JPH02500422A - 高速研磨盤用研磨デイスク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 高速研磨盤用研磨ディスク装置 本 明は、特に形状一定の断面を有する研磨ディスクを用いる高速研磨盤のため の、請求項１の前提概念に従う研磨ディスク装置に関する。

形状一定の断面を有する高速研磨ディスクは耐久時間と切削効率に関して通例の 研磨ディスクに比してはるかに勝れていたので、初期の技術発展の段階では、非 常にしばしば装着されている。この種のディスクとしては、例えばボラゾンディ スク、すなわち窒化ホウ素（ＣＢＮ）ディスクあるいはダイヤモンドディスクが 使用され、その際、この種のディスクの直径は作業幅の場合では２００ｍｍから ５００ｍｍ以上にもすることができた。

通常、この種の高速研磨ディスクは心出しコーンを介して研磨主軸に固定され、 その際の緊締ナツトは十分大きな力で研磨ディスクを緊締コーン（５ｐａｎｎｋ ｏｎｕｓ）に押しつけるためには十分に大きな軸方向の力を生じることを課題と していた。

上に要求されている高速研磨ディスクは非常に高速で稼動されるので、今までア ンバランスモーメントの排除に重点をおいていた。その際、例えば取りつけられ た研磨ディスクが力学的にバランスすることが優先された。

しかし、研磨ディスクが消耗したときに、通常別の問題が示された。この場合、 研磨ディスク全体を取り替えなければならなかった０通例はその際生じる公差の 条件による回転偏差及び面ふれ偏差（Ｒｕｎｄｌａｕｆ−ｕｎｄ　Ｐｌａｎｌａ ｕｆａｂｗｅｉｃｈｕｎｇｅｎ）が最終的に問題となる可能性のある新たなバラ ンスを必要とした。その問題はこのような形状一定の断面をもつ研磨ディスクは もはや表面仕上げ（ドレッシング）できないので、研磨ディスクはもはや所望の 品質の研磨のためには装着されることができないということであった。このよう な形状一定の断面をもつ高速研磨ディスク使用の経済性はしたがって通例の緊締 系では不十分にしか引き出せなかった。

それゆえに、本発明は形状一定の断面をもつ研磨ディスクの経済性のある使用を 可能にするという高速研磨盤用の研磨ディスク装置を提供することを課題とする 。

この課題は請求項１の特徴部分に示されている構成によって解決される。

本発明によると、追加的な作業ステップにだけ、すなわち特に単に１つの研磨リ ングのみによって形成されている研磨ディスクの整向にだけ、研磨ディスクの緊 締工程が拡張される。したがって研磨ディスクは最適の切削条件が研磨ディスク に確保されるように緊締系（Ｓｐａｎｎｓｙｓ　ｔｅａｓ）の製造公差とは無関 係に研磨盤に装着されることができる。その際、本発明は研磨被覆の負荷が全周 にわたってできるかぎり均一であることが、このような高速研磨ディスクの寿命 にとっては、決定的であるという認識に基づく。しかもこのような研磨ディスク では、いわゆる単粒子１ｉ　（Ｅｉｎｋｏｒｎｂｅｌａｇ）が設けられているだ けであり、その際粒子の大きさはおよそ１００μｍと３００μｍとの間の範囲に あり、個々の場合ではしかも３μｍで使用されることができる。そこで研磨リン グの最適の整向の可能性によって、研磨工程においてこれらの粒子のできるだけ 多くが工作物と係合することを今や達成する。したがって研磨ディスク被覆の全 被覆が非常に減少される。本発明に従う手段によって、このような研磨ディスク の寿命を大幅に長くすることができることはすでに明らかである。

研磨ディスクが半径方向に非常に薄く、すでに研磨ディスクにしっかりと固定し ている支持フランジに対して整向可能であり、リングとして形成されるという趣 旨で研磨ディスクを変形することにより、研磨ディスク装置の最大の寸法は研磨 ディスクの交換の際にもはや一緒に交換する必要が無いという付加的な長所が生 じる。

研磨ディスク装置の都合のよい形態は請求項２の要件である。これによって研磨 ディスクの整向精度が付加的に高められることができる。一対の端部面は通例の 一対の円錐面より容易に異物を取り除（ことが可能になり、したがってこの種の 高速研磨ディスクの交換の際の決定的なエラーの原因を取り除くことができる。

そのうえ、安価に研磨ディスクの外形を端部面に正確に整向して仕上げることが 可能であり、したがって、研磨ディスク輪郭は研磨ディスクを支持フランジの対 応する面に対し取りつけた後に最早ふれ偏差（Ｐｌａｎｌａｕｆａｂｗｅｉｃｂ ｕｎｇ）をもたない０本発明に基づいて特にリング形で半径方向内側の支持面に ついて生じる心合わせについては尚単に回転偏差を最小にしなければならないが 、そのことば尚緊締ねじがしっかり締められていない場合に研磨ディスクが端部 面で半径方向に自由に動かすことができるために、非常に簡単に実施される。研 磨ディスクの交換後、今まで達成できなかった切断速度で研磨ディスクを動かす ことが、この方法によって可能となる。

しかし、本発明に従う装置は研磨ディスクの交換のときにほとんど困難がないと いう利点をもつだけでな（、研磨ディスクが本質的に取り扱いやすくなり、それ が研磨ディスク自身の交換のときのみならず輸送や製造コストの面からも有利で あることにより付加的に優れている。

研磨ディスク装置のこの別の形態のその他の利点は、研磨ディスク断面の軸方向 の位置が交換の際に本件が通例の５錐緊締方式の場合にあった予測されない態様 で変化することがないことにあり、それによって本発明に従う装置は、研磨主軸 の後調整を省略することができるので数値制御される装置に使用するために特に 通している。

研磨ディスクの中心軸合わせのためにはすでに支持面のわずかの点状の支持もし くは点に近位の支持で充分であることは明らかである。しかし、特に都合のよい のは、この方法では夫々の位置決め部材を直径方向に反対側に配置された対向位 置決め部材が付属しているから、請求項４に従う中心軸合わせの形態である。こ の方法で、位置決め部材の作動の際に、研磨ディスクが例えば３つの位置決め部 材の場合よりも正確に整向してずらされることが確保されることができるので、 調整過程を速くすることができる。

支持面は幾何学的には様々な形に形成されることができる。したがって特に請求 項６に従う形態が簡単でそれゆえ経済的である。

すでに上に述べたように、緊締固定装置（Ａｕｆｓｐａｎｎνｏｒｒｉｃｈｔｕ ｎｇ）の本発明に従う形態によって、研磨ディスクを本質的に簡単で容易に形成 することの可能性が開かれている。また研磨ディスク質量の縮小によって、ディ スクの質量バランスをとるような研磨ディスク自体の形態を考慮する必要はもは やない。むしろ、本発明に従う装置により、場合によって必要なバランス作用に ついてもっばら支持フランジを設けることを達成し、それによって研磨ディスク がさらに簡素化され、そしてそれによりフランジの製造がより経済的になった。

研磨ディスクの質量の減少によりて、すでに、一度中心を合わされた研磨ディス クをクランプねじを締めてその位置に保持するためにはわずかな位置決め部材で 十分である。しかし研磨ディスクを付加的に保全するために、別の緊締手段、例 えば請求項１７に従う付加的緊締手段を設けるのが有利であり、その際アンバラ ンスの原因を少なくするために１２個の付加的位置決め部材を用いることが有利 であるのは明らかである。

通常、高速研磨ディスクは研磨主軸の突起したジャーナルに装着されているので 、研磨ディスクの前面が固定ナツトの半径方向外側に自由に近づきやすい、その ような場合に、位置決め部材の作動をこの前面から行うこと、しかも請求項７に 従い研磨ディスクの半径方向側にある支持フランジの前面部分から行うことが有 利である。

これに加えて、任意の調整機構が備えるられることができる。

請求項１３に従って１対の端部面が選ばれると、１対のくさび面は自己制動でな いという危惧あがる。所望の調整力を位置決め部材に伝達するためには、４５° くさび角度が十分であることが明らかである。この種の高速研磨ディスクのはじ めに示した切断速度の場合、機能的に信頼のある緊締固定方式では研磨盤の運転 中に付加的なアンバランスがシステム中に生しることがないことを要求する。こ のために最初の前提は請求項１３の要件である。この０．２から０．３　ｗｔａ の遊びがリング状の研磨ディスクと支持フランジとの間に重要な研磨スラグが付 着せず、そのため研磨ディスクの新規の始動の際にアンバランスを招くことがな いことが考慮される。

請求項１５に係る別の形態は、この種の研磨スラグが調整機構の作動位置では堆 積するという可能性をとり除く。

請求項１８に従う別の形態によって前記の機能が尚支持されそのとき研磨ディス クによって外側から内側へ入フてくる研磨スラグが運転開始後半径外方向へ投げ 飛ばされることができるようにしずく溝が貢献する。

請求項２０に従う別の形態によってそれが研磨ディスクが動いているときに侵入 する研摩スラグが研磨ディスクと支持フランジとの間のリング状の間隙から半径 方向外側へ押し出されることを考慮しである一種の遠心分離コーンが支持フラン ジの側面に作られている。

研磨盤内で研磨ディスクを整向するための特に簡単で確実な装置が請求項２４〜 ２９の要件である。

この装置は支持フランジから研磨ディスクリングへの力の流れが特に有効である ということによって秀でているというだけでなく、そのうえに有利な方法で、必 要な構造部材数が非常に減少できる可能性を与えることで優れている。この方法 で、単に４つの調節ブロックにより作業することに成功し、それらのプロスタに おいては、簡単な方法で一方では支持フランジのための支持面の最大化が、そし てもう一方では研磨ディスクの半径方向に内側にある接触面が可能である。

請求項２９に従って設けられることにより位置決め部材の緊締固定を実施するこ とが特に好都合であることは明らかである。研磨ディスクの整向のため及びその 緊締固定のために必要とされる構造部材の数はこの方法でさらに減少されること ができる。

請求項３０に従う形態は研磨ディスクの調節及び整向のために必要な構造部材及 び機構部材を周囲に対し効果的に遮蔽するので、調節装置が腐蝕の出現、及び研 磨くず堆積のない状態で保持されることができる。したがって、カバープレート をとりのぞいた後、調整機構が自由に手を与えられるだけでなく、ただちに適当 した道具を用いて調整できる。

その他の有利な形態は残りの請求項の要件である。

次に略図に基づいて本発明の２．３の実施例を詳細に説明する。

第１図は緊締固定された研磨ディスクを有する研磨主軸の半径方向の断面図、第 ２図は線■−■で切断したときの第１図に従う実施形態の部分断面図、第３図は 第１図の■の部分の拡大図、第４図は研磨ディスク装置の別の実施形態の部分断 面図、第５図は第４図に従う実施形態において用いられている位置決め部材の断 面図、第６図は第５図の“■”による図である。

第１図において緊締コーン４を備える研磨主軸が符号２によって表されている。

緊締コーン４にはねじ軸部８にねじ込まれている固定ナツト６によって研磨ディ スク支持フランジが固定されている。この支持フランジは端部面１４を形成する ための半径方向肩部１２を有する。

支持フランジ１０は形状一定の断面（ｆｏｒｍｉｎｖａｒｉａｂｌｅＩｌｌＰｒ ｏｆｉｌ）をもつ高速研磨ディスクとして形成されている研磨ディスク１６を担 持している。研磨ディスクは断面輪郭（Ｐｒｏｆｉｌｋｏｎｔｕｒ）の領域にボ ラゾンをすなわちＣＢＮ（キュービック窒化ホウ素）付着面１８をもつ。金属体 によって形成されている。研磨ディスク１６は高速研磨ディスクとして形成され ていて、大体において、長方形断面のリングの形状をもち、そのｆｉｃＢＮ面１ ８に前方の半径面２０及び後方の半径面２２がつながっている。

内側の軸方向にのびる面としての内部リング面は２４で表されている。

研磨ディスクは研磨ディスク軸線もしくはＣＢＮ面に向かって平らに延びている 状態で端部面２６をもち、該端部面は放射状肩部１２の端部面１４に機能接触し ている。端部面１４及び２６によって研磨ディスク１６と支持フランジ１０との 結合（ＺｕｓａＩｌｍｅｎｓｐａｎｎｕｎｇ）が生じ、それによって研磨ディス クの駆動が行われる。

結合手段として多数の緊締ねじ２８が役立ち、該緊締ねじの軸部ねしは研磨ディ スク１６０貫通穴３０に遊びをもって挿入されている。緊締ねじ２８の頭部３２ はくぼみ若しくはリング溝３４の中に座し、前記頭部は座金３５を介して穴３０ の肩部に支えられている。

研磨ディスク１６の研磨主軸２に対する中心合わせのために後に詳しく説明され る心出し装置が設けられ、該心出し装置によって研磨ディスク１６はその内側の リング面２４について心出しされる。この内側のリング面はこの目的のために支 持面として形成されていて、該支持面には多数の位置決め部材３６が支えられる ０位置決め部材３６は半径方向に調節可能であり、そのために押しくさび機構の 形式の調整機構が使われる。この目的のために各々の位置決め部材３６はその半 径方向の内端に傾斜をつけられた面３８を有しており、該傾斜面がスタンドの同 様に傾斜をつけられた面４０で面として支えられている。位置決め部材３６は半 径方向に調整されるが、スタンド４２は軸方向に動く。軸線４２と３６は共通の 軸方向面ＥＡＸ内にあり、そのために傾斜をつけられた面３８及び４０は各々の 中心軸線に対して４５″の角度で延びている。

位置決め部材３６とスタッド４２は特に円柱ビンにより形成され、該円柱ビンは 穴４４もしくは４６に嵌合されている０位置決め部材３６のための調整機構の駆 動が、紺かいねじを具備する調節ねじ４８により行われる。このねじの作動は例 えば支持フランジ１０の前面５４の１つのリング溝５２について形成されている ６角穴５０によって行われる。リング溝５２はさらにここには詳しくは図示なさ れていないバランサーを収容するために使用される。カバーリング５６により研 磨くずがリング溝５２に入るのを防ぐ、同様に締結ねじ２８の頭部３２の領域に もこのようなカバーリングが設けられている。

支持フランジ１０に対する研磨ディスク１６０半径方向の調節や心出し移動を可 能にするために、研磨ディスク１６のリング状の支持面２４と支持フランジ１０ の外側リング面５８との間に軸線方向に拡がる間隙６０が設けられており（第２ 図参照）、該間隙の最も狭い部分の幅Ｗｍ１Ｒはほぼ０．２〜０．３　ｍである ０位置決め部材３．６がこの間隙を架橋しているので、半径方向の支持はもっば ら位置決め部材３６により行われる。

さらに第２図から判るように、位置決め部材３６はそ半径方向外側の端部を円筒 状に形成され若しくは研磨されているので、位置決め部材は内径部に、若しくは 支持面２４に面として密着する。

研磨ディスク１６が取り去られた際に位置決め部材３６０回転及び脱落するのを 避けるために、各々の位置決め部材３６は後方の表面６２に面した側に長溝６４ を有し、該長溝に固定ねじ６８０円柱状ピン部６６が係合する。

すでにはじめに述べたように５００ｍｍ以上の比較的大きな外形において大回転 数を条件付けられる高速研磨ディスクにおいては、特に運転中に新たなアンバラ ンスが生しないよにう考慮されている。高速研磨ディスクの作業特性をはっきり わかる程度に害するようなアンバランスは、半径方向外側の部分に研磨くずが溜 まることによって生じる。この研磨くずの堆積を防ぐために、間隙６０が入口部 を、個々には第３図に示されているような特別の形に形成されている。研磨ディ スク１６はその間隙の入口部に溝７０を有するので、突出部７２が生じ、該突出 部では発生するしずくが確実にはがされる。溝７０と協働して支持フランジ１０ の側にしずく溝７４が形成され、しかも、突出部７２により剥がされたしずくを この溝が捕らえることができるように形成される。この目的のためにしずく溝７ ４は軸線方向に溝７０とずらして設けられている。前面５４に面した側では、し ずく溝７４がリング状の稜７６によって、もう一方の側では外側リング面５８に よって境界される。リング状の稜７６はこの方法で研磨ディスク１６の前側の半 径面２０より前にあるので、リング状の稜から剥がされた研磨潤滑油は、研磨デ ィスクが回転運動におかれたとき、研磨ディスク１６のそばを通って外側に飛ば される。

第３図に示すように外側リング面５８は、研磨ディスクの軸線に対して２°〜６ °の傾斜角α／２を形成する円錐面により形成されている。この円錐面は間隙６ ０の中にある研磨くずを、研磨ディスクの回転中に第３図の矢印Ｂの方向へ、半 径方向及び軸線方向外側へと押しだす作用をするので間隙６０は動的に掃除され る。

位置決め部材３６が研磨ディスク１６の支持面２４に面として接することを確実 にするために、特に、位置決め部材３６が先ず第１に穴４４に挿入され、固定ね じ６８によって位置決め部材が研磨ディスク１６の内径を超えて突出するように 固定される。支持フランジ１０は今や位置決め部材３６と共に研磨主軸に差込ま れる０次いで位置決め部材３６は研磨ディスク１６の内径と一致する外側寸法に 研削される０位置決め部材３６とスタンド４２との間のしっかりとした送り結合 がされて、まず固定ねじ６８によって固定されたとき更に正確に位置決め部材３ ６の支持面が仕上げられることができる。

全体的には研磨ディスク１６の心出しのために調節ねじ４８と、スタッド４２と 、位置決め部材３６から成る４つのこの種の調整機構が設けられていおり、そし て図にはこの種の調整機構が１つだけ示されている。それぞれ２つのこの種の調 整機構が軸線面ＥＡＸ内で直径方向に互いに相対して配置されている。特に調整 機構のおかれている軸線面とは互いに垂直に交わる。

心出しのために用いる調整機構に対して付加的に、その他の特に１２個の別のロ ック系（Ｂｌｏｃｋｉｅｒｓｙｓｔｅｍｅ）が設けられおり、該ロック系自身は 調整機構のような支持機構を有する。これらのロック系は研磨ディスクの心出し 完了の際に研磨ディスクをさらに半径方向に支えるために作動される。ロック系 は特に位置決め部材が等しい角度間隔で周方向に均等に分配配置されるように設 けられている。

研磨ディスク１６の交換は以下のように行われる。

まずカバーリング５６を取り外す。続いて調節ねじ４８を緩める。緊締ねじ２８ をゆるめた後、研磨ディスクを支持フランジ１０から取り外すことができる。今 度は新しい研磨ディスクを装着し緊締ねじ２８で軽く表面１４に押しつける０輪 郭（Ｐｒｏｆｉｌ）すなわちＣＢＮ被覆１８かあるいは詳しく図示されていない 測定突出部と保合可能であるダイアルゲージを用いて心出しが行われる。

この目的のために角度９０＠ごとにずれておかれた４つの調整機構が交互に、回 転偏差が許容限度以下になるまで作動される。続いて研磨ディスクを半径方向に 均一に支えるために、ロック系の同一に形成された調整機構が作動される。この ことが行われるとすぐに締結ねじ２８を締め、カバーリング５６ならびに締結ね じ２８のカバーリングを取付ける。

当然、前記の実施例とは区別して取付固定装置の形態の別の可能性が与えられて いる。そこで例えば研磨ディスクの支持面２４の形状は円筒面とは異なる形状を もつことができる０位置決め部材３６の適合された半径方向外側面に形状的に拘 束されて協働する多角形面を設けられることができる。

位置決め部材３６自体が円筒形とは異なる構成をもち得る。それが多角形４０の 場合には緊締ねじ６８は省略されることができる。

当然上述の取付固定装置により、まず第１にアンダーカット研磨方法（Ｅｉｎｓ ｔｉｃｈ−５ｃｈｌｅｉｆｖｅｒｆａｈｒｅｎ）に適した図示したような形状と は異なり別の輪郭をもつ研磨ディスクを固定することも可能である。

図示された実施例に対する他の変形例において、スタンドの傾斜の角度は、調整 力の伝達が改善されるように選ばれることができ、その際、たしかに傾斜角は必 要はない、位置決め部材の保合面とスタッドの保合面との間に自己制動的な摩擦 釣力連結が生じるように緩やかである。

第４図〜６図に基づいて、以下に改良された研磨光位置決め部材をもつ研磨ディ スク装置の別の変形が示されている。研磨主軸１０２に再び支持フランジ１１０ が締付固定されており、該支持フランジ１１０はその半径方向外側の領域に半径 方向肩部１１２を形成するためのリング状凹部１０４を有する。この領域には支 持フランジ１１０によって担持される研磨ディスク１１６の端部平面１２６が面 接触するための端部平面１１４が設けられている。研磨ディスク１１６は上に述 べた実施例のように半径方向に比較的清いリング体として形成され、該リング体 は研磨ディスクの削りくずを取り去る機能面を形成するＣＢＳ層１１８をもつ。

研磨ディスク若しくは研磨リング１１６を支持フランジ１１０と回転方向及び軸 方向にしっかり結合するために軸方向に延びて特に互いに周方向に均一な間隔に ある多数の緊締ね−１２８をもつ緊締ねし装置が利用され、前記緊締ねし１２８ のために半径方向肩部１１２にはねじ穴１２９が設けられている。ねじ頭部１３ ２のためにリング溝あるいは支持肩部１３４が形成されており、該支持肩部中間 リング１３５が接している。

半径方向には、研磨リング１１６が互いに９０°の角度間隔で配置されている４ つの位置決め部材１３６を介して支持フランジ１１０に支えられている。リング 状空所１０４はこの理由から十分大きく選ばれている。第６トされていて、面１ ４０で終わっている溝１３８が形成されている。溝１３８の底面が符号１４２に より示されている。この面は研磨ディスク装置の軸線１０３に対して予め定めた 傾斜角Ｔをもつように延びている。

ブロック状の位置決め部材１３６のウェブ（Ｓｔｅｇ）　１４４は滑動面１４６ とは反対の側に、研磨ディスク１１６の円筒形の支持面１２４と力伝達状に保合 可能な支持表面１４８を有する。位置決め部材１３６と支持面１２４とを接触さ せるために、各々の支持表面１４８は第５図に１５０として示されている円筒の 外面部によって形成されており、前記円筒は研磨ディスク１１６の支持面１２４ を作る円？Ｊ１５２（第４図参賊）と大体において一致しているか完全に一致し ている。この円筒１５０の軸線は滑動面１４６に対して上記の傾斜角γだけ傾斜 している。

対称面１５４が軸線１０３を含んでいる位置決め部材１３６では、２つの穴が、 半径方向にずれており、段付貫通穴１５６及びウェブ１４４の半径方向外側にね じ穴１５８が設けられている。この穴は、対称面１５４内に軸線を有し、滑動面 １４６に平行に延びている。

段付穴１５６は調節ねじ１６０を挿入するために用いられ、調節ねじ１６０の頭 部１６２は穴肩部１６４に接触可能であり、その軸部１６６は段付穴１５６を遊 びをもって貫通し、ねじ部１６８が支持フランジ１１０の対応するねじ穴１７０ に係合する。それによって調節ねじ１６０は溝１３８及び位置決め部材１３６と により、機械に締付固定された支持フランジ１１０に研磨ディスク１１６を整向 （Ａｕｓｒｉｃｈｔｕｎｇ）をするための調整機構を形成している。

調ｗＪ機構により研磨ディスク１１６の希望の整向が終了したとき、ねじ穴１５ ８は、面１４０に対して緊張可能である副ねじ（Ｋｏｎｔｅｒｓｃｈｒａｕｂｅ ）　１７２を有する。該副ねじ】７２は上に述べた実施例の場合に設けられてい る付加的位置決め部材の代わりをする。

研磨ディスク１１６の整向の際、さきに第１の実施形態に関して述べたのと大体 において同じ方法で行われるので詳しい記載は省略する。

研磨ディスク装置の機能面を研磨くず及び／あるいは冷却剤から守るために支持 フランジ１１０のすべての前面とねし頭部１３２のための凹所を周囲から遮蔽す ることができるカバープレート１７４が設けられている。

前記構成とは異なって、この発明思想の範囲で例えば線接触を形成するために、 支持面１２４と位置決め部材１３６との間の面の対を変形することが可能である 。

研磨ディスク１１６の軸線方向の拡がりが縮小されているときには、調整機構も 使用できる。この場合、位置決め部材は適当に例えば直角に曲げた形に形成する ことができる。

研磨盤の研磨ディスクの整向のための本発明に係る装置が完全に半径方向の整向 に限定されないことはさらに強調できる。調整機構は場合によっては、軸線方向 あるいは軸線方向及び半径方向の整向を行うことができるように変形すべきであ る。

本発明は形状一定の断面をもつ研磨ディスクを装着しである特に高速研磨盤のだ めの研磨ディスク装置を提供する。研磨ディスクの切くずを取り除く機能面を研 磨ディスク主軸に取り付けられた状態で半径方向及び／あるいは軸線方向に整向 可能である装置が設けられている。

この方法で機械内において表面仕上げ（ドレッシング）できない研磨ディスクの 体積（Ｖｏｌｕｍｅｎ）ならびに研磨ディスクの交換後のバランスのための出費 を減少することができる０機械内における整向によって切削力が研磨ディスクの 周囲にわたって均質にされることができ、それによって寿命が長くなり、それと ともにこの種の研磨ディスクの経済的な装着が可能になった。

補正音の写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）平成　１年４月２１日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 ｌ　特許出願の表示　ＰＣＴ／ＥＰ８７１００６２３２　発明の名称　高速研磨 盤用研磨ディスク装置３　特許出願人 代表者　ベーグ、ロルフ 国　籍　ドイツ連邦共和国 ４代理人■１０５ ５　補正音の提出日　１９８９年　１月１９日６　添付書類の目録 （１）補正音の写し　（翻訳文）　１通特Ｉ♂求もｔ昂 （１）軸方向に作用する緊締手段（Ｓｐａｎｎｍｉ　ｔｔｅｌ）を用いて、例え ばボラゾン（ＣＢＮ−）あるいはダイヤモンド研磨ディスクのような、特に形状 一定の断面をもつ研磨ディスクが軸方向にそして回転しないように着座する研磨 主軸を有し、研磨ディスクの削り屑取り去り機能面（１８；１１８）が主軸（２ ；１０２）に取りつけられた状態で半径方向に整向可能であり、その際研磨ディ スク（１６；１１５）が半径方向の端部面（２６ｉ１２６）によって支持フラン ジ（１０，１２；１１０．１１２）に対して緊締されており、そして円筒状の半 径方向内側にある支持面（２４；　Ｉ　２４）によって支持フランジに対し心出 しされている、特に高速研磨盤用の研磨ディスク装置において、研磨ディスク（ １６；１１６）が研磨リングにより形成され、該研磨リングが夫々研磨ディスク （１６ｉ１１６）に遊びをもって挿入された多数の緊締ねしく２８；１２８）を 介して支持フランジ（１０゜１２；１１０，１１２）に緊締可能であり、そして 前記研磨リングが軸方向に拡がる支持面（２４；１２４）を介して直接主軸（２ ；１０２）に心出しされ緊締される支持フランジに心出しされ、そのとき９０° の角度間隔で配置されている４つの位置決め部材（３６；１３６）が支持フラン ジ（１０，１２；１１０，１１２）の前面（５４）の方から作動可能である調節 機構（４Ｂ、４２゜３Ｂ、４０；１３８．１６０，１４２，１７０）を介して半 径方向内側から円筒状支持面（２４；１２４）に向かって押圧されることだでき ることを特徴とする研磨ディスク装置。

（２）研磨ディスク（１６；１１６）の支持面（２４；１２４）と支持フランジ （１０，１２；１１０，１１２）の外側表面（５８；１０４）との間に軸線方向 に拡がるリング状の間隙（６０）が設けられており、該間隙が約０．２胸から０ ．３　ｍｍの最小幅（Ｗ、ｉ、　）　もつことを特徴とする請求項１に記載の研 磨ディスク装置。

（３）位置決め部材（３６１；１３６）が研磨ディスク（１６；１１６）の支持 面（２４ｉ１２４）に面で接触していることを特徴とする請求項１又は２に記載 の研磨ディスク装置。

（４）緊締ねじ（２８：１２Ｂ）が周方向に均一に配分され、夫々が沈みをもっ て研磨ディスク（１６；１１６）の中に挿入され、特に共通のカバーリング（１ ７４）により蓋されることができることを特徴とする請求項１−〜３のいずれか 一つに記載の研磨ディスク装置。

（５）調整機構が調節ねじ（４８）を有し、該調節ねじが、くさび面（４０）で 位置決め部材（３６）の半径方向の内側端部に支持されているスタッド（４２） と接触していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の研磨ディ スク装置。

（６）位置決め部材（３６）がその半径方向の内側端部にくさび面（３８）を有 し、該くさび面がスタンド（４２）と面接触していることを特徴とする請求項５ に記載の研磨ディスク装置。

（７）位置決め部材（３６）が円筒状の、特に硬化されたピンによって形成され ており、該ビンが支持フランジ（１０，１２）の凹部（４４）に相対回転しない ように挿入されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の研 磨ディスク装置。

（８）調整機構の調節ねじ（４８）が夫々、支持フランジ（１０，１２）の表面 （５４）の共通のリング溝（５２）からなる、特に軸方向に整向されたねじ大向 に座していることを特徴とする請求項２〜７のいずれか一つに記載の研磨ディス ク装置。

補正音の写しく翻訳文）提出書（特許法第１８４条の８）平成　１年４月２１日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １　特許出願の表示　ＰＣＴ／ＥＰ８７１００６２３２　発明の名称　高速研磨 盤用研磨ディスク装置３　特許出願人 ４代理人■１０５ ５　補正音の提出日　１９８８年１１月２８日６　添付書類の目録 （１）補正音の写し　（翻訳文）　１通高速研磨盤用研慶ディスク装置 本発明は、特に形状一定の断面を有する研磨ディスクを用いる高速研磨盤のため の、請求項１の前提概念に従う研磨ディスク装置に関するや 文献米国特許第２８４１９１９号明細書からすでに、請求項１の前提概念に従う 研磨ディスク装置は公知である。この文献は比較的薄いダイヤモンドを装備する 分割ディスク用の整向装置に関するものであり、分割ディスクの金属的支持体は ２つのＬ字状クランブリング（３６，３８）及びクランプナツト（４２）により 研磨ディスクアダプターに位置決め可能である。両方のクランブリング（３８） の１つは研磨ディスクの円穴用のはめあい面（Ｐａｓｓｕｎｇｓｆｌｉｃｈｅ） を有し、そのクランプＩＪ　７グハ多数の調節ねじを収容し、該調節ねじは半径 方向に延在し、その内側にある頭端が別のクランブリングの支持面に支持される 。研磨ディスクの同心性を改善するために調節ねじを支持するクランブリングは 正確に主軸に対し整向されなければならなず、そのことは、主軸に対する十分に 大きなはめあい面（Ｐａｓｓｕｎｇｓｆｌｉｃｈｅ）をクランブリングが有する 時にのみ達成される。この公知の研磨ディスク装置は従って使用分野に関しては 狭い分離ディスクの保持にのみ限定され、その際研磨ディスクを心出しするクラ ンブリングの半径方向内側にある装置により、クランブリングの半径方向移動の 場合にアンバランス（ｌＪｎｗｕｃｈｔ）への作用に限定されていることを配慮 されることができる。

文献米国特許第２８４６８２６号明細書から、同様に比較的薄い研磨ディスクが ２つのクランプディスク（３２，３４）の間に緊張固定される装置は公知であり 、その際円錐状調節面を有する軸方向及び周方向に均一に配分された多数のスタ ッドねしく？１ｏｄｅｎｓｅｈｒａｕｂｅｎ）により研磨ディスクの半径方向の 整向可能性が与えられている。

又この公知の装置においては、研磨ディスクの整向の場合に主軸とクランプディ スクとの間の遊びが調節速度に障害として作用するという問題が生じる。

直径を作業幅の場合では２００ｍｍから５００ｍｍ以上にもすることができる、 形状一定の断面を有する高速研磨ディスクの場合には、例えばボラゾンディスク 、すなわち窒化ホウ素（ＣＢＮ）ディスクあるいはダイヤモンドディスクの場合 には、今まで、正確な整向には最大の寸法を必要とする（ｅｒｆｏｒｄｅｒｌｉ ｃｈｅｎ　Ｈ６ｃｈｓｔｍａＢｅ）という理由から、研磨ディスクを心出しコー ンを介して研磨主軸に固定することが行われ、その際の緊締ナツトは十分大きな 力で研磨ディスクを緊締コーン（５ｐａｎｎｋｏｎｕｓ）に押しつけるためには 十分に大きな軸方向の力を生じることを課題とした。この実施態様では、もちろ ん表面仕上げ（ドレッシング）できない研磨ディスク（ＣＢＮディスク）を使用 する場合に、同心性が正確でないこと（Ｒｕｎｄｌａｕｆ−１］ｎｇｅｎａｕｉ ｇｋｅｉ　ｔ）は自明のことと受け取られる。

上に要求されている高速研磨ディスクは非常に高速で稼動されるので、今までア ンバランスモーメントの排除に重点をおいていた。その際、取りつけられた研磨 ディスクを全体的に力学的にバランスしなければならなかった。研磨ディスクが 損耗した場合には、研磨ディスク全体を交換しなければならなかった。形状一定 の断面をもち表面仕上げ（ドレッシング）できない研磨ディスクを使用すること は、普通の緊締装置によっては可能ではなかった。

それゆえに、本発明は形状一定の断面をもつ研磨ディスクの経済性のある使用を 可能にするという高速研磨盤用の研磨ディスク装置を提供することを課題とする 。

この課題は請求項１の特徴部分に示されている構成によって解決される。

本発明によると、研磨ディスクが単に尚研磨リングとして形成され、該研磨リン グは研ｕｆｔｘ内で緊締系（Ｓｐａｎｎｓｙｓｔｅｍｓ）の製造公差とは無関係 に、経済的に簡単に、最適の切削条件が研磨ディスクの機能面に確保されるよう に調節されることができる。その際、本発明は研磨被覆の負荷が全周にわたって できるかぎり均一であることが、このような高速研磨ディスクの寿命にとっては 、決定的であるという認識に基づく。しかもこのような研磨ディスクでは、いわ ゆる単粒子層″Ｅｉｎｋｏｒｎｂｅｌａｇ”が設けられているだけであり、その 際粒子の大きさはおよそ１００μｍと３００μｍとの間の範囲にあり、個々の場 合ではしかも３μｍで使用されることができる。そこで研磨リンーグの最適な微 細な整向の可能性によって、研磨工程においてこれらの粒子のできるだけ多くが 工作物と係合することを今や達成する。したがって研磨ディスク被覆の全被覆が 非常に減少される０本発明に従う手段によって、このような研磨ディスクの寿命 を大幅に長くすることができることはすでに明らかである。研磨ディスクが半径 方向に非常に薄く、すでに研磨ディスクにしっかりと固定してあり整向された半 径方向支持面を有する支持フランジに対して半径方向に整向可能であるリング体 として形成されるというように研磨ディスクを変形することにより、最大の寸法 の研磨ディスク装置が研磨ディスクの交換の際にもはや一緒に交換する必要が無 い。その際一対の端部面は容易に汚れを取り除くことが可能になり、したがって この種の高速研磨ディスクの交換の際の決定的なエラーの原因を取り除くことが できる。比較的僅かの費用で研磨ディスクの外形を端部面に対し正確に整向して 仕上げることが可能であることが示され、したがって、研磨ディスク輪郭は研磨 ディスクを支持フランジの対応する面に対し取りつけた後に最早ふれ偏差（ＰＩ ａｎｌａｕｆａｂｗｅｉｃｈｕｎｇ）をもたない０本発明に基づいて直接リング 形で半径方向内側の支持面を介して行われる心合わせについては尚単に回転偏差 を最小にしなければならないが、そのことば尚緊締ねじがしっかり締められてい ない場合に研磨ディスクが端部面で半径方向に自由に動かすことができるために 、非常に簡単に実施される。

しかし、本発明に従う装置は研磨ディスクの交換のときにほとんど困難がないと いう利点をもつだけでなく、研磨ディスクが本質的に取り扱いやすくなり、それ が研磨ディスク自身の交換のときのみならず輸送や製造コストの面からも有利で あることにより付加的に優れている。

研磨ディスク装置のこの別の形態のその他の利点は、研磨ディスク断面の軸方向 の位置が交換の隙に本件が通例の円錐緊締方式の場合にあった予測されない態様 で変化することがないことにあり、それによって本発明に従う装置は、研磨主軸 の後調整を省略することができるので数値制御される装置に使用するために特に 適している。

その際、研磨ディスクの非常に急速で正確な心出しは、位置決め部材が夫々９０ ″′の角度間隔でずらされているときに行われることが明らかにされる。この方 法で、位置決め部材の作動の際に、研磨ディスクが例えば３つの位置決め部材の 場合よりも正確に整向してずらされることが確保されることができるので、調整 過程を速くすることができる。

すでに上に述べたように、緊締固定装置（Ａｕｆｓｐａｎｎ　ｖｏｒｒｉｃｈｔ ｕｎｇ）の本発明に従う形態によって、研磨ディスクを本質的に簡単で容易に形 成することの可能性が開かれている。また研磨ディスク質量の縮小によって、デ ィスクの質量バランスをとるような研磨ディスク自体の形態を考慮する必要はも はやない、むしろ、本発明に従う装置により、場合によって必要なバランス作用 についてもっばら支持フランジを設けることを達成し、それによって研磨ディス クがさらに簡素化され、そしてそれによりフランジの製造がより経済的になった 。

通常、高速研磨ディスクは研磨主軸の突起したジャーナルに装着されているので 、研磨ディスクの前面が固定ナンドの半径方向外側に自由に近づきやすい、した がって、位置決め部材の作動をこの前面から行うこと、しかも研磨ディスクの半 径方向側にある支持フランジの前面部分から行うことが有利であり、それにより 、位置決め部材が直接円筒状支持面に作用することにより、調整機構から研磨デ ィスクへの出来るだけ損耗のない力伝達（Ｋｒａｆ　ｔｕｍｓｅｔｇｚｕｎｇ） が行われる。この場合任意の調節機構が設けられることができる。

研磨ディスクの質量の減少によって、すでに、一度中心を合わされた研磨ディス クをクランプねじを締めてその位置に保持するためにはわずかな位置決め部材で 十分である。しかし研磨ディスクを付加的に保全するために、別の緊締手段、例 えば請求項１０に従う付加的緊締手段を設けるのが有利である。

請求項６に従って１対の端部面が選ばれると、１対のくさび面は自己制動でない という危惧あがる。所望の調整力を位置決め部材に伝達するためには、４５°く さび角度が十分であることが明らかである。この種の高速研磨ディスクのはじめ に示した切断速度の場合、機能的に信顛のある緊締固定方式では研磨盤の運転中 に付加的なアンバランスがシステム中に生じることがないことを要求する。この ために最初の前提は請求項２の要件である。

この０．２からＱ、３ｍｍの遊びがリング状の研磨ディスクと支持フランジとの 間に重要な研磨スラリが付着せず、そのため研磨ディスクの新規の始動の際にア ンバランスを招くことがないことが考慮される。

請求項９に係る別の形態は、この種の研磨スラリが調整機構の作動位置では堆積 するという可能性をとり除く。

請求項１１に従う別の形態によって前記の機能が尚支持されそのとき研磨ディス クによって外側から内側へ入ってくる研磨スラリが運転開始後半径外方向へ投げ 飛ばされることができるようにしずく溝が貢献する。

請求項１３に従う別の形態によってそれが研磨ディスクが動いているときに侵入 する研磨スラリが研磨ディスクと支持フランジとの間のリング状の間隙から半径 方向外側へ押し出されることを考慮しである一種の遠心分離コーンが支持フラン ジの側面に作られている。

研磨盤内で研磨ディスクを整向するための特に簡単で確実な装置が請求項１７〜 ２２の要件である。

この装置は支持フランジから研磨ディスクリングへの力の流れが特に有効である ということによって秀でているというだけでなく、そのうえに有利な方法で、必 要な構造部材数が非常に減少できる可能性を与えることで優れている。この方法 で、単に４つの調節ブロックにより作業することに成功し、それらのブロックに おいては、簡単な方法で一方では支持フランジのための支持面の最大化が、そし てもう一方では研磨ディスクの半径方向に内側にある接触面が可能である。

請求項２２に従って設けられることにより位置決め部材の緊締固定を実施するこ とが特に好都合であることは明らかである。研磨ディスクの整向のため及びその 緊締固定のために必要とされる構造部材の数はこの方法でさらに減少されること かできる。

請求項２３に従う形態は研磨ディスクの調節及び整向のために必要な構造部材及 び機構部材を周囲に対し効果的に遮蔽するので、調節装置が腐蝕の出現、及び研 磨くず堆積のない状態で保持されることができる。したがって、カバープレート をとりのぞいた後、調整機構が自由に手を与えられるだけでなく、ただちに適当 した道具を用いて調整できる。

その他の有利な形態は残りの請求項の要件である。

次に略図に基づいて本発明の２．３の実施例を詳細に説明する。

第１図は緊締固定された研磨ディスクを有する研磨主軸の半径方向の断面図、第 ２図は線■−■で切断したときの第１図に従う実施形態の部分断面図、（９）　 リング溝（５２）がカバーリング（５６）によって覆われることを特徴とする請 求項８に記載の研磨ディスク装置。

０ω　研磨ディスク装置（１６）の付加的な半径方向の支持のための多数の、特 に１２個の追加の位置決め部材（３６）を特徴とする請求項１〜９のいずれか１ つに記載の研磨ディスク装置。

ａＤ　支持面（２４）が研磨ディスク装置（１６）の端部面（２６）とは反対側 の前面（２０）への移行領域に溝（７０）を有し、該漠に半径方向に間隔をおい て支持フランジ（１０，１２）のしずく溝（７４）が封装することを特徴とする 請求項１〜１０のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。

０の　大体において研磨ディスク装置（１６）の前面（２０）の平面に頂部を有 するようにしずく溝（７４）が設けられていることを特徴とする請求項１８に記 載の研磨ディスク装置。

０り）しずく溝（７４）は端部面（１４，２６）とは反対の側では円錐面（５８ ）により境界され、該円錐面は研磨主軸（４）の方へ下がり、そして他方の側で は鋭いリング（７６）に移行していることを特徴とする請求項１２に記載の研磨 ディスク装置。

（２）位置決め部材（３６）とスタッド（４２）が円筒状のビンにより形成され 、それらの互いに向かい合った端部が４５°の角度で傾斜をつけられていること を特徴とする請求項４〜１３のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。

０５１　支持フランジ（１０，１２）が夫々の位置決め部材（３６）のために、 位置決め部材（３６）の軸方向溝（６４）に嵌合する保持ビン（６８）を収容す ることを特徴とする請求項４〜１４のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。

００　円錐面（５８）が２°と６°との間の傾斜角（α／２）をもつ円錐形によ って形成されていることを特徴とする請求項１３〜１５のいすか１つに記載の研 磨ディスク装置。

０７）調整機構が、位置決め部材（１３６）を遊びをもって貫通する調節ねじ（ １６０）により形成され、該調節ねしは支持フランジ（１１０）のねし穴（１７ ０）に係合していることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の研磨 ディスク装置。

０８）支持フランジのアンダーカットされた溝（１３８）に案内され、横断面が Ｔ型のロックによって位置決め部材（１３６）が形成されていることを特徴とす る請求項１７に記載の研磨ディスク装置。

０９　溝（１３８）が研磨ディスク装置の軸線面（１５４）に関して対称に形成 されており、研磨ディスク装置の軸線（１０３）に対して傾斜角（角Ｔ）を形成 している溝底面（１４２）を有していることを特徴とする請求項１８に記載の研 磨ディスク装置。

＋２０１　位置決め部材（１３６）が半径方向外側へ向かうウェブ（１４４）を 有し、該ウェブの上面（１４８）が円筒（１５０）の外面部により形成され、該 円筒が研磨ディスク装ｆｆ（１１６）の支持面（１２４）を生じる円！　（１５ ２）と完全に一致し、且つ位置決め部材（１３６）の滑動面兼支持面（１４６） に対して傾斜角度が形成される軸線を有することを特徴とする請求項１９に記載 の研磨ディスク装置。

（２１）半径方向内側領域において調節ねじ（１６０）が滑動面兼支持面（１４ ６）に対して平行に延びるように調節ねしく１６０）が位置決め部材（１３６） を貫通していることを特徴とする請求項２０に記載の研磨ディスク装置。

（２２）位置決め部材（１３６）において調整ねしく１６０）の半径方向外側に 副ねしく１７２）のためのねじ穴（１５Ｂ）が形成され、該副ねじのために支持 フランジ（１１０，１１２）に支持面（１４０）が形成されていることを特徴と する請求項２１に記載の研磨ディスク装置。

（２３）　研磨ディスク装置の前面を少なくとも緊締ねしく１２Ｂ）と位置決め 部材（１３６）との間の領域で液密状に周囲から遮蔽することができ、研磨ディ スク（１１６）に特に心出しして固定可能であるカバープレート（１７４）を特 徴とする請求項４〜２２のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。

国際調査報告 国際調査報告 ミコＢ７ｔ３０ε２２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）軸方向に作用する緊締手段（Ｓｐａｎｎｍｉｔｔｅｌ）を用いて、例えば ボラゾン（ＣＢＮ−）あるいはダイヤモンド研磨ディスクのような、特に形状一 定の断面をもつ研磨ディスクが軸方向にそして回転しないように着座する研磨主 軸を有する、特に高速研磨盤用の研磨ディスク装置において、研磨ディスク（１ ６；１１６）の削り屑取り去り機能面（１８；１１８）が主軸（２；１０２）に 取りつけられた状態で半径方向および／あるいは軸方向に整向可能であることを 特徴とする研磨ディスク装置。 （２）研磨ディスク（１６；１１６）が特に研磨リングの形で半径方向に拡がる 端部面（２６；１２６）によって主軸に緊締された支持フランジ（１０，１２； １１０，１１２）に対して緊締されており、そして大体において軸方向に拡がり 半径方向内側にある支持面（２４；１２４）によって支持フランジに心出しされ ていることを特徴とする請求項１に記載の研磨ディスク装置。 （３）互いに周方向に間隔をおいて配置されており、一方では支持フランジ（１ ０，１２；１１０，１１２）にそして他方では支持面（２４；１２４）に支えら れている、少なくとも３つの調節可能な位置決め部材（３６；１３６）によって 、研磨ディスク（１６；１１６）が心出しされていることを特徴とする請求項２ に記載の研磨ディスク装置。 （４）４つの位置決め部材（３６；１３６）が設けられており、その位置決め部 材の夫々２つが１８０°の角度間隔で配置されていることを特徴とする請求項３ に記載の研磨ディスク装置。 （５）隣同志の位置決め部材（３６；１３６）が９０°の角度間隔で配置されて いることを特徴とする請求項４に記載の研磨ディスク装置。 （６）支持面（２４；１２４）が円筒面で形成されていることを特徴とする請求 項１〜５のうちのいずれか一つに記載の研磨ディスク装置。 （７）位置決め部材（３６；１３６）が支持フランジ（１０，１２；１１０，１ １２）の前面（５４）の方から作動可能であることを特徴とする請求項２〜６の いずれか一つに記載の研磨ディスク装置。 （８）位置決め部材（３６；１３６）が調節機構（４８，４２，３８，４０；１ ３８，１６０，１４２，１７０）を介して作動可能であることを特徴とする請求 項２〜７のいずれか一つに記載の研磨ディスク装置。 （９）研磨ディスク（１６；１１６）の支持面（２４；１２４）と支持フランジ （１０，１２；１１０，１１２）の外側表面（５８；１０４）との間に軸線方向 に拡がるリング状の間隙（６０）が設けられており、該間隙が約０．２ｍｍから ０．３ｍｍの最小幅（Ｗｍｉｎ）もつことを特徴とする請求項２〜８のいずれか 一つに記載の研磨ディスク装置。 （１０）位置決め部材（３６１；１３６）が研磨ディスク（１６；１１６）の支 持面（２４；１２４）に面で接触していることを特徴とする請求項３〜９のいず れか一つに記載の研磨ディスク装置。 （１１）全周にわたって均一に配分された多数の緊締ねじ（２８；１２８）が設 けられ、該緊締ねじは夫々沈みをもって且つ遊びをもって研磨ディスク（１６； １１６）の中に挿入され、特に共通のカバーリング（１７４）により蓋されるこ とができることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一つに記載の研磨ディス ク装置。 （１２）調整機構が調節ねじ（４８）を有し、該調節ねじが、くさび面（４０） で位置決め部材（３６）の半径方向の内側端部に支持されているスタッド（４２ ）と接触していることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１つに記載の研磨 ディスク装置。 （１３）位置決め部材（３６）がその半径方向の内側端部にくさび面（３８）を 有し、該くさび面がスタッド（４２）と面接触していることを特徴とする請求項 １２に記載の研磨ディスク装置。 （１４）位置決め部材（３６）が円筒状の、特に硬化されたピンによって形成さ れており、該ピンが支持フランジ（１０、１２）の凹部（４４）に相対回転しな いように挿入されていることを特徴とする請求項８〜１３のいずれか一つに記載 の研磨ディスク装置。 （１５）調整機構の調節ねじ（４８）が夫々、支持フランジ（１０、１２）の表 面（５４）の共通のリング溝（５２）からなる、特に軸方向に整向されたねじ穴 内に座していることを特徴とする請求項９〜１４のいずれか一つに記載の研磨デ ィスク装置。 （１６）リング溝（５２）がカバーリング（５６）によって覆われることを特徴 とする請求項１５に記載の研磨ディスク装置。 （１７）研磨ディスク装置（１６）の付加的な半径方向の支持のための多数の、 特に１２個の追加の位置決め部材（３６）を特徴とする請求項８〜１６のいずれ か１つに記載の研磨ディスク装置。 （１８）支持面（２４）が研磨ディスク装置（１６）の端部面（２６）とは反対 側の前面（２０）への移行領域に溝（７０）を有し、該溝に半径方向に間隔をお いて支持フランジ（１０，１２）のしずく溝（７４）が対位することを特徴とす る請求項１〜１７のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。 （１９）大体において研磨ディスク装置（１６）の前面（２０）の平面に項部を 有するようにしずく溝（７４）が設けられていることを特徴とする請求項１８に 記載の研磨ディスク装置。 （２０）しずく溝（７４）は端部面（１４、２６）とは反対の側では円錐面（５ ８）により境界され、該円錐面は研磨主軸（４）の方へ下がり、そして他方の側 では鋭いリング（７６）に移行していることを特徴とする請求項１９に記載の研 磨ディスク装置。 （２１）位置決め部材（３６）とスタッド（４２）が円筒状のピンにより形成さ れ、それらの互いに向かい合った端部が４５°の角度で傾斜をつけられているこ とを特徴とする請求項工１〜２０のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。 （２２）支持フランジ（１０、１２）が夫々の位置決め部材（３６）のために、 位置決め部材（３６）の軸方向溝（６４）に嵌合する保持ピン（６８）を収容す ることを特徴とする請求項１１〜２１のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置 。 （２３）円錐面（５８）が２°と６°との間の傾斜角（α／２）をもつ円錐形に よって形成されていることを特徴とする請求項２０〜２２のいずか１つに記載の 研磨ディスク装置。 （２４）調整機構が、位置決め部材（１３６）を遊びをもって貫通する調節ねじ （１６０）により形成され、該調節ねじは支持フランジ（１１０）のねじ穴（１ ７０）に係合していることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１つに記載の 研磨ディスク装置。 （２５）支持フランジのアンダーカットされた溝（１３８）に案内され、横断面 がＴ型のロックによって位置決め部材（１３６）が形成されていることを特徴と する請求項２４に記載の研磨ディスク装置。 （２６）溝（１３８）が研磨ディスク装置の軸線面（１５４）に関して対称に形 成されており、研磨ディス久装置の軸線（１０３）に対して傾斜角（角γ）を形 成している溝底面（１４２）を有していることを特徴とする請求項２５に記載の 研磨ディスク装置。 （２７）位置決め部材（１３６）が半径方向外側へ向かうウエブ（１４４）を有 し、該ウエブの上面（１４８）が円筒（１５０）の外面部により形成され、該円 筒が研磨ディスク装置（１１６）の支持面（１２４）を生じる円筒（１５２）と 完全に一致し、且つ位置決め部材（１３６）の滑動面兼支持面（１４６）に対し て傾斜角度が形成される軸線を有することを特徴とする請求項２６に記載の研磨 ディスク装置。 （２８）半径方向内側領域において調節ねじ（１６０）が滑動面兼支持面（１４ ６）に対して平行に延びるように調節ねじ（１６０）が位置決め部材（１３６） を貫通していることを特徴とする請求項２７に記載の研磨ディスク装置。 （２９）位置決め部材（１３６）において調整ねじ（１６０）の半径方向外側に 副ねじ（１７２）のためのねじ穴（１５８）が形成され、該副ねじのために支持 フランジ（１１０、１１２）に支持面（１４０）が形成されていることを特徴と する請求項２８に記載の研磨ディスク装置。 （３０）研磨ディスク装置の前面を少なくとも緊締ねじ（１２８）と位置決め部 材（１３６）との間の領域で液密状に周囲から遮蔽することができ、研磨ディス ク（１１６）に特に心出しして固定可能であるカバープレート（１７４）を特徴 とする請求項１１〜２９のいずれか１つに記載の研磨ディスク装置。