JPH0244312A - 位相変換素子 - Google Patents

位相変換素子

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JPH0244312A
JPH0244312A JP19580788A JP19580788A JPH0244312A JP H0244312 A JPH0244312 A JP H0244312A JP 19580788 A JP19580788 A JP 19580788A JP 19580788 A JP19580788 A JP 19580788A JP H0244312 A JPH0244312 A JP H0244312A
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JP
Japan
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optical
electro
parallel
voltage
phase conversion
Prior art date
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Pending
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JP19580788A
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English (en)
Inventor
Tadao Iwaki
忠雄 岩城
Toshiji Takei
利治 武居
Hiroshi Kuroda
浩 黒田
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Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は光情報を並列的に処理する技術を利用した機器
を対象とする光情報処理産業に用いられる位相変換素子
に関する。
〔発明の概要〕
本発明による位相変換素子は電気光学結晶の光学軸に垂
直な平行平面の特定領域に対向透明電極を形成し、上記
平行平面の特定領域以外の平行平面$■域に前記対向電
極の光学膜厚に等しい光学膜厚の透明薄膜を形成し、さ
らに前記対向透明電極間には使用する電気光学結晶の半
波長電圧に少なくとも等しい電圧が印加可能な手段を存
し、前記対向透明電極間に半波長電圧を印加したときの
使用する電気光学結晶の屈折率楕円体の主軸方向に偏光
した直線偏光を使用する電気光学結晶の光学軸に平行に
入射させる手段を有さしめることにより、光画像情報な
どの並列光情報の波面の特定領域とそれ以外の領域の位
相を少な(ともπだけ異ならしめることができ振幅の符
号を変えることができるため、並列光情報の波面の特定
領域とそれ以外の領域の和あるいは差演算を任意に可能
ならしめるものであり、並列光情報処理分野において有
効な光能動素子を提供するものである。
〔従来の技術〕
従来より光の位相を変化させて使用する光能動素子は液
晶素子、ポッケルスセル、カーセル、ファラデーセルな
ど多くの応用が行われてきた。
しかし、これらの光能動素子のほとんどは偏光素子と組
合わせて光強度変調素子として用いられており、位相の
変化自身を積極的に応用しようとするものではなかった
0位相の変化自身を積極的に変調しようとさせる位相変
換素子としてはアイ・ピー・カミノフ(LP、Kami
now)らのポッケルスセルを用いた位相変調器や〔ア
プライド フィジックス レターズ 2.401963
) (Appl、Phys、LeLL、  2.41(
1963)) 、ガラス板を適度な光路長に調整したも
のが用いられてきた。
〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら従来の位相変換素子、特に位相の変化自身
を積極的に変調しようとさせる位相変換素子は、並列光
情報の波面の特定領域のみの位相を変換することができ
なかったため、並列光情報の波面の特定領域のみを分岐
させて位相変換した後位相変換しない波面の領域と結合
するという複雑な処理を要したり、ガラス板を用いたも
のにおいては外部から位相変換量を調整するため極めて
精密な機械的位置決めをせねばならないという問題点を
有していた。
〔課題を解決するための手段〕
本発明による位相変換素子は電気光学結晶の光学軸に垂
直な平行平面の特定領域に対向透明電極を形成し、上記
平行平面の特定領域以外の平行平面領域に前記対向電極
の光学膜厚に等しい光学膜厚の透明薄膜を形成し、さら
に前記対向透明電極間には使用する電気光学結晶の半波
長電圧に少なくとも等しい電圧が印加可能な手段を有し
、前記対向透明電極間に半波長電圧を印加したときの使
用する電気光学結晶の屈折率楕円体の主軸方向に偏光し
た直線偏光を使用する電気光学結晶の光学軸に平行に入
射させる手段を備えた。
(作用〕 上記の構成により、並列光情報の波面の特定領域の位相
変換を分岐・結合という複雑な手段を用いることなしに
実現することができ、また本発明における対向透明電極
間に印加する電圧の大きさを制御するだけで少なくとも
πの大きさまでは任意に位相変換量を制御することがで
き上記問題点を解決した。
〔実施例〕
以下本発明による位相変換素子の実施例を図面を参照し
ながら説明する。第1図は本発明による位相変換素子の
原理図であり、1は電気光学結晶、2は対向透明電極、
3は透明Fj膜、4は偏光子、5は高圧を源、6はスイ
ッチ、7は半波長電圧印加時の屈折率楕円体主軸、8は
電気光学結晶1の結晶軸、9は入射光である。電気光学
結晶lとしてはKHz PO4,KDt POa、NH
a Hz PO−ZnS、Zn5e、CdS、GaAs
、BaTi0a、LiNboi、LiTaos、KTi
OPO4,水晶などを用いることができるが、本実施例
では電気光学結晶としてKHl PO,を用いた場合に
ついて説明する。第1図に示すようにK Hz P O
aの光学軸は結晶C軸に一致するため、結晶C軸に垂直
な平行平面すなわち結晶a軸および結晶す軸の張る面に
平行にKHl PO,を切断研磨した。
なお、結晶C面の大きさは15flx30nで厚みは5
+uとし、平行平面の透過波面精度はλ/20(ただし
λ−633nm)とした、また、光学系の調整が容量に
なるように残りの平行平面は半波長電圧印加時の屈折率
楕円体主軸7のX、  Y軸にそれぞれ平行に切断した
。なお、半波長電圧印加時の屈折率楕円体主軸7のX軸
と結晶軸8のa軸のなす角度は45度である。次に結晶
軸8のC軸に垂直な平行平面の半分に対向透明電極2と
してITO(酸化インジウムと酸化スズの化合物)を反
応性蒸着を用いて約1600人形成した。対向透明電極
2としてはITO以外に酸化インジウム、M化スズ、酸
化亜鉛などを用いても良い0次に結晶軸8のC軸に垂直
な平行平面の対向透明電極2の形成されていない残りの
土平面に透明薄膜3を真空蒸着法により形成した。透明
薄膜3は結晶軸8のC軸に垂直な平行平面の片面のみに
形成しても良いし、対向する両面に形成しても良い、結
晶軸8のC軸に垂直な平行平面の片面に形成する場合は
、2枚の対向透明電極8の各々の光学膜厚の和に等しい
光学膜厚になるように形成する0通常は2枚の対向透明
電極8は各々等しい膜厚で形成するから、対向透明を橿
8の膜厚をd電、屈折率をn電、i!i明′gI膜3の
膜厚をd、屈折率をnとするときd−2d @ n i
i / nとなるように形成すれば良い、結晶軸8のC
軸に垂直な平行の対向する両面に透明薄膜3を形成する
場合は各々の面に形成された透明薄膜3の膜厚をd電1
.d電2とするときd−’In@、(d電、+d電2)
となるような膜厚に透明薄膜3を形成すればよい、なお
透明電極8が形成された面の光透過率が等しくなるよう
にn=n電。
d電、wd電よとするのが好ましい。本実施例ではn 
= n電とするため透明薄膜3の材料としてS10を用
いたが、Yt Os、 A 1 z Os、 P b 
F z、 CeF、Tiot、Zr0zなどの材料を用
いることができる。また本実施例における透明薄膜3の
膜厚は約1600人とした。偏光子4としては方解石を
用いたグラントムソンプリズムあるいはグランティラー
プリズムあるいは光学多層膜を用いた偏光ビームスプリ
ンターを用いることができるが本実施例では方解石を用
いたグラントムソンプリズムを使用し、偏光子4をy5
過後の光の偏波面が半波長電圧印加時の屈折率楕円体主
軸7のX軸に平行になるように設置した。高圧電1ll
X5としては10kVまで印加可能な直流電源を用い、
KH,PO。
の半波長電圧である7、6kVが出力できるように設定
しておきスイッチ6により対向透明電極2に印加する電
圧の0N10FFを行った。なお半波長電圧を正確に印
加するために本発明による位相変換素子をレーザ干渉計
内に挿入し対向透明電極2が形成された面と透明薄膜3
が形成された面との透過波面位相を計測しその差がπだ
け異なるのに必要な印加電圧を高圧電源の出力として設
定した。このときレーザ干渉計内で対向透明電極2が形
成された面と透明FIII!3が形成された面でレーザ
のもどり光強度が異なる。この各面でのレーザのもどり
光強度比(以下明度比と呼ぶ)は対向透明電極2間に印
加された電圧φにより変化する。
この変化のようすを示したのが第2図である。第2図か
ら本実施例における位相変換素子は干渉計内に挿入した
場合対向透明電橋2の形成面と透明薄膜2の形成面の明
度比が一致する印加電圧がゼロボルトに存在し、印加電
圧が7.6kVで位相がπだけずれることがわかる。
なお、本発明の位相変換素子をレーザ光学系に用いる場
合はレーザー光の偏波面を半波長電圧印加時の屈折率楕
円体主軸のX軸あるいはY軸に一致させることにより偏
光子4は不要になる。
次に本発明の位相変換素子を用いて並列光情報処理を行
う場合の一原理例を説明する。第3図は本発明の位相変
換素子を用いた並列光情報処理の一原理図であり、10
は本発明の位相変換素子、11はフーリエ変換レンズ、
12は第1の入力情報、13は第2の入力情報、14は
出力情報である。第3図において本発明の位相変換素子
10の対向透明電極2に高圧fil!5によって印加電
圧を付与しないとき、透明薄膜3の形成面に第1の入力
情報として並列光情報aを人力し、対向透明電極2の形
成面に第2の入力情報すを入力した場合a、bは本発明
の位相変換素子10を透過した後も位相差が生じず、フ
ーリエ変換レンズ11によってフーリエ変換された後の
出力情報14としてのFの強度分布は、Fl”=(lA
l”+lBl”+lnl”+2Re  (A” B)+
2Re  (B” p)+2Re  (A”n))(e
xρ(iψ)となる。ここでnは情報ノイズ、ψは入力
情報aとbの入力位置により生じた位相、Al)、Be
 、  n=は各々A、B、nの複素共役、Re (A
” B)、Re (B” n)、  Re(A”n>は
各々A” B、B” n、A” nの実数部である。次
に本発明の位相変換素子10の対向透明電極2の形成面
にスイッチ6をONすることにより高圧電源5によって
用いた電気光学結晶の半波長電圧を印加したとき、透明
薄膜3の形成面に第1の入力情報として並列光情報aを
入力し、対向透明電極2の形成面に第2の入力情報とし
てbを入力した場合、a、bは本発明の位相変換素子1
0を透過した後、πだけ位相差が生じ、フーリエ変換レ
ンズ11によってフーリエ変換された後の出力情報をF
′とするとその強度分布はIF’= (IAI” +l
Bl” +ln’ l” −2Re(A” B)−2R
e (B” n ’)−2Re (A”n ’ ) )
 exp(iψ)となる、ここでn′は情報ノイズとな
る。lF+”と+F”  lを電気的あるいは光学的に
減算してやればnun’であるから4Re (A” B
)+4Re (A” n)+4Re(B” n)の情報
となる。ここで、A” n、B”nはA”Bに比べて充
分小さい場合が多いからこの情報は実質的に4Re(A
’″B)すなわち第1の入力情I′llaと第2の入力
情報すの相互相関情報となる。このように本発明の位相
変換素子を用いれば2つの並列光情報の相関強度の和算
・差算を情報ノイズを最小にして容易に行えるという優
れた機能を有する。これに類似した光学相関処理は特開
昭57−138616号公報に見られるが、本発明によ
る位相変換素子を用いることにより光学相関処理におけ
る自己相関および情報ノイズの影響を減らすことが可能
となる。また、第1の入力情I[112、第2の入力情
報13の入力方法として液晶表示素子あるいは磁気光学
表示素子あるいはエレクトロクロミック表示素子を用い
、また出力情a14の検出素子としてCODを用いて、
CODで検出されたIF+”およびIF’ l’を直接
筒1の入力情報12および第2の入力情報13として用
いることにより準光学的に並列光情報の和算・減算も可
能となる。
〔発明の効果〕
以上述べたように本発明による位相変換素子は電気光学
結晶の光学軸に垂直な平行平面の特定領域に対向透明電
極を形成し、上記平行平面の特定領域以外の平行平面領
域に前記対向透明電極の光学膜厚に等しい光学膜厚の透
明薄膜を形成し、さらに前記対向透明電極間には使用す
る電気光学結晶の半波長電圧に少なくとも等しい電圧が
印加可能な手段を存し、前記対向電極間に半波長電圧を
印加したときの使用する電気光学結晶の屈折率楕円体の
主軸方向に偏光した直線偏光を使用する電気光学結晶の
光学軸に平行に入射させる手段を有さしめることにより
、並列光情報の波面の特定領域とそれ以外の領域の位相
を少なくともπだけ異ならしめることができ振幅の符号
を変えることができるため、並列光情報の波面の特定領
域とそれ以外の領域の和あるいは差演算を任意に可能な
らしめるものであり、特に本発明による位相変換素子を
特開昭57−138616号公報に見られるような光学
相関処理に適用するならば情報ノイズを最小にして相互
相関情報のみを取り出すことができ、生産工場における
ロポントの視覚としての画像比較等への効果は極めて大
きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による位相変換素子の原理図、第2図は
本発明における透明薄膜形成面と対向電極形成面の干渉
計内での明度比1/I電と印加電圧との関係を示す説明
図、第3図は本発明の位相変換素子を用いた並列光情報
処理の一原理図であ1・・・電気光学結晶 2・・・対向透明電極 3・・・透明薄膜 4・・・偏光子 5・・・高圧電源 6・・・スイッチ 7・・・半波長電圧印加時の屈折率楕円体主軸8・・・
結晶軸 9・・・入射光 10・・・本発明の位相変換素子 11・・・フーリエ変換レンズ 12・・・第1の入力情報 13・・・第2の入力情報 I4・・・出力情報 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士  林   敬 之 助本光明にぼ6位
子目夛喚禾jの原理国 事1図 13第2の入77慣帳

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 電気光学結晶の光学軸に垂直な平行平面の特定領域に対
    向透明電極を形成し、 上記平行平面の特定領域以外の平行平面領域に前記対向
    透明電極の光学膜厚に等しい光学膜厚の透明薄膜を形成
    し、 さらに前記対向透明電極間には使用する電気光学結晶の
    半波長電圧に少なくとも等しい電圧が印加可能な手段を
    有し、 前記対向透明電極間に半波長電圧を印加したときの使用
    する電気光学結晶の屈折率楕円体の主軸方向に偏光した
    直線偏光を使用する電気光学結晶の光学軸に平行に入射
    させる手段を有することを特徴とする位相変換素子。
JP19580788A 1988-08-05 1988-08-05 位相変換素子 Pending JPH0244312A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0690332A3 (en) * 1994-06-27 1998-03-04 Canon Kabushiki Kaisha Optical device and displacement information measurement apparatus using the same

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