JPH0246852U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0246852U JPH0246852U JP12320188U JP12320188U JPH0246852U JP H0246852 U JPH0246852 U JP H0246852U JP 12320188 U JP12320188 U JP 12320188U JP 12320188 U JP12320188 U JP 12320188U JP H0246852 U JPH0246852 U JP H0246852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- temperature measuring
- measuring section
- cap part
- evaporator characterized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す蒸発装置の縦
断側面図、第２図は実験用蒸発装置の縦断側面図
、第３図および第４図は温度と蒸発量との関係を
示すグラフ、第５図および第６図は従来の蒸発装
置の縦断側面図である。 １……ルツボ、２……ヒータ、３……シールド
板、４……材料、５……熱電対、６……測温用キ
ヤツプ部分、６ａ……蒸気噴出用孔、６ｂ……ツ
バ部分、７……ボルト。
断側面図、第２図は実験用蒸発装置の縦断側面図
、第３図および第４図は温度と蒸発量との関係を
示すグラフ、第５図および第６図は従来の蒸発装
置の縦断側面図である。 １……ルツボ、２……ヒータ、３……シールド
板、４……材料、５……熱電対、６……測温用キ
ヤツプ部分、６ａ……蒸気噴出用孔、６ｂ……ツ
バ部分、７……ボルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ルツボ式蒸発装置において、測温部を設け
たことを特徴とする蒸発装置。 (2) 上記測温部がルツボの開口部を覆うキヤツ
プ部分と、そのキヤツプ部分から下向きに張り出
すツバ部分とから成ることを特徴とする蒸発装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12320188U JPH0246852U (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12320188U JPH0246852U (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0246852U true JPH0246852U (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=31371837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12320188U Pending JPH0246852U (ja) | 1988-09-20 | 1988-09-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0246852U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020097763A (ja) * | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 日本電子株式会社 | 間接加熱蒸着源 |
-
1988
- 1988-09-20 JP JP12320188U patent/JPH0246852U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020097763A (ja) * | 2018-12-18 | 2020-06-25 | 日本電子株式会社 | 間接加熱蒸着源 |