JPH0247696B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247696B2 JPH0247696B2 JP56176411A JP17641181A JPH0247696B2 JP H0247696 B2 JPH0247696 B2 JP H0247696B2 JP 56176411 A JP56176411 A JP 56176411A JP 17641181 A JP17641181 A JP 17641181A JP H0247696 B2 JPH0247696 B2 JP H0247696B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photodiode array
- photoelectric conversion
- sensitivity
- output
- memory
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は表面疵検査装置の自動感度補正機構に
係り、鋼板等の移動する帯状体の表面疵を光学的
手段により検査する装置において検出機にイメー
ジセンサー等の一次元自己走査型フオトダイオー
ドアレーを使用し、しかもそれら多数のフオトダ
イオードアレーにおける製造上不可避の光電変換
感度におけるばらつきを適切に補正し的確な検出
結果を得しめるようにしたものである。
係り、鋼板等の移動する帯状体の表面疵を光学的
手段により検査する装置において検出機にイメー
ジセンサー等の一次元自己走査型フオトダイオー
ドアレーを使用し、しかもそれら多数のフオトダ
イオードアレーにおける製造上不可避の光電変換
感度におけるばらつきを適切に補正し的確な検出
結果を得しめるようにしたものである。
鋼板等の移動する帯状体の表面疵を検査するに
当つて光学的手段を用いることが工業的且つ高速
に生産される上記帯状体を円滑に検査し得る所以
であり、このような光学的手段による場合その検
出器にイメージセンサー等の一次元自己走査型フ
オトダイオードアレーを使用することが一般的で
ある。ところがこのような目的で採用されるイメ
ージセンサーとしてのフオトダイオードは数百な
いし数千個に及ぶことは一般に知られている通り
であり、斯様に多数のフオトダイオードにおい
て、それら個々のフオトダイオードの光電変換感
度はその製造過程で夫々の素子個有の特性として
種々にばらついているのが一般であり、このため
感度むらの少い素子を選別して使用するようにし
ているが、上記のように多数の故にその選別操作
が容易でなく、又選別しても感度むらの分布範囲
がそれなりに縮減されただけで依然として相当の
感度むらが残り、このような感度むらは検出結果
に影響し、精度の高い検査結果を得ることができ
ない欠点を有てしている。
当つて光学的手段を用いることが工業的且つ高速
に生産される上記帯状体を円滑に検査し得る所以
であり、このような光学的手段による場合その検
出器にイメージセンサー等の一次元自己走査型フ
オトダイオードアレーを使用することが一般的で
ある。ところがこのような目的で採用されるイメ
ージセンサーとしてのフオトダイオードは数百な
いし数千個に及ぶことは一般に知られている通り
であり、斯様に多数のフオトダイオードにおい
て、それら個々のフオトダイオードの光電変換感
度はその製造過程で夫々の素子個有の特性として
種々にばらついているのが一般であり、このため
感度むらの少い素子を選別して使用するようにし
ているが、上記のように多数の故にその選別操作
が容易でなく、又選別しても感度むらの分布範囲
がそれなりに縮減されただけで依然として相当の
感度むらが残り、このような感度むらは検出結果
に影響し、精度の高い検査結果を得ることができ
ない欠点を有てしている。
本発明は上記したような従来のものの不利欠点
を解消するように研究して創案されたものであつ
て、一次元自己走査フオトダイオードアレーを用
いて鋼板等の移動する帯状体における表面疵を自
動的に検査するようにしたものにおいて、前記フ
オトダイオードアレーにおける各素子毎の光電変
換感度を量子化して記憶する記憶素子を設け、上
記フオトダイオードアレーの走査クロツクパルス
と同じクロツクパルスで前記記憶素子の記憶を読
み出し、前記フオトダイオードアレーからの出力
と上記記憶素子からの出力を演算回路で演算し、
該フオトダイオードアレー各素子毎の光電変換感
度むらを補正するようにしたものである。即ち本
発明によるものの具体的実施態様を添付図面に示
すものについて説明すると、走査クロツクＡは投
光手段からの検査光を被検査板面を介して（反
射）受光する一次元自己走査型フオトダイオード
アレー１を有し、このフオトダイオードアレー１
における各素子からの光電変換出力回路２に送ら
れるように成つていることは公知の通りである
が、このような光電変換出力回路２に切換スイツ
チ３を設けると共に記憶回路４を並列に形成し、
該記憶回路４にはＡ／Ｄ（アナログデジタル）変
換回路５を介してRAM（Randam access
Memory）又はROM（Read Only Memory）の
ような記憶素子７に連結し、該記憶素子７から
Ｄ／Ａ（デジタルアナログ）変換回路８を介して
前記光電変換出力回路２と共に感度補正演算増幅
器９に導かれ、この感度補正演算増幅器９から検
査出力１０が得られるように成つているもので前
記記憶素子７には走査クロツクＡからの回路１１
が連結されている。
を解消するように研究して創案されたものであつ
て、一次元自己走査フオトダイオードアレーを用
いて鋼板等の移動する帯状体における表面疵を自
動的に検査するようにしたものにおいて、前記フ
オトダイオードアレーにおける各素子毎の光電変
換感度を量子化して記憶する記憶素子を設け、上
記フオトダイオードアレーの走査クロツクパルス
と同じクロツクパルスで前記記憶素子の記憶を読
み出し、前記フオトダイオードアレーからの出力
と上記記憶素子からの出力を演算回路で演算し、
該フオトダイオードアレー各素子毎の光電変換感
度むらを補正するようにしたものである。即ち本
発明によるものの具体的実施態様を添付図面に示
すものについて説明すると、走査クロツクＡは投
光手段からの検査光を被検査板面を介して（反
射）受光する一次元自己走査型フオトダイオード
アレー１を有し、このフオトダイオードアレー１
における各素子からの光電変換出力回路２に送ら
れるように成つていることは公知の通りである
が、このような光電変換出力回路２に切換スイツ
チ３を設けると共に記憶回路４を並列に形成し、
該記憶回路４にはＡ／Ｄ（アナログデジタル）変
換回路５を介してRAM（Randam access
Memory）又はROM（Read Only Memory）の
ような記憶素子７に連結し、該記憶素子７から
Ｄ／Ａ（デジタルアナログ）変換回路８を介して
前記光電変換出力回路２と共に感度補正演算増幅
器９に導かれ、この感度補正演算増幅器９から検
査出力１０が得られるように成つているもので前
記記憶素子７には走査クロツクＡからの回路１１
が連結されている。
即ちその操作について説明すると、検査に際し
予め欠陥のない被検査材を用いると共に前記切換
スイツチ３を図示下側の書込接点ｂに切換えて、
上記したようなフオトダイオードのような光電変
換素子１からの出力をＡ／Ｄ変換し記憶素子７に
記憶せしめるものでこの記憶に当つては上記光電
変換素子１によるイメージセンサーの走査クロツ
クと記憶素子７の書き込みクロツクは同期したも
のとされる。けだしこのような書込みで記憶素子
７からＤ／Ａ変換されて得られる出力の１例につ
いては図面の下側に示される通りである。然して
その後に行われる検査状態は前記切換スイツチ３
が検査接点ａに切換えられて行われ、この検査状
態においては前記回路２に図面上部に附記するよ
うな検出出力が得られ、この検出出力が前記イメ
ージセンサーによる走査クロツクと同じクロツク
で記憶素子７から読み出され且つＤ／Ａ変換後の
記憶素子出力としてイメージセンサーによる検査
出力と共に演算増幅器９に送られて検出出力の感
度補正がなされる。即ちこのような演算増幅器９
から得られる出力は欠陥のない被検査材の場合に
おいては零となるものであり、従来の記憶素子７
による感度補正のない場合においてフオトダイオ
ードアレーにおける個々の素子についての感度む
らが出力として顕われるものとは本質的に異つて
おり、従つてこのような条件下で得られる欠陥部
検出出力は頗る明確であることは明かである。
予め欠陥のない被検査材を用いると共に前記切換
スイツチ３を図示下側の書込接点ｂに切換えて、
上記したようなフオトダイオードのような光電変
換素子１からの出力をＡ／Ｄ変換し記憶素子７に
記憶せしめるものでこの記憶に当つては上記光電
変換素子１によるイメージセンサーの走査クロツ
クと記憶素子７の書き込みクロツクは同期したも
のとされる。けだしこのような書込みで記憶素子
７からＤ／Ａ変換されて得られる出力の１例につ
いては図面の下側に示される通りである。然して
その後に行われる検査状態は前記切換スイツチ３
が検査接点ａに切換えられて行われ、この検査状
態においては前記回路２に図面上部に附記するよ
うな検出出力が得られ、この検出出力が前記イメ
ージセンサーによる走査クロツクと同じクロツク
で記憶素子７から読み出され且つＤ／Ａ変換後の
記憶素子出力としてイメージセンサーによる検査
出力と共に演算増幅器９に送られて検出出力の感
度補正がなされる。即ちこのような演算増幅器９
から得られる出力は欠陥のない被検査材の場合に
おいては零となるものであり、従来の記憶素子７
による感度補正のない場合においてフオトダイオ
ードアレーにおける個々の素子についての感度む
らが出力として顕われるものとは本質的に異つて
おり、従つてこのような条件下で得られる欠陥部
検出出力は頗る明確であることは明かである。
以上説明したような本発明によるときは欠陥部
検出出力の極めて明確な検出結果を得しめること
は明かであり、しかもフオトダイオードアレーに
関して各素子の選択が自由で、多数の該素子群に
ついて特別且つ困難な同様レベルのものを選んで
構成する必要がなくなる等の作用効果を有してお
り、工業的にその効果の大きい発明である。
検出出力の極めて明確な検出結果を得しめること
は明かであり、しかもフオトダイオードアレーに
関して各素子の選択が自由で、多数の該素子群に
ついて特別且つ困難な同様レベルのものを選んで
構成する必要がなくなる等の作用効果を有してお
り、工業的にその効果の大きい発明である。
図面は本発明の実施態様を示すものであつて、
本発明による補正機構の構成関係を示した説明図
である。 然してこの図面において、１はフオトダイオー
ドアレー、２は光電変換出力回路、３は切換スイ
ツチ、４は記憶回路、５はＡ／Ｄ変換回路、７は
記憶素子、８はＤ／Ａ変換回路、９は感度補正演
算増幅器を示すものである。
本発明による補正機構の構成関係を示した説明図
である。 然してこの図面において、１はフオトダイオー
ドアレー、２は光電変換出力回路、３は切換スイ
ツチ、４は記憶回路、５はＡ／Ｄ変換回路、７は
記憶素子、８はＤ／Ａ変換回路、９は感度補正演
算増幅器を示すものである。
Claims (1)
- １ 一次元自己走査型フオトダイオードアレーを
用いて鋼板等の移動する帯状体における表面疵を
自動的に検査する光電変換出力回路を形成したも
のにおいて、前記フオトダイオードアレーにおけ
る各素子毎の光電変換感度を量子化して記憶する
記憶素子を設け、上記フオトダイオードアレーの
走査クロツクパルスと同じクロツクパルスで前記
記憶素子の記憶を読み出し、該読み出し出力で前
記フオトダイオードアレーより得られる光電変換
出力回路からの出力を演算する感度補正演算増幅
器を備え、該フオトダイオードアレー各素子毎の
光電変換感度むらを補正するようにしたことを特
徴とする表面疵検査装置の自動感度補正機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17641181A JPS5879146A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 表面疵検査装置の自動感度補正機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17641181A JPS5879146A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 表面疵検査装置の自動感度補正機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5879146A JPS5879146A (ja) | 1983-05-12 |
| JPH0247696B2 true JPH0247696B2 (ja) | 1990-10-22 |
Family
ID=16013206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17641181A Granted JPS5879146A (ja) | 1981-11-05 | 1981-11-05 | 表面疵検査装置の自動感度補正機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5879146A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06105186B2 (ja) * | 1988-08-18 | 1994-12-21 | 富士電機株式会社 | センサアレイの検出値出力方式 |
| JP7151733B2 (ja) * | 2020-01-20 | 2022-10-12 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面検査装置、表面検査方法、鋼材の製造方法、鋼材の品質管理方法、及び鋼材の製造設備 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52119847U (ja) * | 1976-03-09 | 1977-09-10 |
-
1981
- 1981-11-05 JP JP17641181A patent/JPS5879146A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5879146A (ja) | 1983-05-12 |
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