JPH025258U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH025258U JPH025258U JP8376488U JP8376488U JPH025258U JP H025258 U JPH025258 U JP H025258U JP 8376488 U JP8376488 U JP 8376488U JP 8376488 U JP8376488 U JP 8376488U JP H025258 U JPH025258 U JP H025258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- acceleration tube
- deflection coil
- electrode located
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を説明するための装
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：電子銃、２ａ，２ｂ：円筒状絶縁部材、３
ａ，３ｂ：環状電極板、４：多段加速管、５：偏
向コイル。
置構成図、第２図は従来例を説明するための図で
ある。 １：電子銃、２ａ，２ｂ：円筒状絶縁部材、３
ａ，３ｂ：環状電極板、４：多段加速管、５：偏
向コイル。
Claims (1)
- 複数の筒状絶縁部材と複数の環状電極板を交互
に積層して形成した多段加速管と、該多段加速管
に斜めに入射した荷電粒子線を光軸側に戻すため
の偏向コイルとを備え、前記荷電粒子線の出射側
に位置する前記電極を接地すると共に、前記荷電
粒子線の入射側に位置する前記電極に高電圧を印
加するようにした荷電粒子線多段加速装置におい
て、前記接地された電極の加速管内に位置する端
部を他の電極と非接触のまま前記加速管内部を通
つて前記入射側に位置する電極側に伸ばし、該伸
ばした部分の一部で前記偏向コイルを被覆して支
持することにより偏向コイルを前記加速管内部の
前記入射側電極の近傍に配置したことを特徴とす
る荷電粒子線多段加速装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8376488U JPH025258U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8376488U JPH025258U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025258U true JPH025258U (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=31308475
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8376488U Pending JPH025258U (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025258U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5015630A (ja) * | 1973-06-15 | 1975-02-19 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP8376488U patent/JPH025258U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5015630A (ja) * | 1973-06-15 | 1975-02-19 |
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