JPH0247525A - 光ビーム径測定装置 - Google Patents
光ビーム径測定装置Info
- Publication number
- JPH0247525A JPH0247525A JP19791388A JP19791388A JPH0247525A JP H0247525 A JPH0247525 A JP H0247525A JP 19791388 A JP19791388 A JP 19791388A JP 19791388 A JP19791388 A JP 19791388A JP H0247525 A JPH0247525 A JP H0247525A
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- JP
- Japan
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- light beam
- original
- transparent flat
- plates
- beam diameter
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、元ビームの径を２次元撮像センサによって測
定する装置に係り、特に光学式記録再生装置などで使用
されているレーザ尤の径が精度良好にして測定されるよ
プにした元ビーム径測定装置に関するものである。
定する装置に係り、特に光学式記録再生装置などで使用
されているレーザ尤の径が精度良好にして測定されるよ
プにした元ビーム径測定装置に関するものである。
固体撮像素子を受光センサとした光ビーム径測定装置で
は、一般に各画素での光強度が計測されろことによって
、元ビーム径が算出されるようになっている。例えば、
特開昭５９−４４６２８号公報においては、量大出力レ
ベルを有する画素の位置と、最大出力レベルの１／ｅ″
の出力レベルを有する画素の位置とから光ビーム径が算
出されるようになっている。また、％開開６０−２５６
０１９号公報による場合には、水平、垂！ｉ［２方向の
光強度分布を記憶しておき、ある閾値を越える光強度の
画素数から元ビーム径が算出されるようになっている。
は、一般に各画素での光強度が計測されろことによって
、元ビーム径が算出されるようになっている。例えば、
特開昭５９−４４６２８号公報においては、量大出力レ
ベルを有する画素の位置と、最大出力レベルの１／ｅ″
の出力レベルを有する画素の位置とから光ビーム径が算
出されるようになっている。また、％開開６０−２５６
０１９号公報による場合には、水平、垂！ｉ［２方向の
光強度分布を記憶しておき、ある閾値を越える光強度の
画素数から元ビーム径が算出されるようになっている。
これら公報では倒れも光ビーム径の算出は、画素を基本
単位として行なわれていることから、画素の大きさ以上
に精度は上がらず、画素の大きさ程度の誤差が生じるこ
とになる。したがって、測定誤差を小さくするには、測
足値を大きくすべく撮偉素子受元面上に投写される光ビ
ーム像を拡大し、画素相当の誤差を相対的に小さくなる
ようにすればよく、これはレンズ等を用いろことで容易
−となっている。このため、特開昭５９−４４６２８号
公報による場合、撮像素子の前面には元ビーム拡大用レ
ンズが設けられたものとなっている。
単位として行なわれていることから、画素の大きさ以上
に精度は上がらず、画素の大きさ程度の誤差が生じるこ
とになる。したがって、測定誤差を小さくするには、測
足値を大きくすべく撮偉素子受元面上に投写される光ビ
ーム像を拡大し、画素相当の誤差を相対的に小さくなる
ようにすればよく、これはレンズ等を用いろことで容易
−となっている。このため、特開昭５９−４４６２８号
公報による場合、撮像素子の前面には元ビーム拡大用レ
ンズが設けられたものとなっている。
しかしながら、拡大された光ビーム像を撮像素子に投影
する場合には、元ビームをとらえて径を測定する視野を
狭くすることになる。例えば、撮像素子の受光部の大き
さが８．８ ｘ ６．６ ｍであっても元ビームが１０
倍に拡大される場合には、視野は０．８８ ｘ Ｏ，６
６ｗｍと穫めて小さくなるものでちる。
する場合には、元ビームをとらえて径を測定する視野を
狭くすることになる。例えば、撮像素子の受光部の大き
さが８．８ ｘ ６．６ ｍであっても元ビームが１０
倍に拡大される場合には、視野は０．８８ ｘ Ｏ，６
６ｗｍと穫めて小さくなるものでちる。
視野が狭ければ、元ビームの光軸のずれによっては元ビ
ームが撮像素子に投影されなくなつｆＣジ。
ームが撮像素子に投影されなくなつｆＣジ。
投影された元ビーム像に欠けが生じ易くなるというもの
である。そこで、視野中央部に光ビームをとらえる作業
が必要となるが、視野が小さいため、元ビームを視野内
に入射せしめることは容易でなく、その作業性はいきお
い低下し友ものとなっている。
である。そこで、視野中央部に光ビームをとらえる作業
が必要となるが、視野が小さいため、元ビームを視野内
に入射せしめることは容易でなく、その作業性はいきお
い低下し友ものとなっている。
本発明の目的は、元ビーム像の拡大によって視野が狭く
なる場合であっても、容易に元ビームを視野内にとらえ
ろことが可能とされｆＣ，元ビーム径測定装置を供する
にある。
なる場合であっても、容易に元ビームを視野内にとらえ
ろことが可能とされｆＣ，元ビーム径測定装置を供する
にある。
上記目的は、２次元撮像素子への光ビーム元路中に、そ
の光ビーム光軸に回転軸が直交する状態で、相互に回転
軸が直交する少な（とも２つの透明平板が回動自在に設
けられることで達成される。
の光ビーム光軸に回転軸が直交する状態で、相互に回転
軸が直交する少な（とも２つの透明平板が回動自在に設
けられることで達成される。
光ビーム元軸に対し透明平板が直交する状態にある場合
は、元ビームは単に透明平板を介し直進するも、透明平
板が直交しない状態にある場合には、元ビームは屈折の
法則により透明平板からはその元ビーム元軸が元の元ビ
ーム元鋤に平行とされ几状態で、それより僅かに偏位し
た状態で出射されろというものである。その偏位量は透
明平板の回動状態によるが、その偏位方向は一定である
ことから、偏位方向が相互に直交する状態で少ｔ（とも
２つの透明平板が回動自在に設けられろ場合は、２つの
透明平板の回動状態の調整如何によって、元ビームは２
仄元撮像素子に状態良好にして入射せしめられろもので
ある。
は、元ビームは単に透明平板を介し直進するも、透明平
板が直交しない状態にある場合には、元ビームは屈折の
法則により透明平板からはその元ビーム元軸が元の元ビ
ーム元鋤に平行とされ几状態で、それより僅かに偏位し
た状態で出射されろというものである。その偏位量は透
明平板の回動状態によるが、その偏位方向は一定である
ことから、偏位方向が相互に直交する状態で少ｔ（とも
２つの透明平板が回動自在に設けられろ場合は、２つの
透明平板の回動状態の調整如何によって、元ビームは２
仄元撮像素子に状態良好にして入射せしめられろもので
ある。
以下、本発明を第１図から第５図により説明する。
先ず本発明の原理について説明すれば、第２図に示すよ
うに光ビーム１０は一般にレンズ３０でそのビーム径が
拡大され之うえ、ＴＶ右カメラ０におけろ２次元撮像素
子４１上で元ビーム拡大投影像１１として撮像、検出さ
れろようになっている。ＴＶ右カメラ０からのビデオ信
号はビーム径″Ｘ／ｆｌ装ｆ！ｔ４２で所定に処理され
ることによって、光ビーム１０のビーム径が精度良好に
して測定されるようになっているものであるが、２次元
撮像素子４１での元ビーム拡大投影像１１の位置は、党
ビーム１０の光路途中に挿入された透明平板２０の回動
状態によって変更され得るというものである。透明平板
２０自体はその回転軸が元ビーム１０元軸に直交する状
態で支持枠２２に回動自在として支持されており、回転
つまみ２１によってその回動状態は容易に変更可とされ
ているものである。
うに光ビーム１０は一般にレンズ３０でそのビーム径が
拡大され之うえ、ＴＶ右カメラ０におけろ２次元撮像素
子４１上で元ビーム拡大投影像１１として撮像、検出さ
れろようになっている。ＴＶ右カメラ０からのビデオ信
号はビーム径″Ｘ／ｆｌ装ｆ！ｔ４２で所定に処理され
ることによって、光ビーム１０のビーム径が精度良好に
して測定されるようになっているものであるが、２次元
撮像素子４１での元ビーム拡大投影像１１の位置は、党
ビーム１０の光路途中に挿入された透明平板２０の回動
状態によって変更され得るというものである。透明平板
２０自体はその回転軸が元ビーム１０元軸に直交する状
態で支持枠２２に回動自在として支持されており、回転
つまみ２１によってその回動状態は容易に変更可とされ
ているものである。
したがって、もしも透明平板２０が光ビーム１０光軸に
対し直交する状態にある場合に、光ビーム拡大投影像１
１の全体が２次元撮像素子４１上にある場合は、この状
態で光ビーム１０のビーム径は測定されることにｔろ（
ｇ ５１ｆｆｌｌａ＋参照）。ＬかＬながら１元ビーム
拡大投杉俊１１の一部でも２次元撮像素子４１上よりＸ
方向にはみ出るよりてあれば（第３図［ｂｌ参照）、透
明平板２０を適当に回動せしめることによって、元ビー
ム拡大投影像１１はその全体が２次元撮像素子４１上に
位置させられたうえ撮像、検出されることが可能となる
ものである（第３図１ｃＩ参照）。
対し直交する状態にある場合に、光ビーム拡大投影像１
１の全体が２次元撮像素子４１上にある場合は、この状
態で光ビーム１０のビーム径は測定されることにｔろ（
ｇ ５１ｆｆｌｌａ＋参照）。ＬかＬながら１元ビーム
拡大投杉俊１１の一部でも２次元撮像素子４１上よりＸ
方向にはみ出るよりてあれば（第３図［ｂｌ参照）、透
明平板２０を適当に回動せしめることによって、元ビー
ム拡大投影像１１はその全体が２次元撮像素子４１上に
位置させられたうえ撮像、検出されることが可能となる
ものである（第３図１ｃＩ参照）。
以上のよつに元ビーム１０の元軸がＸ方向に偏位してい
る場合には、透明平板２０を適当に回動せしめろことに
よってそのビーム径は測定可能となるが、一般的には元
ビーム１０の元軸はＸ方向に、あるいはｘ、Ｘ方向に同
時に偏位している場合もあり得るから、Ｘ方向、Ｘ方向
それぞれに対応して透明平板？設ければよいことになる
。第１図はその場合での構Ｆ′Ｎ、を示したものである
。透明平板２０ａ、２０ｂはそれぞれｙ方向、Ｘ方向対
応に設けられたものであり、これによ！ｌｌ′ｙｔビー
ム１０の元軸が如回なる方向に偏位していようとも、元
ビーム１０のビーム径が画定可となるものである。即ち
、透明平板２０ａ、２０ｂの何れか、または双方の回動
状態を同時に調整することによっては、光ビーム拡大投
影像１１の全体が２次元撮像素子４１上に位置され得、
この状態で光ビーム１０のビーム径が測されるものであ
る。
る場合には、透明平板２０を適当に回動せしめろことに
よってそのビーム径は測定可能となるが、一般的には元
ビーム１０の元軸はＸ方向に、あるいはｘ、Ｘ方向に同
時に偏位している場合もあり得るから、Ｘ方向、Ｘ方向
それぞれに対応して透明平板？設ければよいことになる
。第１図はその場合での構Ｆ′Ｎ、を示したものである
。透明平板２０ａ、２０ｂはそれぞれｙ方向、Ｘ方向対
応に設けられたものであり、これによ！ｌｌ′ｙｔビー
ム１０の元軸が如回なる方向に偏位していようとも、元
ビーム１０のビーム径が画定可となるものである。即ち
、透明平板２０ａ、２０ｂの何れか、または双方の回動
状態を同時に調整することによっては、光ビーム拡大投
影像１１の全体が２次元撮像素子４１上に位置され得、
この状態で光ビーム１０のビーム径が測されるものであ
る。
以上説明し念ように、元ビームはその光軸が、これとは
平行とされた他の光軸に任意に偏位され得るから、元ビ
ーム像全体を２次元撮像孝子上に容易に位置させた状態
でビーム径が測定されることになる。
平行とされた他の光軸に任意に偏位され得るから、元ビ
ーム像全体を２次元撮像孝子上に容易に位置させた状態
でビーム径が測定されることになる。
第１図は１本発明による光ビーム径測足装置の一例での
構取を示す図、第２図、第３図（α）、ｌｂｌ、ｌｃｌ
は、その原理を説明するための図である。 １０・・・元ビーム、１１・・・元ビーム拡大投影像、
２０ α 子、 ２０ｂ・・・透明平板、４ ２・・・ビーム径算出装置。 ・・・２次元撮像素
構取を示す図、第２図、第３図（α）、ｌｂｌ、ｌｃｌ
は、その原理を説明するための図である。 １０・・・元ビーム、１１・・・元ビーム拡大投影像、
２０ α 子、 ２０ｂ・・・透明平板、４ ２・・・ビーム径算出装置。 ・・・２次元撮像素
Claims (1)
- １、２次元撮像素子に光ビームを入射せしめることによ
つて、該光ビームの径が測定されるべくなした光ビーム
径測定装置であつて、２次元撮像素子への光ビーム光路
中に、該光ビーム光軸に回転軸が直交し、かつ相互に回
転軸が直交する少なくとも２つの透明平板が回動自在に
設けられてなる構成を特徴とする光ビーム径測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19791388A JPH0247525A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 光ビーム径測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19791388A JPH0247525A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 光ビーム径測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247525A true JPH0247525A (ja) | 1990-02-16 |
Family
ID=16382355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19791388A Pending JPH0247525A (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | 光ビーム径測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247525A (ja) |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP19791388A patent/JPH0247525A/ja active Pending
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