JPH0252209B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0252209B2 JPH0252209B2 JP24056084A JP24056084A JPH0252209B2 JP H0252209 B2 JPH0252209 B2 JP H0252209B2 JP 24056084 A JP24056084 A JP 24056084A JP 24056084 A JP24056084 A JP 24056084A JP H0252209 B2 JPH0252209 B2 JP H0252209B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- parabolic mirror
- light
- mirror
- parabolic
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000005337 ground glass Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/255—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring radius of curvature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/005—Testing of reflective surfaces, e.g. mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、放物面鏡の検査装置、特に放物面鏡
から反射して返つてきた反射光を出射面でさらに
反射させ、当該反射光と新たな出射光とで生じる
干渉縞の発生パターンから放物面鏡の鏡面の状態
を検査するようにした放物面鏡の検査装置に関す
るものである。
から反射して返つてきた反射光を出射面でさらに
反射させ、当該反射光と新たな出射光とで生じる
干渉縞の発生パターンから放物面鏡の鏡面の状態
を検査するようにした放物面鏡の検査装置に関す
るものである。
（従来の技術）
従来、放物面鏡の鏡面の良し悪しを判定するも
のとして、第５図に示されるような装置で行つて
いた。すなわち第５図において、レーザ装置等に
よつて得られた平行光線を、検査すべき放物面鏡
２１の鏡面に入射させ、その反射光が当該放物面
鏡２１の焦点近辺に設けられているすりガラス等
の拡散板２２に結ぶ焦点のスポツト径Ｌを前記拡
散板２２の反対側から顕微鏡２３によつて観測
し、拡散板２２を左右に移動してそのスポツト径
Ｌが最小となる位置でのスポツト径の大きさから
放物面鏡２１の鏡面の良し悪し、すなわち鏡面の
歪みを判定していた。
のとして、第５図に示されるような装置で行つて
いた。すなわち第５図において、レーザ装置等に
よつて得られた平行光線を、検査すべき放物面鏡
２１の鏡面に入射させ、その反射光が当該放物面
鏡２１の焦点近辺に設けられているすりガラス等
の拡散板２２に結ぶ焦点のスポツト径Ｌを前記拡
散板２２の反対側から顕微鏡２３によつて観測
し、拡散板２２を左右に移動してそのスポツト径
Ｌが最小となる位置でのスポツト径の大きさから
放物面鏡２１の鏡面の良し悪し、すなわち鏡面の
歪みを判定していた。
（発明が解決しようとする問題点）
従来の方法では顕微鏡２３で拡散板２２に映つ
ているスポツト径Ｌを観測するので、見づらく、
観測者によつてスポツト径Ｌの値がバラつくとい
う欠点があり、また拡散板２２に映つているスポ
ツト径からでは放物面鏡２１が、入射する平行光
線に対し傾いているかどうか、またどのように放
物面鏡２１の姿勢を修正すればよいのかその修正
の仕方が判らない欠点もあつた。
ているスポツト径Ｌを観測するので、見づらく、
観測者によつてスポツト径Ｌの値がバラつくとい
う欠点があり、また拡散板２２に映つているスポ
ツト径からでは放物面鏡２１が、入射する平行光
線に対し傾いているかどうか、またどのように放
物面鏡２１の姿勢を修正すればよいのかその修正
の仕方が判らない欠点もあつた。
本発明は上記の欠点を解決することを目的とし
ており、放物面鏡から反射して返つてきた反射光
を出射面でさらに反射させ、当該反射光と新たに
出射する出射光とが干渉することにより生じる干
渉縞のパターン発生状況から、放物面鏡の鏡面の
良し悪しを判定するとともに、干渉縞のパターン
から放物面鏡自体の姿勢を修正すべき方向が得ら
れる放物面鏡の検査装置を提供することを目的と
している。
ており、放物面鏡から反射して返つてきた反射光
を出射面でさらに反射させ、当該反射光と新たに
出射する出射光とが干渉することにより生じる干
渉縞のパターン発生状況から、放物面鏡の鏡面の
良し悪しを判定するとともに、干渉縞のパターン
から放物面鏡自体の姿勢を修正すべき方向が得ら
れる放物面鏡の検査装置を提供することを目的と
している。
（問題点を解決するための手段）
そのため本発明の放物面鏡の検査装置は放物面
鏡の焦点位置から該放物面鏡にレーザ光を出射し
反射光として第１の平行光を発生させる手段と、
該第１の平行光と垂直に配置された平面鏡で該第
１の平行光を反射させて該放物面鏡へ再度入射さ
せその反射光を前記放物面鏡の焦点位置に集光さ
せる手段と、該焦点位置に該集光された光軸と垂
直に配置された反射面で前記放物面鏡から再度反
射されたレーザ光を入射角と等しい角度で反射さ
せ前記平面鏡に向けて第２の平行光を発生させる
手段と、該放物面鏡と該平面鏡との間に配設さ
れ、該両鏡間の光通路の一部を遮蔽しかつ前記第
１の平行光と前記第２の平行光とが干渉して生ず
る干渉縞を映し出す手段とからなり、干渉縞の紋
様から放物面鏡の歪みを検査することを特徴とし
ている。
鏡の焦点位置から該放物面鏡にレーザ光を出射し
反射光として第１の平行光を発生させる手段と、
該第１の平行光と垂直に配置された平面鏡で該第
１の平行光を反射させて該放物面鏡へ再度入射さ
せその反射光を前記放物面鏡の焦点位置に集光さ
せる手段と、該焦点位置に該集光された光軸と垂
直に配置された反射面で前記放物面鏡から再度反
射されたレーザ光を入射角と等しい角度で反射さ
せ前記平面鏡に向けて第２の平行光を発生させる
手段と、該放物面鏡と該平面鏡との間に配設さ
れ、該両鏡間の光通路の一部を遮蔽しかつ前記第
１の平行光と前記第２の平行光とが干渉して生ず
る干渉縞を映し出す手段とからなり、干渉縞の紋
様から放物面鏡の歪みを検査することを特徴とし
ている。
以下図面を参照しながら本発明の一実施例を説
明する。
明する。
（実施例）
第１図は本発明に係る放物面鏡の検査装置の一
実施例としての軸外し放物面鏡の構成図、第２図
は光出射部の拡大説明図、第３図はスクリーンに
映し出された干渉縞のパターンの一例、第４図は
光出射部の他の構成例を示している。
実施例としての軸外し放物面鏡の構成図、第２図
は光出射部の拡大説明図、第３図はスクリーンに
映し出された干渉縞のパターンの一例、第４図は
光出射部の他の構成例を示している。
ここで「軸外し」とは放物面鏡の中心軸及びそ
の近傍を除いた鏡面を意味している。つまり、放
物面鏡の中心軸を外れた部分をいう。
の近傍を除いた鏡面を意味している。つまり、放
物面鏡の中心軸を外れた部分をいう。
第１図において、１は光出射部であつて該光出
射部１にレーザ装置２からのレーザ光が入射され
る。光出射部１の前方には鏡面の仕上りの曲率、
すなわち歪みが検査される放物面鏡３が設置され
る。当該放物面鏡３の焦点は前記光出射部１の光
軸上に合わされ、かつ放物面鏡３は光出射部１の
出射光を第１の平行光線とするように、かつ焦点
位置に前記出射部１の出射面がくるように配置さ
れる。また放物面鏡３から入射された光を反射す
る平面鏡４が平行光線と垂直に設置されている。
従つて、例えば点光源とみなしてもよい光出射部
１の０点から放物面鏡３のＡ点に向けて出射した
光は、放物面鏡３のＡ点で反射するとともに、こ
の反射光と垂直に設置されている平面鏡４のＢ点
に入射する。当該平面鏡４のＢ点に入射した光
は、反射して同一の経路を通り光出射部１の０点
に戻る。同様に光出射部１の０点から放物面鏡３
のＣ点に向けて出射した光は放物面鏡３のＣ点で
反射するとともに、平面鏡４のＤ点に入射する。
当該平面鏡４のＤ点に入射した光は反射して同一
の経路を通り光出射部１の０点に戻る。
射部１にレーザ装置２からのレーザ光が入射され
る。光出射部１の前方には鏡面の仕上りの曲率、
すなわち歪みが検査される放物面鏡３が設置され
る。当該放物面鏡３の焦点は前記光出射部１の光
軸上に合わされ、かつ放物面鏡３は光出射部１の
出射光を第１の平行光線とするように、かつ焦点
位置に前記出射部１の出射面がくるように配置さ
れる。また放物面鏡３から入射された光を反射す
る平面鏡４が平行光線と垂直に設置されている。
従つて、例えば点光源とみなしてもよい光出射部
１の０点から放物面鏡３のＡ点に向けて出射した
光は、放物面鏡３のＡ点で反射するとともに、こ
の反射光と垂直に設置されている平面鏡４のＢ点
に入射する。当該平面鏡４のＢ点に入射した光
は、反射して同一の経路を通り光出射部１の０点
に戻る。同様に光出射部１の０点から放物面鏡３
のＣ点に向けて出射した光は放物面鏡３のＣ点で
反射するとともに、平面鏡４のＤ点に入射する。
当該平面鏡４のＤ点に入射した光は反射して同一
の経路を通り光出射部１の０点に戻る。
上記の説明から明らかな様に、光路OABと光
路OCDとは同一長の光路となる関係が成立する
ように、光出射部１は３軸方向に移動する微動機
構を備えており（図示されていない）、また放物
面鏡３は回動機構を備えている（図示されていな
い）。放物面鏡３と平面鏡４との間は平行光とな
り、該平行光に垂直な位置の光はすべて同一の光
の位相を有している。この放物面鏡３と平面鏡４
との間に上記平行光の約半分を遮蔽する遮蔽板を
兼ねたスクリーン５が設けられている。
路OCDとは同一長の光路となる関係が成立する
ように、光出射部１は３軸方向に移動する微動機
構を備えており（図示されていない）、また放物
面鏡３は回動機構を備えている（図示されていな
い）。放物面鏡３と平面鏡４との間は平行光とな
り、該平行光に垂直な位置の光はすべて同一の光
の位相を有している。この放物面鏡３と平面鏡４
との間に上記平行光の約半分を遮蔽する遮蔽板を
兼ねたスクリーン５が設けられている。
第２図は光出射部の拡大説明図であつて、光出
射部１に光フアイバが使用されている例が示され
ている。光フアイバ７はコア８とクラツド９とか
らなり、レーザ装置２から入射されたレーザ光は
コア８内に通過し、光フアイバ７の端面から点光
源として出射する。この光フアイバ７の端面、す
なわちコア８から出射する光は第２図図示の実線
で示されている。光フアイバ７の端面、特にコア
８の出射面は滑らかな加工が施こされている。
射部１に光フアイバが使用されている例が示され
ている。光フアイバ７はコア８とクラツド９とか
らなり、レーザ装置２から入射されたレーザ光は
コア８内に通過し、光フアイバ７の端面から点光
源として出射する。この光フアイバ７の端面、す
なわちコア８から出射する光は第２図図示の実線
で示されている。光フアイバ７の端面、特にコア
８の出射面は滑らかな加工が施こされている。
すでに第１図で説明したように、光出射部１の
Ｏ点から出射した光は、放物面鏡３のＡ点、平面
鏡４のＢ点の各点でそれぞれ反射され同一経路を
経て光出射部１のＯ点に戻つてくる。今この往復
光をそれぞれ第２図の実線と一点鎖線とで表示す
ると、当該往復光は光フアイバ７の端面、すなわ
ちコア８に入射し、その一部がフレネル反射を生
じ、その反射光は、当該コア８の滑らかな面で発
生し、第２図の二点鎖線で表示される。一方コア
８からは当該光フアイバ８に入射されているレー
ザ装置２からの光がコア８から第２図に示された
実線の如く出射するので、二点鎖線で示される往
復光の反射光と実線で示される出射光とが干渉し
合う。上記説明については、放物面鏡３と平面鏡
４との間に設けられたスクリーン５によつて遮蔽
されない往復光すべてについて適用される。そし
て上記説明の二点鎖線で示される往復光の反射光
は、放物面鏡３で反射されて第２の平行光とな
り、実線で示される出射光で生じた第１の平行光
と干渉し合つた光がスクリーン５に照射されるか
ら、他の往復光についての干渉した光も当該スク
リーン５に照射される。しかもこれらの干渉を生
じさせる往復光はすべて同一の位相を有してい
る。従つてスクリーン５には第３図に示される様
な外径が半円形の干渉縞のパターンが映し出され
る。仮に放物面鏡３の鏡面が完全な放物面であれ
ば、当該放物面鏡３の鏡面に起因する位相差のず
れは生じていないので、また平面鏡４から返つて
くる反射光の位相にずれが生じていないので、ス
クリーン５上に映し出された干渉縞は半円形全面
にわたつて一様の濃さとなる。この濃さは、図示
されていない３軸方向の微動機構により光出射部
１を放物面鏡３に近づけるか遠ざける等操作を行
えば一様に薄くなつたり、またはさらに濃くなつ
たり変化する。
Ｏ点から出射した光は、放物面鏡３のＡ点、平面
鏡４のＢ点の各点でそれぞれ反射され同一経路を
経て光出射部１のＯ点に戻つてくる。今この往復
光をそれぞれ第２図の実線と一点鎖線とで表示す
ると、当該往復光は光フアイバ７の端面、すなわ
ちコア８に入射し、その一部がフレネル反射を生
じ、その反射光は、当該コア８の滑らかな面で発
生し、第２図の二点鎖線で表示される。一方コア
８からは当該光フアイバ８に入射されているレー
ザ装置２からの光がコア８から第２図に示された
実線の如く出射するので、二点鎖線で示される往
復光の反射光と実線で示される出射光とが干渉し
合う。上記説明については、放物面鏡３と平面鏡
４との間に設けられたスクリーン５によつて遮蔽
されない往復光すべてについて適用される。そし
て上記説明の二点鎖線で示される往復光の反射光
は、放物面鏡３で反射されて第２の平行光とな
り、実線で示される出射光で生じた第１の平行光
と干渉し合つた光がスクリーン５に照射されるか
ら、他の往復光についての干渉した光も当該スク
リーン５に照射される。しかもこれらの干渉を生
じさせる往復光はすべて同一の位相を有してい
る。従つてスクリーン５には第３図に示される様
な外径が半円形の干渉縞のパターンが映し出され
る。仮に放物面鏡３の鏡面が完全な放物面であれ
ば、当該放物面鏡３の鏡面に起因する位相差のず
れは生じていないので、また平面鏡４から返つて
くる反射光の位相にずれが生じていないので、ス
クリーン５上に映し出された干渉縞は半円形全面
にわたつて一様の濃さとなる。この濃さは、図示
されていない３軸方向の微動機構により光出射部
１を放物面鏡３に近づけるか遠ざける等操作を行
えば一様に薄くなつたり、またはさらに濃くなつ
たり変化する。
放物面鏡３の鏡面の仕上りに歪みが存在する場
合、すなわち当該放物面鏡４の鏡面が放物面とし
ての曲率に歪みを有する場合、上記で説明した光
フアイバ８の端面に入射する往復光の間で位相の
ずれが生じ、第２図で示された二点鎖線と実線と
の干渉光が往復光によつてそれぞれ異なり、スク
リーン５に映し出される外径が半円状の干渉縞の
濃さは一様でなくなる。従つてスクリーン５には
鏡面の歪み具合に応じた干渉縞のパターンが生じ
る。このスクリーン５に映し出される干渉縞のパ
ターンを観測することにより、放物面鏡３の鏡面
の良し悪しを検査することができる。そしてスク
リーン５に映し出される干渉縞のパターンが特殊
の様相、例えば縦縞の干渉パターンが生じる場合
は放物面鏡３に歪みがなく、当該放物面鏡３に設
けられている回動機構（図示されていない）を用
いて放物面鏡３を縦に回動させることにより、放
物面鏡３の設置姿勢を修正でき、上記縦縞の干渉
パターンを単一の濃度にすることができる。また
スクリーン５に映し出される干渉縞のパターン
が、例えば横縞の場合は放物面鏡３に設けられて
いる回動機構（図示されていない）を用いて放物
面鏡を横に回動させることにより、放物面鏡３の
設置姿勢も修正することができる。このようにス
クリーン５に映し出される干渉縞のパターンを観
測することに基づき放物面鏡３の鏡面の良し悪
し、すなわち鏡面の歪みを判定することができる
ほか、放物面鏡３自体の設置姿勢も修正すること
ができる。なお放物面鏡３の鏡面に歪みが存在す
る場合には、干渉縞を消去することができないの
で、干渉縞が残存する点に対応した放物面鏡３の
位置に歪みが存在することを示している。
合、すなわち当該放物面鏡４の鏡面が放物面とし
ての曲率に歪みを有する場合、上記で説明した光
フアイバ８の端面に入射する往復光の間で位相の
ずれが生じ、第２図で示された二点鎖線と実線と
の干渉光が往復光によつてそれぞれ異なり、スク
リーン５に映し出される外径が半円状の干渉縞の
濃さは一様でなくなる。従つてスクリーン５には
鏡面の歪み具合に応じた干渉縞のパターンが生じ
る。このスクリーン５に映し出される干渉縞のパ
ターンを観測することにより、放物面鏡３の鏡面
の良し悪しを検査することができる。そしてスク
リーン５に映し出される干渉縞のパターンが特殊
の様相、例えば縦縞の干渉パターンが生じる場合
は放物面鏡３に歪みがなく、当該放物面鏡３に設
けられている回動機構（図示されていない）を用
いて放物面鏡３を縦に回動させることにより、放
物面鏡３の設置姿勢を修正でき、上記縦縞の干渉
パターンを単一の濃度にすることができる。また
スクリーン５に映し出される干渉縞のパターン
が、例えば横縞の場合は放物面鏡３に設けられて
いる回動機構（図示されていない）を用いて放物
面鏡を横に回動させることにより、放物面鏡３の
設置姿勢も修正することができる。このようにス
クリーン５に映し出される干渉縞のパターンを観
測することに基づき放物面鏡３の鏡面の良し悪
し、すなわち鏡面の歪みを判定することができる
ほか、放物面鏡３自体の設置姿勢も修正すること
ができる。なお放物面鏡３の鏡面に歪みが存在す
る場合には、干渉縞を消去することができないの
で、干渉縞が残存する点に対応した放物面鏡３の
位置に歪みが存在することを示している。
第４図は光出射部の他の構成例を示しており、
１０はガラス等の透明媒質であり、当該ガラス１
０は片側にレーザ装置２から出射されたレーザ光
を収束するレンズ１１が枠体１２によつて固定さ
れている。該レンズ１１に入射した平行なレーザ
光は収束され、第４図に示されているようにガラ
ス１０の出射端面から点光源として出射される。
そして当該ガラス１０の出射面は第２図に表示さ
れた一点鎖線の往復光が反射するように滑らかな
面に加工されている。
１０はガラス等の透明媒質であり、当該ガラス１
０は片側にレーザ装置２から出射されたレーザ光
を収束するレンズ１１が枠体１２によつて固定さ
れている。該レンズ１１に入射した平行なレーザ
光は収束され、第４図に示されているようにガラ
ス１０の出射端面から点光源として出射される。
そして当該ガラス１０の出射面は第２図に表示さ
れた一点鎖線の往復光が反射するように滑らかな
面に加工されている。
（発明の効果）
以上説明した如く、本発明によれば、スクリー
ンに映し出された干渉縞のパターンを観測するこ
とにより、容易に放物面鏡の鏡面の荒さの良し悪
しを検査することができる。そして放物面鏡の鏡
面の良し悪しのみならず、干渉縞のパターンの現
われ方により放物面鏡自体の設置姿勢を修正する
ことができるとともに、放物面鏡の鏡面歪みの存
在位置を知ることができる。
ンに映し出された干渉縞のパターンを観測するこ
とにより、容易に放物面鏡の鏡面の荒さの良し悪
しを検査することができる。そして放物面鏡の鏡
面の良し悪しのみならず、干渉縞のパターンの現
われ方により放物面鏡自体の設置姿勢を修正する
ことができるとともに、放物面鏡の鏡面歪みの存
在位置を知ることができる。
第１図は本発明に係る放物面鏡の検査装置の一
実施例としての軸外し放物面鏡の構成図、第２図
は光出射部の拡大説明図、第３図はスクリーンに
映し出された干渉縞のパターン一例、第４図は光
出射部の他の構成例、第５図は従来の放物面鏡の
検査装置を説明している検査装置説明図を示して
いる。 図中、１は光出射部、２はレーザ装置、３は放
物面鏡、４は平面鏡、５はスクリーン、７は光フ
アイバ、８はコア、９はクラツド、１０はガラ
ス、１１はレンズ、１２は枠体、２１は放物面
鏡、２２は拡散板、２３は顕微鏡を表わしてい
る。
実施例としての軸外し放物面鏡の構成図、第２図
は光出射部の拡大説明図、第３図はスクリーンに
映し出された干渉縞のパターン一例、第４図は光
出射部の他の構成例、第５図は従来の放物面鏡の
検査装置を説明している検査装置説明図を示して
いる。 図中、１は光出射部、２はレーザ装置、３は放
物面鏡、４は平面鏡、５はスクリーン、７は光フ
アイバ、８はコア、９はクラツド、１０はガラ
ス、１１はレンズ、１２は枠体、２１は放物面
鏡、２２は拡散板、２３は顕微鏡を表わしてい
る。
Claims (1)
- １ 放物面鏡の鏡面の歪みを検査する放物面鏡の
検査装置であつて、該放物面鏡の焦点位置から該
放物面鏡にレーザ光を出射し反射光として第１の
平行光を発生させる手段と、該第１の平行光と垂
直に配置された平面鏡で該第１の平行光を反射さ
せて該放物面鏡へ再度入射させその反射光を前記
放物面鏡の焦点位置に集光させる手段と、該焦点
位置に該集光された光軸と垂直に配置された反射
面で前記放物面鏡から再度反射されたレーザ光を
入射角と等しい角度で反射させ前記平面鏡に向け
て第２の平行光を発生させる手段と、該放物面鏡
と該平面鏡との間に配置され、該両鏡間の光の通
路の一部を遮蔽しかつ前記第１の平行光と前記第
２の平行光とが干渉して生ずる干渉縞を映し出す
手段とからなり、干渉縞の紋様から放物面鏡の歪
みを検査することを特徴とした放物面鏡の検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24056084A JPS61120037A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 放物面鏡の検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24056084A JPS61120037A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 放物面鏡の検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61120037A JPS61120037A (ja) | 1986-06-07 |
| JPH0252209B2 true JPH0252209B2 (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=17061339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24056084A Granted JPS61120037A (ja) | 1984-11-16 | 1984-11-16 | 放物面鏡の検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61120037A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109163682B (zh) * | 2018-09-11 | 2020-08-18 | 苏州如期光电科技有限公司 | 一种长焦大离轴量离轴抛物面的检测装置及方法 |
-
1984
- 1984-11-16 JP JP24056084A patent/JPS61120037A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61120037A (ja) | 1986-06-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6862097B2 (en) | Three-dimensional shape measuring method, and three-dimensional shape measuring apparatus | |
| CA1139441A (en) | Optical imaging system provided with an opto-electronic detection system for determining a deviation between the image plane of the imaging system and a second plane on which an image is to be formed | |
| US4373774A (en) | Illuminator for supplying a divergent illuminating beam from a predetermined area of a plane | |
| US4689480A (en) | Arrangement for improved scanned 3-D measurement | |
| JPH0368913A (ja) | 光カーテン発生装置 | |
| US4063088A (en) | Method of and means for testing a glancing-incidence mirror system of an X-ray telescope | |
| US6100519A (en) | Photo-detector based calculating means having a grating wheel with integrated lenses | |
| JPH0252209B2 (ja) | ||
| US5896362A (en) | Lens Inclination Adjustment System | |
| SU1675827A1 (ru) | Микроскоп | |
| JP3041205B2 (ja) | 干渉計用基準板 | |
| JP3106521B2 (ja) | 透明基板の光学的検査装置 | |
| JPH0511600B2 (ja) | ||
| JPS59171812A (ja) | 光学検査装置及び方法 | |
| JP3276486B2 (ja) | 露光装置 | |
| JP3040131B2 (ja) | 球体表面の傷検査装置 | |
| JPS60214332A (ja) | 光学スキャナ | |
| JPH04297810A (ja) | 光学検査装置 | |
| JP2915599B2 (ja) | トロイダル面の測定方法及び測定装置 | |
| JP2666495B2 (ja) | 屈折率分布測定方法及び屈折率分布測定装置 | |
| JPS63169612A (ja) | 光学的走査装置 | |
| JPS6321854B2 (ja) | ||
| JP2756715B2 (ja) | ダハ反射鏡成形金型の検査方法 | |
| JPH02134508A (ja) | 傾き検出ヘッド | |
| SU1716318A1 (ru) | Способ контрол вогнутых эллиптических поверхностей |