JPH0251687A - 二重管チューブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造装置等のような振動を嫌う装置お
よび配管による引き回し抵抗を嫌う装置に流体を供給す
るチューブに関する。

［従来の技術］ 従来、各種の装置へ流体を供給するチューブとしては、
通常、フレキシブルチューブがよく用いられていた。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、上記従来例においては、フレキシブルチ
ューブの中を流体が流れる際にフレキシブルチューブの
ヒダ状内壁の抵抗によりチューブ内を流れる流体が乱流
になり、装置に対する振動源になるという欠点があった
。かかる振動は、特に半導体製造装置等においては、精
度の劣化にもつながるため、極力抑制する必要がある。

本発明の目的は、上述の従来形における問題点に鑑み、
チューブ内を流れる流体が乱流となることを防止し、振
動を極力防止した二重管チューブを提供することにある
。

【課題を解決するための手段および作用コ上記の目的を
達成するため、本発明に係る二重管チューブは、フレキ
シブルチューブとそのフレキシブルチューブの内側に通
した柔軟なチューブとからなり、その柔軟なチューブの
内側と外側に流体が通るようにしてあり、かつ例えば柔
軟なチューブの壁面に複数個の貫通穴を設けることによ
り該チューブの内側と外側とを通る流体の圧力な同圧に
することを特徴とする。

かかる構成によれば、柔軟なチューブ例えば薄肉チュー
ブ等を使用しているため、チューブ全体として柔軟な動
きが可能である。また、この柔軟なチューブの内側と外
側とで流体の圧力を同圧とし、装置に供給される流体を
主としてこの柔軟なチューブの内側に流すようにしてい
るので、フレキシブルチューブのヒダ状内壁の抵抗によ
る乱流が抑制される。

なお、従来はチューブの内側と外側（大気）とは同圧に
ならないためチューブに耐圧が必要となり柔軟で耐圧の
低い薄肉チューブは使用できなかったが、本発明によれ
ば、チューブの内側と外側が同圧となるため、内側チュ
ーブば耐圧を必要とせず薄肉チューブが使用可能である
。

［実施例］ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る二重管チューブの断
面図を示す。同図において、１はフレキシブルチューブ
であり、２は複数個の貫通穴３が開いた柔軟な薄肉チュ
ーブである。薄肉チューブ２はフレキシブルチューブ１
の入口部に接着剤４にて固定されている。薄肉チューブ
２が固定されたフレキシブルチューブ１は継手５ａ、５
ｂに取付けられ、バンド６ａ、６ｂにて固定されている
。

流体７は入口部より入り薄肉チューブ２の内側を通り出
口部へ抜ける。流体７の一部は貫通穴３を通りフレキシ
ブルチューブ１と薄肉チューブ２との間に入り込み薄肉
チューブの内側と外側の流体圧を等しくさせるという作
用をもたらす。これにより、フレキシブルチューブのヒ
ダ状内壁の影響による乱流が防止され、振動が防止され
る。

なお、薄肉チューブの壁面に複数個の貫通穴を設けずに
入口部の薄肉チューブとフレキシブルチューブとの継ぎ
部に隙間（隙間は小さく、そこを流れる流体はほんの僅
かでその流れによる乱流は無視できるほど小さいものと
する）を設けそこから同じ流体を供給するようにしても
良い。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば、例えば壁面に複
数個の貫通穴を設けた薄肉チューブを内側に、フレキシ
ブルチューブをその外側に設けて二重構造とし、薄肉チ
ューブの内側と外側を同圧にしているので、柔軟な動き
が可能な薄肉チューブを使用することができ、かつチュ
ーブを流れる流体は主として薄肉チューブの内側を流れ
るので、流体がフレキシブルチューブのヒダ状内壁の影
響を受けず、乱流防止の効果がある。従って、振動防止
に効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る二重管チューブの断面
図である。 ４：接着剤、 ５ａ、５ｂ：継手、 ６ａ、６ｂ：バンド、 ７；流体。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）フレキシブルチューブと、該フレキシブルチュー
   ブの内側に通した柔軟なチューブとを具備し、該柔軟な
   チューブの内側と外側とで同圧の流体が流れるようにす
   ることを特徴とする二重管チューブ。
2. （２）前記柔軟なチューブの壁面に複数個の貫通穴を設
   けることにより、該柔軟なチューブの内側と外側とを同
   圧にした特許請求の範囲第１項記載の二重管チューブ。