JPH0244303A - 導波形光周波数フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、光周波数多重光通信分野等に用いる導波形光
周波数フィルタに関するものである。

（従来の技術） 石英系光ファイバの低損失波長領域である１、３μｍ帯
あるいは１．５５μｍ帯において、５ＧＨｚ程度の光周
波数間隔（波長間隔に換算すると０．３５Ａ程度）で、
多数の光信号を高密度に多重化し伝送する光周波数多重
伝送方式が、将来の大容量伝送方式として注目されてい
る。

このような光周波数多重伝送方式において、多重化され
た多チャンネルの光信号の中から所望するチャネルを選
択的に取り出す光部品としては、２個の光結合器を長さ
の異なる２本の光導波路で連結した基本構成を有する導
波形マッハ・ツェンダ光干渉計回路を、平面基板上に複
数個、直列に連結して構成した導波形光周波数フィルタ
が知られている。

第２図は、従来のこの種の導波形光周波数フィルタの構
成例を示す簡略平面図である。第２図において、１は平
板上基板、２，３，４は導波形マッハ・ツェンダ光干渉
計回路（以下、光干渉計回路と称す）である。光干渉計
回路２は、２個のＹ字形光結合器２ａ、２ｂと、これら
光結合器２ａ。

２ｂを連結した光導波路２Ｃ並びにこの光導波路２Ｃに
比べて長さがΔＬだけ長い光導波路２ｄから構成されて
いる。同様に、光干渉計回路３は、２（ＩｌのＹ字形光
結合器３ｇ、３ｂと、これら光結合器３ａ、３ｂを連結
した光導波路３Ｃ並びにこの光導波路３Ｃに比べて長さ
が２ΔＬだけ長い光導波路３ｄから構成されている。さ
らに、光干渉計回路４は２個のＹ字形光結合器４ａ、４
ｂと、これら光結合器４ａ、４ｂを連結した光導波路４
Ｃ並びにこの光導波路４Ｃに比べて長さが４ΔＬだけ長
い光導波路４ｄとから構成されている。

これらの光干渉計回路２，３．４のうち、光干渉計回路
２の光結合器２ｂと光干渉計回路３の光結合器３ａを光
導波路５で、光干渉計回路３の光結合器３ｂと光干渉計
回路４の光結合器４ａを光導波路６で連結することによ
って、各光干渉計回路２，３．４を３段直列に連結し、
さらに、光干渉計回路２の光結合器２ａに光信号入力用
光導波路７を、光干渉計回路４の光結合器４ｂに光信号
出力用光導波路８をそれぞれ連結して、導波形光周波数
フィ・ルタを構成していた。

第３図は、上記第２図に示した導波形光周波数フィルタ
の光周波数特性の説明図で、横軸は光周波数を、縦軸は
光出力を表している。第３図において、（ａ）は、光干
渉計回路２の光周波数応答を示し、この光干渉計回路２
は、Δｆｌ−Ｃ／（ｎ・ΔＬ）を周期とする正弦波状の
応答特性で特徴づけられる。また、（ｂ）は、光干渉計
回路３の光周波数応答を示し、この光干渉計回路３は、
Δｆ２−Ｃ／　（ｎ・２ΔＬ）を周期とする正弦波状の
応答特性で特徴づけられる。同様に、（ｅ）は、光干渉
計回路４の光周波数応答を示し、この光干渉計回路４は
、Δｆ３−Ｃ／（ｎ・４ΔＬ）を周期とする正弦波状の
応答特性で特徴づけられる。

（ｄ）は、（ａ）　、　　（ｂ）　、　（ｃ）における
各ピーク光周波数が、光周波数ｆｓで合致するように調
節した時の、第２図に示した光周波数フィルタ全体とし
ての光周波数応答特性を示している。

このように、３個の光干渉計回路２．３．４による周期
の異なる光周波数特性を合成して得られる第３図（ｄ）
の光周波数特性は、ｆｓ±Δｆ１の領域内において、光
周波数値ｆｓ近傍の光信号のみを通過させる光周波数フ
ィルタ作用を示すことから、第２図に示した光周波数フ
ィルタは、光周波数多重通信分野等への適用が期待でき
る。

しかし、上記光周波数フィルタでは、基板１上にフォト
リングラフィ工程やエツチング工程で、Ｙ字形光導波路
分岐部を形成する際に、その分岐部を限りなく鋭くする
ことが不可能であるため、各光結合器２　ａ　ｒ　２　
ｂ　ｒ　３　ａ　、　３　ｂ　、４　ａ　ｒ　４　ｂは
その構成上、分岐、結合部で１ｄＢ程度以上の過剰損失
を持ってしまい、全体として６ｄＢ程度以上の損失を回
避できないという問題点があった。従って、このような
光周波数フィルタを光信号が通過する際に、選択光周波
数においても光量の３７％程度以上が損失してしまい、
実用上の大きな障害となり、また、光干渉計回路をさら
に多段化して、フィルタ特性を向上させようとする際に
も、深刻な問題点となっていた。

以上の問題を回避するため、Ｙ字形光結合器に比べて、
過剰損失を小さく形成可能な方向性結合器を有する光干
渉計回路を多段に連結して構成した光周波数フィルタが
提案された。

第４図は、方向性結合器を用いた光周波数フィルタの構
成例を示す簡略平面図である。第４図において、１０は
基板、１１，１２．１３は光干渉計回路である。光干渉
計回路１１は、２本の光導波路１１ａ、ｌｌｂと、これ
ら光導波路１１ａ。

１１ｂの２箇所を数μｍまで所定長さだけ近接させてな
る方向性結合器１１ｃ、ｌｉｄとから構成されている。

同様に、光干渉計回路１２は、２本の光導波路１２ａ、
１２ｂと、これら光導波路１２ａ、１２ｂの２箇所を、
数μｍ程度まで所定長さだけ近接してなる方向性結合器
１２ｃ、１２ｄから構成されている。さらに、光干渉計
回路１３は、２本の光導波路１３ａ、１３ｂと、これら
光導波路１３ａ、１３ｂの２１１所を、数ｐｍ程度まで
所定長さだけ近接してなる方向性結合器１３ｃ、１３ｄ
から構成されている。

これらの光干渉計回路１１，１２．１３のうち、光干渉
計回路１１の光導波路１１ａの方向性結合器ｌｉｄＩ７
Ｍ端部と光干渉計回路１２の光導波路１２ａの方向性結
合器１２ｃ側端部とを連結し、同様に、光干渉計回路１
２の光導波路１２ｇの方向性結合器１２ｄ側端部と光干
渉計回路１３の光導波路１３ａの方向性結合器１３ｃ側
端部とを連結し、さらに、光干渉計回路１１の光導波路
１１ａの方向性結合器１１Ｃ側端部を入力ポートＰ１ｎ
。

光干渉計回路１３の光導波路１３ａの方向性結合器１３
ｄ側端部を出力ポートＰｏｕｔとして、導波形光周波数
フィルタを構成していた。

（発明が解決しようとする課題） 第４図に示した光周波数フィルタにおける各方向性結合
器１１ｃ、ｌｉｄ、１２ｃ、１２ｄ。

１３ｃ、１３ｄは、いわゆるエバネッセント光結合作用
により光結合器を構成するのであるが、１対１、即ち等
分の結合比とするためには、近接した２本の光導波路の
間隔や近接部分の長さ、さらに光導波路自身の構造パラ
メータも高精度に設定する必要がある。

しかしながら、方向性結合器の製作工程においては、フ
ォトリソグラフィ工程やエツチング工程等に製作誤差が
含まれており、１対１、即ち５０％−５０％の理想的な
結合比から、実際に製作し得る方向性結合器の結合比が
ずれてしまうという問題点があった。また、このように
１対１の結合比からずれが発生すると、光干渉計回路の
、いわゆる消光比が劣化し、光周波数フィルタとしての
クロストーク特性が劣化してしまうという問題点を存し
ていた。例えば結合比が６０％〜４０％（あるいは４０
％−６０％）にずれた場合、クロストーク比が１０ｄＢ
以下になる事態を招き、光周波数フィルタの製作上の歩
留りが悪く、これにより光周波数フィルタのコスト高を
招くという問題点をも有していた。

本発明の目的は、上記問題点に鑑み、クロストーク特性
に優れ、しかも過剰損失が小さく、かつ製作歩留りを大
幅に向上でき、低価格化を図れる導波形光周波数フィル
タを提供することにある。

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するため、請求項（１）では、基板上に
複数個の導波形マッハ・ツェンダ光干渉計回路を直列に
連結してなる導波形光周波数フィルタにおいて、前記各
々のマッハ・ツェンダ光干渉計回路は、２本の光導波路
と、これら２本の光導波路の２箇所を互いに近接させて
構成した２個の方向性結合器とを備え、前記２本の光導
波路のいずれか一方の光導波路を光信号入力用光導波路
とし、他方の光導波路を光信号出力用光導波路として、
自段の光信号出力用光導波路と後段の光信号入力用光導
波路を連結した。

また、請求項（２）では、２個の方向性結合器間の２本
の光導波路長差が、それぞれ長さΔＬを基Ｌ　（Ｎは２
以上の整数）を満足するＮ個のマッハ・ツェンダ光干渉
計回路を直列に連結した。

（作　用） 第５図に基づいて、請求項（１）及び請求項（２）によ
る作用を説明する。第５図（ａ）は、導波形マッハ・ツ
ェンダ光干渉計回路の模式図で、■、■は長さの異なる
２本の光導波路、■、■は２本の光導波路■、■の２１
ｍ所を互いに近接させて構成した方向性結合器である。

第５図（ｂ）　、　（ｅ）は、第５図（ａ）において光
導波路■の一端から入射させた光信号の光周波数を変化
させた際の、光導波路■の他端からの出力光の応答特性
（実線）、及び光導波路■の出射端からの出力光の応答
特性（破線）の説明図で、横軸は光周波数、縦軸は先出
力を表している。

第５図（ｂ）は、方向性結合器■、■の結合比が１対１
（５０％−５０％）の場合の光周波数応答特性を示して
おり、一方の応答が“山″の時、他方の応答は“谷（零
値）″を示し、この場合（結合比１　：　１）　、光周
波数フィルタとして理想的な光周波数応答が得られる。

一方、第５図（ｅ）は、方向性結合器■、■の結合比が
１＝１からずれた場合を示している。この場合、実線で
示す応答特性、即ち光信号が入力された光導波路■から
の出力光の応答特性は、谷部において零値を示していな
い。これに対し、破線で示す応答特性、即ち光信号が入
力された光導波路■とは異なる光導波路■からの出力光
の応答特性は、山部の値が僅かに低下するものの谷部に
おいては零値を示している。

例えば、結合比が５０％−５０％から６０％−４０％（
あるいは４０％−６０％）にずれた場合、第５図（ｅ）
において実線で示す応答特性の消光比（山部と谷部の出
力光比）は、１５ｄＢ以下にまで劣化する。また、マツ
ハ争ツエンダ光干渉計回路の一段当り１５ｄＢ以下の消
光比では、マッハ・ツェンダ光干渉計回路を数段、直列
に連結すると、１０ｄＢ以下の消光比にまで劣化してし
まう。これに対して、第５図（ｃ）において破線で示す
応答特性の消光比は劣化することはない。但し破線応答
の山部の透過率は、９６％程度に劣化するが、これは高
々０．２ｄＢの過剰損失に過ぎない。

従って、マッハ・ツェンダ光干渉計回路の構成要素であ
る２本の光導波路■、■のうち、いずれか一方の光導波
路、例えば光導波路■を光信号入力用光導波路とした場
合、当該マッハ・ツェンダ光干渉計回路の出力光として
は、入力用光導波路■とは異なる他方の光導波路■から
の出力光を採用し、このようにした、マツハ−ツエンダ
光干渉計回路を多段、直列に連結することにより、消光
比に優れた所望のフィルタ特性を有する光周波数フィル
タを構成できる。

（実施例） 第１図は、本発明による導波形光周波数フィルタの第１
の実施例を示す簡略平面図であって、従来例を示す第４
図と同一構成部分は同一符号をもって表しである。即ち
、１０は基板、１１，１２゜１３は光干渉計回路（導波
形マッハ・ツェンダ光干渉計回路）、ｌｌａ、ｌｌｂ、
１２ａ、１２ｂ。

１３ａ、１３ｂは光導波路、ｌｉｅ、ｌｌｄ。

１２ｃ、１２ｄ１１３ｃ、１３ｄは方向性結合器、Ｐｉ
ｎは人力ボート、Ｐｏｕｔは出力ポートである。

第１図においては、光干渉計回路１１の光導波路１１ｂ
の方向性結合器ｌｉｄ側端部と光干渉計回路１２の光導
波路１２ａの方向性結合器１２Ｃ側端部を連結し、同様
に、光干渉計回路１２の光導波路１２ｂの方向性結合器
１２ｄ側端部と光干渉計回路１３の光導波路１３ａの方
向性結合器１３ｃ側端部を連結し、さらに、光干渉計回
路１１の光導波路１１ａの方向性結合器１１Ｃ側端部を
入カポーＨ’Ｉｎ、光干渉計回路１３の光導波路１３ｂ
の方向性結合器１３ｄ側端部を出力ポートＰｏｕｔとし
て、導波形光周波数フィルタを構成している。

次に、上記構成による動作を説明する。尚、各光干渉計
回路１１，１２．１３の出力光のピーク光周波数が、所
望の光周波数で合致するように、いずれか一方の光導波
路、例えばｌｌｂ、１２ｂ。

１３ｂの光路長を光波長相当分の範囲内で電気光学効果
や熱光学効果を利用して（実際には図示しないヒータ等
により調節）微調節されているものとする。

まず、入力ボートＰｉｎから入射された光信号は、光導
波路１１ａを伝搬し、方向性結合器１２ｃで光導波路１
１ｂに分岐される。分岐された光信号は、光導波路１１
ａ、ｌｌｂをそれぞれ伝搬した後、方向性結合器１１ｄ
で結合され、光干渉計回路１１の光導波路１１ｂから光
干渉計回路１２の光導波路１２ｇに導波される。光導波
路１２ａに導波された光信号は、方向性結合器１２ｃで
分岐される。分岐された光信号は、光導波路１２ａ。

１２ｂをそれぞれ伝搬した後、方向性結合器１２ｄで結
合され、光干渉計回路１２の光導波路１２ｂから光干渉
計回路１３の光導波路１３ａに導波される。同様にして
、光導波路１３ａに導波された光信号は、方向性結合器
１３ｃで分岐される。

分岐された光信号は、光導波路１３ａ、１３ｂをそれぞ
れ伝搬した後、方向性結合器で結合され、光導波路１３
ｂを伝搬して出力ポートＰｉｎから所望の光周波数値の
光信号が出力されることになる。

以上のように、本第１の実施例によれば、光干渉計回路
１１，１２．１３の光導波路１１ａ。

１２ａ、１３ａを光信号入力用光導波路とし、光導波路
１１ｂ、１２ｂ、１３ｂを光信号出力用光導波路として
、各光干渉計回路１１，１２．１３を３段直列に、いわ
ゆる対角ボート同士のみを連結したので、たとえ、方向
性結合器１１ｃ、１１ｄ、１２ｃ、１２ｄｓ　１３ｃ、
１３ｄに製作上誤差があり、その結合比が１：１（５０
％−５０％）でなかったとしても、クロストーク特性に
優れた導波形光周波数フィルタを再現性良く実現で・き
る。

第６図は、本発明による導波形層波数フィルタの第２の
実施例を示す簡略平面図である。本第２の実施例と前記
第１の実施例の異なる点は、光干渉計回路１１，１２，
１３の光導波路１１ｂ。

１２ｂ、１３ｂを光信号入力用光導波路とし、光導波路
１１ａ、１２ａ、１３ｇを光信号出力用光導波路として
、光干渉計回路１１の光導波路１１ａの方向性結合器ｌ
ｉｄ側端部と光干渉計回路１２の光導波路１２ｂの方向
性結合器１２ｃ側端部とを連結し、同様に、光干渉計回
路１２の光導波路１２ａの方向性結合器１２ｄ側端部と
光干渉計回路１３の光導波路１３ｂの方向性結合器１３
Ｃ側端部とを連結し、さらに光干渉計回路１１の光導波
路１１ｂの方向性結合器１１Ｃ側端部を出力ボートＰｌ
ｎｓ光干渉計回路１３の光導波路１３ａの方向性結合器
１３ｄ側端部を出力ボートＰｏｕｔとしたことにある。

このように各光干渉計回路１１，１２．１３を３段直列
に連結しても、第１の実施例と同様の効果を得ることが
できる。

第７図及び第８図は、本発明による導波形光周波数フィ
ルタを具体的に示した第３の実施例を示すもので、第７
図はその平面図、第８図（ａ）　、　（ｂ）はそれぞれ
第７図における線分Ａ−Ａ、Ｂ−Ｂに沿った部分の拡大
断面図である。図中、１１０は長さ４ｃｓ、幅４ｃｍ５
厚さ　０．７＋ｎの構造パラメータを有するシリコン基
板、１２０，１３０，１４０は光干渉計回路である。

光干渉計回路１２０は、光導波路１２０ａと、光導波路
１２０ａとの光導波路長差ΔＬ−２，５ｍｍの光導波路
１２０ｂと、これら光導波路１２０　ａ　ｈ１２０ｂの
２１所を、数μｍ程度まで近接させてなる方向性結合器
１２０ｃ、１２０ｄから構成されている。同様に、光干
渉計回路１３０は、光導波路１３０ａと光導波路１３０
ａとの光導波路長差が２ΔＬ−５■層の光導波路１３０
ｂと、これら光導波路１３０ｇ、１３０ｂの２１１所を
数μｍ程度まで近接させてなる方向性結合器１３０ｃ。

１３０ｄから構成されている。さらに光干渉計回路１４
０は、光導波路１４０ａと、光導波路１４０ａとの光導
波路長差が４ΔＬｍｌＯｗｍの光導波路１４０ｂと、こ
れら光導波路１４０ｇ。

１４０ｂの２１１所を数μｍ程度まで近接させてなる方
向性結合器１４０ｃ、１４０ｄから構成されている。

これらの光干渉計回路１２０，１３０，１４０のうち、
光干渉計回路１２０の光導波路１２０ｂの方向性結合器
１２０ｄ側端部と光干渉計回路１３０の光導波路１３０
ｂの方向性結合器１３０Ｃ側端部を連結し、同様に、光
干渉計回路１３０の光導波路１３０ａの方向性結合器１
３０ｄ側端部と光干渉計回路１４０の光導波路１４０ａ
の方向性結合器１４０Ｃ側端部を連結し、さらに、光干
渉計回路１２０の光導波路１２０ａの方向性結合器１２
０Ｃ側端部を入力ボートＰｉｎ、光干渉計回路１４０の
光導波路１４０ｂの方向性結合器１４０ｄ側端部を出力
ボートＰｏｕｔとしている。

また、各光導波路１２０ａ、１２０ｂ、１３０ａ、１３
０ｂ、１４０ａ、１４０ｂは石英系材料よりなり、シリ
コン基板１１０上に厚さ５０μｍ程度のクラッド層１５
０に埋設されており、その断面寸法は６μｍ程度で、ク
ラッド層１５０との比屈折率差は０，７５％程度としで
ある。

さらに、光干渉計回路１２０においては、光導波路１２
０ｂ上に、光導波路長を熱光学効果により微調節するた
めの薄膜ヒータ１５１が装荷されている。同様に、同様
の作用を示す薄膜ヒータ１５２．１５３が、光干渉計回
路１３０．１４０の光導波路１３０ｂ、１４０ｂ上にも
それぞれ装荷されて、導波形光周波数フィルタが構成さ
れている。

このような光周波数フィルタは、石英系光導波路の屈折
率ｎが１．４５８であることを考慮すると、各光干渉計
回路１２０，１３０，１４０の各周期Δｆｌ、　Δｆ２
．　　Δｆ３　　（第３図相当）は、それぞれΔｆｌ　
Ｍ＝４０ＧＨｚ、　Δｆ２−２０ＧＨｚ　。

Δｆ３→１０ＧＨｚである。

以上の構成を有する、本第３の実施例による光周波数フ
ィルタにおいて、入力ポートＰ１ｎから、波長１．５５
μｍ帯で、１０ＧＨｚの光周波数間隔、即ち波長換算で
、０．７５Ａ間隔に、８チャネル分多重化した光信号を
入射し、所望する光周波数域で光干渉計回路１２０，１
３０，１４０の光周波数応答の“山部゛が一致するよう
に薄膜ヒータ１５１．１５２，１５３への供給電力を調
整した。

実際、このような操作を、多数の光周波フィルタについ
て行ない、阻止すべきチャネル信号のクロストーク比を
調べたところ、全て１５ｄＢ〜２０ｄＢ程度以上と良好
であり、本第３の実施例による光周波数フィルタは、方
向性結合器１２０ｃ。

１２０ｄ、１３０ｃ、１３０ｄ、１４０ｃ。

１４０ｄの製作上の誤差を許容して、クロストーク特性
に優れた導波形光周波数フィルタを実現できる。

尚、本第３の実施例では、光信号の入出力ボートＰｉｎ
　、　Ｐｏｕｔに用いた光導波路１２０ａ、１４０ｂの
端部以外に、６箇所の光導波路端が基板面まで導かれて
いるが、これらの光導波路端は必要に応じて各光干渉計
回路にパイロット信号を入射させ、薄膜ヒータ１５１．
１５２，１５３の調節用モータポイントとして用いるこ
とも可能である。

以上の実施例においては、光干渉計回路は、入力ポート
Ｐｌｎ側から２本の光導波路長差の小さい順に連結され
ているが、この順序を、任意に入れ換えても、同様の作
用効果を得られることはいうまでもない。

また、第３の実施例において、各光干渉計回路１２０．
１３０，１４０の２本の光導波路を光導波路長着ΔＬ、
２ΔＬ、４ΔＬ、・・・、２　　ΔＬの組合せとするこ
とにより、最も少ない段数で、所望のフィルタ特性を得
ることができる。なお、場合によっては、他の組合わせ
を用いることも任意である。

また、第３の実施例では石英系光導波路を基本とする具
体的実施例について説明したが、他材料の光導波路系を
用いても、同様の効果を得ることが可能なことはいうま
でもない。

さらに、各実施例においては、光干渉計回路を３段直列
に連結した光周波数フィルタについて説明したが、これ
に限定されるものではなく、さらに段数を増加して、よ
り多チャンネルの信号光を扱う光周波数フィルタを構成
することにより、より顕著な効果を得ることができるこ
とは明らかである。

（発明の効果） 以上説明したように、請求項（１）によれば、各マッハ
・ツェンダ光干渉計回路のいずれか一方の光導波路に入
射した光信号は、光信号の入射側光導波路とは異なる他
方の光導波路から次段のマッハ・ツェンダ光干渉計回路
へあるいは当該光周波数フィルタから出射されるので、
たとえ方向性結合器に製作上の誤差があったとしても、
クロストーク特性に優れた導波形光周波数フィルタを再
現性よく提供できる利点がある。

また、製作歩留りが、従来のものに比べて飛躍的に高い
ことから、低価格化を図れ、光周波数多重伝送方式等の
普及に貢献できる。

また、請求項（２）によれば、請求項（１）の効果に加
えて、マッハ・ツェンダ光干渉計回路の連結段数を最も
少なくして、所望のフィルタ特性を有する導波形光周波
数フィルタを実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による導波形光周波数フィルタの第１の
実施例を示す簡略平面図、第２図はＹ字形光結合器を有
する従来の導波形光周波数フィルタの簡略平面図、第３
図は第２図の光周波数フィルタの光周波数特性の説明図
、第４図は方向性結合器を有する従来の導波形光周波数
フィルタの簡略平面図、第５図は本発明に係る作用の説
明図、第６図は本発明による導波形光周波数フィルタの
第２の実施例を示す簡略平面図、第７図は本発明による
導波形光周波数フィルタの第３の実施例を示す平面図、
第８図（ａ）　、　（ｂ）は第７図の一部拡大断面図で
ある。 図中、１０．１１０・・・基板、２０，３０，４０゜１
２０．１３０，１４０・・・導波形マッハ・ツェンダ光
干渉計回路、２０ａ、２０ｂ、３０ａ、３０ｂ、４０ａ
、４０ｂ、１２０ａ、１２０ｂ。 １３０ａ、１３０ｂ、１４０ａ、　　１４０ｂ−・・光
導波路、２０ｃ、２０ｄ、３０ｃ、３０ｄ、４０ｃ。 ４０ｄ、１２０ｃ、１２０ｄ、１・３０ｃ、１３０ｄ、
１４０ｃ、１４０ｄ・・・方向性結合器、１５１゜１５
２．１５３・・・薄膜ヒータ。 特許出願人　日本電信電話株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に複数個の導波形マッハ・ツェンダ光干渉
   計回路を直列に連結してなる導波形光周波数フィルタに
   おいて、 前記各々のマッハ・ツェンダ光干渉計回路は、２本の光
   導波路と、これら２本の光導波路の２箇所を互いに近接
   させて構成した２個の方向性結合器とを備え、前記２本
   の光導波路のいずれか一方の光導波路を光信号入力用光
   導波路とし、他方の光導波路を光信号出力用光導波路と
   して、自段の光信号出力用光導波路と後段の光信号入力
   用光導波路を連結したことを特徴とする導波形光周波数
   フィルタ。
2. （２）２個の方向性結合器間の２本の光導波路長差が、
   それぞれ長さΔＬを基準として、ΔＬ，２ΔＬ，４ΔＬ
   ，…，２＾Ｎ＾−＾１ΔＬ（Ｎは２以上の整数）を満足
   するＮ個のマッハ・ツエンダ光干渉計回路を直列に連結
   した請求項（１）記載の導波形光周波数フィルタ。