JPH0248784Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0248784Y2 JPH0248784Y2 JP13281884U JP13281884U JPH0248784Y2 JP H0248784 Y2 JPH0248784 Y2 JP H0248784Y2 JP 13281884 U JP13281884 U JP 13281884U JP 13281884 U JP13281884 U JP 13281884U JP H0248784 Y2 JPH0248784 Y2 JP H0248784Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- cooling
- cooling water
- tank
- cooled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 48
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 20
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の属する技術分野〕
この考案は熱交換器で冷却された水を冷媒とし
てリザーブタンクを通して循環供給し、被冷却体
を所定温度に冷却する水冷式冷却装置において、
前記被冷却体に供給される冷却水の水温変動を抑
制するようにしたリザーブタンクに関する。
てリザーブタンクを通して循環供給し、被冷却体
を所定温度に冷却する水冷式冷却装置において、
前記被冷却体に供給される冷却水の水温変動を抑
制するようにしたリザーブタンクに関する。
この種の水冷式冷却装置として第3図に示すも
のが知られている。第3図において、1は被冷却
体で、2は被冷却体1を冷却するために、冷媒と
して冷却水を使用し、次の如く閉回路に構成され
た冷却水循環回路である。3は被冷却体1に伝熱
的に配管され、内部を冷却水が通流する冷却コイ
ル、4は冷却水の熱膨張変化、冷却水循環回路2
内の水圧変化を吸収するために設けられ一端が大
気側に開放する膨張タンク、5は冷却水を矢印の
方向に循環させる送水ポンプ、6は送水ポンプ5
によつて送り込まれた水が保有する熱を管路61
を流れる流体に熱移動させ冷却水を冷却する熱交
換器、7はこの考案の対象とし、後述するリザー
ブタンクである。8は送水ポンプの出口側管路か
ら分岐してリザーブタンク7の出口側管路に合流
する分岐管路81を設けるとともに前記合流点に
設けられた水温調節用の混合式三方弁で、冷却コ
イルの入口側管路に付設された水温センサー82
の検出信号により作動する制御器83によつて、
熱交換器6で冷却されリザーブタンク7を経由す
る本流の冷却水と、分岐管路81を通る支流の冷
却水との混合比を調整するように制御される。前
記リザーブタンク7は第4図に示すように、密閉
構造のタンク本体71の底部に冷却水の入口71
内に貯留する冷却水の大きな熱容量によつて、熱
交換器6から水温変動を伴つて送り込まれる冷却
水の前記水温変動を吸収し、水温が平準化された
冷却水を三方弁8に向けて送り出すようになされ
ている。
のが知られている。第3図において、1は被冷却
体で、2は被冷却体1を冷却するために、冷媒と
して冷却水を使用し、次の如く閉回路に構成され
た冷却水循環回路である。3は被冷却体1に伝熱
的に配管され、内部を冷却水が通流する冷却コイ
ル、4は冷却水の熱膨張変化、冷却水循環回路2
内の水圧変化を吸収するために設けられ一端が大
気側に開放する膨張タンク、5は冷却水を矢印の
方向に循環させる送水ポンプ、6は送水ポンプ5
によつて送り込まれた水が保有する熱を管路61
を流れる流体に熱移動させ冷却水を冷却する熱交
換器、7はこの考案の対象とし、後述するリザー
ブタンクである。8は送水ポンプの出口側管路か
ら分岐してリザーブタンク7の出口側管路に合流
する分岐管路81を設けるとともに前記合流点に
設けられた水温調節用の混合式三方弁で、冷却コ
イルの入口側管路に付設された水温センサー82
の検出信号により作動する制御器83によつて、
熱交換器6で冷却されリザーブタンク7を経由す
る本流の冷却水と、分岐管路81を通る支流の冷
却水との混合比を調整するように制御される。前
記リザーブタンク7は第4図に示すように、密閉
構造のタンク本体71の底部に冷却水の入口71
内に貯留する冷却水の大きな熱容量によつて、熱
交換器6から水温変動を伴つて送り込まれる冷却
水の前記水温変動を吸収し、水温が平準化された
冷却水を三方弁8に向けて送り出すようになされ
ている。
上記冷却装置では、水温を平準化されてリザー
ブタンク7から送り出された本流の冷却水に、分
岐管路81を通る支流の冷却水が三方弁8を介し
て適当量混入されて一定温度に調整された冷却水
が冷却コイル3に循環供給される。しかしてこの
冷却コイル3を介して被冷却体1が所定温度に冷
却される。
ブタンク7から送り出された本流の冷却水に、分
岐管路81を通る支流の冷却水が三方弁8を介し
て適当量混入されて一定温度に調整された冷却水
が冷却コイル3に循環供給される。しかしてこの
冷却コイル3を介して被冷却体1が所定温度に冷
却される。
ところが従来のリザーブタンク7では、入口7
2から送り込まれた冷却水が短絡的に出口73に
向けて流れ、またタンク本体71内では水温分布
に不均一を生じていた。このために出口73から
水温が十分に平準化されない冷却水が送り出され
て、冷却コイル3に温度変動の大きい冷却水が供
給される不都合を生じたり、あるいはタンク本体
71内に滞留水を生じさせ、長期間の滞留によつ
て水中にスライムが発生し水質を低下させる欠点
があつた。前記水質の低下は被冷却体1が例えば
電気的装置であつて、冷媒としての冷却水に電気
抵抗の高い純水を使用する場合には致命的な欠点
となり得る。
2から送り込まれた冷却水が短絡的に出口73に
向けて流れ、またタンク本体71内では水温分布
に不均一を生じていた。このために出口73から
水温が十分に平準化されない冷却水が送り出され
て、冷却コイル3に温度変動の大きい冷却水が供
給される不都合を生じたり、あるいはタンク本体
71内に滞留水を生じさせ、長期間の滞留によつ
て水中にスライムが発生し水質を低下させる欠点
があつた。前記水質の低下は被冷却体1が例えば
電気的装置であつて、冷媒としての冷却水に電気
抵抗の高い純水を使用する場合には致命的な欠点
となり得る。
この考案はタンク内に送り込まれる冷却水の水
温変動を確実に吸収して冷却コイルに温度変動の
小さい冷却水を循環供給できて、かつ水質を低下
させる危険のない水冷式冷却装置のリザーブタン
クを提供することを目的とする。
温変動を確実に吸収して冷却コイルに温度変動の
小さい冷却水を循環供給できて、かつ水質を低下
させる危険のない水冷式冷却装置のリザーブタン
クを提供することを目的とする。
この考案は、リザーブタンクの底部に、管壁に
冷媒の吐出孔を開口させた入口パイプを突設し、
前記吐出孔からタンク内に送り込まれる冷却水に
よつてリザーブタンク内の冷却水が撹拌されるよ
うにしたものである。
冷媒の吐出孔を開口させた入口パイプを突設し、
前記吐出孔からタンク内に送り込まれる冷却水に
よつてリザーブタンク内の冷却水が撹拌されるよ
うにしたものである。
第1図および第2図はこの考案の実施例を示す
もので、第3図および第4図と共通あるいは同一
の部分は同一の符号で示す。
もので、第3図および第4図と共通あるいは同一
の部分は同一の符号で示す。
第1図および第2図において、74はリザーブ
タンク7のタンク本体71内に突出させてタンク
本体71の底部に設けられた入口パイプで、この
入口パイプ74は先端が封止されるとともに管壁
にタンク本体71の略底面に向くように斜下向き
に開口する多数の吐出孔75を備え、リザーブタ
ンク7の冷却水入口をなしている。
タンク7のタンク本体71内に突出させてタンク
本体71の底部に設けられた入口パイプで、この
入口パイプ74は先端が封止されるとともに管壁
にタンク本体71の略底面に向くように斜下向き
に開口する多数の吐出孔75を備え、リザーブタ
ンク7の冷却水入口をなしている。
前述の構成において、熱交換器6(第2図)で
冷却され、かつ冷却温度に若干変動を伴う冷却水
は入口パイプ74へ導かれ、吐出孔75から満水
したタンク本体71内に送り込まれる。前記吐出
孔75から吐出された冷却水は矢印Aで示すよう
に、タンク内面に沿つて上昇し、タンク本体71
内の冷却水に撹拌作用をもたらす。この撹拌によ
つて、吐出口75から送り込まれた冷却水の水温
変動がタンク本体71内の冷却水全体に急速に吸
収されるとともに、タンク本体71内の冷却水の
温度は全体にわたつて均一化される。しかして出
口73からは水温の平準化された冷却水が三方弁
8(第2図)に向けて送り出され、三方弁8では
水温変動の極めて小さい前記冷却水をもとに、冷
却コイル3(第2図)に循環供給する冷却水の温
度が所要温度にかつ温度変動の小さい安定した状
態に調整される。一方タンク本体71内の水が撹
拌されることによつてタンク本体71内に滞留水
が生じず、スライムの発生が防止される。
冷却され、かつ冷却温度に若干変動を伴う冷却水
は入口パイプ74へ導かれ、吐出孔75から満水
したタンク本体71内に送り込まれる。前記吐出
孔75から吐出された冷却水は矢印Aで示すよう
に、タンク内面に沿つて上昇し、タンク本体71
内の冷却水に撹拌作用をもたらす。この撹拌によ
つて、吐出口75から送り込まれた冷却水の水温
変動がタンク本体71内の冷却水全体に急速に吸
収されるとともに、タンク本体71内の冷却水の
温度は全体にわたつて均一化される。しかして出
口73からは水温の平準化された冷却水が三方弁
8(第2図)に向けて送り出され、三方弁8では
水温変動の極めて小さい前記冷却水をもとに、冷
却コイル3(第2図)に循環供給する冷却水の温
度が所要温度にかつ温度変動の小さい安定した状
態に調整される。一方タンク本体71内の水が撹
拌されることによつてタンク本体71内に滞留水
が生じず、スライムの発生が防止される。
この考案によれば、リザーブタンクの冷却水入
口をタンク底部にタンク内に突出する入口パイプ
を設けるとともに、前記入口パイプに略タンク底
面に向けて開口する吐出孔を設けて構成したの
で、リザーブタンク内の冷却水が吐出孔から送り
込まれる冷却水によつて撹拌され、リザーブタン
ク内の水温が全体的に均一化されてリザーブタン
クから送り出される冷却水の水温変動は小さく抑
制され、かつリザーブタンク内に滞留水が生じな
いのでスライムが発生しない。しかしてこの考案
は特に純水を使用する水冷式冷却装置に極めて有
効に適用される。
口をタンク底部にタンク内に突出する入口パイプ
を設けるとともに、前記入口パイプに略タンク底
面に向けて開口する吐出孔を設けて構成したの
で、リザーブタンク内の冷却水が吐出孔から送り
込まれる冷却水によつて撹拌され、リザーブタン
ク内の水温が全体的に均一化されてリザーブタン
クから送り出される冷却水の水温変動は小さく抑
制され、かつリザーブタンク内に滞留水が生じな
いのでスライムが発生しない。しかしてこの考案
は特に純水を使用する水冷式冷却装置に極めて有
効に適用される。
第1図はこの考案の実施例を示すリザーブタン
クの断面図、第2図は第1図の−線に沿う拡
大断面図、第3図はこの考案の対象となる冷却装
置の冷却水循環回路図、第4図は従来のリザーブ
タンクの断面図である。 1……被冷却体、2……冷却水循環回路、3…
…冷却コイル、5……送水ポンプ、6……熱交換
器、7……リザーブタンク、71……タンク本
体、73……冷却水の出口、74……入口パイ
プ、75……吐出孔。
クの断面図、第2図は第1図の−線に沿う拡
大断面図、第3図はこの考案の対象となる冷却装
置の冷却水循環回路図、第4図は従来のリザーブ
タンクの断面図である。 1……被冷却体、2……冷却水循環回路、3…
…冷却コイル、5……送水ポンプ、6……熱交換
器、7……リザーブタンク、71……タンク本
体、73……冷却水の出口、74……入口パイ
プ、75……吐出孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 冷媒として冷却水を循環させる送水ポンプと、
冷却水冷却用の熱交換器と、被冷却体へ伝熱的に
配管された冷却コイルと、密閉構造のリザーブタ
ンクとの相互間を直列に接続配管し、前記熱交換
器を挟んでその上流側に送水ポンプ、下流側にリ
ザーブタンクが接続配管され、前記送水ポンプの
吐出側より分岐してリザーブタンクの出口側管路
との間にバイパス管路が配管され、かつ該バイパ
ス管路とリザーブタンクの出口側管路との間にま
たがつて水温調整用の混合式三方弁が介装接続さ
れて構成されており、前記リザーブタンクから吐
出された本流の冷却水にバイパス管路を通る支流
の冷却水が三方弁を介して本流に混入され、一定
温度に調整された冷却水を前記冷却コイルに循環
供給することにより、被冷却体を所定温度に冷却
する水冷式冷却装置において、 前記リザーブタンクのタンク底部にタンク内に
突出する入口パイプを設けるとともに前記入口パ
イプに略タンク底面に向けて開口する冷却水の吐
出口を設けたことを特徴とする水冷式冷却装置の
リザーブタンク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13281884U JPH0248784Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13281884U JPH0248784Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6149280U JPS6149280U (ja) | 1986-04-02 |
| JPH0248784Y2 true JPH0248784Y2 (ja) | 1990-12-20 |
Family
ID=30691373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13281884U Expired JPH0248784Y2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0248784Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015001372A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ファイン セミテック コーポレーション | 半導体プロセス用冷却装置 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP13281884U patent/JPH0248784Y2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015001372A (ja) * | 2013-06-17 | 2015-01-05 | ファイン セミテック コーポレーション | 半導体プロセス用冷却装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6149280U (ja) | 1986-04-02 |
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