JPH0252254U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252254U JPH0252254U JP13246888U JP13246888U JPH0252254U JP H0252254 U JPH0252254 U JP H0252254U JP 13246888 U JP13246888 U JP 13246888U JP 13246888 U JP13246888 U JP 13246888U JP H0252254 U JPH0252254 U JP H0252254U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion source
- microwave
- source chamber
- microwaves
- plasma
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案のイオン源に用いられるマイク
ロ波反射板の一例を示す平面図。第２図はマイク
ロ波反射板の取付部分の拡大断面図、第３図はマ
イクロ波を利用したイオン源の概略断面図。第４
図は従来例のマイクロ波反射板の一部平面図。第
５図はマイクロ波反射板の取付部分の拡大断面図
。 １……イオン源チヤンバ、２……コイル、３…
…引出電極、４……電極支持棒、５……電極取付
金具、６……マイクロ波反射板、７……誘電体、
８……導波管、９……マイクロ波発生器、１０…
…マイクロ波導入口、１１……横パイプ、１２…
…縦パイプ、１３……円弧パイプ、１４，１５…
…冷却水入口、１６，１７……冷却水出口、１８
……分離部、１９……後チヤンバ壁、２０……前
チヤンバ壁、２１……横桟、２２……縦桟、２３
……矩形穴、２５……加速電極、２６……減速電
極。
ロ波反射板の一例を示す平面図。第２図はマイク
ロ波反射板の取付部分の拡大断面図、第３図はマ
イクロ波を利用したイオン源の概略断面図。第４
図は従来例のマイクロ波反射板の一部平面図。第
５図はマイクロ波反射板の取付部分の拡大断面図
。 １……イオン源チヤンバ、２……コイル、３…
…引出電極、４……電極支持棒、５……電極取付
金具、６……マイクロ波反射板、７……誘電体、
８……導波管、９……マイクロ波発生器、１０…
…マイクロ波導入口、１１……横パイプ、１２…
…縦パイプ、１３……円弧パイプ、１４，１５…
…冷却水入口、１６，１７……冷却水出口、１８
……分離部、１９……後チヤンバ壁、２０……前
チヤンバ壁、２１……横桟、２２……縦桟、２３
……矩形穴、２５……加速電極、２６……減速電
極。
Claims (1)
- 真空に引く事ができ導入されたガスをプラズマ
にする空間を与えるイオン源チヤンバ１と、マイ
クロ波を発生するマイクロ波発生器９と、マイク
ロ波発生器９で生じたマイクロ波をイオン源チヤ
ンバ１のマイクロ波導入口１０へ導く導波管８と
、イオン源チヤンバ１の中に少なくとも電子のサ
イクロトロン周波数がマイクロ波の周波数にほぼ
等しくなるような軸方向磁場を生ずるコイル２と
、イオン源チヤンバ１の出口に設けられる多孔板
である引出電極３と、イオン源チヤンバ１の出口
側の前チヤンバ壁２０に固着されプラズマを通し
マイクロ波を反射する多数の穴部を有するマイク
ロ波反射板６とよりなり、マイクロ波反射板６が
冷却水によつて水冷する構造になつている事を特
徴とするイオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13246888U JPH0252254U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13246888U JPH0252254U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252254U true JPH0252254U (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=31389456
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13246888U Pending JPH0252254U (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252254U (ja) |
-
1988
- 1988-10-11 JP JP13246888U patent/JPH0252254U/ja active Pending
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