JPH0252743A - インクマーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はインクマーキング装置に関し、特にシリコンウ
ェーハヘマーキングを行うためのインクマーキング装置
に関する。

〔従来の技術： 従来、シリコンウェーハに形成された半導体素子の良、
不良を明確にするために、シリコンウェーハにマーキン
グが行なわれているが、その方法としては、インクツボ
に貯えられたインクを二ドルを用いて直接シリコンウェ
ーハへ吐出しマーキングする方法や、マグネ・・ｌト吸
引で作動する針先にて、シリコンウェーハ表面へきすを
つけるスクラッチ方法が用いられていた。

′、発明が解決しようとする課題〕 上述した従来のマーキング方法では、シリコンウェーハ
上ヘインクの吹き付は又は、針先でのスクラ・ソチきず
打点を行う為、インクやシリコンのくずが周辺の回路へ
飛び散り、ウェハ割れを起したり、マークインデ・ソク
スタイムが長いためマークの厚さや大きさが不均一にな
る等の問題があった、 本発明の目的は、ウェーハ割れを生ずることがなく、し
かもマークの厚さや大きさを均一にすることのできるイ
ンクマーキング装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のインクマーキング装置は、シリンジの先端に設
けられインクを吐出するニードルと、前記ニードルの前
面を覆って設けられた液体吸収性の高い材料からなるス
タンプと、前記シリンジの後端に一端が接続されたエア
チューブと、前記エアチューブの他端に接続され前記シ
リンジ内を加圧または減圧しシリンジ内のインクの吐出
量を制御する吐出コントローラとを含んで構成される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例の一部切り欠き側面図である
。

第１図においてインクマーキング装置は、シリンジ３の
先端に設けられインクを吐出するニードル７と、このニ
ードル７の前面を覆って設けられたフェルトやスポンジ
等の液体吸収性の高い材料からなるスタンプ２と、シリ
ンジ３の後端に一端が接続されたエアチューブ６と、こ
のエアチューブ６の他端に接続され、シリンジ３内を加
圧または減圧しシリンジ３内のインク４の吐出量を制御
する吐出コントローラ１とから構成されている。

尚１０はウェーハ検査装置に取付けられたシリンジ支持
柱である。

次にこのように構成された本実施例の動作について説明
する。

まず吐出コントローラ１にて規定のインク量に応じたエ
アー圧及び吐出時間をもって、エアーチューブ６を介し
シリンジ３の中に貯えられたインク４を上方より加圧し
、ニードル７を通じインクを液体吸収性の高いスタンプ
２へ注入し、常にスタンプ２の下面はインクを含んだ状
態にする。ここで被転写物であるシリコンウェーハ５を
上昇させ、スタンプ２の下面と接触させてマーキングを
実施する。その後、吐出コントローラ１によりシリンジ
３内を真空吸引することでインク４の引上げを行うこと
により、シリコンウェーハ５を下降させた際のインクの
線引きを防止する。

〔発明の効果〕

以上説明Ｉ−たように本発明は、吐出コントローラを用
い、ニードルを介してスタンプに吐出されるインクの量
を制御することにより、 （１）インクマーク厚を薄くシ、その大きさを均一にで
きる、 〈２）マークインデ・ソクスタイムを短縮できる、（３
）シリコンウェーハに対するダメージを少なくできる、 という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の一部切り欠き側面図である
、 １・・・吐出コントローラ、２・・・スタンプ、３・・
・シリンジ、１１・・・インク、５・・・シリコンウェ
ーハ　６・・・エアーチューブ、７・・・ニードル、１
０・・・シリンジ支持柱、 男　　ｌ　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. シリンジの先端に設けられインクを吐出するニードルと
   、前記ニードルの前面を覆って設けられた液体吸収性の
   高い材料からなるスタンプと、前記シリンジの後端に一
   端が接続されたエアチューブと、前記エアチューブの他
   端に接続され前記シリンジ内を加圧または減圧しシリン
   ジ内のインクの吐出量を制御する吐出コントローラとを
   含むことを特徴とするインクマーキング装置。