５を保持
する保持板を示し、この保持板４５は、周知の如
く基準板５の倒れ等を補正する三点支持構造とな
つている。
を示し、この光干渉測定器本体２０は、支持脚２
１ａ，２１ｂに支持されている。この光干渉測定
器本体２０は、回転制御部３０と回転体部４０
と、He−Neレーザー光源等を内蔵した光源部５
０とTVカメラ等の記録装置を内蔵した記録部６
０とから構成されている。上記回転体部４０は、
第１図及び第２図にて、左右方向の軸線を回転軸
として回転するように固定枠体４１に第１及び第
２の軸部材４２及び４３によつて回転自在に支承
された光学系支持体４４を含む。この光学系支持
体４４は、第１図にて前記回転軸と直交する上下
方向に貫通形成された中空部４４ａとこの中空部
４４と連通し前記回転軸に沿つて貫通形成された
開口部４４ｂとを有する。また、上記第１の軸部
材４２は、上記開口部４４ｂと整合する貫通口４
２ａが設けられており、光源部５０と上記光学系
支持体４４の中空部４４ａとを開口部４４ｂを介
して連通接続する。上記中空部４４ａには、上記
回転軸と直交する位置に45゜のプリズムミラーＭ
が、挿入固定され、また、コリメータレンズ４が
中空部４４ａの下側開口近くに固装されている。
また、第２図において、４５は、基準板５を保持
する保持板を示し、この保持板４５は、周知の如
く基準板５の倒れ等を補正する三点支持構造とな
つている。
なお、上記光学系支持体４４を回転自在に支承
する構成は、各第１及び第２の軸部材４２及び４
３に対して回転軸と直交する面に摩擦板４６ａ及
び４６ｂを介して配され、また第２の軸部材４３
は、スプリング４７によつて第２図にて右方向へ
付勢して設けられている。このスプリング４７
は、第１図にて示される回転制御部３０のツマミ
３１を回動操作することによりネジリードにより
第２図中左右方向に移動するスプリング抑え環４
８によつて付勢力を変更させられ、ひいては摩擦
板４６ａ及び４６ｂによる摩擦力を強弱させるこ
とができる。
する構成は、各第１及び第２の軸部材４２及び４
３に対して回転軸と直交する面に摩擦板４６ａ及
び４６ｂを介して配され、また第２の軸部材４３
は、スプリング４７によつて第２図にて右方向へ
付勢して設けられている。このスプリング４７
は、第１図にて示される回転制御部３０のツマミ
３１を回動操作することによりネジリードにより
第２図中左右方向に移動するスプリング抑え環４
８によつて付勢力を変更させられ、ひいては摩擦
板４６ａ及び４６ｂによる摩擦力を強弱させるこ
とができる。
以上のように構成された光干渉測定器は矢印方
向よりコヒーレント光を導入しまた、矢印方向と
逆方向に測定光を導出するようにすることによつ
てプリズムミラーＭ、コリメートレンズ４及び基
準板５を光学系支持体４４の回転により第１図に
示すように紙表方向、あるいは破線で示すように
上方向及び下方向に向けることができるものであ
る。また、ツマミ３１の操作によりスプリング４
７の付勢力を弱めることにより円滑に光学系支持
体４４を回転させることができるしまたスプリン
グ４７の付勢力を強めることにより所定の回転位
置でロツクすることもできる。
向よりコヒーレント光を導入しまた、矢印方向と
逆方向に測定光を導出するようにすることによつ
てプリズムミラーＭ、コリメートレンズ４及び基
準板５を光学系支持体４４の回転により第１図に
示すように紙表方向、あるいは破線で示すように
上方向及び下方向に向けることができるものであ
る。また、ツマミ３１の操作によりスプリング４
７の付勢力を弱めることにより円滑に光学系支持
体４４を回転させることができるしまたスプリン
グ４７の付勢力を強めることにより所定の回転位
置でロツクすることもできる。
従つて、この考案によれば、光干渉測定器の一
部のみの方向を変えることにより被測定体である
試料の向きに制約されることなく測定できるもの
であり、また、特に高精度を要求される測定器を
安定した状態で静置保持できるものである。
部のみの方向を変えることにより被測定体である
試料の向きに制約されることなく測定できるもの
であり、また、特に高精度を要求される測定器を
安定した状態で静置保持できるものである。
第１図は、この発明による光干渉測定器の一実
施例を示す概略図、第２図はその要部断面図、第
３図は、一般的な光干渉測定光学系の説明図、第
４図は、従来の光干渉測定器の説明図である。 ４４……光学系支持体、Ｍ……プリズムミラー
（反射手段）、４……コリメートレンズ、５……基
準板。
施例を示す概略図、第２図はその要部断面図、第
３図は、一般的な光干渉測定光学系の説明図、第
４図は、従来の光干渉測定器の説明図である。 ４４……光学系支持体、Ｍ……プリズムミラー
（反射手段）、４……コリメートレンズ、５……基
準板。
Claims (1)
- 回転自在に支承された光学系支持体に、その回
転軸と同軸方向からコヒーレント光を導入する光
導入路を設けると共にこの回転軸と直交する光軸
上にコリメートレンズ及び基準板を装着する取付
部を、更に上記回転軸との交点に反射手段を設け
てなることを特徴とする光干渉測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP338885U JPH0244162Y2 (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP338885U JPH0244162Y2 (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61119708U JPS61119708U (ja) | 1986-07-28 |
| JPH0244162Y2 true JPH0244162Y2 (ja) | 1990-11-22 |
Family
ID=30477969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP338885U Expired JPH0244162Y2 (ja) | 1985-01-14 | 1985-01-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244162Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-01-14 JP JP338885U patent/JPH0244162Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61119708U (ja) | 1986-07-28 |
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