JPH02501615A - 共振回路を励振するための方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 共振回路を励振するための方法および装置本発明は、インダクタ、キャパシタ、 切換え可能な電流または電圧源および制御回路を備えるＬ−Ｃ共振回路を励振し である発振を生ぜしめるための方法およびその方法を実施するための装置に関す るものである０本発明は、また、導電性の物体（減衰部材）の接近によって減衰 させれるようなＬ−Ｃ共振回路を備える誘導近接センサおよびそのような誘導近 接センサを備える流量計、特に水量計に関するものである。

Ｌ−Ｃ共振回路の発振は、種々な面でされている。このような発振は、種々な方 法にて発生されうる。実際に、その発振は、常に、多かれ少なかれ減衰させれる ものであり、その減衰の度合は、その共振回路の品質に依存する。

共振回路は、誘導近接センサに使用されている。この種の誘導近接センサは、知 られており、例えば、公告された独国出願第３３１８９００号に開示されている 。その近接センサに含まれるＬ−Ｃ共振回路の減衰は、導電性の物体（減衰部材 ）の接近によって影響される。誘導近接センサと導電性物体との間の距離が短け れば短い綽、その共振回路の自由発振は、それだけ強く減衰させられる。

誘導近接センサは、特に、導電性の物体（減衰部材）のそのセンサに対する通過 移動を検出するのに使用される。このような応用例は、水量計の如き流量計にお いて特に重要である。このような場合において、減衰部材は、流量計の指針また は別の可動部材である。

指針は、１回転毎に１回、近接センサの範囲内に移動していく。

本発明の目的は、発振を生ずるために消費されるエネルギが最小法を実施した誘 導近接センサを提供することである０本発明のさらに別の目的は、この種の近接 センサを使用した流量計を提供することである。

本発明によって目的を達成する並列共振回路においては、スイッチが閉じられ、 その後、そのスイッチは、制御回路が充分な発振を検出するとすぐに、再び開か れる０本発明によって目的を達成する直列共振回路においては、切換えスイッチ は、電圧源が共振回路と直列に接続される第１の位置へ移動され、その後、その 切換えスイッチは、制御回路が充分な発振を検出するとすぐに、共振回路が閉じ られ電圧源が切り離される第２の位置へと移動させられる。このことは、並列共 振回路が使用される場合および直列共振回路が使用される場合において、その共 振回路がそのエネルギ容量の限界に達する時間を待つことなく、制御回路が充分 な発振の存在を検出するとすぐに、スイッチが開かれ、または他の位置へと移動 させられることを意味している。スイッチが開かれた後またはスイッチの位置が 変化させられた後、評価するのに充分な振巾の発振が形成される。

共振回路の励振は、周期的に繰り返しなされうる。励振が繰り返される周期に比 較して短い時間でスイッチが開かれるが、またはその状態が変えられるので、平 均の工名ルギ消費量は最小とされる。

このような効果は、特にインダクタにおいては、励振が時間的にうまく制限され るので、直流損失が減少させられるという点で増大させられる。

公告された独国出願第３３１８９００号に開示されて知られている誘導近接セン サにおいては、共振回路は、所定の一定の長さを有したパルスによって励振され るので、その励振は、その共振回路の状態とがその共振回路に接続される。その 制御回路が充分な発振を検出するとすぐに、スイッチが閉しられ、または切換え スイッチがその第２の位置へと移動させられ、共振回路からスイッチまたは切換 えスイッチへのフィードバックがなされる。これにより、一定の所定の長さを有 する励振パルスを使用する既知の誘導近接センサに勝る次のような効果が得られ る。すなわち、供給電圧が変化したときでも、本発明による方法は、一定の効率 にて実施されうる。バッテリは漸次尽きてくるものなので、その供給電圧は変化 するものである。供給電圧およびその他の回路パラメータは、温度変化のために 変動するものである。最後に、それら回路は実際には完全に同一には製造できな いものなので、諸パラメータが変ることがありうる。その上、前述したようなフ ィードバックのために、本発明による方法は、動作条件、周囲条件および構成部 品の変動には無関係なものである。

本発明による方法は、並列または直列共振回路にて実施されうる。

使用する電流または電圧が理想電流または電圧源にどれだけ近似しているかは、 実質的には重要ではない。実際の源においては、構成部品を危険にさらすか、ま たは損傷させてしまうかするような許容しえないような電圧または電流ピークを 阻止する手段を講じることが必要であることを、理解されたい。

本発明のさらに望ましい特徴によれば、スイッチは再度開かれる、すなわちコン デンサの電圧が極値に接近するやいなや、切換スイッチは第２の位置に移動され る。そしてインダクタを流れる電流の傾きは、断路に応答して誘導される電圧が 発振を増加させる方向を有する０本発明のその特徴は、共振並列及び直列回路に 適用可能である。前述した特徴によれば、電流源又は電圧源は最適な時間で断路 される。

更に利点となる特徴によれば、スイッチは再度開かれる、すなわちコンデンサの 電圧が第１の極値に接近するやいなや、切換スイッチは第２の位置に移動される 。そしてインダクタを流れる電流の傾きは、断路に応答して誘導された電圧が発 振を増加させる方向を有する。避けられない減衰により、最初の極値がすべての 後の極値を越えである発振の振幅を発生する必要なエネルギが最小化される。

本発明の更に利点となる特徴によれば、スイッチは再度開かれる、すなわちコン デンサの電圧が零の交差に近づくとき、切換スイッチは第２の位置に移動される 。

本発明の望ましい特徴によれば、電流源又は電圧源は、コンデンサ又はインダク タ、又はこれらの素子と抵抗との組合せから成る結合用素子によって、共振回路 に接続されている。

抵抗を使用することによって次の利点が生じる。すなわち、実施例においては、 スイッチが閉じたとき内部抵抗を有する。実際、その抵抗値は、必ずしも同一で はなく、電圧や製法に依存する。この変化分の効果は、他の抵抗を付加すること によって減少される９例えば、外部の付加抵抗とスイッチの内部抵抗との比が約 １０対１であるならば、そのスイッチの内部抵抗は付加外部抵抗に対して無視で きてスイッチの抵抗の変化分の依存度は大幅に減少する。

付加素子としてコンデンサを使用することで、次の利点が得られる。第１に、コ ンデンサが直流に対して無限の抵抗を存するので、共振回路はデカップリングさ れる。その結果、誘導ピーク電圧は小さくなり、適切な時間に正確に断路するほ ど決定的ではなくなる。

他方、発振が誘導電圧によっては増加し難くなる。直流電圧源と共振回路との間 にインダクタを付加する効果は、コンデンサの効果と反対である。

制御時の低消費エネルギ、高速スイッチング、チャタリングの存在しないこと、 回路における適合性の良さ等の半導体スイッチの既知の性質により、本発明の望 ましい特徴はそのような半導体スイッチを使用することにある。

制御回路は、コンデンサ、インダクタ、又は抵抗、あるいはこれらの素子の組合 せからなる結合素子によって共振回路に接続されている。制御電圧は、コンデン サ又はインダクタの電圧の極値を検出する微分素子からなっている。

本発明の別の利点となる特徴によれば、制御回路はしきい値スイッチからなって いる。このしきい値スイッチは、制限値以上の電圧の上昇に応答して十分な発振 を生しさせる。

もし制御回路が発振をパルスに変換するならば、デジタル信号処理による利点を 活用できる。評価回路のデジタル動作が可能となる。

あるいは、後の計数回路が制御される。

本発明の更に利点となる特徴によれば、発振は、オーバドライブ増幅器によって 増幅され、そして増幅された発振の立上りエツジが上限を越えるか、又は増幅さ れた電圧が下限以下になる限り、シュミットトリガによって一定の振幅（デジタ ル出力値）を存する矩形波に変換される。

本発明は、本発明による方法を実行するための誘導性近接センサも提供する。こ の誘導性近接センサは共振用Ｌ−Ｃ回路からなっている。この共振用Ｌ−Ｃ回路 は、電気導電性物体の接近に応答して減衰するようにされている０発振の減衰を 検出する評価回路も設けられている。

そのような誘導性近接センサは、公告されたドイツ出願第３３１８９００号によ って知られている。この誘導性近接センサは次の原理に基づいている。共振Ｌ− Ｃ回路にエネルギが供給されると、インダクタとコンデンサの各々の値によって 決まる周波数で発振する。

減衰要素カミ誘導性近接センサの動作範囲外にあるとき、発振は相対的にゆっく り減衰する０発振の減衰の程度は、減衰要素によって影響されないとき、共振回 路のＱによる。減衰要素が誘導性近接センサの動作範囲内に入るとき、共振Ｌ− Ｃ回路による発振はより強く減衰される。その場合、減衰の程度は、減衰要素や 、減衰要素から誘導性近接センサまでの距離のような他のパラメータに影響され る。

この理由で、誘導性近接センサが距離を測定するために使用される。

近接センサの共振Ｌ−Ｃ回路での減衰が、減衰要素に対する距離の尺度になるか らである。

ドイツ出願公告３３１８９００から周知である誘導近接センサでは、減衰の程度 は整流発振の平均値が決まる際に決定される。その平均値が小さくなればなる程 、減衰は大きくなるだろう、これとは別に、減衰は、Ｌ−Ｃ共振回路の励起から ある時間経過した後に減衰する発振の振幅の大きさが決まる際に決定されてもよ い。

このため、本願発明の目的は、特に発振減衰を簡単にかつ信頼性をもって決定で きる誘導近接センサを提供することである。

本願発明によれば、この目的は、その評価回路が予め選択可能な値を餡える振幅 をもつ発振の数をカウントするカウント回路を包含することにより達成される。

評価のモードはアナログ成分を必要とせず厳格にはディジタル成分だけなので、 特に簡単である。このようにして決定された減衰の程度は、さらにアナログ・デ ィジタルコンバータによりディジタル値に変換する必要もなく、ディジタル的に 処理できる。

本願発明のさらなる利点によれば、制御回路は最初に発振を増幅する過駆動増幅 器で構成されている。この増幅された発振はその後シュミットトリガ回路により −、定の振幅を有する方形波パルス、すなわちディジタル出力値に変換され、そ の際、その増幅された発振ち下がり縁部が下限を下回る。それ以外の場合は、得 られたレベルはそのまま維持されるだろう、すなわち、二つのディジタル値のう ちの一つが一定値に維持されるだろう、これは、その評価回路が減衰の平均値で あるディジタル信号を発生しその信号をさらに周知の方法でディジタル的に簡単 に処理できるという利点を与えている。

このため、その評価回路により発生するディジタル信号をさらに評価するために 標準的な成分を用いることができる。

本願発明のさらに有利な特徴は、Ｌ−Ｃ共振回路を周期的に励起するパルス発生 器を設けたことである。周期的励起の時間的な間隔は発振が評価される時間より も長くなければならない、これは（その励起が減衰部材からの影響を受けないと き使用できるレベルにおける）Ｌ−Ｃ共振回路の実際の遅延時間であってもよい 、その周期的な励起は一定の周波数において達成されてもよいが、これは本質的 なものではない。これとは別に、このＬ−Ｃ共振回路は所定のプログラムにした がって周期的に励起されてもよい。その上、このＬ−Ｃ共振回路はある状態また は事象に依存して励起されてもよい。

本願発明のさらなる目的は、本願発明の方法を実施できる誘導近接センサを備え た流量計、特に、水量計を提供することである。

以下、添付図面を参照しながら本願発明の実施例を詳細に説明する。

第１図は並列共振回路の基本的な回路図であり、第２図は直列共振回路の基本的 な回路図であり、第３図は電流源に接続された結合素子としてのキャパシタと制 御回路の結合素子としてのキャパシタとを示す変形回路の図であり、第４図は並 列共振回路を使用した場合のスイッチ閉塞後におけるキャパシタ電圧の時間的な 変化を示し、第５図は軽減衰発振におけるその発振の時間的な変化を示し、第６ 図は減衰発振の時間的な変化を示し、及び第７図は発振の時間的な別の変化を示 している。

〔実施例〕

第１図に示す共鳴並列回路の基本回路図は直流電源１と、スイッチ２と、インダ クタ４およびキャパシタ５を備える共鳴回路３と、制御回路６とからなる。直流 電源１はバッテリーを用いても良い。

制御回路６は共鳴回路３からの信号を受信し、その信号を処理する。

この処理に従ってスイッチ２が開閉される。

第２図に示す共鳴直列回路の基本回路図は直２ｉｔ電ａ７と、切換スイッチ８と 、インダクタ４およびキャパシタ５を備える共鳴回路３と、制御回路６とからな る。切換スイッチ８は第１位置９と第２位置１０とに移動可能であり、第１位置 ９では共鳴回路３を電ａ７と直列に連結し、第２位置１０では共鳴回路３を閉じ 、電源７から遮断する。信号はキャパシタ５とインダクタ４との間においてタフ ブし、制御回路６へ送られる。切換スイッチ８は、制御回路６におけるその信号 の処理に従って作動する。

第３図は共鳴並列回路の実施例を示す０本実施例における共鳴並列回路はキャパ シタ１１を介して直流型ａ１に、またキャパシタ１２を介して制御回路６に連結 している。本実施例においては、スイッチ２はトランジスタからなる。もう一方 のトランジスタ１３は、直流電源１が連結される前にキャパシタ１１を放電させ る。キャパシタ１２は共鳴回路３と制御回路６との間に配置されているので、制 御回路６はキャパシタ１２を経て共鳴回路３から信号を受け取る。

この共鳴回路３からの信号の処理に従って、制御回路６はトランジスタからなる スイッチ２を制御することができる。制御回路６はトランジスタ１３をも制御す ることが可能である。キャパシタ１１は共鳴回路３と直流電源１との間に配置さ れている。スイッチ２はキャバシタ１１と直流電源２との間に配置されている。

第４Ｕ！Ｊは、第１図の共鳴並列回路における時間ｔの経過に伴うキャパシタ電 圧Ｕｃの変化を示している。スイッチ２（第１図）は１＝１．において閉じられ 、共鳴回路は振動を始める。電源の極性によって勾配は正または負になる。キャ パシタ電圧ＬＪｃは１＝１゜において最初の極値Ｕ１をとる。キャパシタ電圧Ｕ ｃは１＝１．においでＵＣ＝０となった後、１＝１．において二番目の極値Ｕ、 をとる。さらに、キャパシタ電圧Ｕｃは極値Ｕｓ、Ｕｔをとる。このＵｃ−を曲 線は減衰曲線であるので、極値Ｕ、は極値Ｕ、よりも小さく、極値Ｕ、の絶対値 は極４Ｍ　Ｕ　ｌ　の絶対値よりも小さい。

スイッチを開く最適の時間は１＝１．である、このとき、キャパシタ電圧Ｕｃは 最初の極値は達し、このときのインダクタ４を流れる電流の勾配は、スイッチ開 による電流の遮断に応答して誘導される電圧がキャパシタ電圧と同じ極性を有す るような向きである。何らかの理由により、１＝１．においでｔｉのＦ１断がで きないときには、次の遮断の好適な時間は１＝１．である、１＝１．においては 、キャパシタ電圧Ｕｃは再び極値をとり、または１＝１．におけるインダクタを 流れる電流の勾配は、スイッチ開による電流の遮断に応答して誘導される電圧が キャパシタ電圧と同し極性を有するような向きである。

遮断に最も不適な時間は１＝１．である、１＝１．においては、キャパシタ電圧 は極値Ｕ、に達するが、インダクタを流れる電流の勾配は、スイッチ開による電 流の遮断に応答して誘導される電圧がキャパシタ電圧と同じ極性を有しないよう な向きである。このため、振動は増幅されず、減衰する。

本発明を最適に実施するためには、ｔ、を検知し、同時に電流遮断を行うことが 必要である。しかし、不通な時間１＝１．までに十分に長いインタバルが検知さ れ、そのため１＝１．における遮断をｒｇＪ避できるのであれば、本発明の実施 化が可能になる場合もある。

本回路の特性からすれば、例えば、ｔ２を検知し、同時に遮断を行えば十分であ る。

特に、Ｕｃ＝０となる時間、すなわちｔ＝ｔｚ　、ｔａ　、ｔ６、ｔ８、のいず れかにおいて遮断を行うことが望ましいかもしれない。

実際の回路では１＝１．等を検知することが特に容易であるからである。特に、 １＝１．における遮断は特別な重要性を有する。

１＝１．はＵゎ＝０となる最初の時であり、他のＵｃ＝０となる時と比較しても 最も大きな振幅を得ることができるからである。

第５図のカーブ１は共振回路からの信号の時間につれての変化を示していえう。

これは減衰発振である。カーブ２はカーブ１がら取り出されており、カープエの 信号は重畳駆動増幅器により増幅され、そのため先ず殆ど矩形の信号がつくられ る。カーブ１の振幅が減衰していくにつれ、矩形波の縁は段々平らになって最後 には正弦波となる。

カーブ３はカーブ２から取り出されており、カーブ２の信号はシュミットトリガ −へ送られ、増幅発振の立ち上がりの縁が上限を越えると、または増幅発振の立 ち下がりの縁が下限を越えるとディジタル矩形波信号を発生する。その他はカー ブ３のレベルは最後に到達した値のままである。この例ではこれは下の方のデジ タルレベルである。

第５図と同じような表現の第６図は、共振回路の強く減衰した発振の状態を示す 。同じような表現であるので同しカーブとスレッショールド値は第５図と同じ記 号で示している。

第５図と第６図のカーブ２から明らかなように零交差点である第４図に−示す時 間ｔ、−Ｌａ、ｔａ、Ｌｍは簡華に検出でき、デジタル信号の立ち上がりと立ち 下がりとが検出される。切り離しと関連しているカーブ２の前部分でこのことは 非常に良い禁しでもって成立する。カーブの縁が急峻であるからである。

第４図と同じような表現の第７図は、発振の時間につれての別の変化を示す、第 ４図に使用したのと同じ参照文字を使用している。

時間ｔ、−０で共振並列回路のスイッチを閉じ、その時共振回路は発振し始める 。最初の極値Ｕ１に時間ｔ１で到達し、極値Ｕ３、Ｕ５、Ｕ７が続く、第３の負 の極値Ｕ９の時間でインダクタに流れる電流の勾配の方向は、切り離しに応答し て誘起する電圧が振動を増大しないような方向であるので、極値Ｕ９の後で振幅 は増大させられ、そして極値ＵＩＯに到達する。その後の振動は共振ＬＣ回路の 減衰振動であり、そしてエクスポーネンシアルカーブに沿って減衰する。

浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 繁蓼 浄書（内容に変更なし） ｔｉ蓼 □□］ 平成　年　月　日 特許庁長官　吉　１）文　毅　殿 １、事件の表示　ＰＣＴ／ＥＰ　８８１００８９３３、補正をする者 事件との関係　出願人 ５、補正命令の日付　平成２年１月３０日国際調査報告 １〜際調査報告 ＥＰ　εε００８９３

Claims (36)

【特許請求の範囲】
1. １．共振並列回路を励振する方法であって、インダクタと、キャパシタと、スイ ッチによりスイッチ可能な直流電源と、及び、制御回路と、を含む方法であって 、制御回路（６）が充分な発振を検出するとすぐに、スイッチ（２）は、閉じら れ、その後、再び開かれることを特徴とする方法。
2. ２．共振直列回路を励振する方法であって、インダクタと、キャパシタと、切換 スイッチによりスイッチ可能な直流電源と、及び、制御回路と、を含む方法であ って、切換スイッチ（８）は、電源（７）が共振回路（８）に直列に接続される 第１の位置（９）に動かされ、そして、切換スイッチは、その後、制御回路（６ ）が充分な発振を検出するとすぐに、共振回路（３）が閉じられ電源（７）が解 放される第２の位置に動かされることを特徴とする方法。
3. ３．キャパシタンス（５）の両端の電圧（ＵＣ）が極値（Ｕ１、Ｕ５）に近いと すぐに、スイッチ（２）は、再び開かれ、そして、インダクタ（４）を法れる電 流の傾きは、解放に応答して誘導される電圧が発振を増大させるような方向を有 することを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
4. ４．キャパシタ（５）の両端の電圧が極値に近いとすぐに、切換スイッチ（８） は、第２の位置（１０）に動かされ、そして、インダクタ（４）を流れる電流の 傾きは、解放に応答して誘導される電圧が発振を増大させるような方向を有する ことを特徴とする請求の範囲第２項記載の方法。
5. ５．キャパシタ（５）の両端の電圧が第１の極値に近いとすぐに、スイッチ（２ ）は、開かれ、あるいは、切換スイッチ（８）は、第２の位置（１０）に動かさ れ、そして、インダクタを流れる電流の傾きは、解放に応答して誘導される電圧 が発振を増大させるような方向を有することを特徴とする請求の範囲第３又は４ 項記載の方法。
6. ６．キャパシタ（５）の両端の電圧がゼロクロッシングに近いとすぐに、スイッ チ（２）は、閉じられ、あるいは、切換スイッチ（８）は、第２の位置（１０） に動かされることを特徴とする請求の範囲第１又は２記載の方法。
7. ７．キャパシタ（５）の両端の電圧が第１のゼロクロッシングに近いとすぐに、 スイッチは、開かれ、あるいは、切換スイッチ（８）は、第２の位置（１０）に 動かされることを特徴とする請求の範囲第６項記載の方法。
8. ８．電源（７）の電流源（１）は、キャパシタ（１１）あるいはインダクタある いはレジスタあるいはこれらの素子の組合せから構成される結合素子により、共 振回路（３）に結合されることを特徴とする請求の範囲第１〜７項のうちいずれ か１項に記載の方法。
9. ９．スイッチ（２）あるいは切換スイッチ（８）は、半導体スイッチであること を特徴とする請求の範囲第１〜８項のうちいずれか１項に記載の方法。
10. １０．制御回路（６）は、キャパシタ（１２）あるいはインダクタあるいはレジ スタあるいはこれらの素子の組合せから構成される結合素子により、共振回路（ ３）に結合されることを特徴とする請求の範囲第１〜９項のうちいずれか１項に 記載の方法。
11. １１．制御回路は、微分素子を含むことを特徴とする請求の範囲第１〜１０項の うちいずれか１項に記載の方法。
12. １２．制御回路（６）は、スレッシュホールド値スイッチを含み、このスイッチ は、リミットの両端の電圧の上昇に応答して充分な発振を信号で送ることを特徴 とする請求の範囲第１〜１１項のうちいずれか１項に記載の方法。
13. １３．制御回路は、発振をパルスに変換し、そして、パルスをデジタル的に評価 する評価回路を含むことを特徴とする請求の範囲第１〜１２項のうちいずれか１ 項に記載の方法。
14. １４．発振は、最初に、オーバードリブン増幅器により増幅され、その後、増幅 された発振の上昇端縁が上リミットの上に上昇しあるいは増幅された電圧の下降 端縁が下リミットの下に下降する限り、一定の振幅（デジタル出力値）を有する 方形パルスに、シュミットトリガにより変換されることを特徴とする請求の範囲 第１３項記載の方法。
15. １５．評価回路は、予め選択可能な値を越える振幅を有する複数の発振をカウン トするカウント回路を含むことを特徴とする請求の範囲第１３項記載の方法。
16. １６．制御回路は、共振回路を周期的に励振するパルス発生器を含むことを特徴 とする請求の範囲第１〜１５項のうちいずれか１項に記載の方法。
17. １７．導電性の物体（減衰部材）の接近によって減衰させられるようになってお り且つインダクタ（４）、キャパシタ（５）およびスイッチ（２）によって切り 換えられるようになった直流源（１）を含む並列共振回路（３）を備えた誘導近 接センサにおいて、前記スイッチ（２）を閉じ、その後、充分な発振を検出する と直ぐに前記スイッチを開くようにする制御回路（６）を備えることを特徴とす る誘導近接センサ。
18. １８．導電性の物体（減衰部材）の接近によって減衰させられるようになってお り且つインダクタ、キャパシタおよび切換えスイッチによって２つの位置の間に 切り換えられる直流電圧源を含む直列共振回路を備える誘導近接センサにおいて 、前記電圧源（７）が前記共振回路（３）に直列に接続される第１の位置（９） へ前記切換えスイッチ（８）を移動させ且つ充分な発振を検出すると直ぐに、前 記共振回路（３）が閉じられ前記電圧源（７）が切り離される第２の位置（１０ ）へ前記切換えスイッチを移動させる制御回路（６）を備えることを特徴とする 誘導近接センサ。
19. １９．前記スイッチ（２）は、前記キャパシタンス（５）端の電圧（ＵＣ）があ る極限値（Ｕ１、Ｕ５）に近づき且つ前記インダクタ（４）を流れる電流の勾配 が、前記切り離しに応答して生ずる電圧が前記発振を増大するような方向を有す るようになると直ぐに、再び開かれる請求の範囲第１７項記載の誘導近接センサ 。
20. ２０．前記切換えスイッチ（８）は、前記キャパシタ（５）端の電圧がある極限 値に近づき且つ前記インダクタ（４）を流れる電流の勾配が、前記切り離しに応 答して生ずる電圧が前記発振を増大するような方向を有するようになると直ぐに 、前記第２の位置（１０）へと移動させられる請求の範囲第１８項記載の誘導近 接センサ。
21. ２１．前記キャパシタ（５）端の電圧が前記第１の極限値（Ｕ１）に近づくと直 ぐに、前記スイッチ（２）が開かれるか、または前記切換えスイッチ（８）が前 記第２の位置（１０）へと移動させられる請求の範囲第１９項または第２０項記 載の誘導近接センサ。
22. ２２．前記キャパシタ（５）端の電圧がゼロ交差に近づくと直ぐに、前記スイッ チ（２）が開かれ、または前記切換えスイッチ（８）が前記第２の位置（１０） へと移動させられる請求の範囲第１７項または第１８項記載の誘導近接センサ。
23. ２３．前記キャパシタ（５）端の電圧が前記第１のゼロ交差に近づくと直ぐに、 前記スイッチ（２）が開かれ、または前記切換えスイッチ（８）が前記第２の位 置（１０）へと移動させられる請求の範囲第２２項記載の誘導近接センサ。
24. ２４．前記電流源（１）又は前記電圧源（７）は、容量（１１）、インダクタ、 抵抗又はこれら要素の組合せから成る結合要素によって前記共振回路（３）に結 合されている請求項１７から２３何れか記載の誘導近接センサ。
25. ２５．前記スイッチ（２）又は切り換えスイッチ（８）が半導体スイッチである ことを特徴とする請求項１７から２４何れか記載の誘導近接センサ。
26. ２６．制御回路（６）が、容量（１２）、インダクタ、抵抗又はこれら要素の組 合せから成る結合要素によって共振回路（３）に結合されていることを特徴とす る誘導近接センサ。
27. ２７．前記制御回路（６）が、作動要素から成ることを特徴とする請求項１７か ら２６記載の誘導近接センサ。
28. ２８．前記制御回路（６）か閾値スイッチから成り、このスイッチが成る制限を 越える前記電圧の範囲に応答して十分な発振を信号することを特徴とする請求項 １７から２７何れか記載の誘導近接センサ。
29. ２９．前記制御回路が、前記振動をパルスに変換し、このパルスをデジタル的に 評価するための評価回路を含むことを特徴とする請求項１７から２７に記載の誘 導近接センサ。
30. ３０．前記振動が、過励振増幅器によって先ず増幅され、次に、この増幅された 発振の立ち上がり縁が上限を越えて上昇するか又は前記増幅された電圧の立ち下 がり縁が下限を越えて降下する場合、シュミットトリガによって一定の振幅（デ ジタル出力値）を有する矩形パルスに変換されることを特徴とする請求の範囲２ ９記載の誘導近接センサ。 「
31. ３１．前記評価回路が、事前の選択可能な値を越える振幅を有する発振の数を計 数するための計数回路を含むことを特徴とする請求項２９記載の誘導近接センサ 。
32. ３２．周期的に前記共振回路（３）を励振するためのパルス発振器を含むことを 特徴とする請求項１７から３１何れかの項記載の誘導近接センサ。
33. ３３．請求項１７から３２何れかの誘導近接センサによって特徴づけられるイベ ントカウンタ。
34. ３４．前記イベントカウンタが、回転計を構成することを特徴とする請求項３３ 記載のイベントカウンタ。
35. ３５．一つの回転が、カウント可能な物理量（長さ、質量、体積、エネルギー等 ）の単位に対応することを特徴とする請求項３４記載の回転計。
36. ３６．前記回転計が流量計、特に水量計であることを特徴とする請求項３４又は ３５記載のイベントカウンタ又は回転計。