JPH0251148B2 - - Google Patents

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JPH0251148B2
JPH0251148B2 JP58025604A JP2560483A JPH0251148B2 JP H0251148 B2 JPH0251148 B2 JP H0251148B2 JP 58025604 A JP58025604 A JP 58025604A JP 2560483 A JP2560483 A JP 2560483A JP H0251148 B2 JPH0251148 B2 JP H0251148B2
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JP
Japan
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ultrasonic
pulses
pulse
electric field
irregular
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JP58025604A
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English (en)
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JPS59151058A (ja
Inventor
Shuzo Wako
Koichiro Misu
Fumio Takeda
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Publication of JPS59151058A publication Critical patent/JPS59151058A/ja
Publication of JPH0251148B2 publication Critical patent/JPH0251148B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、非破壊検査や医療診断等に用いら
れる超音波探触子に関するものである。
従来のこの種超音波探触子は、例えば、第1図
に示すように、1ケの超音波振動子1を用い、超
音波振動子1の一方の音響放射面2上にバツキン
グ材3を設け、他方の音響放射面2上に一層ある
いは多層の音響インピーダンス変成層4を設けて
構成されている。5はリード線である。
この種の超音波探触子は、超音波振動子1をパ
ルス励振し、短パルス幅の超音波パルスを送受信
して被検材を検査する、いわゆる、短パルスを用
いたパルスエコー法による検査に用いられるばか
りでなく、雑音に強い利点を有する位相符号化パ
ルス圧縮方式を適用した検査にも用いられる。
第2図は、位相符号化パルス圧縮方式を適用し
た検査において、被検材へ送信すべき所要の送信
パルスの一例を示したものである。すなわち、第
2図に示すように所要送信パルスは、符号+、−
からなる擬似不規則系列の+、−に対応して搬送
波の位相を0、π変調波、いわゆる位相符号化さ
れた波形である。第2図では、擬似不規則系列と
して、長さ4のバーカ系列(+、−、+、+)を用
い、バーカ系列一単位を正弦波の2周期に等しく
した場合を例示している。被検材内欠陥等からの
受信パルスは、上記の符号化に用いたものと同じ
擬似不規則系列を用いて復号され、すなわちパル
ス圧縮され、短パルスを用いた場合と同等の距離
分解能を得る。第3図は第2図の送信パルスを用
いて検査したとき、受信パルスを復号して得られ
る圧縮パルスを示している。
さて、従来のこの種の超音波探触子では、1ケ
の超音波振動子1を用いていたため、所要送信パ
ルスを得るには、超音波振動子1を第2図に示す
ような信号で励振する必要があり、このため特別
の符号器を必要とする欠点があつた。
また、受信パルスを復号するための復号器を必
要とする欠点があつた。
この発明は、複数個の超音波振動子1を遅延材
6をはさんで積重ね、各超音波振動子1に加わる
電界方向と分極方向とが不規則となるようにして
超音波探触子を構成することにより、上述した欠
点を除去したものであり、以下実施例を用いて詳
細に説明する。
第4図は、この発明に係る超音波探触子の一実
施例を示したものであり、4ケの超音波パルス1
を遅延材6をはさんで積重ねて構成している。図
中、黒矢印は超音波振動子1の分極方向を示して
いる。図に示すように、分極方向は、全ての超音
波振動子1ともに図中下側を向いている。各超音
波振動子1からのリード線5は、各超音波振動子
1の印加電界方向が第2図で用いた長さ4のバー
カ系列(+、−、+、+)に対応するように結線し
ている。すなわち、図中、白矢印で上記電界方向
を示すが、この矢印の方向は、図中下から上側の
超音波振動子1に向かつて見ると、下側、上側、
下側、上側を向いている。下側に向かう電界方向
に符号+を対応させ、上側に向かう電界方向に符
号−を対応させると、電界方向は、図中、下から
上側の超音波振動子1に向かつて、擬似不規則系
列である長さ4のバーカ系列(+、−、+、+)に
対応してならんでいる。すなわち、電界方向と分
極方向とは、超音波振動子1ごとに、同一方向を
向いているものもあるし、逆方向を向いているも
のもあり、不規則になつている。遅延材6の厚さ
は、4ケの超音波振動子1を同時に励振したと
き、各超音波振動子1により励振される超音波パ
ルスの主要な振動部分が互いに重なり合い干渉し
合わないように選定する。3,4はそれぞれ従来
と同様のバツキング材、音響インピーダンス変成
層である。
さて、第4図に示す超音波探触子をパルス励振
あるいはトーンバースト波励振すれば、各超音波
振動子1に印加される電界方向は、被検材側から
バツキング材3側に向つて(+、−、+、+)の極
性となるようにしており、かつ、遅延材6の厚さ
を各超音波振動子1より励振された超音波パルス
が互いに干渉し合わないように選定しているた
め、位相符号化された第2図に示したような所要
送信パルスを実現できる。これについて、以下も
う少し、詳しく説明する。
超音波探触子を、パルス励振しているので、4
つの超音波振動子1からはそれぞれパルス幅の短
い超音波パルスが発生する。各超音波振動子1か
ら発生されるこれら4つの超音波パルスの位相関
係について考えてみる。説明のため、図中、下か
ら上に向かつて超音波振動子1に通し番号をつ
け、第1、第2、第3、および、第4の超音波振
動子1と呼ぶことにする。さらに、説明のため、
第1、第2、第3、および、第4の超音波振動子
1から発生される超音波パルスにも通し番号をつ
け、それぞれ、第1、第2、第3、および、第4
の超音波パルスと呼ぶことにする。第1、第3、
および、第4の超音波振動子1では、分極方向と
電界方向とは、第4図に示すように、一致してい
る。したがつて、これらの3つの超音波振動子1
から発生される第1、第3、および、第4の超音
波パルスは同相となる。一方、第2の超音波振動
子1では、分極方向と電界方向とは、第4図に示
すように、逆になつている。したがつて、この第
2の超音波振動子1から発生される第2の超音波
パルスは、第1、第3、および、第4の超音波パ
ルスとは逆相となる。
このような位相関係をもつた4つの超音波パル
スが、4つの超音波振動子1から同時に発生され
被検材へ送信されるが、被検材内のある1点(観
測点)において超音波探触子全体としてどの様な
超音波パルスが送信されて来たか観測したとす
る。第1の超音波振動子1が被検材に最も近い距
離にあるので、第1の超音波振動子1から発生さ
れた第1の超音波パルスが最も早く観測点に到達
する。次に、第2、第3、第4の超音波振動子1
の順番に遅延材6を介して距離が遠くなつている
から、第2、第3、第4の超音波パルスの順番に
したがつて遅れて観測点に到達して来る。
いま、例えば、第1、第2、第3、および、第
4の超音波パルスの振動継続時間が、それぞれ、
2サイクルであるとする。さらに、上下方向に隣
り合う超音波振動子1の中心間距離を超音波が伝
搬するのに要する時間が、2サイクル分に相当す
る時間となるように遅延材6の厚さを設定したと
する。このとき、観測点に到達してくる超音波パ
ルスを全体としてみれば、第2図に示したように
なる。第2図において、初めの2サイクル分が第
1の超音波パルス、次の2サイクル分が第2の超
音波パルス、さらに次の2サイクル分が第3の超
音波パルス、最後の2サイクル分が第4の超音波
パルスにそれぞれ対応している。第2の超音波パ
ルスに対応する2サイクル分は、第1、第3、お
よび、第4の超音波パルスに対応する3つの2サ
イクル分と比べて位相が180度反転している。す
なわち、第4図に示した超音波探触子は、擬似不
規則系列である長さ4のバーカ系列の符号の並び
にしたがつて、第2図に示すような不規側に位相
変換された超音波信号を発生する効果・機能を有
している。
すなわち、この発明に係る超音波探触子では、
従来のように特別の符号器を必要とせず、位相符
号化された送信パルスを実現できる利点がある。
なお、第4図において、分極方向は4つの超音
波振動子1ともに図中上側を向いていても、この
発明の本質的な目的および効果は変わりはない。
超音波振動子1の分極方向が全て図中上側を向い
ている場合には、第2図に示す信号の位相が全体
として180度反転した信号が発生されることにな
る。しかし、超音波探触子では、全体としての
180度の位相の反転は問題としない場合が多いの
で、本質的には、この場合も上述と同じ目的・効
果をもつているものと考えて差支えない。
また、遅延材6の厚さは、上下方向に隣り合う
超音波振動子1の中心間距離を超音波が伝搬する
のに要する時間が、各超音波振動子1から発生さ
れる超音波パルスの振動継続時間に一致するよう
に選んでおく必要は必ずしもない。各超音波振動
子1から発生される超音波パルスの主要な振動部
分が互いに重なり合わないように選べば十分であ
る。
第5図は、この発明に係る超音波探触子の他の
実施例を示したものである。以下、第5図を用い
て受信パルスを、従来のように特別の復号器を用
いることなく、復号できることを説明する。以下
第4図の超音波探触子で送信し、第5図の超音波
探触子で受信するものとする。第5図に示す超音
波探触子は、第4図と同じ4枚の超音波振動子1
と遅延材6とを積重ねて構成している。遅延材6
の厚さは第4図の場合と同様に選定している。
3,4はそれぞれ第3図と同様のバツキング
材、音響インピーダンス変成層である。
しかし、第5図に示す超音波探触子では、第4
図と異なり、各超音波振動子1の電界方向が、第
4図で用いたバーカ系列(+、−、+、+)の時間
順序を逆にした系列、すなわち、(+、+、−、+)
に対応するように結線している。5はリード線で
ある。
すなわち、第5図において、黒い実線の矢印が
分極方向を示し、白い実線の矢印が電界方向を示
している。分極方向は、4つの超音波振動子1と
もに図中下側を向いている。以下この場合につい
て説明するが、分極方向は4つの超音波振動子1
ともに図中上側を向いていても、全体としての
180度の位相の反転を問題としない場合には、本
質的には、この場合も上述の場合と同じ目的・効
果をもつているもの考えて差支えない。
一方、電界方向は、第5図中、下から上側の超
音波振動子1に向かつて見ると、下側、下側、上
側、下側を向いている。下側に向かう電界方向は
符号+を対応させ、上側に向かう電界方向に符号
−を対応させると、電界方向は、図中、下から上
側の超音波振動子1に向かつて、擬似不規則系列
である長さ4のバーカ系列(+、+、−、+)に対
応して並んでいる。なお、このバーカ系列は、第
4図に係わつて用いたバーカ系列(+、−、+、+)
の符号配列順序を逆転したものとなつている。
まず、第5図に示す超音波探触子に音響的パル
スを入射させたときの動作について考えてみる。
音響的パルスを入射させているので4つの超音波
振動子1からはそれぞれパルス幅の短い電気パル
スが受信される。各超音波振動子1から受信され
るこれら4つの電気パルスの位相関係について考
えてみる。説明のため、図中、下から上側に向か
つて超音波振動子1に通し番号をつけ、第1、第
2、第3、および、第4の超音波振動子1と呼ぶ
ことにする。さらに、説明のため、第1、第2、
第3、および、第4の超音波振動子1から受信さ
れる電気パルスにも通し番号をつけ、それぞれ、
第1、第2、第3、および、第4の電気パルスと
呼ぶことにする。第1、第2、および、第4の超
音波振動子1では、分極方向と電界方向とは、第
5図に示すように一致している。したがつて、こ
れらの3つの超音波振動子1から受信される第
1、第2、および、第4の電気パルスは同相とな
る。一方、第3の超音波振動子1では、分極方向
と電界方向とは、第5図に示すように逆になつて
いる。したがつて、この第3の超音波振動子から
受信される第3の電気パルスは、第1、第2、お
よび、第4の電気パルスとは逆相となる。
このような位相関係をもつた4つの電気パルス
が、4つの超音波振動子1からそれぞれ受信され
るが、超音波探触子全体としての受信信号はどう
なるのか考えてみる。第1の超音波振動子1が被
検材に最も近い距離にあるので、第1の超音波振
動子1による第1の電気パルスが最も早く受信さ
れる。次に、第2、第3、第4の超音波振動子1
の順番に遅延材6を介して距離が遠くなつている
から、第2、第3、第4の電気パルスに順番にし
たがつて遅れて受信される。これらを、時間遅れ
を考慮して時間軸上で加算したものが全体として
の受信信号となる。
いま、例えば、第1、第2、第3、および、第
4の電気パルスの振動継続時間が、それぞれ、2
サイクルであるとする。さらに、上下方向に隣り
合う超音波振動子1の中心間距離を超音波が伝搬
するのに要する時間が、2サイクル分に相当する
時間となるように遅延材6の厚さを設定したとす
る。このとき、全体として得られる受信信号を第
6図に示す。第6図において、初めの2サイクル
分が第1の電気パルス、次の2サイクル分が第2
の電気パルス、さらに次の2サイクル分が第3の
電気パルス、最後の2サイクル分が第4の電気パ
ルスにそれぞれ対応する。第3の電気パルスに対
応する2サイクル分は、第1、第2、および、第
4の電気パルスに対応する3つの2サイクル分と
比べて位相が180度反転している。なお、第6図
に示す信号は、第2図に示した信号の時間軸を逆
転して得られる信号と一致している。これは、第
5図に係わつて用いたバーカ系列(+、+、−、+)
が、第4図に係わつて用いたバーカ系列(+、−、
+、+)の符号配列順序を逆転したものとなつて
いることに対応している。
すなわち、第5図に示した超音波探触子は、音
響的パルスを入射させたとき擬似不規則系列であ
るバーカ系列の符号の並びにしたがつて、第6図
に示すような不規則に位相変調された電気信号を
受信する効果・機能を有している。
さて、第4図に示した超音波探触子を送信用と
して用い、第2図に示したような極性(+、−、
+、+)の位相符号化パルスを送信し、第5図に
示す超音波探触子で受信した場合、受信パルスが
バツキング材3へ到達した時間では、第5図にお
ける超音波探触子は、各超音波振動子1の電界方
向をバツキング材3から被検材側へ向つて極性
(+、−、+、+)となるように構成しているため、
各超音波振動子1の受信信号はすべて同相で重な
り合う。したがつて、受信信号レベルは最大とな
る。
上記時間以外では、各超音波振動子1の受信信
号の位相は不規則であるため、合成された受信信
号レベルは小さくなる。したがつて、第3図に示
すような従来と同じ圧縮パルスを得られる。すな
わち、この発明に係る超音波探触子では、従来の
ように復号器を必要とせず圧縮パルスを得られる
利点がある。
なお、以上は第4図、第5図に示す実施例の場
合について説明したが、この発明はこれに限らず
超音波振動子1の個数を多くし、他のバーカ系
列、またはM系列などの擬似不規則系列を用いて
同様に構成してもよい。また、各超音波振動子1
の電界方向は、各超音波振動子1の分極方向を利
用して不規側となるようにしてもよい。
例えば、電界方向を全て同一方向を向かせ分極
方向を不規則にすることによつても、第4図や第
5図に示した超音波探触子と同じ機能を有する超
音波探触子を実現できる。すなわち、電界方向と
分極方向とが、同一方向となつているか、逆方向
となつているか、この方向性を不規則になるよう
にすればよいので、第4図や第5図に示した超音
波探触子と同一の機能を有する超音波探触子の構
造は種々考えられる。
また、この発明は、被検材表面に対して斜めに
超音波を送受信する斜角形超音波探触子や、被検
材表面に沿つて超音波を送受信する表面波を用い
る超音波探触子に適用してもよい。
また、この発明に係る超音波探触子をアレイ形
超音波探触子の1素子として用いてもよい。
以上のように、この発明に係る超音波探触子で
は、複数個の超音波振動子1を遅延材6をはさん
で積重ね、各超音波振動子1の分極方向と電界方
向とが不規則となるようにして超音波探触子を構
成することにより、従来のように符号器および復
号器を必要とせず、位相符号化されたパルスを送
信でき、また受信パルスを復号できる利点があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の超音波探触子を示す図、第2
図は送信パルスを示す図、第3図は圧縮パルスを
示す図、第4図および第5図はこの発明の実施例
を説明するための図、第6図は第5図に示した実
施例の動作を説明するための図である。 図中、1は超音波振動子、2は音響放射面、3
はバツキング材、4は音響インピーダンス変成
層、5はリード線、6は遅延材である。なお、図
中、同一あるいは相当部分には同一符号を付して
示してある。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数個の超音波振動子を、その各超音波振動
    子の超音波パルスを所要時間遅延させる遅延材を
    はさんで積重ね、上記各超音波振動子に加わる電
    界方向と分極方向とが不規則となるようにして構
    成したことを特徴とする超音波探触子。 2 上記各超音波振動子において、電界方向と分
    極方向との向きが、同一方向である超音波振動子
    に符号+を対応させ、逆方向である超音波振動子
    に符号−を対応させたとき、擬似不規則系列の符
    号の並びにしたがつて、複数個の上記超音波振動
    子を積み重ねたことを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載の超音波探触子。 3 上記擬似不規則系列としてバーカ系列を用い
    たことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の
    超音波探触子。 4 擬似不規則系列として、送信用超音波探触子
    の構成に用いた擬似不規則系列の符号の並びを逆
    転して得られる系列を用いたことを特徴とする特
    許請求の範囲第2項または第3項記載の超音波探
    触子。
JP58025604A 1983-02-18 1983-02-18 超音波探触子 Granted JPS59151058A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58025604A JPS59151058A (ja) 1983-02-18 1983-02-18 超音波探触子

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JP58025604A JPS59151058A (ja) 1983-02-18 1983-02-18 超音波探触子

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JPS59151058A JPS59151058A (ja) 1984-08-29
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JPH11309146A (ja) * 1998-03-26 1999-11-09 General Electric Co <Ge> 超音波散乱体の流れをイメ―ジングするシステムおよび方法
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JPS5520442A (en) * 1978-07-31 1980-02-13 Toshiba Corp Acoustic detector

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